JP2006518534A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006518534A5 JP2006518534A5 JP2005515862A JP2005515862A JP2006518534A5 JP 2006518534 A5 JP2006518534 A5 JP 2006518534A5 JP 2005515862 A JP2005515862 A JP 2005515862A JP 2005515862 A JP2005515862 A JP 2005515862A JP 2006518534 A5 JP2006518534 A5 JP 2006518534A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- enclosure
- membrane
- electron beam
- sample container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 23
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 10
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US44880803P | 2003-02-20 | 2003-02-20 | |
| PCT/IL2003/000457 WO2003104848A2 (en) | 2002-06-05 | 2003-06-01 | Methods for sem inspection of fluid containing samples |
| PCT/IL2003/000454 WO2003104846A2 (en) | 2002-06-05 | 2003-06-01 | A sample enclosure for a scanning electron microscope and methods of use thereof |
| PCT/IL2003/001054 WO2004075209A1 (en) | 2003-02-20 | 2003-12-10 | A sample enclosure for a scanning electron microscope and methods of use thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006518534A JP2006518534A (ja) | 2006-08-10 |
| JP2006518534A5 true JP2006518534A5 (enrdf_load_html_response) | 2006-09-21 |
Family
ID=36968227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005515862A Pending JP2006518534A (ja) | 2003-02-20 | 2003-12-10 | 走査型電子顕微鏡のためのサンプルエンクロージャと、その使用法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006518534A (enrdf_load_html_response) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5084188B2 (ja) * | 2006-07-04 | 2012-11-28 | 日本電子株式会社 | 試料保持体、試料検査方法及び試料検査装置並びに試料検査システム |
| JP5318364B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2013-10-16 | 日本電子株式会社 | 試料保持体、試料検査装置及び試料検査方法、並びに試料保持体の製造方法 |
| JP6500143B2 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-04-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法 |
| WO2021070340A1 (ja) | 2019-10-10 | 2021-04-15 | 株式会社日立ハイテク | 薄膜破損検知機能、および荷電粒子線装置 |
| JP7142404B2 (ja) * | 2020-06-16 | 2022-09-27 | 学校法人中部大学 | 走査型電子顕微鏡を用いた観察方法、及びそのための試料ホルダ |
-
2003
- 2003-12-10 JP JP2005515862A patent/JP2006518534A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2838172B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
| JP3793829B2 (ja) | 蛍光x線分析用試料保持具ならびにそれを用いる蛍光x線分析方法および装置 | |
| JP2011243483A (ja) | 試料保持体、検査装置、及び検査方法 | |
| JP6586622B2 (ja) | 蛍光x線分析装置用の試料ホルダ並びに試料ホルダ作成治具及び蛍光x線分析装置用の試料の作製方法 | |
| EP2105727B1 (en) | Scanning electron microscope comprising a film for holding a sample and a dish for receiving sample material from a damaged film | |
| CN105144337A (zh) | 带电粒子束装置、试样观察方法、试样台、观察系统及发光部件 | |
| US20090314955A1 (en) | Specimen Holder, Specimen Inspection Apparatus, and Specimen Inspection Method | |
| CN107924799B (zh) | 带电粒子显微镜的观察辅助单元以及使用该观察辅助单元的试料观察方法 | |
| JP2009250904A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JP2006518534A5 (enrdf_load_html_response) | ||
| JP3202603U (ja) | 検査用装置及び検査用装置の包装品 | |
| JP3726161B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
| JP5642377B2 (ja) | 基板収納容器および当該容器を搬送するための搬送容器 | |
| JP2943063B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
| JP4398901B2 (ja) | 蛍光x線分析用試料ホルダならびにそれを用いる蛍光x線分析方法および装置 | |
| WO2016153980A1 (en) | Thin layer chromatography detector for field use | |
| JP2000230912A (ja) | X線分析用試料ホルダおよびx線分析装置 | |
| JP5523805B2 (ja) | 試料セル組立具 | |
| JP4264178B2 (ja) | 上面照射型x線分析用液体試料セルとこれを用いた上面照射型x線分析方法および装置 | |
| CN204359716U (zh) | X-射线荧光光谱分析仪用样品杯 | |
| JP3654568B2 (ja) | X線分析装置 | |
| JP7679908B2 (ja) | X線分析装置 | |
| JP7649591B1 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
| JP2006518534A (ja) | 走査型電子顕微鏡のためのサンプルエンクロージャと、その使用法 | |
| JP2002107313A (ja) | X線分析用試料ホルダおよびx線分析装置 |