JP2006528428A - スペクトル反射率計の光信号の電子空間フィルタリングのための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハのプラズマ処理の終点を決定するための方法は、光源を準備する工程と、光源からの光をコリメートして、半導体ウエハの活性面に整列させるためのレンズシステムを準備する工程とを備える。光源からレンズシステムに光を伝達する光源ファイバの間に、複数の光検出器ファイバが介在する。半導体ウエハの活性面からの反射光は、複数の光検出器ファイバによって受信され、画像化分光計に供給される。受信された反射光は、画像化分光計によって解析され、モデル光信号と照合される。照合した光信号は、プラズマ処理の終点またはその他の状態を決定するために選択される。
【選択図】図7
Description
102…プラズマエッチングチャンバ
104…チャック
106…ウエハ
108…ビューポート
110…x−y平行移動ステージ
112…光学スイート
114…カメラ
116…レーザ源
118…検出器
120…光ビーム
130…分光計検出解析システム
132…レンズシステム
134…光源
135…光ファイバ開口部
136…光源光ファイバ束
136a…光源ファイバ
138…画像化分光計
140…検出ファイバ束
140a…検出器ファイバ
142…入射スリット
160…ビームスポット
162…ダイ
164…対象領域
166…対象領域
Claims (16)
- ウエハの表面のプラズマエッチング動作の終点を決定するための方法であって、前記ウエハの前記表面は、エッチングされている形状を有し、前記方法は、
コリメート光を前記ウエハの前記表面に当てる工程と、
前記ウエハの前記表面からの反射光を検出する工程であって、前記反射光は、不連続な検出領域によって検出され、各検出領域は、周波数帯にわたって固有の信号を示すよう構成されている工程と、
モデル光信号に相関する前記検出領域のうちの1つの検出領域を特定する工程と、
前記検出領域のうちの前記特定された検出領域からのフィードバックに基づいて、前記プラズマエッチング動作の終点を実行する工程であって、前記終点の実行は、前記表面上の前記形状の前記エッチング中に行われる工程と、を備える、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、前記コリメート光は、光源から光源光ファイバ束を介してレンズの光ファイバ開口部によって受光され、前記レンズは、前記コリメート光をコリメートして前記ウエハの前記表面に方向付ける、方法。
- 請求項2に記載の方法であって、前記光ファイバ開口部は、光検出器ファイバを備え、前記光検出器ファイバは、前記光ファイバ開口部において、前記光源光ファイバ束の光源ファイバに介在するよう配列されている、方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記不連続な検出領域は、前記光検出器ファイバによって規定されると共に、前記光検出器ファイバによって反射光を検出される前記ウエハの前記表面上の範囲に対応する、方法。
- 請求項1に記載の方法であって、さらに、
前記検出された反射光を前記ウエハの前記表面から画像化分光計に伝達する工程と、
前記検出された反射光を前記画像化分光計によって解析する工程と、
前記解析後の検出された反射光からの光信号をモデル光信号と照合する工程と、
前記照合した光信号を選択して、前記プラズマエッチング動作の終点を決定する工程と、を備える、方法。 - 請求項5に記載の方法であって、前記画像化分光計は、前記検出された反射光を解析するための二次元電荷結合素子(2D−CCD)アレイを備える、方法。
- 請求項5に記載の方法であって、前記2D−CCDアレイは、各検出領域に対して周波数帯にわたって前記固有の信号を表示するよう構成されている、方法。
- 請求項5に記載の方法であって、前記解析後の検出された反射信号からの光信号をモデル光信号と照合する工程は、複数の光検出器ファイバの各々からの光信号を前記モデル光信号と並列的に照合して、最大の信号コントラストを特定することにより実現される、方法。
- 請求項8に記載の方法であって、さらに、前記特定された最大信号コントラストを選択する工程と、終点符号と照合するために、前記選択された信号を監視する工程とを備える、方法。
- 請求項5に記載の方法であって、前記検出された反射信号からの光信号をモデル光信号と照合する工程は、複数の光検出器ファイバの各々からの光信号を前記モデル光信号と並列的に照合し、前記複数の光検出器ファイバの各々からの光信号を調停して最大許容誤差レベルを特定することにより実現される、方法。
- 請求項10に記載の方法であって、さらに、前記複数の光検出器ファイバの各々からの前記光信号の内の1つの光信号を選択して、前記最大許容誤差レベルより低い最小誤差レベルを有するプラズマ処理の終点を決定する工程を備える、方法。
- ウエハをエッチングするためのシステムであって、前記システムは、ウエハの表面のプラズマエッチング動作の終点を決定することが可能であり、前記ウエハの前記表面は、エッチングされている形状を有し、前記システムは、
前記ウエハの前記表面からの反射光を検出するための検出器を備え、
前記反射光は、不連続な検出領域によって検出され、各検出領域は、周波数帯にわたって固有の光信号を生成するよう構成され、前記検出領域のうちの1つの検出領域が、モデル光信号と相関するよう構成されることで、前記プラズマエッチング動作の終点が、前記検出領域のうちの特定された検出領域からのフィードバックに基づく、システム。 - 請求項12に記載のシステムであって、モデル光信号と相関するよう構成された前記検出領域のうちの前記1つの検出領域が決定されると、前記検出領域のうちの前記1つの検出領域の前記固有の光信号は、前記検出領域のうちの前記特定された検出領域から得られ、前記プラズマエッチング動作の終点を決定するために用いられる、システム。
- 請求項12に記載のシステムであって、さらに、
内部領域と、外部と、前記外部から前記内部領域への視覚的なアクセスを提供するビューポートとを有するプラズマ処理チャンバと、
前記プラズマ処理チャンバの前記内部領域内に配置された半導体ウエハの活性面上に前記ビューポートを介して広ビーム光を提供するよう構成された光源と、
複数の検出器光ファイバであって、それぞれ、検出端と解析端とを有し、各検出端は、前記レンズシステムの光ファイバ開口部に配置されている、複数の検出光ファイバと、
前記複数の検出器光ファイバの各々の前記解析端を受け入れる画像化分光計と、
前記複数の検出器光ファイバの各々からの受信光信号を解析するための2−D CCD検出器アレイと、を備え、
前記プラズマエッチング動作の前記終点は、前記複数の検出器光ファイバの各々からの前記受信光信号の解析に基づいて決定される、システム。 - 請求項14に記載のシステムであって、前記複数の検出器光ファイバの各々からの前記受信光信号の解析は、前記複数の検出器光ファイバの各々からの前記受信光信号を、前記プラズマエッチング動作の所望の終点のためのモデル光信号と照合する工程を備える、システム。
- 請求項14に記載のプラズマエッチングシステムであって、前記CCD検出器アレイは、少なくとも1つの解析済みの受信光信号のプロットを提供する、システム。
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