JP2006352022A - 接着フィルムの分離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のチップに分離されたウエーハの裏面にダイボンディング用の接着フィルムが装着され、ウエーハの接着フィルム側が環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着されており、接着フィルムを該複数のチップに分割した分割溝に沿って分離する接着フィルムの分離方法であって、接着フィルムに分割溝に沿ってレーザー光線を照射し、接着フィルムを分割溝に沿って溶断する接着フィルム溶断工程と、接着フィルムを溶解する溶剤を分割溝に沿って残存する溶融再固化した接着フィルムの一部に作用せしめ、溶融再固化した接着フィルムの一部を溶解する接着フィルム溶解工程とを含む。
【選択図】図8
Description
該接着フィルムに該分割溝に沿ってレーザー光線を照射し、該接着フィルムを該分割溝に沿って溶断する接着フィルム溶断工程と、
該接着フィルムを溶解する溶剤を該分割溝に沿って残存する溶融再固化した該接着フィルムの一部に作用せしめ、該溶融再固化した接着フィルムの一部を溶解する接着フィルム溶解工程と、を含む、
ことを特徴とする接着フィルムの分離方法が提供される。
該ウエーハの表面側から該ストリートに沿ってレーザー光線を照射し、該ウエーハに分割溝を形成するとともに該接着フィルムを溶断する接着フィルム溶断工程と、
該接着フィルムを溶解する溶剤を該分割溝に沿って残存する溶融再固化した該接着フィルムの一部に作用せしめ、該溶融再固化した接着フィルムの一部を溶解する接着フィルム溶解工程と、を含む、
ことを特徴とする接着フィルムの分離方法が提供される。
図7に示す実施形態は、ダイシングテープの表面に予め接着フィルムが貼着された接着フィルム付きのダイシングテープを使用する。即ち、図7の(a)、(b)に示すように環状のフレーム6の内側開口部を覆うように外周部が装着されたダイシングテープ60の表面60aに貼着された接着フィルム5を、個々の半導体チップ100に分離された半導体ウエーハ10の裏面10bに装着する。このとき、80〜200°Cの温度で加熱しつつ接着フィルム5を半導体ウエーハ10の裏面10bに押圧して装着する。なお、上記ダイシングテープ60は、図示の実施形態においては厚さが95μmのポリオレフィンシートかならっている。このような接着フィルム付きのダイシングテープは、株式会社リンテック社製の接着フィルム付きのダイシングテープ(LE5000)を用いることができる。
接着フィルム溶断工程は、先ず図8に示すように半導体ウエーハ10(裏面側が接着フィルム5を介してダイシングテープ60の表面に貼着されている)の表面に貼着された保護部材3側をチャックテーブル71に載置し吸引保持する。従って、半導体ウエーハ10の裏面10bに装着された接着フィルム5が貼着されているダイシングテープ60は、上側となる。なお、図8においては、ダイシングテープ60が装着された環状のフレーム6を省いて示しているが、環状のフレーム6はチャックテーブル71に配設された適宜のフレーム保持手段に保持されている。
レーザー光線の種類 ;固体レーザー(YVO4レーザー、YAGレーザー)
波長 :355nm
集光スポット径 :φ9.2μm
繰り返し周波数 :50kHz
平均出力 :0.5W
加工送り速度 :500mm/秒
この実施形態においては、上記図5、図6および図7に示す接着フィルム装着工程およびダイシングテープ貼着工程を実施したならば、図11に示すように半導体ウエーハ10の表面に貼着されている保護部材3を剥離する(保護部材剥離工程)。このように保護部材3を剥離した状態で、接着フィルム溶断工程を実施する。この接着フィルム溶断工程は、上記図8に示すレーザー加工装置7を用いて実施することができる。即ち、図12に示すようにダイシングテープ60の表面に接着フィルム5を介して貼着された半導体ウエーハ10のダイシングテープ60側をチャックテーブル71に載置し吸引保持する。従って、半導体ウエーハ10の表面10aは上側となる。なお、図12においては、ダイシングテープ60が装着された環状のフレーム6を省いて示しているが、環状のフレーム6はチャックテーブル71に配設された適宜のフレーム保持手段に保持されている。
この実施形態においては、上記レーザー加工装置7を用いて、図1に示す半導体ウエーハ10のストリート101に沿って分割溝を形成するとともに、半導体ウエーハの裏面10bに装着された接着フィルム5を分割溝に沿って溶断する接着フィルム溶断工程を同時に実施する。この実施形態においては、図14に示すように環状のフレーム6の内側開口部を覆うように外周部が装着されたダイシングテープ60の表面60aに貼着された接着フィルム5を半導体ウエーハ10の裏面10bに装着する(接着フィルム装着工程)。
レーザー光線の種類 ;固体レーザー(YVO4レーザー、YAGレーザー)
波長 :355nm
集光スポット径 :φ9.2μm
繰り返し周波数 :50kHz
平均出力 :3W
加工送り速度 :200mm/秒
上述した接着フィルム溶断工程が実施された半導体ウエーハ10(環状のフレーム6に装着されたダイシングテープ60の表面に貼着されている)は、図示しない搬送装置によって接着フィルム溶解装置8を構成するスピンナーテーブル811の吸着チャック811a上に搬送され、該吸着チャック811aに吸引保持される(ウエーハ保持工程)。また、環状のフレーム60がクランプ814によって固定される。このとき、スピンナーテーブル811は図18に示す被加工物搬入・搬出位置に位置付けられており、溶剤供給ノズル841と洗浄水ノズル851およびエアーノズル861は図17および図18に示すようにスピンナーテーブル811の上方から離隔した待機位置に位置付けられている。
上述したように環状のフレーム6に装着された伸長可能なダイシングテープ60の上面に支持された複数個の半導体チップ100(裏面に装着された接着フィルム5a側がダイシングテープ60の上面に貼着されている)は、図21および図22の(a)に示すように環状のフレーム6が円筒状のベース91の載置面911上に載置され、クランプ94によってベース91に固定される。次に、図22の(b)に示すように上記ダイシングテープ60における複数個の半導体チップ100が存在する領域61を支持した拡張手段92の拡張部材921を図示しない昇降手段によって図22(a)の基準位置から上方の図22の(b)に示す拡張位置まで移動する。この結果、伸長可能なダイシングテープ60は拡張されるので、ダイシングテープ60と半導体チップ100に装着されている接着フィルム5aとの間にズレが生じ密着性が低下するため、接着フィルム5aを貼着した半導体チップ100がダイシングテープ60から容易に離脱できる状態となるとともに、個々の半導体チップ100および該半導体チップ100に装着された接着フィルム5a間には隙間が形成される。
21:切削装置のチャックテーブル
22:切削ブレード
23:切削手段
3:保護部材
4:研削装置
41:研削装置のチャックテーブル
42研削砥石:
43:研削手段
5:接着フィルム
6:環状のフレーム
60:ダイシングテープ
7:レーザー加工装置
71:レーザー加工装置のチャックテーブル
72:レーザー光線照射手段
722:集光器
73:撮像手段
8:接着フィルム溶解装置
81:スピンナーテーブル機構
811:スピンナーテーブル
82:溶剤受け手段
84:溶剤供給手段
841:溶剤供給ノズル
85:洗浄水供給手段
851:洗浄水ノズル
86:エアー供給手段
861:エアーノズル
9:ピックアップ装置
90:ピックアップコレット
91:円筒状のベース
92:拡張手段
93:拡張手段
10:半導体ウエーハ
100:半導体チップ
101:ストリート
102:デバイス
103:分割溝
Claims (2)
- 複数のチップに分離されたウエーハの裏面にダイボンディング用の接着フィルムが装着され、該ウエーハの該接着フィルム側が環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着されており、該接着フィルムを該複数のチップに分割した分割溝に沿って分離する接着フィルムの分離方法であって、
該接着フィルムに該分割溝に沿ってレーザー光線を照射し、該接着フィルムを該分割溝に沿って溶断する接着フィルム溶断工程と、
該接着フィルムを溶解する溶剤を該分割溝に沿って残存する溶融再固化した該接着フィルムの一部に作用せしめ、該溶融再固化した接着フィルムの一部を溶解する接着フィルム溶解工程と、を含む、
ことを特徴とする接着フィルムの分離方法。 - 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハの裏面にダイボンディング用の接着フィルムが装着され、該ウエーハの該接着フィルム側が環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着されており、該接着フィルムを該ストリートに沿って分離する接着フィルムの分離方法であって、
該ウエーハの表面側から該ストリートに沿ってレーザー光線を照射し、該ウエーハに分割溝を形成するとともに該接着フィルムを溶断する接着フィルム溶断工程と、
該接着フィルムを溶解する溶剤を該分割溝に沿って残存する溶融再固化した該接着フィルムの一部に作用せしめ、該溶融再固化した接着フィルムの一部を溶解する接着フィルム溶解工程と、を含む、
ことを特徴とする接着フィルムの分離方法。
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