JP2007003385A - 対象設備の診断方法、コンピュータプログラム、及び、対象設備を診断するための装置 - Google Patents

Abstract

【課題】対象となる設備の診断がより正確に行われる対象設備の診断方法、コンピュータプログラム、及び、対象設備を診断するための装置を実現すること。
【解決手段】取得された波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準固有ベクトル、を用いるステップと、を有することを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、対象設備の診断方法、コンピュータプログラム、及び、対象設備を診断するための装置に関する。

対象となる設備の波形データ（振動データ等）を取得して、取得された波形データに基づいて対象設備を診断する方法については、様々なものが知られている。
かかる方法の一例として、取得された波形データの乱れを観測して、設備が正常か否かを判定する方法がある。当該方法においては、例えば、波形データの振幅に対し閾値を設定し、取得された波形データの振幅が閾値を超えた際に、設備が異常な状態へ移行したと判定する。
しかしながら、当該方法は、以下に示す問題点を内包している。すなわち、対象となる設備によっては、当該設備が異常な状態へ移行したとしても、波形データに顕著な乱れが生じない場合があり、前述した閾値を用いた方策では、設備の診断が適切に実行されないことがある。

かかる課題を解決するための方法として、特許第３３８２２４０号公報には、取得された波形データに基づいて主成分得点を求める主成分分析による方法が開示されている。当該方法においては、設備の動作が正常であるとき、例えば、設備の動作初期時、に取得された波形データ、に基づいて、主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルと主成分得点とを求め、以降の設備動作時、例えば、設備の動作中期時や動作後期時、に取得された波形データ、に基づいて主成分得点を求めるときには、設備の動作初期時に取得された波形データ、に基づいて求められた固有ベクトル、を用いる。そして、以降の設備動作時に取得された波形データに基づいて求められた主成分得点を、前記動作初期時に取得された波形データに基づいて求められた主成分得点と比較していくことにより、波形データに顕著な乱れが生じていない場合であっても設備が異常な状態へ移行したかどうかを判定することができる。
特許第３３８２２４０号公報

ところで、対象となる設備の特性として、設備の動作が正常である限りにおいては動作初期時から動作後期時に亘って前記波形データにあまり変化が生じない特性、を有する設備と、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時までの間で前記波形データに顕著に変化が生じ得る特性、を有する設備とがある。例えば、前者の例としては、ポンプのインペラーが一定回転をし続けるポンプシステムを、後者の例としては、金属等の材料をプレス加工するためのプレス加工システムを挙げることができる。

ここで、後者の例について補説すると、当該プレス加工システムにおいては、固定金型部と可動金型部からなる金型を用いて材料が所望の形状となるように当該材料を成形するが、成形が正常に行われたとしても（例えば、材料に割れや亀裂等が発生しなくても）、成形初期時（可動金型の移動初期時）から成形後期時（可動金型の移動後期時）までの間で、金型の振動、換言すれば、金型に設けられたセンサにより取得された波形データ（振動データ）、が顕著に変化する。

そして、前者に係る特性を有する設備の診断のために、特許第３３８２２４０号公報に開示された方法を採用する際には、動作初期時に取得された波形データに基づいて求められた主成分得点と比べて、動作中期時や動作後期時に取得された波形データに基づいて求められた主成分得点が顕著に相違するか否かによって、設備が異常な状態か正常な状態かを判別できる（すなわち、顕著に相違する場合には、設備が異常な状態にあると判別され、相違しない場合には、設備が正常な状態にあると判別される）ため、設備の診断が適切に実行される。

しかしながら、後者に係る特性を有する設備の診断のために、特許第３３８２２４０号公報に開示された方法を採用する際には、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時の間で前記波形データに顕著に変化が生じ得るから、動作中期時や動作後期時に設備の動作が正常であるにも関わらず、動作初期時に取得された波形データに基づいて求められた主成分得点と比べて、動作中期時や動作後期時に取得された波形データに基づいて求められた主成分得点が顕著に相違してしまう可能性がある。したがって、後者に係る特性を有する設備の診断のために、前記方法を採用する場合には、設備の診断が行われたとしても、その正確性は不十分なものとなる。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、対象となる設備の診断がより正確に行われる対象設備の診断方法、コンピュータプログラム、及び、対象設備を診断するための装置を実現することにある。

主たる本発明は、対象となる設備の波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得するステップと、該所定期間において取得された前記波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準固有ベクトル、を用いるステップと、を有することを特徴とする対象設備の診断方法である。

本発明の他の特徴については、本明細書及び添付図面の記載により明らかにする。

本明細書及び添付図面の記載により、少なくとも次のことが明らかにされる。

対象となる設備の波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得するステップと、該所定期間において取得された前記波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準固有ベクトル、を用いるステップと、を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
かかる対象設備の診断方法によれば、対象となる設備の診断がより正確に行われる。

また、求められた前記主成分得点を、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準主成分得点と、比較するステップ、を有することとしてもよい。
かかる場合には、主成分得点が基準主成分得点と比較されることにより、対象となる設備の診断が、より適切に実施される。

また、対象となる設備の波形データを前記所定期間において取得するステップにおいては、複数個の前記所定期間において、複数個の前記波形データを取得し、前記主成分得点を求めるステップにおいては、複数個の前記波形データの各々に基づいて、主成分得点を求めることとしてもよい。
かかる場合には、対象となる設備に異常が生じたかどうかを確実に把握することが可能となる。

次に、対象となる設備の波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得するステップと、該所定期間において取得された前記波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さのうちの一の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さとの相関係数を求めるステップと、求められた前記相関係数を、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準相関係数と、比較するステップと、を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
かかる対象設備の診断方法によれば、対象となる設備の診断がより正確に行われる。

また、対象となる設備の波形データを前記所定期間において取得するステップにおいては、複数個の前記所定期間において、複数個の前記波形データを取得し、前記相関係数を求めるステップにおいては、複数個の前記波形データの各々に基づいて、相関係数を求めることとしてもよい。
かかる場合には、対象となる設備に異常が生じたかどうかを確実に把握することが可能となる。

また、複数個の前記所定期間のうちの一の前記所定期間、の終期が他の前記所定期間の始期と一致するように、複数個の前記所定期間が選択されていることとしてもよい。
かかる場合には、診断に要する時間が短くなる。

また、複数個の前記所定期間のうちの一の前記所定期間、の一部が他の前記所定期間の一部と重なるように、複数個の前記所定期間が選択されていることとしてもよい。
かかる場合には、各所定期間の境目で対象となる設備に異常が生じた場合に診断が適切に行われない不都合を防止することが可能となる。

次に、対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップと、前記第一波形データ及び前記第二波形データを、Ｔ個の第一分割波形データ及びＴ個の第二分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の第一分割波形データ及び前記Ｔ個の第二分割波形データの各々をフーリエ変換して、Ｔ個の第一周波数スペクトル及びＴ個の第二周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の第一周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求め、かつ、前記Ｔ個の第二周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルを求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の第二周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた固有ベクトル、を用いるステップと、を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
かかる対象設備の診断方法によれば、対象となる設備の診断がより正確に行われる。

また、前記固有ベクトルを求めるステップにおいては、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、前記固有ベクトルと共に、主成分得点を前記Ｔ個の第一周波数スペクトル毎に求め、前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて主成分得点を求めるステップにおいて求められた主成分得点を、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた主成分得点と比較するステップ、を有することとしてもよい。
かかる場合には、第二周波数スペクトルの強さに基づいて求められた主成分得点が、第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた主成分得点と比較されることにより、対象となる設備の診断が、より適切に実施される。

次に、対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップと、前記第一波形データ及び前記第二波形データを、Ｔ個の第一分割波形データ及びＴ個の第二分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の第一分割波形データ及び前記Ｔ個の第二分割波形データの各々をフーリエ変換して、Ｔ個の第一周波数スペクトル及びＴ個の第二周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の第一周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求め、かつ、前記Ｔ個の第二周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた第一周波数スペクトルの強さのうちの一の分割周波数帯に対応した第一周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した第一周波数スペクトルの強さとの第一相関係数を求め、かつ、前記分割周波数帯毎に求められた第二周波数スペクトルの強さのうちの一の分割周波数帯に対応した第二周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した第二周波数スペクトルの強さとの第二相関係数を求めるステップと、前記第二相関係数を、前記第一相関係数と、比較するステップと、を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
かかる対象設備の診断方法によれば、対象となる設備の診断がより正確に行われる。

また、対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップ、に代えて、対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の、前記第一所定期間の後に到来する第二所定期間であって、該第二所定期間の一部が前記第一所定期間の一部と重なる第二所定期間、において取得するステップ、とすることとしてもよい。
かかる場合には、対象となる設備の診断がより一層正確に行われる。

また、前記対象となる設備は、物を加工するための加工システムであることとしてもよい。
かかる場合には、上述した効果、すなわち、対象となる設備の診断がより正確に行われる効果、がより有効に発揮される。

また、前記波形データは、振動データであることとしてもよい。

次に、対象となる設備の波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得するステップと、該所定期間において取得された前記波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準固有ベクトル、を用いるステップと、求められた前記主成分得点を、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準主成分得点と、比較するステップ、を有し、対象となる設備の波形データを前記所定期間において取得するステップにおいては、複数個の前記所定期間において、複数個の前記波形データを取得し、前記主成分得点を求めるステップにおいては、複数個の前記波形データの各々に基づいて、主成分得点を求め、複数個の前記所定期間のうちの一の前記所定期間、の終期が他の前記所定期間の始期と一致するように、複数個の前記所定期間が選択されており、前記対象となる設備は、物を加工するための加工システムであり、前記波形データは、振動データであることを特徴とする対象設備の診断方法。
このようにすれば、既述の殆どの効果を奏するため、本発明の目的がより有効に達成される。

次に、対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップと、前記第一波形データ及び前記第二波形データを、Ｔ個の第一分割波形データ及びＴ個の第二分割波形データに分割するステップと、前記Ｔ個の第一分割波形データ及び前記Ｔ個の第二分割波形データの各々をフーリエ変換して、Ｔ個の第一周波数スペクトル及びＴ個の第二周波数スペクトルを得るステップと、前記Ｔ個の第一周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求め、かつ、前記Ｔ個の第二周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルを求めるステップと、前記分割周波数帯毎に求められた前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の第二周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた固有ベクトル、を用いるステップと、を有し、前記固有ベクトルを求めるステップにおいては、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、前記固有ベクトルと共に、主成分得点を前記Ｔ個の第一周波数スペクトル毎に求め、前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて主成分得点を求めるステップにおいて求められた主成分得点を、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた主成分得点と比較するステップ、を有し、前記対象となる設備は、物を加工するための加工システムであり、前記波形データは、振動データであることを特徴とする対象設備の診断方法。
このようにすれば、既述の殆どの効果を奏するため、本発明の目的がより有効に達成される。

また、上述した対象設備の診断方法を実現するためのコンピュータプログラムも実現可能である。
かかるコンピュータプログラムによれば、対象となる設備の診断がより正確に行われる。

また、対象となる設備の波形データを取得するためのセンサと、上述したコンピュータプログラムを備えたコンピュータと、を有することを特徴とする対象設備を診断するための装置も実現可能である。
かかる対象設備を診断するための装置によれば、対象となる設備の診断がより正確に行われる。

＝＝＝対象設備の診断方法に係る第一実施形態＝＝＝
先ず、図１乃至図８Ｂを用いて、対象設備の診断方法に係る第一実施形態について説明する。図１は、対象設備の診断方法に係る第一実施形態を示すフローチャートである。図２は、振動データの取得に係る所定期間を説明するための説明図である。図３は、振動データの、分割振動データへの分割、を説明するための説明図である。図４乃至図８Ｂについては、後述する。

なお、本項では、対象となる設備として、発明が解決しようとする課題の項で説明した、物を加工するための加工システム（本明細書において、当該加工システムは、物、すなわち、被加工物、及び、加工装置の双方を含むものである）、例えば、固定金型部と可動金型部からなる金型を用いて材料が所望の形状となるように当該材料を成形するためのプレス加工システム、を例に挙げて説明する。

本フローチャートは、対象となる設備の波形データとして、プレス加工システムの振動データを、プレス加工システムが動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得することから始まる（ステップＳ２）。なお、本例において、振動データは、金型に設けられたセンサにより取得される。

また、本実施の形態においては、複数個（Ｎ個）の前記所定期間において、複数個（Ｎ個）の振動データを取得する。これについて、図２を用いて、具体的に説明する。図２には、プレス加工システムの動作期間が時間軸で示されており、当該時間軸の左端が、プレス加工システムが動作し始める時であり、時間軸の右端が、プレス加工システムが動作し終える時である。そして、図２に示すように、当該動作期間の中から、プレス加工システムの診断を実行する期間（以下、解析時間帯とも呼ぶ）を決定し（例えば、解析時間帯として、可動金型が材料に接触してから材料の成形が終了するまでの期間を選択する）、決定された解析時間帯の中から前述した複数個（Ｎ個）の所定期間を選択する。ここで、本実施の形態においては、解析時間帯をＮ個に分割して、分割された時間帯の各々を前記所定期間とする。すなわち、複数個の所定期間のうちの一の所定期間、の終期が他の所定期間の始期と一致するように、複数個の所定期間が選択される。そして、複数個（Ｎ個）の所定期間（すなわち、第一時間帯、第二時間帯、第三時間帯、・・・第ｎ時間帯）において、複数個（Ｎ個）の振動データが取得される。

次に、図３に示すように、第一時間帯（図２）において取得された振動データをＴ個の分割波形データの一例としての分割振動データに分割する（時間軸方向における分割、ステップＳ４）。そして、Ｔ個の分割振動データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得る（ステップＳ６）。さらに、Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求める（周波数軸方向における分割、ステップＳ８）。

図４及び図５は、第一時間帯において取得された振動データの、前記時間軸方向及び周波数軸方向における分割、の様子を示した説明図と表である。これらの図から明らかなように、ステップＳ４からステップＳ８までの手順により、第一時間帯において取得された振動データに基づいて、Ｔ×Ｐ個の周波数スペクトルの強さが求められる。なお、Ｔ×Ｐ個の周波数スペクトルの強さの各々を、Ｘｉｊ（ｉ＝１、・・・ｔ、ｊ＝１、・・・ｐ）とし、Ｐ個の分割周波数帯の各々の中心周波数を、ｆｊ（ｊ＝１、・・・ｐ）とする。

次に、分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さＸｉｊに基づいて、主成分得点を、Ｔ個の周波数スペクトル毎に求める（ステップＳ１０）。
かかる際に、先ず、周波数スペクトルの強さＸ１１、・・・Ｘ１ｐの平均（Ａｖｅ）と分散（Ｖａｒ）を求め、算出式：Ｘ´１ｊ＝（Ｘ１ｊ−Ａｖｅ）／Ｖａｒにより、標準化された周波数スペクトルの強さＸ´１１、・・・・Ｘ´１ｐを求める。そして、この手順を、Ｘ２１、・・・Ｘ２ｐ、Ｘ３１、・・・Ｘ３ｐ、・・・、Ｘｔ１、・・・Ｘｔｐに対してそれぞれ行い、Ｔ×Ｐ個の標準化された周波数スペクトルの強さＸ´ｉｊを得る。

そして、Ｘ´ｉｊをベクトルで表して、当該ベクトルをＸ´とすると、主成分得点Ｚは、算出式：Ｚ＝Ａ（固有ベクトル）・Ｘ´により、算出される。なお、Ｚ（ベクトル）＝（Ｚ１、Ｚ２、・・・Ｚｍ）とし、Ｘ´（ベクトル）＝（Ｘ´１、Ｘ´２、・・・Ｘ´ｐ）として、当該算出式を書き下ろすと、以下のようになる。
第１主成分得点Ｚ１＝ａ１１・Ｘ´１＋ａ１２・Ｘ´２…＋ａ１ｐ・Ｘ´ｐ
第２主成分得点Ｚ２＝ａ２１・Ｘ´１＋ａ２２・Ｘ´２…＋ａ２ｐ・Ｘ´ｐ
・・・
第ｍ主成分得点Ｚｍ＝ａｍ１・Ｘ´１＋ａｍ２・Ｘ´２…＋ａｍｐ・Ｘ´ｐ
このようにして、主成分得点Ｚが、Ｔ個の周波数スペクトル毎に算出される。

なお、主成分得点Ｚは、上述のとおり、固有ベクトルＡを用いることにより算出されるが、本実施の形態においては、当該主成分得点Ｚを求める際に使用する固有ベクトルＡとして、プレス加工システムの動作が正常であるときに、前記所定期間、すなわち、第一時間帯、に取得された振動データ（基準振動データとも呼ぶ）、に基づいて予め求めておいた基準固有ベクトルＡｂ、を用いる。

上記について、より具体的に説明する。固有ベクトルＡは、取得された振動データの周波数スペクトルの強さＸｉｊから求められる相関行列Ｃ、を含んだ固有方程式ＣＡ＝λＡから、算出される。したがって、ステップＳ２において第一時間帯に取得された振動データに基づいて、固有ベクトル（当該固有ベクトルを、前述した基準固有ベクトルＡｂと区別するために、診断時固有ベクトルＡｄと呼ぶ）を求めることは可能である。しかしながら、本実施の形態においては、当該診断時固有ベクトルＡｄを求めることなく、プレス加工システムの動作が正常であるときに第一時間帯に取得された基準振動データに基づいて予め求めておいた基準固有ベクトルＡｂを、主成分得点Ｚを求める際に使用する（すなわち、主成分得点Ｚは、算出式：Ｚ＝Ａｄ・Ｘ´ではなく、算出式：Ｚ＝Ａｂ・Ｘ´により、算出される）。

なお、基準固有ベクトルＡｂは、ブレス加工システムの動作が正常であるときに取得された振動データ、に基づいて予め求めておく（換言すれば、振動データを取得した後に、ブレス加工システムの動作が正常であったことを確認した上で、基準固有ベクトルＡｂを、取得した振動データに基づいて求める）が、当該振動データを、必ず、前述した第一時間帯に取得することとする。例えば、当該第一時間帯が、プレス加工システムの動作開始からｔ１秒後に開始してからｔ２秒後に終了する時間帯である場合には、当該時間帯に取得された振動データに基づいて、基準固有ベクトルＡｂを求める。また、基準固有ベクトルＡｂを求めるときには、基準振動データに基づいて求められた周波数スペクトルの強さＸｉｊと、前記基準固有ベクトルＡｂと、により、基準主成分得点Ｚを併せて求めておく。

次に、ステップＳ１０において求められた主成分得点（以下、当該主成分得点を、診断時主成分得点Ｚｄとも呼ぶ）を、前記基準主成分得点（以下、基準主成分得点を、記号Ｚｂで表す）と、比較する（ステップＳ１２）。比較方法の一例を、以下で説明する。

前述したとおり、ステップＳ１０においてＴ個の周波数スペクトル毎の診断時主成分得点Ｚｄが算出される。すなわち、Ｔ個の診断時主成分得点Ｚｄが得られることとなる。また、基準主成分得点Ｚｂも、Ｔ個の周波数スペクトル毎に、Ｔ個得られる。

かかる状況で、診断時主成分得点Ｚｄと基準主成分得点Ｚｂとから、双方の相違度合いの指標としてのＤＩ値を求める。ＤＩ値は、Ｔ個の診断時主成分得点Ｚｄの平均値とＴ個の基準主成分得点Ｚｄの平均値との差の絶対値を、Ｔ個の診断時主成分得点Ｚｄの分散とＴ個の基準主成分得点Ｚｄの分散との和の平方根で除する（割る）ことにより、算出される。そして、算出されたＤＩ値を、予め設定された閾値と比較することにより、前記第一時間帯においてプレス加工システムに異常が発生していないかどうかを判定することができる。すなわち、ＤＩ値＞閾値であれば、第一時間帯においてプレス加工システムに異常が発生し（例えば、材料に割れや亀裂が発生する）、ＤＩ値＜閾値であれば、第一時間帯においてプレス加工システムに異常が発生していないと判定される。

なお、前述したとおり、主成分得点には、第１主成分得点、第２主成分得点など複数のものがあるが、このうちの一つ（例えば、第１主成分得点）に対して前記手順を実施してもよいし、複数（第１主成分得点から第ｍ主成分得点まで）に対して前記手順を実施してもよい。また、上記においては、診断時主成分得点Ｚｄと基準主成分得点Ｚｂの相違度合いの指標として、ＤＩ値を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、当該指標として、相関係数を用いてもよい。

次に、第二時間帯において取得された振動データ、第三時間帯において取得された振動データ、・・・第ｎ時間帯において取得された振動データ、の各々に対し、前述したステップＳ４からステップＳ１２までの手順を実施する（ステップＳ１４）。これにより、複数の振動データの各々に基づいて、診断時主成分得点Ｚｄが求められ、求められた診断時主成分得点Ｚｄが、基準主成分得点Ｚｂと比較される。

図６に、本実施の形態に係る診断方法を、実際に、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示す。本診断においては、診断を１６回行っており（より具体的には、プレス加工システムを１６回動作させて、１６回の動作の各々に対してＤＩ値を求めている）、したがって、１６個のデータ（折れ線グラフ）が、図に表示されている。また、本図においては、第一時間帯から第ｎ時間帯（本図においては、ｎ＝６９）までを横軸に、前述したＤＩ値を縦軸にとっている。なお、本診断においては、複数の主成分得点（第１主成分得点から第ｍ主成分得点まで）を算出し、それぞれに対しＤＩ値を求めているため、一つの時間帯あたり複数のＤＩ値が存在するが、これらの複数のＤＩ値のうちの最大のＤＩ値を前記時間帯毎に抽出し、抽出されたＤＩ値を図に表示している。また、本診断においては、ＤＩ値の前記閾値を３としている。

図６から明らかなように、本診断では、１６回行われた診断のうち８回目の診断のみにおいて、ＤＩ値が閾値を超える結果が得られた。そして、第６４時間帯において、ＤＩ値が閾値を超えているため、８回目の診断の当該時間帯において、プレス加工システムに異常が生じたことがわかる。

また、診断の終了後に、プレス加工により得られた成形品を目視したところ、８回目のプレス加工により生じた成形品のみに割れが見られた（他の成形品には、割れ等が見られなかった）。このことにより、本実施の形態に係る診断方法が有効であることがわかる。

発明が解決しようとする課題の項で述べたとおり、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時までの間で振動データに顕著に変化が生じ得る特性、を有する設備（例えば、前述したプレス加工システム）の診断のために、従来の方法（特許第３３８２２４０号公報に開示された方法）を採用する際には、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時の間で振動データに顕著に変化が生じ得るから、動作中期時や動作後期時に設備の動作が正常であるにも関わらず、動作初期時に取得された振動データに基づいて求められた主成分得点と比べて、動作中期時や動作後期時に取得された振動データに基づいて求められた主成分得点が顕著に相違してしまう可能性がある。したがって、当該特性を有する設備の診断のために、従来の方法を採用する場合には、設備の診断が行われたとしても、その正確性は不十分なものとなる。

これに対し、当該特性を有する設備の診断のために、本件の方法を採用する場合には、設備の動作期間のうちのある所定期間において取得された振動データに基づいて診断時主成分得点Ｚｄを求める際に、当該所定期間と同じ期間において取得された基準振動データに基づいて求められた基準固有ベクトルＡｂを用い、また、前記診断時主成分得点Ｚｄが、前記基準振動データに基づいて求められた基準主成分得点Ｚｂと比較されるから、上述した問題から解放され、前記所定期間において設備の動作が異常である場合には、基準主成分得点Ｚｂと比べて診断時主成分得点Ｚｄが顕著に相違し、前記所定期間において設備の動作が正常である場合には、基準主成分得点Ｚｂと比べて診断時主成分得点Ｚｄがあまり相違しないこととなる。したがって、本件の方法を採用する場合には、対象となる設備の診断がより正確に行われることとなる。

なお、上記においては、ステップＳ１４において、第二時間帯において取得された振動データ、第三時間帯において取得された振動データ、・・・第ｎ時間帯において取得された振動データ、の各々に対し、ステップＳ４からステップＳ１２までの手順を実施することとしたが、当該ステップ１４が省略されていても構わない。すなわち、上記においては、プレス加工システムの振動データを前記所定期間において取得するステップにおいて、複数個の前記所定期間において、複数個の振動データを取得し、主成分得点を求めるステップにおいては、複数個の振動データの各々に基づいて、主成分得点を求めることとしたが、これに限定されるものではなく、第一時間帯乃至第ｎ時間帯のうちの一を前記所定時間として、一回だけ、ステップＳ４からステップＳ１２までの手順を実施することとしてもよい。
ただし、プレス加工システムに異常が生じたかどうかを確実に把握することが可能となる点で、上記実施形態の方がより望ましい。

＜＜＜対象設備の診断方法に係る第一実施形態の変形例＞＞＞
ここでは、図７乃至図８Ｂを用いて、対象設備の診断方法に係る第一実施形態の変形例について説明する。図７は、対象設備の診断方法に係る第一実施形態の変形例を示すフローチャートである。図８Ａ及び図８Ｂについては、後述する。

図７に示されるように、本変形例と前述した第一実施形態を比較すると、前述したステップＳ８までの手順は、双方で同様となる。すなわち、本変形例では、先ず、前述したステップＳ２〜ステップＳ８と同様の手順を実施して（ステップＳ１０２〜ステップＳ１０８）、第一時間帯において取得された振動データに基づいて、Ｔ×Ｐ個の周波数スペクトルの強さＸｉｊ（ｉ＝１、・・・ｔ、ｊ＝１、・・・ｐ）を求める。

次に、本変形例では、主成分得点の算出に代えて、分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さＸｉｊのうちの一の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さとの相関係数を求める（ステップＳ１１０）。

当該相関係数の求め方について、具体的に説明する。先ず、第一分割周波数帯（中心周波数ｆ１）に対応した周波数スペクトルの強さＸ１１、Ｘ２１、・・・Ｘｔ１と、第二分割周波数帯（中心周波数ｆ２）に対応した周波数スペクトルの強さＸ１２、Ｘ２２、・・・Ｘｔ２から、相関係数Ｒ１２（双方の共分散を各々の標準偏差で除したもの）を求める。同様に、第一分割周波数帯（中心周波数ｆ１）に対応した周波数スペクトルの強さと、第三分割周波数帯（中心周波数ｆ３）、第四分割周波数帯（中心周波数ｆ４）、・・・第ｐ分割周波数帯（中心周波数ｆｐ）に対応した周波数スペクトルの強さから、相関係数Ｒ１３、Ｒ１４、・・・Ｒ１ｐを求め、さらに、第二分割周波数帯（中心周波数ｆ２）、第三分割周波数帯（中心周波数ｆ３）、・・・第ｐ−１分割周波数帯（中心周波数ｆｐ−１）を基準として、同様の計算を行い、相関係数Ｒ２３、・・・Ｒ２ｐ、Ｒ３４・・・、Ｒ３ｐ、・・・、Ｒ（ｐ−１）ｐを得る。そして、最終的には、Ｐ・（Ｐ−１）／２個の相関係数が、算出されることとなる。

次に、求められた相関関数（以下、当該相関関数を、診断時相関関数Ｒｄとも呼ぶ）を、プレス加工システムの動作が正常であるときに、前記所定期間、すなわち、第一時間帯、に取得された振動データ（基準振動データとも呼ぶ）、に基づいて、上記手順と同様の手順を用いて予め求めておいた基準相関係数Ｒｂと、比較する（ステップＳ１１２）。比較方法の一例を、以下で説明する。

前述したとおり、ステップＳ１１０においてＰ・（Ｐ−１）／２個の診断時相関係数Ｒｄが算出される。また、基準相関係数Ｒｄも、Ｐ・（Ｐ−１）／２個得られる。
かかる状況で、診断時相関関数Ｒｄと基準相関係数Ｒｂとから、双方の相違度合いの指標としての差（すなわち、Ｒｄ−Ｒｂ）を求める。なお、差は、Ｐ・（Ｐ−１）／２個の相関係数の各々毎に、算出される（すなわち、Ｒｄ１２−Ｒｂ１２、Ｒｄ１３−Ｒｂ１３、・・・）。そして、算出された差を、予め設定された閾値と比較することにより、前記第一時間帯においてプレス加工システムに異常が発生していないかどうかを判定することができる。すなわち、差＞閾値であれば、第一時間帯においてプレス加工システムに異常が発生し（例えば、材料に割れや亀裂が発生する）、差＜閾値であれば、第一時間帯においてプレス加工システムに異常が発生していないと判定される。なお、上記においては、診断時相関関数Ｒｄと基準相関係数Ｒｂの相違度合いの指標として、差を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、当該指標として、前述したＤＩ値や相関係数を用いてもよい。

次に、第二時間帯において取得された振動データ、第三時間帯において取得された振動データ、・・・第ｎ時間帯において取得された振動データ、の各々に対し、前述したステップＳ１０４からステップＳ１１２までの手順を実施する（ステップＳ１１４）。これにより、複数の振動データの各々に基づいて、診断時相関関数Ｒｄが求められ、求められた診断時相関関数Ｒｄが、基準相関係数Ｒｂと比較される。

図８Ａ及び図８Ｂに、本変形例に係る診断方法を、実際に、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示す。本診断においては、診断を２回行っており（より具体的には、プレス加工システムを２回動作させて、２回の動作の各々に対して相関係数を求めている）、一回目の診断結果が図８Ａに、二回目の診断結果が図８Ｂに、それぞれ示されている。また、これらの図においては、前述したＰ・（Ｐ−１）／２個（当該例においては、Ｐ＝４９）の差のうち、第六分割周波数帯を基準とした４３個の差（Ｒｄ６７−Ｒｂ６７、Ｒｄ６８−Ｒｂ６８、・・・Ｒｄ６ｐ−Ｒｂ６ｐ）が、Ｎ個の時間帯のうちの一の時間帯において示されている。また、本診断においては、差の絶対値の前記閾値を１としている。

図８Ａ及び図８Ｂから明らかなように、本診断では、２回行われた診断のうち、１回目の診断のみにおいて、差の絶対値が閾値を超える結果が得られた。したがって、１回目の診断においては、プレス加工システムに異常が生じ、２回目の診断においては、プレス加工システムに異常が生じなかったことがわかる。

また、診断の終了後に、プレス加工により得られた成形品を目視したところ、１回目のプレス加工により生じた成形品のみに割れが見られた（２回目のプレス加工により生じた成形品には、割れ等が見られなかった）。このことにより、本変形例に係る診断方法が有効であることがわかる。

このように、当該変形例においても、診断時パラメータ（すなわち、診断時相関関数Ｒｄ）が、当該所定期間と同じ期間において取得された基準振動データに基づいて求められた基準パラメータ（すなわち、基準相関関数Ｒｂ）と比較されるから、第一実施形態に係る効果と同様の効果が発揮される。

なお、上記においては、ステップＳ１１４において、第二時間帯において取得された振動データ、第三時間帯において取得された振動データ、・・・第ｎ時間帯において取得された振動データ、の各々に対し、ステップＳ１０４からステップＳ１１２までの手順を実施することとしたが、当該ステップＳ１１４が省略されていても構わない。すなわち、上記においては、プレス加工システムの振動データを前記所定期間において取得するステップにおいて、複数個の前記所定期間において、複数個の振動データを取得し、相関係数を求めるステップにおいては、複数個の振動データの各々に基づいて、相関係数を求めることとしたが、これに限定されるものではなく、第一時間帯乃至第ｎ時間帯のうちの一を前記所定時間として、一回だけ、ステップＳ１０４からステップＳ１１２までの手順を実施することとしてもよい。
ただし、プレス加工システムに異常が生じたかどうかを確実に把握することが可能となる点で、上記実施形態の方がより望ましい。

＝＝＝対象設備の診断方法に係る第二実施形態＝＝＝
次に、図９乃至図１２Ｂを用いて、対象設備の診断方法に係る第二実施形態について説明する。図９は、対象設備の診断方法に係る第二実施形態を示すフローチャートである。図１０乃至図１２Ｂについては、後述する。

なお、本項でも、対象となる設備として、発明が解決しようとする課題の項で説明した、物を加工するための加工システム、例えば、固定金型部と可動金型部からなる金型を用いて材料が所望の形状となるように当該材料を成形するためのプレス加工システム、を例に挙げて説明する。

本フローチャートは、対象となる設備の波形データとして、プレス加工システムの第一振動データを、プレス加工システムが動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、プレス加工システムの第二振動データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得することから始まる（ステップＳ２０２）。

本実施の形態においては、図２に示した解析時間帯において、プレス加工システムの振動データを取得し、先ず、解析時間帯の中の第一時間帯を前記第一所定期間とし（第一時間帯に対応した振動データが前述した第一振動データとなる）、第二時間帯を前記第二所定期間とする（第二時間帯に対応した振動データが前述した第二振動データとなる）。

そして、第一振動データと第二振動データに対し、ステップＳ４〜ステップＳ８と同様の手順を実施する。すなわち、第一振動データ及び第二振動データを、Ｔ個の第一分割振動データ及びＴ個の第二分割振動データに分割し（時間軸方向における分割、ステップＳ２０４）、Ｔ個の第一分割波形データ及びＴ個の第二分割波形データの各々をフーリエ変換して、Ｔ個の第一周波数スペクトル及びＴ個の第二周波数スペクトルを得る（ステップＳ２０６）。さらに、Ｔ個の第一周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求め、かつ、Ｔ個の第二周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求める（周波数軸方向における分割、ステップＳ２０８）。なお、ここでは、求められた第一周波数スペクトルの強さの各々を、Ｘｉｊ（ｉ＝１、・・・ｔ、ｊ＝１、・・・ｐ）、第二周波数スペクトルの強さの各々を、Ｙｉｊ（ｉ＝１、・・・ｔ、ｊ＝１、・・・ｐ）とする。

次に、分割周波数帯毎に求められた第一周波数スペクトルの強さＸｉｊに基づいて、主成分得点を、第一実施形態において示した手順と同様の手順を用いて、Ｔ個の周波数スペクトル毎に求める（ステップＳ２１０）。すなわち、先ず、第一周波数スペクトルの強さＸｉｊから標準化された第一周波数スペクトルの強さＸ´ｉｊを得る。そして、主成分得点Ｚを、算出式：Ｚ＝Ａ（固有ベクトル）・Ｘ´により、算出する。なお、ここで用いられる固有ベクトルＡは、第一周波数スペクトルの強さＸｉｊに基づいて求められたものであり、主成分得点Ｚを求める前に、求める必要がある。

次に、分割周波数帯毎に求められた第二周波数スペクトルの強さＹｉｊに基づいて、主成分得点を、第一実施形態において示した手順と同様の手順を用いて、Ｔ個の周波数スペクトル毎に求める（ステップＳ２１２）。すなわち、先ず、第二周波数スペクトルの強さＹｉｊから、標準化された第二周波数スペクトルの強さＹ´ｉｊを得て、主成分得点Ｚを、算出式：Ｚ＝Ａ（固有ベクトル）・Ｙ´により、算出する。なお、ここでは、主成分得点Ｚを求める際に使用する固有ベクトルとして、第二周波数スペクトルの強さＹｉｊに基づいて求められたものではなく、前述した固有ベクトルＡ、すなわち、第一周波数スペクトルの強さＸｉｊに基づいて求められた固有ベクトルＡ、を用いる。

次に、ステップＳ２１２において求められた主成分得点（第二周波数スペクトルの強さＹｉｊに基づいて求められた主成分得点）を、ステップＳ２１０において求められた主成分得点（第一周波数スペクトルの強さＸｉｊに基づいて求められた主成分得点）と、第一実施形態において示した手順と同様の手順を用いて比較する（ステップＳ２１４）。すなわち、双方の主成分得点からＤＩ値を算出し、算出したＤＩ値を予め設定された閾値と比較する。そして、ＤＩ値＞閾値であれば、第二時間帯においてプレス加工システムに異常が発生し（例えば、材料に割れや亀裂が発生する）、ＤＩ値＜閾値であれば、第二時間帯においてプレス加工システムに異常が発生していないと判定される。

なお、第１主成分得点、第２主成分得点など複数の主成分得点、のうちの一つ（例えば、第１主成分得点）に対して前記手順を実施してもよいし、複数（第１主成分得点から第ｍ主成分得点まで）に対して前記手順を実施してもよいことについては、第一実施形態と同様である。また、第一実施形態と同様、双方の主成分得点の相違度合の指標として、ＤＩ値ではなく、相関係数を用いてもよい。

次に、前述した解析時間帯の中の第二時間帯を前記第一所定期間とし（第二時間帯に対応した振動データが前述した第一振動データとなる）、第三時間帯を前記第二所定期間として（第三時間帯に対応した振動データが前述した第二振動データとなる）、前述したステップＳ２０４からステップＳ２１４までの手順を実施する。そして、第ａ時間帯（ａ＝３，４・・・）を前記第一所定期間とし第ａ＋１時間帯を前記第二所定期間として、同様の手順を、ａ＋１＝ｎとなるまで、繰り返す（ステップＳ２１６）。これにより、第三時間帯から第ｎ時間帯までの各々の時間帯において、プレス加工システムに異常が発生したか否かが判定される。

図１０Ａ及び図１０Ｂに、本実施の形態に係る診断方法を、実際に、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示す。本診断においては、診断を２回行っており（より具体的には、プレス加工システムを２回動作させて、２回の動作の各々に対してＤＩ値を求めている）、一回目の診断結果が図１０Ａに、二回目の診断結果が図１０Ｂに、それぞれ示されている。また、本図においては、第二時間帯から第ｎ時間帯（本図においては、ｎ＝６９）までを横軸に、前述したＤＩ値を縦軸にとっている。なお、本診断においては、複数の主成分得点（第１主成分得点から第ｍ主成分得点まで）を算出し、それぞれに対しＤＩ値を求めているため、一つの時間帯あたり複数のＤＩ値が存在するが、これらの複数のＤＩ値のうちの最大のＤＩ値を前記時間帯毎に抽出し、抽出されたＤＩ値を図に表示している。また、本診断においては、ＤＩ値の前記閾値を２としている。

図１０Ａ及び図１０Ｂから明らかなように、本診断では、２回行われた診断のうち、１回目の診断のみにおいて、ＤＩ値が閾値を超える結果が得られた。そして、第７、第１０、及び、第１１時間帯において、ＤＩ値が閾値を超えているため、１回目の診断の当該時間帯において、プレス加工システムに異常が生じたことがわかる。

また、診断の終了後に、プレス加工により得られた成形品を目視したところ、１回目のプレス加工により生じた成形品のみに割れが見られた（２回目のプレス加工により生じた成形品には、割れ等が見られなかった）。このことにより、本実施の形態に係る診断方法が有効であることがわかる。

上述したとおり、第一実施形態においては、ある所定期間において取得された振動データに対応する主成分得点、を求めるための固有ベクトルと、求められた主成分得点の比較対象となる主成分得点として、当該所定期間と同じ期間において設備の動作が正常であるときに予め取得された基準振動データ、に対応するもの（固有ベクトル及び主成分得点）を用いたが、第二の実施の形態においては、ある所定期間（すなわち、前記第二所定期間）において取得された振動データ（すなわち、前記第二振動データ）に対応する主成分得点、を求めるための固有ベクトルと、求められた主成分得点の比較対象となる主成分得点として、その終期が前記第二所定期間の始期と一致する、換言すれば、第二所定期間の一つ前であり第二所定期間と隣接する所定期間（すなわち、前記第一所定期間）において取得された振動データ（すなわち、前記第一振動データ）に基づいて求められたもの（固有ベクトル及び主成分得点）を用いることとした。このようにしても、第一実施形態と同様、前述した課題を解決することができる。

すなわち、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時までの間で振動データに顕著に変化が生じ得る特性、を 有する設備（例えば、前述したプレス加工システム）の診断のために、従来の方法（特許第３３８２２４０号公報に開示された方法）を採用する際には、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時の間で振動データに顕著に変化が生じ得るから、動作中期時や動作後期時に設備の動作が正常であるにも関わらず、動作初期時に取得された振動データに基づいて求められた主成分得点と比べて、動作中期時や動作後期時に取得された振動データに基づいて求められた主成分得点が顕著に相違してしまう可能性がある。したがって、当該特性を有する設備の診断のために、従来の方法を採用する場合には、設備の診断が行われたとしても、その正確性は不十分なものとなる。

これに対し、当該特性を有する設備の診断のために、本件の方法を採用する場合には、前記第一所定期間が、前記第二所定期間の一つ前であり当該第二所定期間と隣接する期間であるから、設備の動作が正常である限りにおいては第一所定期間と第二所定期間との間で振動データに顕著な変化が生じず、したがって、第二所定期間において設備の動作が正常である場合には、第一振動データに基づいて求められた主成分得点と比べて第二振動データに基づいて求められた主成分得点があまり相違しないこととなる。一方、第二所定期間において設備の動作が異常である場合には、第一振動データに基づいて求められた主成分得点と比べて第二振動データに基づいて求められた主成分得点が顕著に相違するから、本件の方法を採用する場合には、対象となる設備の診断がより正確に行われることとなる。

＜＜＜対象設備の診断方法に係る第二実施形態の変形例＞＞＞
ここでは、図１１乃至図１２Ｂを用いて、対象設備の診断方法に係る第二実施形態の変形例について説明する。図１１は、対象設備の診断方法に係る第二実施形態の変形例を示すフローチャートである。図１２Ａ及び図１２Ｂについては、後述する。

図１１に示されるように、本変形例と前述した第二実施形態を比較すると、前述したステップＳ２０８までの手順は、双方で同様となる。すなわち、本変形例では、先ず、前述したステップＳ２０２〜ステップＳ２０８と同様の手順を実施して（ステップＳ３０２〜ステップＳ３０８）、第一時間帯において取得された第一振動データに基づいて、Ｔ×Ｐ個の第一周波数スペクトルの強さＸｉｊ（ｉ＝１、・・・ｔ、ｊ＝１、・・・ｐ）を求め、かつ、第二時間帯において取得された第二振動データに基づいて、Ｔ×Ｐ個の第二周波数スペクトルの強さＹｉｊ（ｉ＝１、・・・ｔ、ｊ＝１、・・・ｐ）を求める。

次に、本変形例では、主成分得点の算出に代えて、分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さのうちの一の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さとの相関係数を求める。

当該相関係数の求め方について、具体的に説明する。先ず、第一分割周波数帯（中心周波数ｆ１）に対応した第一周波数スペクトルの強さＸ１１、Ｘ２１、・・・Ｘｔ１と、第二分割周波数帯（中心周波数ｆ２）に対応した第一周波数スペクトルの強さＸ１２、Ｘ２２、・・・Ｘｔ２から、相関係数Ｒ１２を求める。同様に、第一分割周波数帯（中心周波数ｆ１）に対応した第一周波数スペクトルの強さと、第三分割周波数帯（中心周波数ｆ３）、第四分割周波数帯（中心周波数ｆ４）、・・・第ｐ分割周波数帯（中心周波数ｆｐ）に対応した第一周波数スペクトルの強さから、相関係数Ｒ１３、Ｒ１４、・・・Ｒ１ｐを求め、さらに、第二分割周波数帯（中心周波数ｆ２）、第三分割周波数帯（中心周波数ｆ３）、・・・第ｐ−１分割周波数帯（中心周波数ｆｐ−１）を基準として、同様の計算を行い、相関係数Ｒ２３、・・・Ｒ２ｐ、Ｒ３４・・・、Ｒ３ｐ、・・・、Ｒ（ｐ−１）ｐを得る。そして、最終的には、Ｐ・（Ｐ−１）／２個の相関係数（当該相関係数を、第一相関係数と呼ぶ）が、算出されることとなる（ステップＳ３１０）。

次に、第二周波数スペクトルの強さＹｉｊに対して、ステップＳ３１０と同様の手順を実施して、Ｐ・（Ｐ−１）／２個の相関係数（当該相関係数を、第二相関係数と呼ぶ）を得る（ステップＳ３１２）。

そして、ステップＳ３１２において求められた相関係数（第二周波数スペクトルの強さＹｉｊに基づいて求められた相関係数）を、ステップＳ３１０において求められた相関係数（第一周波数スペクトルの強さＸｉｊに基づいて求められた相関係数）と、第一実施形態の変形例において示した手順と同様の手順を用いて比較する（ステップＳ３１４）。すなわち、双方の差を算出し、算出した差を予め設定された閾値と比較する。そして、差＞閾値であれば、第二時間帯においてプレス加工システムに異常が発生し（例えば、材料に割れや亀裂が発生する）、差＜閾値であれば、第二時間帯においてプレス加工システムに異常が発生していないと判定される。なお、前記差の代わりに、ＤＩ値や相関係数を用いてもよいことについては、第一実施形態の変形例と同様である。

次に、前述した解析時間帯の中の第二時間帯を前記第一所定期間とし（第二時間帯に対応した振動データが前述した第一振動データとなる）、第三時間帯を前記第二所定期間として（第三時間帯に対応した振動データが前述した第二振動データとなる）、前述したステップＳ３０４からステップＳ３１４までの手順を実施する。そして、第ａ時間帯（ａ＝３，４・・・）を前記第一所定期間とし第ａ＋１時間帯を前記第二所定期間として、同様の手順を、ａ＋１＝ｎとなるまで、繰り返す（ステップＳ３１６）。これにより、第三時間帯から第ｎ時間帯までの各々の時間帯において、プレス加工システムに異常が発生したか否かが判定される。

図１２Ａ及び図１２Ｂに、本変形例に係る診断方法を、実際に、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示す。本診断においては、診断を２回行っており（より具体的には、プレス加工システムを２回動作させて、２回の動作の各々に対して相関係数を求めている）、一回目の診断結果が図１２Ａに、二回目の診断結果が図１２Ｂに、それぞれ示されている。また、これらの図においては、前述したＰ・（Ｐ−１）／２個（当該例においては、Ｐ＝４９）の差のうち、第六分割周波数帯を基準とした４３個の差（第二相関係数Ｒ６７−第一相関係数Ｒ６７、第二相関係数Ｒ６８−第一相関係数Ｒ６８、・・・第二相関係数Ｒ６ｐ−第一相関係数Ｒ６ｐ）が、Ｎ−１個の時間帯のうちの一の時間帯において示されている。また、本診断においては、差の絶対値の前記閾値を１としている。

図１２Ａ及び図１２Ｂから明らかなように、本診断では、２回行われた診断のうち、１回目の診断のみにおいて、差の絶対値が閾値を超える結果が得られた。したがって、１回目の診断においては、プレス加工システムに異常が生じ、２回目の診断においては、プレス加工システムに異常が生じなかったことがわかる。

また、診断の終了後に、プレス加工により得られた成形品を目視したところ、１回目のプレス加工により生じた成形品のみに割れが見られた（２回目のプレス加工により生じた成形品には、割れ等が見られなかった）。このことにより、本変形例に係る診断方法が有効であることがわかる。

このように、当該変形例においても、第二所定期間において取得された第二振動データに基づいて求められた第二パラメータ（すなわち、第二相関関数）が、第一所定期間において取得された第一振動データに基づいて求められた第一パラメータ（すなわち、第一相関関数）と比較されるから、第二実施形態に係る効果と同様の効果が発揮される。

＝＝＝対象設備を診断するための装置＝＝＝
次に、上述した対象設備の診断方法を実現するための対象設備を診断するための装置（以下、当該装置を、対象設備診断装置とも呼ぶ）の一例について、図１３を用いて説明する。図１３は、対象設備診断装置の一例を示す概念図である。

前述したとおり、本実施の形態において、対象となる設備は、プレス加工システム２であり、したがって、対象設備診断装置は、プレス加工システム診断装置１０２である。
プレス加工システム診断装置１０２は、センサの一例としてのＡＥセンサ（Acoustic Emission Sensor）１０４と、コンピュータ１１４と、表示装置１１６と、を備えている。

ＡＥセンサ１０４は、プレス加工システム２の波形データ（すなわち、振動データ）を取得する機能を有している。なお、センサは、振動データを取得する機能を有しているものであれば、ＡＥセンサ１０４に限定されず、どのようなもの（例えば、加速度センサ）でも構わない。

コンピュータ１１４は、上述した診断方法を実現するためのコンピュータプログラム１１４ａを有しており、当該コンピュータプログラム１１４ａをコンピュータ１１４に設けられたＣＰＵが処理することにより、上述した診断方法が実行される。前記コンピュータプログラム１１４ａは、上述した診断方法を実行するためのコードから構成されている。なお、当該コンピュータ１１４は、一つの装置ではなく、複数の装置からなることとしてもよい。また、かかる際に、コンピュータプログラム１１４ａは、複数の装置の各々に分かれて、備えられていることとしてもよい。

表示装置１１６は、プレス加工システム診断装置１０２の操作者に各種情報を与える機能を有する。また、当該表示装置１１６に、前述した図６、図８Ａ及び図８Ｂ、図１０Ａ及び図１０Ｂ、図１２Ａ及び図１２Ｂに示したグラフが表示されることとすれば、より好ましい。

＝＝＝その他の実施の形態＝＝＝
以上、上記実施の形態に基づき本発明に係る対象設備の診断方法等を説明したが、上記発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。

なお、上記においては、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時までの間で振動データに顕著に変化が生じ得る特性を有する設備（例えば、物を加工するための加工システム）の診断のために、第一実施形態、その変形例、第二実施形態、及び、その変形例に係る対象設備の診断方法を採用したが、これに限定されるものではない。第一実施形態、その変形例、第二実施形態、及び、その変形例に係る対象設備の診断方法は、設備の動作が正常であっても動作初期時から動作後期時までの間で振動データに顕著に変化が生じ得る特性を有する設備（例えば、物を加工するための加工システム）の診断をする際に、特に有効であるが、当然のことながら、設備の動作が正常である限りにおいては動作初期時から動作後期時に亘って振動データにあまり変化が生じない特性を有する設備（例えば、ポンプのインペラーが一定回転をし続けるポンプシステム）、の診断をする際にも、適用可能である。

また、上記においては、物を加工するための加工システムとして、プレス加工システムを例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、物を溶接するための溶接システム等に、第一実施形態、その変形例、第二実施形態、及び、その変形例に係る対象設備の診断方法を適用してもよい。

また、上記においては、波形データとして、振動データを例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、波形データは、電圧波形データや電流波形データであってもよい。

また、第一実施形態及びその変形例においては、図２の下図に示したように、複数個の前記所定期間のうちの一の所定期間、の終期が他の所定期間の始期と一致するように、複数個の前記所定期間が選択されていることとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、図１４に示すように、複数個の前記所定期間のうちの一の所定期間、の一部が他の所定期間の一部と重なるように、複数個の前記所定期間が選択されていることとしてもよい。

双方のメリットについて考察すると、前者については、診断に要する時間が短くなる点で、メリットを有し、後者については、各時間帯の境目で対象となる設備に異常が生じた場合に診断が適切に行われない不都合を防止することが可能となる点で、メリットを有する。

また、同様に、第二実施形態及びその変形例においては、図２の下図に示したように、第一振動データを、設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、第二振動データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得することとしたが、これに限定されるものではなく、例えば、図１４に示すように、第一振動データを、設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、第二振動データを、前記動作期間のうちの一部の、前記第一所定期間の後に到来する第二所定期間であって、該第二所定期間の一部が前記第一所定期間の一部と重なる第二所定期間、において取得することとしてもよい。

かかる場合の双方のメリットについては、前記（前者については、診断に要する時間が短くなり、後者については、各時間帯の境目で対象となる設備に異常が生じた場合に診断が適切に行われない不都合を防止する）と同様であるが、後者の場合には、前者と比較して、設備の動作が正常であるときに第一所定期間と第二所定期間との間で振動データに変化がより生じにくくなるため、対象となる設備の診断がより一層正確に行われるメリットを、さらに有する。

また、上記においては、全ての時間帯の振動データを取得し終えてから（ステップＳ２、ステップＳ１０２、ステップＳ２０２、ステップＳ３０２）、診断のための解析を実施することとしたが、これに限定されるものではなく、振動データの取得と診断のための解析とを並行実施してもよい。

対象設備の診断方法に係る第一実施形態を示すフローチャートである。 振動データの取得に係る所定期間を説明するための説明図である。 振動データの、分割振動データへの分割、を説明するための説明図である。 第一時間帯において取得された振動データの、時間軸方向及び周波数軸方向における分割、の様子を示した説明図である。 第一時間帯において取得された振動データの、時間軸方向及び周波数軸方向における分割、の様子を示した表である。 第一実施形態に係る診断方法を、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示した図である。 対象設備の診断方法に係る第一実施形態の変形例を示すフローチャートである。 図８Ａ及び図８Ｂは、第一実施形態の変形例に係る診断方法を、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示した図である。 対象設備の診断方法に係る第二実施形態を示すフローチャートである。 図１０Ａ及び図１０Ｂは、第二実施形態に係る診断方法を、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示した図である。 対象設備の診断方法に係る第二実施形態の変形例を示すフローチャートである。 図１２Ａ及び図１２Ｂは、第二実施形態の変形例に係る診断方法を、プレス加工システムの診断に適用したときの診断結果を示した図である。 対象設備診断装置の一例を示す概念図である。 振動データの取得に係る所定期間の他の例を説明するための説明図である。

符号の説明

２ プレス加工システム
１０２ プレス加工システム診断装置
１０４ ＡＥセンサ
１１４ コンピュータ
１１４ａ コンピュータプログラム
１１６ 表示装置

Claims (23)

1. 対象となる設備の波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得するステップと、
   該所定期間において取得された前記波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、
   前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、
   前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、
   前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準固有ベクトル、を用いるステップと、
   を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
2. 請求項１に記載の対象設備の診断方法において、
   求められた前記主成分得点を、
   前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準主成分得点と、比較するステップ、
   を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
3. 請求項１又は請求項２に記載の対象設備の診断方法において、
   対象となる設備の波形データを前記所定期間において取得するステップにおいては、複数個の前記所定期間において、複数個の前記波形データを取得し、
   前記主成分得点を求めるステップにおいては、複数個の前記波形データの各々に基づいて、主成分得点を求めることを特徴とする対象設備の診断方法。
4. 対象となる設備の波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得するステップと、
   該所定期間において取得された前記波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、
   前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、
   前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、
   前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さのうちの一の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した周波数スペクトルの強さとの相関係数を求めるステップと、
   求められた前記相関係数を、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準相関係数と、比較するステップと、
   を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
5. 請求項４に記載の対象設備の診断方法において、
   対象となる設備の波形データを前記所定期間において取得するステップにおいては、複数個の前記所定期間において、複数個の前記波形データを取得し、
   前記相関係数を求めるステップにおいては、複数個の前記波形データの各々に基づいて、相関係数を求めることを特徴とする対象設備の診断方法。
6. 請求項３又は請求項５に記載の対象設備の診断方法において、
   複数個の前記所定期間のうちの一の前記所定期間、の終期が他の前記所定期間の始期と一致するように、複数個の前記所定期間が選択されていることを特徴とする対象設備の診断方法。
7. 請求項３又は請求項５に記載の対象設備の診断方法において、
   複数個の前記所定期間のうちの一の前記所定期間、の一部が他の前記所定期間の一部と重なるように、複数個の前記所定期間が選択されていることを特徴とする対象設備の診断方法。
8. 対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、
   第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップと、
   前記第一波形データ及び前記第二波形データを、Ｔ個の第一分割波形データ及びＴ個の第二分割波形データに分割するステップと、
   前記Ｔ個の第一分割波形データ及び前記Ｔ個の第二分割波形データの各々をフーリエ変換して、Ｔ個の第一周波数スペクトル及びＴ個の第二周波数スペクトルを得るステップと、
   前記Ｔ個の第一周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求め、かつ、前記Ｔ個の第二周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、
   前記分割周波数帯毎に求められた前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルを求めるステップと、
   前記分割周波数帯毎に求められた前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の第二周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた固有ベクトル、を用いるステップと、
   を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
9. 請求項８に記載の対象設備の診断方法において、
   前記固有ベクトルを求めるステップにおいては、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、前記固有ベクトルと共に、主成分得点を前記Ｔ個の第一周波数スペクトル毎に求め、
   前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて主成分得点を求めるステップにおいて求められた主成分得点を、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた主成分得点と比較するステップ、
   を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
10. 対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、
    第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップと、
    前記第一波形データ及び前記第二波形データを、Ｔ個の第一分割波形データ及びＴ個の第二分割波形データに分割するステップと、
    前記Ｔ個の第一分割波形データ及び前記Ｔ個の第二分割波形データの各々をフーリエ変換して、Ｔ個の第一周波数スペクトル及びＴ個の第二周波数スペクトルを得るステップと、
    前記Ｔ個の第一周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求め、かつ、前記Ｔ個の第二周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、
    前記分割周波数帯毎に求められた第一周波数スペクトルの強さのうちの一の分割周波数帯に対応した第一周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した第一周波数スペクトルの強さとの第一相関係数を求め、かつ、
    前記分割周波数帯毎に求められた第二周波数スペクトルの強さのうちの一の分割周波数帯に対応した第二周波数スペクトルの強さと他の分割周波数帯に対応した第二周波数スペクトルの強さとの第二相関係数を求めるステップと、
    前記第二相関係数を、前記第一相関係数と、比較するステップと、
    を有することを特徴とする対象設備の診断方法。
11. 請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載の対象設備の診断方法において、
    対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、
    第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップ、に代えて、
    対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、
    第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の、前記第一所定期間の後に到来する第二所定期間であって、該第二所定期間の一部が前記第一所定期間の一部と重なる第二所定期間、において取得するステップ、とすることを特徴とする対象設備の診断方法。
12. 請求項１乃至請求項１１のいずれかに記載の対象設備の診断方法において、
    前記対象となる設備は、物を加工するための加工システムであることを特徴とする対象設備の診断方法。
13. 請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載の対象設備の診断方法において、
    前記波形データは、振動データであることを特徴とする対象設備の診断方法。
14. 対象となる設備の波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの少なくとも一部の所定期間において取得するステップと、
    該所定期間において取得された前記波形データを、Ｔ個の分割波形データに分割するステップと、
    前記Ｔ個の分割波形データの各々をフーリエ変換してＴ個の周波数スペクトルを得るステップと、
    前記Ｔ個の周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、
    前記分割周波数帯毎に求められた周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準固有ベクトル、を用いるステップと、
    求められた前記主成分得点を、
    前記設備の動作が正常であるときに前記所定期間に取得された波形データ、に基づいて予め求めておいた基準主成分得点と、比較するステップ、
    を有し、
    対象となる設備の波形データを前記所定期間において取得するステップにおいては、複数個の前記所定期間において、複数個の前記波形データを取得し、
    前記主成分得点を求めるステップにおいては、複数個の前記波形データの各々に基づいて、主成分得点を求め、
    複数個の前記所定期間のうちの一の前記所定期間、の終期が他の前記所定期間の始期と一致するように、複数個の前記所定期間が選択されており、
    前記対象となる設備は、物を加工するための加工システムであり、
    前記波形データは、振動データであることを特徴とする対象設備の診断方法。
15. 対象となる設備の波形データとして、第一波形データを、該設備が動作し始めてから動作し終えるまでの動作期間のうちの一部の第一所定期間において取得し、かつ、
    第二波形データを、前記動作期間のうちの一部の第二所定期間であって、該第二所定期間の始期が前記第一所定期間の終期と一致する第二所定期間、において取得するステップと、
    前記第一波形データ及び前記第二波形データを、Ｔ個の第一分割波形データ及びＴ個の第二分割波形データに分割するステップと、
    前記Ｔ個の第一分割波形データ及び前記Ｔ個の第二分割波形データの各々をフーリエ変換して、Ｔ個の第一周波数スペクトル及びＴ個の第二周波数スペクトルを得るステップと、
    前記Ｔ個の第一周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求め、かつ、前記Ｔ個の第二周波数スペクトルの各々の強さをＰ個に分割された分割周波数帯毎に求めるステップと、
    前記分割周波数帯毎に求められた前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルを求めるステップと、
    前記分割周波数帯毎に求められた前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて、主成分得点を、前記Ｔ個の第二周波数スペクトル毎に求めるステップであって、前記主成分得点を求める際に使用する固有ベクトルとして、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた固有ベクトル、を用いるステップと、
    を有し、
    前記固有ベクトルを求めるステップにおいては、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて、前記固有ベクトルと共に、主成分得点を前記Ｔ個の第一周波数スペクトル毎に求め、
    前記第二周波数スペクトルの強さに基づいて主成分得点を求めるステップにおいて求められた主成分得点を、前記第一周波数スペクトルの強さに基づいて求められた主成分得点と比較するステップ、
    を有し、
    前記対象となる設備は、物を加工するための加工システムであり、
    前記波形データは、振動データであることを特徴とする対象設備の診断方法。
16. 請求項１に記載の対象設備の診断方法を実現するためのコンピュータプログラム。
17. 請求項４に記載の対象設備の診断方法を実現するためのコンピュータプログラム。
18. 請求項８に記載の対象設備の診断方法を実現するためのコンピュータプログラム。
19. 請求項１０に記載の対象設備の診断方法を実現するためのコンピュータプログラム。
20. 対象となる設備の波形データを取得するためのセンサと、請求項１６に記載のコンピュータプログラムを備えたコンピュータと、を有することを特徴とする対象設備を診断するための装置。
21. 対象となる設備の波形データを取得するためのセンサと、請求項１７に記載のコンピュータプログラムを備えたコンピュータと、を有することを特徴とする対象設備を診断するための装置。
22. 対象となる設備の波形データを取得するためのセンサと、請求項１８に記載のコンピュータプログラムを備えたコンピュータと、を有することを特徴とする対象設備を診断するための装置。
23. 対象となる設備の波形データを取得するためのセンサと、請求項１９に記載のコンピュータプログラムを備えたコンピュータと、を有することを特徴とする対象設備を診断するための装置。