JP2016212096A - 基板処理のための分光反射率計付き装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2015年4月30日に出願された、「基板処理のための分光反射率計付き装置」という名称の米国仮特許出願第62/155,261号に基づく優先権を主張し、本明細書に参照として組み込まれる。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1:
基板を計測するための分光反射率計システムであって、
光源と、
少なくとも1つの光検出器と、
複数の光ファイバを備える光ケーブルであって、前記複数の光ファイバは、前記光源から光路に延びる伝送用光ファイバである第1の複数の光ファイバと、前記光路から前記少なくとも1つの光検出器に延びる反射光ファイバである第2の複数の光ファイバとを含む、光ケーブルと、
前記光路におけるマイクロレンズアレイと、
を備える、分光反射率計システム。
適用例2:
適用例1の分光反射率計システムであって、
前記光路は、光を前記光源から前記基板の照射部分に提供して、前記基板の前記照射部分からの反射光を集めるように配置され、
前記光源からの光および反射光は、前記マイクロレンズアレイを通過する、分光反射率計システム。
適用例3:
適用例2の分光反射率計システムであって、
前記マイクロレンズアレイは、複数のマイクロレンズを備え、
前記複数のマイクロレンズの各マイクロレンズは、焦点面を備え、
前記基板の前記照射部分は、前記複数のマイクロレンズのいずれの焦点面にもない、分光反射率計システム。
適用例4:
適用例3の分光反射率計システムであって、
前記光路の少なくとも一部は、前記基板の前記照射部分に実質的に垂直であり、
前記照射部分から反射した光は、前記マイクロレンズアレイを通って前記光検出器に進む、分光反射率計システム。
適用例5:
適用例4の分光反射率計システムであって、
前記少なくとも1つの光検出器は、波長の関数として出力を提供する、分光反射率計システム。
適用例6:
適用例5の分光反射率計システムであって、更に、
前記光路の第1の端部における前記光ケーブル、前記マイクロレンズアレイ、および前記光路の単レンズを支持するための筺体を備える、分光反射率計システム。
適用例7:
適用例6の分光反射率計システムであって、
前記光源は、パルス光を提供する、分光反射率計システム。
適用例8:
適用例6の分光反射率計システムであって、
前記光源は、連続波光を提供する、分光反射率計システム。
適用例9:
適用例1の分光反射率計システムであって、
前記光路の少なくとも一部は、前記基板の前記照射部分に実質的に垂直であり、
前記照射部分から反射した光は、前記マイクロレンズアレイを通って前記光検出器に進む、分光反射率計システム。
適用例10:
適用例1の分光反射率計システムであって、
前記少なくとも1つの光検出器は、波長の関数として出力を提供する、分光反射率計システム。
適用例11:
適用例1の分光反射率計システムであって、
前記光源は、不均一光源である、分光反射率計システム。
適用例12:
適用例1の分光反射率計システムであって、
前記光源は、パルスキセノンアークランプである、分光反射率計システム。
適用例13:
適用例1の分光反射率計システムであって、更に、
前記光路に偏光子を含む、分光反射率計システム。
適用例14:
適用例1の分光反射率計システムであって、更に、
処理チャンバと、
前記処理チャンバ内で前記基板を支持する基板支持体と、
ガス源と、
前記ガス源と前記処理チャンバとの間を接続するガス導入口と、
電源と、
前記処理チャンバに隣接して前記電源に電気的に接続される少なくとも1つの電極と、
前記電源、前記ガス源、および前記少なくとも1つの光検出器に制御可能に接続されるコントローラであって、前記コントローラは、
少なくとも1つの中央処理装置と、
コンピュータ可読媒体と、を備え、前記コンピュータ可読媒体は、
エンドポイントを検出するために前記少なくとも1つの光検出器からの出力を用いるためのコンピュータ可読コードと、
エンドポイントが検出されたときに、前記電源またはガス源の設定を変更するためのコンピュータ可読コードと、を備える、コントローラと、
を備える、分光反射率計システム。
適用例15:
適用例1の分光反射率計システムであって、更に、
前記光路に光学アセンブリを備える、分光反射率計システム。
適用例16:
基板を処理するための装置であって、
処理チャンバと、
前記処理チャンバ内で前記基板を支持する基板支持体と、
分光反射率計システムであって、
光源と、
少なくとも1つの光検出器と、
複数の光ファイバを備える光ケーブルであって、前記複数の光ファイバは、前記光源から光路に延びる伝送用光ファイバである第1の複数の光ファイバと、前記光路から前記少なくとも1つの光検出器に延びる反射光ファイバである第2の複数の光ファイバとを含む、光ケーブルと、
前記光路に配されるマイクロレンズアレイであって、複数のマイクロレンズを備えるマイクロレンズアレイと、
前記光路を介して支持される光学アセンブリであって、前記光路は、光を前記光源から前記基板の照射部分に提供して、前記基板の前記照射部分からの反射光を集めるように配置され、前記光源からの光および反射光は、前記マイクロレンズアレイを通過し、前記複数のマイクロレンズの各マイクロレンズは、焦点面を備え、前記基板の前記照射部分は、前記複数のマイクロレンズのいずれの焦点面にもない、光学アセンブリと、
を備える、装置。
適用例17:
適用例16の装置であって、更に、
ガス源と、
前記ガス源と前記処理チャンバとの間を接続するガス導入口と、
電源と、
前記処理チャンバに隣接して前記電源に電気的に接続される少なくとも1つの電極と、
前記電源、前記ガス源、および前記少なくとも1つの光検出器に制御可能に接続されるコントローラであって、前記コントローラは、
少なくとも1つの中央処理装置と、
コンピュータ可読媒体と、を備え、前記コンピュータ可読媒体は、
エンドポイントを検出するために前記少なくとも1つの光検出器からの出力を用いるためのコンピュータ可読コードと、
エンドポイントが検出されたとき、前記電源またはガス源の設定を変更するためのコンピュータ可読コードと、を備える、コントローラと、
を備える、装置。
適用例18:
適用例17の装置であって、
前記少なくとも1つの光検出器は、波長の関数として出力を提供する、装置。
Claims (18)
- 基板を計測するための分光反射率計システムであって、
光源と、
少なくとも1つの光検出器と、
複数の光ファイバを備える光ケーブルであって、前記複数の光ファイバは、前記光源から光路に延びる伝送用光ファイバである第1の複数の光ファイバと、前記光路から前記少なくとも1つの光検出器に延びる反射光ファイバである第2の複数の光ファイバとを含む、光ケーブルと、
前記光路におけるマイクロレンズアレイと、
を備える、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、
前記光路は、光を前記光源から前記基板の照射部分に提供して、前記基板の前記照射部分からの反射光を集めるように配置され、
前記光源からの光および反射光は、前記マイクロレンズアレイを通過する、分光反射率計システム。 - 請求項2に記載の分光反射率計システムであって、
前記マイクロレンズアレイは、複数のマイクロレンズを備え、
前記複数のマイクロレンズの各マイクロレンズは、焦点面を備え、
前記基板の前記照射部分は、前記複数のマイクロレンズのいずれの焦点面にもない、分光反射率計システム。 - 請求項3に記載の分光反射率計システムであって、
前記光路の少なくとも一部は、前記基板の前記照射部分に実質的に垂直であり、
前記照射部分から反射した光は、前記マイクロレンズアレイを通って前記光検出器に進む、分光反射率計システム。 - 請求項4に記載の分光反射率計システムであって、
前記少なくとも1つの光検出器は、波長の関数として出力を提供する、分光反射率計システム。 - 請求項5に記載の分光反射率計システムであって、更に、
前記光路の第1の端部における前記光ケーブル、前記マイクロレンズアレイ、および前記光路の単レンズを支持するための筺体を備える、分光反射率計システム。 - 請求項6に記載の分光反射率計システムであって、
前記光源は、パルス光を提供する、分光反射率計システム。 - 請求項6に記載の分光反射率計システムであって、
前記光源は、連続波光を提供する、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、
前記光路の少なくとも一部は、前記基板の前記照射部分に実質的に垂直であり、
前記照射部分から反射した光は、前記マイクロレンズアレイを通って前記光検出器に進む、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、
前記少なくとも1つの光検出器は、波長の関数として出力を提供する、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、
前記光源は、不均一光源である、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、
前記光源は、パルスキセノンアークランプである、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、更に、
前記光路に偏光子を含む、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、更に、
処理チャンバと、
前記処理チャンバ内で前記基板を支持する基板支持体と、
ガス源と、
前記ガス源と前記処理チャンバとの間を接続するガス導入口と、
電源と、
前記処理チャンバに隣接して前記電源に電気的に接続される少なくとも1つの電極と、
前記電源、前記ガス源、および前記少なくとも1つの光検出器に制御可能に接続されるコントローラであって、前記コントローラは、
少なくとも1つの中央処理装置と、
コンピュータ可読媒体と、を備え、前記コンピュータ可読媒体は、
エンドポイントを検出するために前記少なくとも1つの光検出器からの出力を用いるためのコンピュータ可読コードと、
エンドポイントが検出されたときに、前記電源またはガス源の設定を変更するためのコンピュータ可読コードと、を備える、コントローラと、
を備える、分光反射率計システム。 - 請求項1に記載の分光反射率計システムであって、更に、
前記光路に光学アセンブリを備える、分光反射率計システム。 - 基板を処理するための装置であって、
処理チャンバと、
前記処理チャンバ内で前記基板を支持する基板支持体と、
分光反射率計システムであって、
光源と、
少なくとも1つの光検出器と、
複数の光ファイバを備える光ケーブルであって、前記複数の光ファイバは、前記光源から光路に延びる伝送用光ファイバである第1の複数の光ファイバと、前記光路から前記少なくとも1つの光検出器に延びる反射光ファイバである第2の複数の光ファイバとを含む、光ケーブルと、
前記光路に配されるマイクロレンズアレイであって、複数のマイクロレンズを備えるマイクロレンズアレイと、
前記光路を介して支持される光学アセンブリであって、前記光路は、光を前記光源から前記基板の照射部分に提供して、前記基板の前記照射部分からの反射光を集めるように配置され、前記光源からの光および反射光は、前記マイクロレンズアレイを通過し、前記複数のマイクロレンズの各マイクロレンズは、焦点面を備え、前記基板の前記照射部分は、前記複数のマイクロレンズのいずれの焦点面にもない、光学アセンブリと、
を備える、装置。 - 請求項16に記載の装置であって、更に、
ガス源と、
前記ガス源と前記処理チャンバとの間を接続するガス導入口と、
電源と、
前記処理チャンバに隣接して前記電源に電気的に接続される少なくとも1つの電極と、
前記電源、前記ガス源、および前記少なくとも1つの光検出器に制御可能に接続されるコントローラであって、前記コントローラは、
少なくとも1つの中央処理装置と、
コンピュータ可読媒体と、を備え、前記コンピュータ可読媒体は、
エンドポイントを検出するために前記少なくとも1つの光検出器からの出力を用いるためのコンピュータ可読コードと、
エンドポイントが検出されたとき、前記電源またはガス源の設定を変更するためのコンピュータ可読コードと、を備える、コントローラと、
を備える、装置。 - 請求項17に記載の装置であって、
前記少なくとも1つの光検出器は、波長の関数として出力を提供する、装置。
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