JP2007007660A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レーザ光L2、L3を発生するレーザ発振器1と、複数の微小ミラーが規則正しく配列され、被加工物15の加工パターンに対応した断面形状を有する変調光LMに変換するマイクロミラーアレイ7と、変調光LMを被加工物15に照射してレーザ加工を行う照射光学系20と、照射光学系20に対して、レーザ発振器1、マイクロミラーアレイ7の傾きを可変する傾斜ステージ4、5とを備える。
【選択図】 図1
Description
このレーザ加工装置は、レーザ光の照射領域の大きさを可変の矩形開口などで規定していたが、近年、マイクロミラーアレイなどの空間変調素子を用いた装置も知られている。
例えば、特許文献1には、レーザ源と、被加工物を載置する加工テーブルと、微小ミラーアレイ(マイクロミラーアレイ)とを備え、微小ミラーアレイの複数のミラー片の角度を、ON/OFF制御することで切り換えて、被加工物に任意のパターン形状を形成するレーザ加工装置が記載されている。
このレーザ加工装置に使用されるレーザの波長は、加工対象によって適切な波長が選択される。例えば、レーザリペア装置では、金属膜の修正には可視〜赤外帯、透明膜には紫外帯、というように被加工物に吸収されやすい波長が使用される。波長を切り換えるために、複数のレーザを備えた装置や、1つの基本波長のレーザの複数の高調波をきりかえられるようにした装置などが存在する。
マイクロミラーアレイを用いたレーザ加工装置では、マイクロミラーアレイの像を顕微鏡で被加工物上に縮小投影する。マイクロミラーアレイは小型ミラーを等間隔に配列した構造なので、そこから反射されたレーザ光は複数の回折光に分かれる。しかし、一般に顕微鏡の後側開口数は小さいので、複数に分かれた回折光をすべて入射することができない。
図7は、YAGレーザの第2高調波(波長λ2=532nm)と第3高調波(波長λ3=354.7nm)を切り換えられるレーザ加工装置における回折光の角度分布の例である。すなわち、マイクロミラーアレイを反射した回折光の角度分布(α,β)を入射する顕微鏡の光軸502を中心とした角度平面501にプロットしたものである。
一方、波長をλ2に切り換えると、図示丸印で示すように、光軸502の近くに回折次数が無く、同じような角度だけ離れた位置に4つの回折次数505が存在している。そのため、これら複数の回折次数505にレーザの強度が分散し、かつ顕微鏡の後側角開口503に入射しなくなる。つまり、波長λ2を使用する場合は、顕微鏡に対する入射角度を変えて、1つの回折次数を入射させることはできるが、それでもレーザ光の利用効率は改善されない。
この発明によれば、回動機構によりレーザ光源および空間変調素子の少なくともいずれかの傾きを変調光照射光学系に対して可変することができ、それにより、変調光照射光学系の光軸に沿って進む変調光の空間変調素子に対する出射角を可変できる。そのため、変調光が空間変調素子により回折されても、変調光照射光学系の光軸に沿って進む変調光を適宜の回折方向のものに合わせることができる。したがって、変調光として回折効率の高い光を変調光照射光学系に入射させることができる。
この場合、回動機構により、空間変調素子に対して、レーザ光源の傾きを変えることができるので、空間変調素子が固定されている場合に、空間変調素子に対するレーザ光の入射角を変えることができる。そのため、変調光照射光学系の光軸に沿って進む変調光を、レーザ光の波長と空間変調素子への入射角とに応じて適宜次数の回折光に合わせることができる。そのため、回折効率の高い変調光を変調光照射光学系に入射することができる。
この場合、変調光照射光学系に入射する前記変調光の、空間変調素子に対する出射角を変えることができるので、レーザ光の波長と空間変調素子への入射角とに応じて適宜次数の回折光に合わせることができる。そのため、回折効率の高い変調光を変調光照射光学系に入射することができる。
また、このような構成に加えて、回動機構が、空間変調素子に対するレーザ光源の傾きを変えるように回動する構成である場合には、これらの回動を組み合わせることにより、変調光照射光学系に入射する変調光の回折条件を最適化することができる。
また、空間変調素子の回動に合わせてレーザ光源を回動できるようにすれば、レーザ光の入射角が一定の条件の下で、変調光の出射角を可変できるから、回動制御が容易となり効率よく変調光の回折次数を変更できる。
この場合、回動機構制御部により、変調光の回折方向を算出し、その回折方向に変調光照射光学系の光軸を一致させることができるので、自動的に回折効率を最適化できる。
この場合、複数の波長のレーザ光を用いてレーザ加工を行うときに、波長を切り替えても回動機構を再調整することなく、変調光の回折効率を最適の状態とすることができるので、波長を切り替えたレーザ加工を迅速に行うことができ、加工効率を向上することができる。
この場合、変調光の回折効率を向上するために、回動機構により変調光の回折方向を変調光照射光学系の光軸に一致させるので、微小ミラーの傾斜角が一定値をとる場合にも、変調光の回折効率を容易に最適化でき、高速かつ高効率なレーザ加工を行うことができる。
図1は、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置の概略構成について説明するための模式説明図である。図2は、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置に用いる空間変調素子近傍の光路について説明するための模式的な光路説明図である。
被加工物15としては、例えば、液晶ディスプレイなどに用いるガラス基板や、半導体基板などを挙げることができる。これらの場合、加工対象は基板上の配線パターンや露光に用いるフォトマスクに存在する不要な残留物などの欠陥部などが挙げられる。また、マイクロダイセクション装置に用いる場合には、細胞などの生体試料などを挙げることができる。
被加工物15は、特に図示しないが、必要に応じて、例えば加工時の位置を固定する保持機構、吸着機構や、加工位置を移動するための移動機構を備えた載置台に保持されている。
レーザ光L2、L3は、このような加工対象の波長吸収特性などに応じて切り替えて使い分けられるようになっている。
レーザ光L2、L3の光束径は、後述するマイクロミラーアレイ7の基準反射面7aを十分覆うことができる大きさとされる。そのため、特に図示しないが、レーザ発振器1は、必要に応じてビームエキスパンダなどの光学系や光束径を規制する絞りなどを適宜備えている。
ホモジナイザ2は、例えば、フライアイレンズ、回折素子、非球面レンズや、カレイド型ロッドを用いたものなどの種々の構成が知られているので、必要に応じてどの構成を採用してもよい。
各微小ミラー7bは、制御信号に応じて静電電界を発生する駆動部(不図示)により、オン状態とオフ状態との2つの傾斜角、例えば、±12°に傾斜されるようになっている。
そのため、マイクロミラーアレイ7は、一定の入射角で入射されたレーザ光L2(L3)をオン状態の微小ミラー7bにより反射して制御信号に応じた断面形状の変調光LMを形成し、オフ状態の微小ミラー7bで反射された光を変調光LMの光路と異なる光路(図5の破線矢印参照)に反射することにより、レーザ光L2(L3)の空間変調を行うことができるものである。
一方、このような等ピッチに配列され同一方向に傾斜された複数の微小ミラー7bはレーザ光L2(L3)に対して回折格子として作用する。そのため、レーザ光L2(L3)は、その波長と微小ミラー7bの配列ピッチとに応じて回折される。
そのため、回折次数に対応する各回折方向の光強度が強められ、それらの間の方向では、回折効率が下がって光強度が低下する。図2に、法線Nから角度θDだけ傾斜した回折方向Dは、これら回折方向のうちレーザ光L2、L3に共通する回折方向を図示したものである。
回動中心5Cと傾斜ステージ4の回動中心4Cは略一致される。
対物レンズ14は像側が無限遠設計とされ、結像レンズ11と対物レンズ14との間では、レーザ光L2(L3)が略平行光となっている。
この略平行光の光路上に、光源13から出射された照明光Lobの一部を反射し一部を透過させ変調光LMを透過する半透鏡12が設けられている。そのため、照明光Lobは変調光LMと同一光路上に導かれ、被加工物15を照明できるようになっている。
照明光Lobの波長は、後述するCCD10により撮像できる光であれば、どのような波長であってもよく、例えば可視光の波長領域に設定することができる。
半透鏡12は、例えばハーフミラーやそのような波長特性を有するコーティングが施された反射板、プリズムなどの光分岐素子を採用することができる。
半透鏡8により分岐された光路上には、被加工物15上の画像を撮像するためのCCD10が、被加工物15の表面と略共役となる位置に配置されている。
また、少なくとも制御対象であるレーザ発振器1、マイクロミラーアレイ7、ステージ駆動部4a、5aと電気的に接続され、それぞれに対して、それらの動作を制御する制御信号を送出できるようになっている。
レーザ発振器1に対しては、操作部17の操作入力に基づいて、レーザ光L2、L3のいずれかを選択して点灯または消灯させる制御信号を送出する。
また、マイクロミラーアレイ7に対しては、CCD10により撮像された被加工物15の画像取り込んで画像処理し加工すべき領域を検出することにより、変調光LMの照射領域を加工すべき領域に一致させるべく各微小ミラー7bのオン状態とオフ状態とを制御する制御信号を送出する。
図3は、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置の空間変調素子から出射される回折光の回動制御後の回折方向について説明するための角度分布図である。図4は、本発明の実施形態に係るレーザ加工方法の光軸設定の一例について説明するための模式的な光路説明図である。
また、レーザ光L2、L3は、基本波長λ1の高調波であるので、波長λ2、λ3の比が、正確な整数比3:2となっている。そのため、mx、myを整数とすると、レーザ光L2の回折次数(2・mx,2・my)次、レーザ光L3の回折次数(3・mx,3・my)次のそれぞれの回折方向が一致するものである。
そこで、本実施形態では、傾斜ステージ4、5の少なくともいずれかを駆動して、回折方向を回動し、図3のような状態とする。すなわち、(α0,β0)の位置に、回折方向が共通する回折次数に対応した回折方向204、205を移動させる。
マイクロミラーアレイ601に、YAGレーザの基本波、第2高調波、第3高調波が、入射光602として入射角θiで入射される場合、各回折光の回折角θdは、次式の回折条件で表される。
sinθd−sinθi=p・λi/T (2)
ただし、pは回折の次数、λiは入射光602の波長、Tはマイクロミラーアレイ601の配列ピッチである。
基本波、第2高調波、第3高調波のそれぞれの0次回折光610、620、630は、式(2)で、p=0の場合であり、マイクロミラーアレイ601の微小ミラーが基準反射面に整列した場合の正反射光である。
pが0でないとき、回折角θdが等しくなる条件は、式(2)より、p・λiが一定となることである。
λ2=λ1/2、λ3=λ1/3であるから、図4に示すように、波長λ1の1次回折光611(p=1)に回折方向が一致するのは、波長λ2の第2高調波では、2次回折光622(p=2)であり、波長λ3の第3高調波では、3次回折光633(p=3)である。一般に、基本波長のm次回折光の回折方向に、第u高調波の(u・m)次回折光の回折方向が一致する。
そして、第2高調波の1次回折光621、第3高調波の1次回折光631、2次回折光632は、それぞれ異なる回折方向に回折される。
そこで、光軸202に回折方向Dが一致するように、傾斜ステージ5を回動し、そのときの基準反射面7aに対して、レーザ光L2、L3の入射角が上記のθiとなるように傾斜ステージ4を回動する。このようにすることにより、YAGレーザの波長を切り替えても、マイクロミラーアレイ601以降の光学系に対する入射条件が変わらず、かつレーザ光量の利用効率を最大にできるものである。
なお、小型ミラー7bの傾斜角φONが異なるマイクロミラーアレイ7を用いる場合でも、同様にして光利用効率を最大にする入射角θiが算出されるから、それに合わせて傾斜ステージ4、5を回動させることができる。そのため、傾斜角φONは、12°とは限定されない。
図1は、そのような状態を図示している。回折光121は、図3の回折方向204(205)に対応しており、回折光120、122は、その他の回折方向に対応している。
図5は、本発明の実施形態に係るレーザ加工装置の初期状態について説明するための模式説明図である。
レーザ加工装置100の初期状態では、図5に示すように、傾斜ステージ4、5が回動の基準位置に設定され、レーザ発振器1、マイクロミラーアレイ7の位置関係が最適化されていない。そのため、一般には、その状態でレーザ光L2(L3)を照射すると、回折光120、121、122などがいずれも光軸202からずれ、図3(a)に示すように照射光学系20に入射する光が、複数の回折光に分散される結果、被加工物15に照射される光強度が低下してしまう。
すなわち、出射可能なレーザ光の波長λ2、λ3に対して、共通する回折方向Dと光軸202とを一致させるレーザ発振器1、マイクロミラーアレイ7の位置関係を上記の回折方向の設定方法に基づいて制御部16により算出し、傾斜ステージ4、5の回動位置に対応する制御信号が傾斜ステージ4、5に送出される。
照明光Lobの反射光は、対物レンズ14、半透鏡12、結像レンズ11をそれぞれ透過して半透鏡8で反射され、CCD10により撮像される。そして、照明光Lobによる被加工物15の表面の画像が画像信号150Aとして制御部16に送出される。
制御部16は、この画像信号150Aを画像データに変換して、モニタ9に表示する。そして、操作者がモニタ9の画像を観察し操作部17を通じて加工すべき欠陥部や切断部を指定したり、制御部16により画像データを画像処理して欠陥部や切断部を自動抽出したりして、それら欠陥部や切断部の画像データに対応した加工パターンデータ151を作成する。
この加工パターンデータ151は、レーザ光の照射領域を、マイクロミラーアレイ7の各微小ミラー7bのオン状態に対応させる制御データである。
レーザ加工工程では、制御部16から、レーザ発振器1に対してレーザ光L2を発振する制御信号を送出するとともに、マイクロミラーアレイ7に対して、加工パターンデータ151を送出する。
レーザ光L2は、光減衰器3により光強度が調整され、ホモジナイザ2により断面方向の光強度分布が均一化され、マイクロミラーアレイ7の基準反射面7aに対して一定の入射角θiで入射する。
このとき、オン状態の微小ミラー7bが集まった領域では、回折が起こり、回折次数に応じた方向に回折される。本実施形態では、回折方向Dと正反射方向Rとが一致されているため、回折効率が最大となる状態で光強度が低下することなく、出射角θo(図2参照)の方向に反射され、半透鏡8を透過する。
そして、回折方向Dに一致するように光軸202を配置した結像レンズ11に入射し、対物レンズ14により被加工物15上に結像される。したがって、被加工物15上の加工パターンデータ151に対応した領域に変調光LMが照射される。そのため。加工パターンデータ151に対応する領域が変調光LMによりレーザ加工される。
一方、オフ状態の微小ミラー7bで反射された光は、結像レンズ11に入射しない方向に反射されるので、被加工物15に到達しない。
そして、操作部17から、加工に用いるレーザ光の波長を切り替える操作入力を行い、制御部16によりレーザ光の波長を切り替える制御信号をレーザ発振器1に送出することにより、波長を切り替えてレーザ加工を行うことができる。例えば、レーザ光L2に代えてレーザ光L3を選択して、上記と同様にレーザ加工工程を実行することができる。
その際、レーザ光L3は、波長が異なるため、レーザ光L2と異なった回折パターンで回折されるが、オン状態の微小ミラー7bの正反射方向Rと一致される回折方向Dが波長λ2、λ3で共通のため、レーザ光L3の場合にも、オン状態の微小ミラー7bにより回折方向Dに向けて最も回折効率が高い状態で出射される。
そのため、波長の違いに基づく回折方向の変化に応じて、例えば照射光学系20の設置位置を移動するといった手間をかけることなく、単にレーザ発振器1に波長の切り替えを指示するのみで、異なる波長によるレーザ加工を同様な回折効率で実現することができる。
図6は、本発明の実施形態の変形例のレーザ加工装置の概略構成について説明するための模式的説明図である。
本変形例のレーザ加工装置110は、上記実施形態のレーザ加工装置100の傾斜ステージ5を削除し、マイクロミラーアレイ7をレーザ発振器1に対して相対的な位置関係を固定した変調光発生部30に一体化し、変調光発生部30を傾斜ステージ4により回動可能に保持したものである。マイクロミラーアレイ7の位置は、レーザ光L2、L3の光軸が、基準反射面7aの略中心に一定入射角で入射する位置とされる。
以下、上記実施形態と異なる点を中心に簡単に説明する。
この場合、傾斜ステージ5を削除できるので、簡素な構成となり安価な装置を構成できるという利点がある。
すなわち、複数の高調波を、n個(n≧3)の第uk高調波(ukは互いに異なる整数、k=1,2,…,n)とするとき、これら複数の波長に共通する回折方向として、回折次数が、(uk・mx,uk・my)次(ただし、mx,myは整数)である方向に設定すればよい。
複数の波長は、正確な整数比であることが好ましいが、回折効率の変化が許容範囲であれば、略整数比であってもよい。この場合、それぞれに共通する回折方向は存在しないが、互いに近い回折方向が存在する。したがって、これら互いに近い回折方向の1つもしくは、それらの平均的な回折方向に照射光学系の光軸を一致させることにより、整数比の場合と略同様の作用効果を備えるものである。
略整数比の程度は、回折方向の一致度合によって設定する。例えば、mx、myが大きくなると、整数比のずれに比例して回折方向がずれるので、より厳密な整数比に近づけることが好ましい。一方、mx、myが比較的小さければ、厳密な整数比からのずれていても、回折方向としてのずれ量が小さくなり、良好な回折効率を得ることができる。回折方向のずれ量は、少なくとも照射光学系20の後側角開口よりも小さく設定することが好ましい。
例えば、窒素レーザ(波長λ2=337.1nm)と、YAGレーザの第2高調波(λ3=532nm)とを用いることにより、2つの波長比λ2:λ3が、略整数比5:8となるように構成することができる。
その場合、複数の高調波を、n個(n≧2)の第uk高調波(ukは互いに異なる整数、k=1,2,…,n)とするとき、複数の波長に共通する回折方向として、それぞれの回折次数が、(uk・mx,uk・my)次(ただし、mx,myは整数)である方向に設定すればよい。
また、加工に用いる波長が1種類のみであってもよく、その場合は、適宜の回折方向と照射光学系の光軸とを合わせることができる。
4、5 傾斜ステージ(回動機構)
4a、5a ステージ駆動部
7、601 マイクロミラーアレイ(空間変調素子)
7a 基準反射面
7b 微小ミラー(偏向要素)
11 結像レンズ
14 対物レンズ
15 被加工物
16 制御部
20 照射光学系(変調光照射光学系)
100、110 レーザ加工装置
150A 画像信号
151 加工パターンデータ
202 光軸(変調光照射光学系の光軸)
203 後側角開口
610、620、630 0次回折光
611、621、631 1次回折光
622、632 2次回折光
633 3次回折光
L2、L3 レーザ光
LM 変調光
N 法線
Claims (6)
- レーザ光を発生するレーザ光源と、該レーザ光源により発生されたレーザ光を少なくとも2方向に偏向可能な複数の偏向要素が規則的に配列された空間変調素子と、該空間変調素子により前記少なくとも2方向のうち1つの方向に沿って偏向された変調光を被加工物に照射する変調光照射光学系とを有するレーザ加工装置であって、
前記変調光照射光学系に対する、前記レーザ光源および前記空間変調素子の少なくともいずれかの傾きを可変する回動機構とを備え、
該回動機構により、前記変調光照射光学系の光軸に沿って進む前記変調光の、前記空間変調素子に対する出射角を可変としたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記回動機構が、
前記空間変調素子に対する前記レーザ光源の傾きを変えるように回動することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記回動機構が、
前記変調光照射光学系に対する前記空間変調素子の傾きを変えるように回動することを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ加工装置。 - 前記回動機構の回動位置および前記レーザ光の波長から、前記変調光の回折方向を算出し、該回折方向が前記変調光照射光学系の光軸に一致するように前記回動機構を駆動する回動機構制御部を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 前記レーザ光源が、2つ以上の異なる波長のレーザ光を切り替え可能に発生し、
前記回動機構制御部が、前記それぞれのレーザ光の波長に共通する回折方向に、前記変調光照射光学系の光軸を一致させるようにしたことを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工装置。 - 前記空間変調素子が、
前記複数の偏向要素として、傾斜角を切り替えて前記レーザ光を少なくとも2方向に偏向する複数の微小ミラーを備えるマイクロミラーアレイであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ加工装置。
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