JP2007010235A - セラミックス熱処理用治具 - Google Patents

セラミックス熱処理用治具 Download PDF

Info

Publication number
JP2007010235A
JP2007010235A JP2005192142A JP2005192142A JP2007010235A JP 2007010235 A JP2007010235 A JP 2007010235A JP 2005192142 A JP2005192142 A JP 2005192142A JP 2005192142 A JP2005192142 A JP 2005192142A JP 2007010235 A JP2007010235 A JP 2007010235A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat treatment
heat
jig
frame member
plate member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005192142A
Other languages
English (en)
Inventor
Ichiro Hayashi
一郎 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Priority to JP2005192142A priority Critical patent/JP2007010235A/ja
Publication of JP2007010235A publication Critical patent/JP2007010235A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
  • Furnace Charging Or Discharging (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、金属ケイ素粒子を含むハニカム成形体など、熱処理時に発熱を伴うような大型の成形体を熱処理するのに好適なセラミックス熱処理用治具を提供する。
【解決手段】本発明は、枠部材と、被熱処理体を載置するための板部材とを含み、前記板部材を前記枠部材の複数箇所に橋渡して配置したことを特徴とするセラミックス熱処理用治具を提供する。別の本発明は、枠部材が、被熱処理体を載置するための板部材とは別の複数の板部材を組み立ててなるセラミックス熱処理用治具を提供する。
【選択図】図1

Description

本発明は、セラミックス成形体、特には、大型のハニカム成形体を脱脂、焼成など熱処理する際に使用する熱処理用治具に関する。
従来、セラミックス成形体を焼成する際に、前記セラミックス成形体をガス通気穴を多数形成してある板(以下、穴形成板という)の上に、直接または敷き粉を介して載置し、脱脂、焼成などの熱処理する方法が提案されている(特許文献1)。提案されている方法では、成形体のサイズが小さな場合には、特に、問題がないが、大きな形状のセラミックス成形体、特に、それが熱処理段階で発熱するようなものは、その発熱により、成形体近傍の温度が局所的に上昇し、得られた焼成体が温度不均一により変形したり、内部の特性に分布が生ずるなどの問題を引き起こすおそれがある。
また、熱処理時の発熱の程度によっては、成形体を載置してある穴形成板が局所的な発熱により変形したり最悪の場合は、割れたりするおそれもある。このような場合であっても穴形成板に非常に多数のガス通気穴を高密度に形成すればこのような問題も回避できる可能性もある。しかし、穴成形板の加工が大変であり、加工費用が著しく高くなる、破損しやすくなる等の問題がある。
このような熱処理時に発熱する成形体の例としては、例えば、金属ケイ素粒子を含むハニカム成形体などが挙げられる。金属ケイ素粒子を高温で窒化して窒化ケイ素粒子とする場合に、非常に大きな発熱があり、成形体サイズが大きくなる程、その傾向が顕著である。このような発熱を伴う成形体の熱処理用治具であって、発熱をうまく熱拡散できるようなものが望まれている。
また、脱脂や焼成などの熱処理において、1回の操作でできるだけ多数の成形体を処理することが製造原価の点から望まれる。そのため成形体を焼成炉内で高さ方向に積層して焼成することが、考えられるが、前述したような発熱する成形体を多数個熱処理するのに好適な熱処理治具については、いまだ提案されていない。
特開2005−69668号公報(発明の詳細な説明、特に図3)
本発明は、金属ケイ素粒子を含むハニカム成形体など、熱処理時に発熱を伴うような大型の成形体を熱処理するのに好適なセラミックス熱処理用治具の提供を目的とする。
本発明は、枠部材と、被熱処理体を載置するための板部材とを含み、前記板部材を前記枠部材の複数箇所に橋渡して配置したことを特徴とするセラミックス熱処理用治具である。
本発明によるセラミックス用熱処理治具を使用することにより、窒化などの発熱を伴う熱処理を実施しても、変形が少なく、しかも特性の均一性が高い焼成体が得られる。また、穴形成板のように熱処理時の発熱によって、破損することもないため耐久性に優れる。しかも、本発明によるセラミックス用熱処理治具は、構造が簡単で高さ方向への積層が容易であるため、多数個の同時焼成にも適し、生産性、製造原価の点でも優れる。
本発明のセラミックス熱処理用治具(以下、本熱処理治具という)は、枠部材と、非熱処理体を載置するための板部材とを含み、前記板部材を前記枠部材の複数箇所に橋渡して配置したことを特徴とするが、このような構造をとることにより、前記板部材上に載置される被熱処理体であるセラミックス成形体の周囲は、ガスの流れが活発となり、セラミックス成形体の発熱が周囲の雰囲気ガスに充分に伝わって良好な熱拡散がなされ、熱が籠らないなどの効果が得られる。
以下、本熱処理治具を図を用いて説明する。図1は、本熱処理治具10の一実施態様を示した図であり、当然のことながら本発明は図1に限定されるものではない。図中、1は枠部材を、2は枠部材1の上面1uの2箇所(A地点とB地点)に橋渡して配置される被熱処理体を載置するための板部材を示す。
なお、図1では、板部材2は、上から見たときの形状が長方形であるから、2箇所で橋渡しするのが構造が簡便で製作しやすいので好ましいが、上から見たときの板部材2の形状は、必ずしも長方形に限られるわけではなく、三角形などでもよい。上から見たときの板部材2の形状が三角形の場合には、枠部材1の3箇所で橋渡しすることが好ましいこともある。
また、図1では枠部材1に橋渡す板部材2は2本であるが、必ずしも2本に限られるものではない。前記板部材2の数は、載置する成形体のサイズ、形状、個数に応じて、または、板部材2のサイズ等の応じて適宜選ぶことが好ましい。
本発明においては板部材2を枠部材1に橋渡しする際に、板部材2を枠部材1に固定する必要は必ずしもないが、振動等により板部材2が枠部材1から脱落等するのを防止するために、固定することが好ましい。図1のように枠部材1の上面1uに切り欠きを設けて、そこの切り欠きに板部材2を入れるようにすると簡便にして確実に固定できるため好ましい。なお、固定方法としては、他に耐熱性のボルト・ナットで固定してもよく、また固定する位置としても上面1uだけでなく、側面1sで固定してもよい。
本熱処理治具において、枠部材1は、枠形状を有し、所定の耐熱温度があるものであれば特に制限されないが、枠部材1を前記板部材2以外の複数の板部材(以下、枠用板部材という。図1では、4枚の板部材3)で組み立て可能な構造とすると、被熱処理体のサイズに合わせて最適なサイズの枠用板部材3を選択することにより、最適なサイズの本熱処理治具が簡単に構成できる。
また、枠用板部材の一部が破損、損耗等した場合には、該当する枠用板部材のみ交換することで本熱処理治具の耐久性を延ばすことができるため修理時間が短時間となって生産性が上がるほか、製造原価も低減できる。
組み立て可能な構造とする際に、枠用板部材3同士は、耐熱性のボルト4でねじ込んだり、ボルト・ナットで固定したり、切り欠き・はめ込み等で固定することが好ましい固定方法として挙げられる。なお、枠用板部材3の先端同士を凹凸形状7に加工してはめ込み固定した場合の例を被熱処理体を載置した状態で図2に示す。図中、9は、被熱処理体であるセラミックス成形体である。図中、図1と共通する番号・符号は、同一のものを示す。以下も同様とする。
また、本熱処理治具20では、枠部材1に複数の柱5を立て、そこに前記の枠部材1と板部材2と同様なものを構成することにより、垂直に複数段構成とすることができる。図3にその様子を示す。図3は、2段構成を示しているが、柱5を同様に上方に立てることにより、任意の段数に構成できる。さらに、上記柱5を組み立て可能な構造とすると、被熱処理体の数に応じて本熱処理治具の高さ方向への積層数を任意に調整することができ好ましい。この場合の被熱処理体を載置した状態を図4に示す。
本熱処理治具において、枠部材1、板部材2、枠用板部材3および/または柱5にガス通過穴6を形成することにより、ガスの通気性および放熱性をさらに上げることができる。一例を図5に示す。穴のサイズ、数、位置などは、被熱処理体の数等に合わせて適宜選択できる。
本熱処理治具において、枠部材1、板部材2等の材質としては、所望の熱処理温度における耐熱性があるものであれば特に制限されないが、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ホウ素等のセラミックスまたは黒鉛等のカーボンが好ましい材料として挙げられる。なお、本熱処理治具の材質は、全て同一材質とする必要もなく、部位によって異種材質としてもよい。例えば、枠部材1をカーボンとし、板部材2を窒化ケイ素とするような組み合わせでもよい。また、カーボンの表面にセラミックスの被覆層を形成してもよい。
以下に本発明の実施例を説明する。
[例1(実施例)]
板厚10mm、幅22mmで、長さ280mmと、長さ300mmのカーボン製枠用板部材3、各2枚を幅22mmが高さ方向となるように組み立てて枠部材1とした。なお、枠用板部材3の固定は、カーボン製のボルト4でねじこんで固定した。
長さ300mmの枠部材2枚については、上面1uのコーナー部から90mmと190mmの位置に、板部材2を橋渡し固定するための切欠き(深さ7mm、幅22.5mm)を2箇所設け、そこに板厚7mm、幅22mmで長さ280mmのカーボン製の板部材2を2本橋渡して図1の本熱処理治具10とした。
被熱処理体9として、主に金属ケイ素粒子と樹脂成分とからなる幅60mm×高さ60mm×長さ250mmの直方体形状のハニカム成形体4個を脱脂した状態で準備した。4個の被熱処理体9は、相互に接触しないようにしながら、幅60mm×長さ250mmの面が底面となるようにして図2のように橋渡してある2本の板部材2の両方に載置させて本熱処理治具10にセットし、大気圧の窒素気流中で最高温度1800℃で焼成した。
得られた焼結体の変形量として、最も変形の大きい底面の長さ250mmの中央部分のへこみ量(以下、最大へこみ量という)を測定した結果、4個とも1mm以内と非常に変形が少ないことが確認された。最大へこみ量の測定位置を図6に示す。図6中、(a)はハニカム焼成体9の測定位置、(b)は最大へこみ量の概念図、をそれぞれ示す。また、耐久性を確認するため同様の焼成を50回繰り返したが、本熱処理治具10には、クラック、破損などの不良は観察されなかった。
[例2(実施例)]
例1において、脱脂においても本熱処理治具10を使用した他は例1と同様にした。すなわち、本熱処理治具10に脱脂前のハニカム成形体を載置して大気圧下の窒素雰囲気中で最高温度600℃で脱脂処理した後、そのまま焼成炉に移動して例1と同じ焼成条件で焼成した。例1と同様にして最大へこみ量を測定したところ4個とも約1mmと非常に変形が少ないことが確認された。脱脂・焼成を50回繰り返したが、本熱処理治具10には、クラック、破損などの不良は観察されなかった。
[例3(比較例)]
例1において、本熱処理治具10の代わりに、縦280mm×横300mm×厚さ7mmのSiC製角板を使用し、その上に例1と同じハニカム成形体4個を載置させたほかは例1と同様にして焼成した。その結果、最大へこみ量が約12mmとなり大きな変形が観察された。また、耐久性を確認するため、焼成を5回繰り返したところで、前記SiC製角板がほぼ中央から二つに破断した。
[例4(比較例)]
例2において、本熱処理治具10の代わりに、縦280mm×横300mm×厚さ7mmのSiC製角板を使用したほかは例2と同様にして脱脂・焼成した。その結果、最大へこみ量が約15mmと大きな変形が観察された。また、脱脂・焼成を3回繰り返したところで、前記SiC製角板がほぼ中央から二つに破断した。
本発明により、金属ケイ素粒子を含むセラミックス成形体などのように被熱処理体が熱処理過程において大きな発熱を伴う場合の熱処理であっても、得られる熱処理体の変形を抑えることができ、しかも内部の特性の均一性に優れる。また、本発明により熱処理治具自体の耐久性が大幅に向上し、セラミックス成形体の熱処理の生産性向上や原価低減に大きな効果が得られる。さらに、本熱処理治具を組み立て可能な部材で構成することにより、生産量に最適なサイズの治具をタイムリーに、かつ、簡便に提供できる。
本熱処理治具(高さ方向1段の場合)の概略図。 図1の本熱処理治具上に被熱処理体を載置した場合の概略図。 図1の本熱処理治具を高さ方向に2段積層した場合の概略図。 図3の本熱処理治具上に被熱処理体を載置した場合の概略図。 図1の本熱処理治具で枠部材、板部材にガス通過穴を形成した場合の概略図。 最大へこみ量の測定位置および最大へこみ量の概念を示す図。
符号の説明
1:枠部材
1u:枠部材の上面
1s:枠部材の側面
2:板部材
3:枠用板部材
4:耐熱性のボルト
5:柱
6:ガス通過穴
7:枠用板部材3の先端同士をはめ込み固定するための凹凸形状
9:被熱処理体(セラミックス成形体)
10、20、30:本熱処理治具
A:枠部材1において板部材2を橋渡す箇所
B:枠部材1において板部材2を橋渡すA以外の別の箇所
C−C:最大へこみ量の測定位置

Claims (5)

  1. 枠部材と、被熱処理体を載置するための板部材とを含み、前記板部材を前記枠部材の複数箇所に橋渡して配置したことを特徴とするセラミックス熱処理用治具。
  2. 前記枠部材が、前記被熱処理体を載置するための板部材とは別の複数の板部材を組み立ててなる請求項1記載のセラミックス熱処理用治具。
  3. 組み立てた前記枠部材を耐熱性のボルトおよび/または切欠き構造を使用して固定する請求項2記載のセラミックス熱処理治具。
  4. 前記枠部材に複数の柱を設け、前記枠部材を高さ方向に複数段積層する請求項1、2または3記載のセラミックス熱処理用治具。
  5. 前記柱を前記枠部材に組み立て可能なように設ける請求項1〜4のいずれか記載のセラミックス熱処理用治具。
JP2005192142A 2005-06-30 2005-06-30 セラミックス熱処理用治具 Pending JP2007010235A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005192142A JP2007010235A (ja) 2005-06-30 2005-06-30 セラミックス熱処理用治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005192142A JP2007010235A (ja) 2005-06-30 2005-06-30 セラミックス熱処理用治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007010235A true JP2007010235A (ja) 2007-01-18

Family

ID=37748982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005192142A Pending JP2007010235A (ja) 2005-06-30 2005-06-30 セラミックス熱処理用治具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007010235A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1974884A1 (en) 2007-03-30 2008-10-01 Ibiden Co., Ltd. Method for manufacturing honeycomb structured body
WO2009093690A1 (ja) * 2008-01-24 2009-07-30 Ngk Insulators, Ltd. ハニカム成形体の焼成方法
KR200447750Y1 (ko) * 2009-08-20 2010-02-16 김방재 알루미늄 휠 열처리 바스켓
JP2011196602A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Ngk Insulators Ltd 加熱用収納体およびその使用方法、ならびに加熱用治具およびその使用方法
JP2021024768A (ja) * 2019-08-08 2021-02-22 三井金属鉱業株式会社 セラミックス棚組
WO2023062148A1 (de) * 2021-10-13 2023-04-20 Saint-Gobain Industriekeramik Rödental GmbH Mehrteiliger rahmen für keramische transportwanne

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1974884A1 (en) 2007-03-30 2008-10-01 Ibiden Co., Ltd. Method for manufacturing honeycomb structured body
WO2009093690A1 (ja) * 2008-01-24 2009-07-30 Ngk Insulators, Ltd. ハニカム成形体の焼成方法
KR200447750Y1 (ko) * 2009-08-20 2010-02-16 김방재 알루미늄 휠 열처리 바스켓
JP2011196602A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Ngk Insulators Ltd 加熱用収納体およびその使用方法、ならびに加熱用治具およびその使用方法
JP2021024768A (ja) * 2019-08-08 2021-02-22 三井金属鉱業株式会社 セラミックス棚組
JP7345311B2 (ja) 2019-08-08 2023-09-15 三井金属鉱業株式会社 セラミックス棚組
WO2023062148A1 (de) * 2021-10-13 2023-04-20 Saint-Gobain Industriekeramik Rödental GmbH Mehrteiliger rahmen für keramische transportwanne

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100672802B1 (ko) 기판 가열 장치 및 그 제조 방법
JP2007010235A (ja) セラミックス熱処理用治具
KR100284567B1 (ko) 수직 웨이퍼 보트
CN101924017B (zh) 基板加热单元和包含该基板加热单元的基板处理装置
JP2007250313A (ja) 半導体、フラットディスプレイパネル製造検査用ヒータユニット及びそれを備えた装置
WO2016017689A1 (ja) アルミニウム‐炭化珪素質複合体及びその製造方法
KR20050031926A (ko) 기판 가열 장치와 그 제조 방법
KR101562768B1 (ko) 열처리 장치용의 챔버, 및, 열처리 장치
JP6113272B2 (ja) 棚システム用のセラミックの板
JP2012158507A (ja) 電子部品焼成用セッター
JP6816541B2 (ja) 歪み抑制治具
JP2008120653A (ja) セラミックハニカム成形体の焼成用載置台
JP2003124296A (ja) サセプタ及びその製造方法
JP5130808B2 (ja) ウエーハ熱処理用治具およびこれを備えた縦型熱処理用ボート
EP3041047A1 (en) Metallization for preventing substrate warpage
JP2005069668A (ja) 窒化ケイ素質セラミックス用焼成容器
KR20030078677A (ko) 반도체 열처리용 반사판 및 이 반도체 열처리용 반사판의제조 방법
JP7431487B2 (ja) 縦型ウエハボート及び縦型ウエハボートの製造方法
JP2009176569A (ja) セラミックスヒータ及びその製造方法
KR101900547B1 (ko) 세라믹 기판 제조용 적층 시스템 및 이를 이용한 세라믹 기판의 제조 방법
JP2014080240A (ja) ワーク収納用容器およびこれを用いた光学素子収納用容器
KR20090015632A (ko) 열처리용 랙 세터
JP3083919B2 (ja) 電子部品熱処理用冶具
JP2006093283A (ja) ウェーハ支持具
JP4522963B2 (ja) 加熱装置