JP2006515472A - 対話型閾値調整 - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、パラメータ閾値の最適化をより容易に行うことができ、それによって、より良い結果が得られるようにするシステムの提供が求められている。
Claims (13)
- 検査システムの調整方法であって、
a.前記検査システムを用いて検査片の特性を検知するステップと、
b.前記検知した特性を分析して、位置情報及びレベル情報を含む異常を識別するステップと、
c.前記異常のレベル情報を、検査システム・パラメータの1組の初期閾値を用いて分析するステップと、
d.ステップcにおける前記レベル情報の分析に基づいて、前記異常の初期部分を欠陥として捕らえるステップと、
e.前記捕らえた異常の概要を表示するステップと、
f.前記検査システム・パラメータの少なくとも1つについて、潜在的に捕らえられる欠陥対閾値の動作曲線を表示するステップと、
g.前記検査システム・パラメータの前記少なくとも1つを選択的に変化させ、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を形成するステップと、
h.前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を用いて、前記異常のレベル情報を分析するステップと、
i.ステップhにおける前記レベル情報の分析に基づいて、前記異常の更新部分を欠陥として捕らえるステップと、
j.前記捕らえた異常の概要、及び再計算した動作曲線を表示するステップと、
k.ステップgからjまでを選択的に繰り返すステップと、
l.検査システムの処方に用いるために、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を記憶するステップと
から成ることを特徴とする方法。 - 請求項1記載の方法において、前記検査システムは、光学検査システムであることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記検査片は、半導体ウェハであることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、前記検査片の特性は、表面欠陥であることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、該方法は更に、前記検査片上で捕らえた異常の空間表現を選択的に表示するステップを含むことを特徴とする方法。
- 検査システムの処方を調整する方法であって、
a.検知した異常についてのレベル情報を受け取るステップと、
b.検査システム・パラメータの1組の初期閾値を用いて、前記異常のレベル情報を分析するステップと、
c.ステップbにおける前記レベル情報の分析に基づいて、前記異常の初期部分を欠陥として捕らえるステップと、
d.前記捕らえた異常の概要を表示するステップと、
e.前記検査システム・パラメータの少なくとも1つについて、潜在的に捕らえられる欠陥対閾値の動作曲線を表示するステップと、
f.前記検査システム・パラメータの前記少なくとも1つを選択的に変化させ、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を形成するステップと、
g.前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を用いて、前記異常のレベル情報を分析するステップと、
h.ステップgにおける前記レベル情報の分析に基づいて、前記異常の更新部分を欠陥として捕らえるステップと、
i.前記捕らえた異常の概要、及び再計算した動作曲線を表示するステップと、
j.ステップgからjまでを選択的に繰り返すステップと、
k.検査システムの処方に用いるために、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を記憶するステップと
から成ることを特徴とする方法。 - 請求項6記載の方法において、前記異常は、検査片上の表面欠陥を表すことを特徴とする方法。
- 請求項6記載の方法において、該方法は更に、前記捕らえた異常の空間表現を選択的に表示するステップを含むことを特徴とする方法。
- 検査システムであって、
検査片の特性を検知するように構成されたセンサと、
プロセッサであって、
前記検知した特性を分析して、位置情報及びレベル情報を有する異常を識別し、
検査システム・パラメータの1組の初期閾値を用いて、前記異常のレベル情報を分析し、
ステップcにおける前記レベル情報の分析に基づいて、前記異常の初期部分を欠陥として捕らえる
ように構成されたプロセッサと、
ディスプレイであって、
前記捕らえた異常の概要を表示し、
前記検査システム・パラメータの少なくとも1つについて、潜在的に捕らえられる欠陥対閾値の動作曲線を表示する
ように構成されたディスプレイと、
前記検査システム・パラメータの前記少なくとも1つを選択的に変化させ、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を形成するように構成された入力と
を備えており、
前記プロセッサは、更に、
前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を用いて、前記異常のレベル情報を分析し、
前記レベル情報の直前の分析に基づいて、前記異常の更新部分を欠陥として捕らえる
ように構成されており、
前記ディスプレイは、更に、前記捕らえた欠陥の更新した概要と、再計算した動作曲線とを表示するように構成されており、
前記検査システムはさらに、該検査システムの処方に用いるために、前記検査システム・パラメータの1組の修正閾値を記憶するように構成されたメモリを備えている
ことを特徴とする検査システム。 - 請求項9記載の検査システムにおいて、該検査システムは光学的検査システムであることを特徴とする検査システム。
- 請求項9記載の検査システムにおいて、前記検査片は半導体ウェハであることを特徴とする検査システム。
- 請求項9記載の検査システムにおいて、前記検査片の特性は表面欠陥であることを特徴とする検査システム。
- 請求項9記載の検査システムにおいて、前記ディスプレイは更に、前記検査片上で捕らえた異常の空間表現を選択的に表示するように構成されていることを特徴とする検査システム。
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