JP2006518846A5

JP2006518846A5 -

Info

Publication number: JP2006518846A5
Application number: JP2006502242A
Authority: JP
Filing date: 2004-02-05
Publication date: 2007-03-29

Claims

金属製の又は金属を含む基板、及びその上に厚膜圧電駆動部またはピックアップを有するトリプルビーム共振器要素を含み、センサーが受ける応力量に依存して共振周波数が変化するように動作する、共振センサー。
厚膜圧電駆動部またはピックアップは、厚さが少なくとも１マイクロメーターである、請求項１記載のセンサー。
厚膜圧電駆動部またはピックアップは、厚さが１〜２マイクロメーターである、請求項１または２記載のセンサー。
厚膜圧電駆動部またはピックアップは、厚さが５〜２０マイクロメーターまたは５〜１００マイクロメーターである、請求項１、２または３記載のセンサー。
厚膜圧電駆動部またはピックアップが基板に印刷されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のセンサー。
厚膜圧電駆動部またはピックアップが基板にスクリーン印刷されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載のセンサー。
基板が共振器固有の構成要素である請求項５または６記載のセンサー。
基板が、測定対象の歪、圧力またはトルクを有する物またはその一部である、請求項１〜６のいずれか１項に記載のセンサー。
ビームが互いに実質的に平行である、請求項１〜８のいずれか１項に記載のセンサー。
中央のビームが、他の各ビームの２倍の体積を有する、請求項９記載のセンサー。
中央のビームが、他の各ビームの２倍の幅を有する、請求項９記載のセンサー。
ビームが、対称的に切り欠かれた、一次検出する金属構造に対する連結部を備えている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のセンサー。
共振器における一つ若しくは複数の駆動部と一つ若しくは複数のピックアップとが、ともに厚膜圧電材料から形成されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載のセンサー
ビーム共振器は、４３０ステンレス、インコネルおよびベリリウム銅の少なくとも一つを含む金属材料の薄板をエッチングしてなるものである、請求項１〜１３のいずれか１項に記載のセンサー。
一つ若しくは複数の駆動部または一つ若しくは複数のピックアップのうち一つのみが厚膜圧電材料で形成されており、他の一つ若しくは複数の駆動部または一つ若しくは複数のピックアップは静電性、容量性または光学性とされている、請求項１〜１４のいずれか１項に記載のセンサー。
圧電材料がジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載のセンサー。
共振器が複数の駆動部およびピックアップを備えている、請求項１〜１６のいずれか１項に記載のセンサー。
共振器が離間支持部を備えている、請求項１〜１７のいずれか１項に記載のセンサー。
共振器は、一つ若しくは複数の駆動部および／または一つ若しくは複数のピックアップと通信するための無線通信手段を備えている、請求項１〜１８のいずれか１項に記載のセンサー。
通信手段は、電磁波放射（マイクロ波及び光の周波数を含む）及び超音波による振幅変調磁気結合によって提供されるものである、請求項１９記載のセンサー。
共振器への動力供給のため及び共振器の周波数を検出するために時分割多重化を備えている、請求項１９または２０記載のセンサー。