JP2007012827A - 基板加熱方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1)処理室内に順次に搬入される基板の温度をモニターし、(2)基板温度の経時変化より処理室への蓄熱量を推測し、(3)処理室内の基板について、前記蓄熱量を基に、基板毎の供給熱量が一定になるように加熱処理時間、特に成膜工程時間(B1,B2,B3,・・)を制御する。これにより、処理室への蓄熱に起因する膜厚変動を防ぐことができる。
【選択図】図9
Description
(1)処理室内に順次に搬入される基板の温度をモニターし、
(2)各基板の温度の経時変化より処理室への蓄熱量を推測し、
(3)処理室内の基板について、前記蓄熱量を基に、基板毎の供給熱量が一定になるように加熱処理時間を制御することを特徴とする。
(1)処理室内に順次に搬入される基板の温度をモニターし、
(2)各基板の温度の経時変化より処理室への蓄熱量を推測し、
(3)処理室内の基板について、前記蓄熱量を基に、基板毎の供給熱量が一定になるように処理室を冷却することを特徴とする。
図1は本発明の基板加熱方法に用いる熱処理装置の概略構成を示す断面図である。
この熱処理装置は、枚葉式急速熱処理装置と呼ばれるものであり、処理室1と、処理室1内で処理対象の基板(シリコンウェハ)Wを支持する基板支持部材2と、基板支持部材2に支持された基板Wを加熱するランプモジュール3と、基板支持部材上に支持された基板Wの温度を検出する温度センサ4とを備えている。
温度センサ4は、基板温度を光学的に検出可能な複数のパイロメータ13からなり、基板裏面側に形成される光学的閉空間に臨むように処理室1のベース部6に組み込まれている。複数のパイロメータ13の位置は、円形のベース部6の軸心を頂点とする扇形領域内である。
前処理室内に収容された同一種類の複数の基板の内、1枚目の基板Wを搬送ロボットにより取り出して処理室1内に搬送し、基板支持部材2上の所定位置に設置し、この基板Wに対して加熱処理プロセスを実施する。加熱処理プロセスが終了したら基板Wを搬送ロボットにより処理室1外に回収し、2枚目以降の基板に対して同様に搬送および加熱処理プロセスを行なう。
基板Wを所定位置に設置して処理レシピを開始する時刻t0での基板温度はT0である。この基板Wをランプモジュール3を一定出力にして加熱する。一般にパイロメータ13を使用した温度制御系では450℃以下の温度領域の検知感度が充分でないので、ここでも、検出感度を確保できる温度(帯)T1までは一定出力にて加温する制御方法を用いる。基板温度がT1に達したら、その時刻t1から所定の時刻t2までT1を安定に保持する。
このようにして加熱処理する間に基板に供給される供給熱量について、図3を参照しながら説明する。この図3は図2と同等の基板温度の経時変化を示している。
時刻0から一定周期αで基板温度の測定値を収集するとき、時刻taおよび時刻ta+αでの測定値をそれぞれA、Bとすると、その間に基板に供給された熱量は図中の塗潰した台形領域で示され、その面積Saは以下の(式1)で算出される。
任意の時刻tnまでの面積Xは、測定周期毎に算出される任意の面積(Sx)´の和として以下の(式2)で算出される。
(実施例1)
本発明の実施例1の基板加熱方法は、基板温度の測定結果から処理室に蓄積する熱量を評価し、その結果を基に、基板への供給熱量を成膜工程時間の制御により管理するものである。昇温工程、降温工程は一定時間とする。
その際の成膜処理開始時刻、成膜処理開始温度を基準とした温度プロファイルは図6で示される。1枚目の被処理基板に供給された熱量は破線で囲まれた面積に相当し、その面積値X1は上記(式2)で算出される。2枚目の被処理基板に供給された熱量は実線で囲まれた面積に相当し、その面積値X2も上記(式2)で算出される。以下、基板への供給熱量に相応する面積およびその値を熱面積、熱面積値という。
3枚目の被処理基板の成膜工程時間B3を以下の(式A)で算出し、算出値を用いて同基板を加熱処理する。即ち、蓄熱量ΔS2が温度Tにて蓄積されるのに要する理論上の時間だけ成膜時間を短縮するのである。
3枚目の被処理基板の熱面積X3を上記(式2)より算出する。3枚目の基板処理時の処理室の蓄熱量ΔS3を、3枚目の被処理基板の熱面積値と1枚目の基板の熱面積値との差分に相当するものとして、以下の(式B)で算出する。
4枚目の被処理基板の成膜工程時間B4を上記と同様にして以下の(式C)で算出し、算出値を用いて同基板を加熱処理する。
つまり、3枚目以降のn枚目の基板については、その成膜工程時間Bnを以下の(式D)で算出し、算出値を用いて加熱処理するのである。
以上の基板加熱方法のシミュレーション結果を図7に示す。横軸は基板処理枚数、左軸は膜厚、右軸は基板間膜厚均一性を示している。図中に記したように、この実施例1の方法によれば、従来法に較べて基板間膜厚のばらつきを約1%改善することができる。なおシミュレーションは、ISSGプロセスでSi基板に対してH2、O2を成膜ガスとしてSiO2を成膜したものである。以下の実施例でも同様である。
(実施例2)
本発明の実施例2の基板加熱方法は、被処理基板と同数のモニタ基板を用いて処理室に蓄積される熱量を評価し、その結果を基に、基板への供給熱量を成膜工程時間の制御により管理するものである。
被処理基板と同数のモニタ基板を用意する。このモニタ基板は、被処理基板と同種の結晶構造を有し、且つ可能であれば同様のパターン形状を有したものとする。
実施例1と同様にして、加熱処理時の温度データから、1枚目のモニタ基板の熱面積Xm1および2枚目のモニタ基板の熱面積Xm2を上記(式2)により算出する。
ΔSmn=Xmn−Xm1(ただしn≧2)・・・(式F)
その後に被処理基板の加熱処理プロセスを開始する。
2枚目以降のn枚目の被処理基板については、その成膜工程時間Bnを、n−1枚目のモニタ基板で得た蓄熱量値を用いて実施例1と同様にして以下の(式I)で算出し、算出値を用いて加熱処理する。
以上の基板加熱方法によるシミュレーション結果を図8に示す。横軸は基板処理枚数、左軸は膜厚、右軸は基板間膜厚均一性を示している。図中に記したように、この実施例2の方法によれば、従来法に較べて基板間膜厚のばらつきを約2.4%改善することができる。
(実施例3)
本発明の実施例3の基板加熱方法は、少なくとも2枚のモニタ基板を加熱処理して、処理室に蓄積される熱量を推測し、平均化し、その結果を基に、基板への供給熱量を成膜処理時間の制御により管理するものである。
ロット内の1枚目および2枚目のモニタ基板を、被処理基板と同一レシピ、つまり成膜温度をT、成膜工程時間をB1とする所定の処理レシピで加熱処理する。
ΔSmn=Xmn−Xm1(ただしn≧2)・・・(式F)
次に、蓄熱量ΔSmnの値からモニタ基板1枚当りの平均蓄熱量ΔSavを以下の(式4)で算出する。
さらに、平均蓄熱量ΔSavの値から単位基板当りの成膜工程短縮時間Δtを以下の(式5)で算出する。
その後に、被処理基板の加熱処理プロセスを開始する。
図9に示すように、ロット内の1枚目の被処理基板を、処理温度をT、成膜工程時間をB1とする所定の処理レシピで加熱処理する。その際に被処理基板に供給される熱量は、図中の塗潰した領域に相応するものとなる(温度積分値A1:熱面積)。
その際に被処理基板に供給される熱量は、図中の塗潰した領域に相応するものとなる(温度積分値A2,A3・・・)。
なお従来技術でも問題とされているように、1枚目の基板と2枚目の基板との間で膜厚変動が大きいので、2枚目の被処理基板の成膜工程時間B2はモニタ基板によって実測された結果を基に算出し、3枚目以降の被処理基板の成膜工程時間Bnは(式5)より算出される短縮時間Δtを用いて簡便に算出するようにしてもよい。
Bn=B2−(n−2)Δt(但しn≧3)・・・(式J)
3枚目以降の被処理基板についてのみ短縮時間Δtを用いる基板加熱方法によるシミュレーション結果を図10に示す。横軸は基板処理枚数、左軸は膜厚、右軸は基板間膜厚均一性を示している。図中にも記したように、この実施例3の方法によれば、基板間の膜厚ばらつきは1枚目の基板の膜厚を基準として±0.2%以内であり、従来法では±2.4%であるのに較べて、1/10以下に改善されている。
(実施例4)
本発明の実施例4の基板加熱方法は、基板への供給熱量を、処理室に蓄積する熱量を一定に制御することにより、具体的には処理室の冷媒路(図1参照)に流す冷却水流量を制御することにより、管理するものである。
ΔSav=ΔSmn/(n−1)(但しn≧2)・・・(式4)
ここで、被処理基板1枚当たりに処理室に蓄積する熱量が0となる冷却水流量をFとし、平均蓄熱量がΔSavとなる冷却水流量をF0とすると、以下の(式8)で表わされる関係にある。
被処理基板を加熱処理するにあたって、ロット内の1枚目と2枚目の基板については冷却水流量をF0として加熱処理を実施する。この場合の2枚目の基板の加熱処理時の処理室の蓄熱量は、2枚目の基板の熱面積値X2と1枚目の基板の熱面積値X1との差分となる。
F3=(X2−X1)/ΔSav+F0・・・(式9)
つまり、3枚目以降のn枚目の冷却水流量Fnは以下の(式10)で算出される。算出値を用いて加熱処理する。
更に基板温度制御で処理室の蓄熱量を制御する場合は、成膜工程と降温工程との間に一定温度で保持するステップを加え、基板温度と時間積分により得られる面積値を調整する事で可能となる。即ちn枚の基板からなるロットに対しては、1枚目の保持ステップの面積値は(n−1)ΔSavとなるように保持温度若しくはステップ時間を制御する工程を設ける。
2 基板支持部材
3 ランプモジュール
4 温度センサ
8 冷却水路
W 基板
Claims (6)
- 複数の基板を1枚ずつ処理室に搬入して加熱処理する際に、
(1)処理室内に順次に搬入される基板の温度をモニターし、
(2)各基板の温度の経時変化より処理室への蓄熱量を推測し、
(3)処理室内の基板について、前記蓄熱量を基に、基板毎の供給熱量が一定になるように加熱処理時間を制御する基板加熱方法。 - 処理室に搬入する1枚目および2枚目の被処理基板を所定の加熱プロファイルで加熱処理し、2枚目以降のn枚目の被処理基板の加熱処理時に処理室に蓄積する蓄熱量を、1枚目およびn枚目の被処理基板における、基板温度の変位とその間の加熱時間との積で定義される供給熱量の差分として算出し、3枚目以降のn枚目の被処理基板については、n−1枚目の被処理基板で算出された蓄熱量値を用いて、基板を所定の成膜温度に維持する成膜工程時間を算出し、算出値を用いて加熱処理する請求項1記載の基板加熱方法。
- 被処理基板と同数のモニタ基板を用意し、処理室に搬入する1枚目および2枚目のモニタ基板を所定の加熱プロファイルで加熱処理し、2枚目以降のn枚目のモニタ基板の加熱処理時に処理室に蓄積する蓄熱量を、1枚目およびn枚目のモニタ基板における、基板温度の変位とその間の加熱時間との積で定義される供給熱量の差分として算出し、その後に、処理室に搬入する1枚目の被処理基板を前記所定の加熱プロファイルで加熱処理し、2枚目以降のn枚目の被処理基板については、対応する(n−1)枚目のモニタ基板で算出された蓄熱量値を用いて、基板を所定の成膜温度に維持する成膜工程時間を算出し、算出値を用いて加熱処理する請求項1記載の基板加熱方法。
- 少なくとも2枚のモニタ基板を用意し、処理室に搬入する1枚目および2枚目のモニタ基板を所定の加熱プロファイルで加熱処理し、2枚目以降のn枚目のモニタ基板の加熱処理時に処理室に蓄積する蓄熱量を、1枚目およびn枚目のモニタ基板における、基板温度の変位とその間の加熱時間との積で定義される供給熱量の差分として算出し、算出された各蓄熱量値よりモニタ基板1枚当たりの平均蓄熱量を算出し、その後に、処理室に搬入する1枚目の被処理基板を前記所定の加熱プロファイルで加熱処理し、2枚目以降のn枚目の被処理基板については、前記モニタ基板で算出された平均蓄熱量値を用いて、基板を所定の成膜温度に維持する成膜工程時間を算出し、算出値を用いて加熱処理する請求項1記載の基板加熱方法。
- 複数の基板を1枚ずつ処理室に搬入して加熱処理する際に、
(1)処理室内に順次に搬入される基板の温度をモニターし、
(2)各基板の温度の経時変化より処理室への蓄熱量を推測し、
(3)処理室内の基板について、前記蓄熱量を基に、基板毎の供給熱量が一定になるように処理室を冷却する基板加熱方法。 - 少なくとも2枚のモニタ基板を用意し、処理室に搬入する1枚目および2枚目のモニタ基板を所定の加熱プロファイルで加熱処理し、2枚目以降のn枚目のモニタ基板の加熱処理時に処理室に蓄積する蓄熱量を、1枚目およびn枚目のモニタ基板における、基板温度の変位とその間の加熱時間との積で定義される供給熱量の差分として算出し、算出された各蓄熱量値よりモニタ基板1枚当たりの平均蓄熱量を算出し、その後に、処理室に搬入する1枚目および2枚目の被処理基板を、処理室の壁部を所定流量の冷媒で冷却しつつ所定の加熱プロファイルで加熱処理し、2枚目以降のn枚目の被処理基板の加熱処理時に処理室に蓄積する蓄熱量を、1枚目およびn枚目の被処理基板における、基板温度の変位とその間の加熱時間との積で定義される供給熱量の差分として算出し、3枚目以降のn枚目の被処理基板については、前記モニタ基板で算出された平均蓄熱量値と、n−1枚目の被処理基板で算出された蓄熱量値と、前記冷媒の流量値とを用いて、基板を所定の成膜温度に維持する冷媒流量を算出し、算出値を用いて加熱処理する請求項5記載の基板加熱方法。
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