JP2006337580A - 色合成光学装置の製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 色合成光学装置を高精度に製造できる製造装置を提供する。
【解決手段】製造装置６００を構成する位置調整機構６９０は、クロスダイクロイックプリズム４５を保持するプリズム挟持部６９２と、プリズム挟持部６９２の鉛直方向下側に配設されプリズム挟持部６９２を支持する位置調整機構本体６９１とを備える。位置調整機構本体６９１は、鉛直方向に直交する平面内で移動可能としクロスダイクロイックプリズム４５の平面位置を調整する平面位置調整部６９１２と、前記平面の面内で回転可能としクロスダイクロイックプリズム４５の面内回転位置を調整する面内回転位置調整部６９１３と、前記平面の面外方向に回転可能としクロスダイクロイックプリズム４５の面外回転位置を調整する面外回転位置調整部６９１４とを備える。平面位置調整部６９１２、面内回転位置調整部６９１３、および面外回転位置調整部６９１４は、鉛直方向に積層配置されている。
【選択図】 図１０

Description

本発明は、色合成光学装置の製造装置に関する。

従来、光源から射出された光束をダイクロイックミラーを用いて３色の色光Ｒ，Ｇ，Ｂに分離する色分離光学系と、分離された光束を色光毎に画像情報に応じて変調する３枚の光変調装置（液晶パネル）と、各液晶パネルで変調された光束を合成する色合成光学装置とを備える３板式のプロジェクタが知られている。
この色合成光学装置は、色分離光学系等が収納される光学部品用筐体に機械的に固定される固定板と、この固定板に接着固定される色合成光学素子としてのクロスダイクロイックプリズムとを備え、プリズムユニットとして一体的に構成されている。
このクロスダイクロイックプリズムは、４つの直角プリズムを各界面に沿って貼り合わせて形成された略立方体状のプリズムである。略立方体の側面において、３つの側面は、対向配置された液晶パネルで変調された色光が入射される光束入射端面とされ、残りの１つの側面は、入射された光束を合成した合成光が射出される光束射出端面とされている。
また、４つの貼り合わせ面において、延出方向に沿った２つの反射面の組みには、所定波長域を有する赤色光を反射する誘電体多層膜が設けられ、また、延出方向に沿った他の２つの反射面の組みには、前述とは異なる波長域を有する青色光を反射する誘電体多層膜が設けられている。つまり、クロスダイクロイックプリズムの内部には、４つの反射面が略Ｘ字状に配置されている。したがって、鮮明な投射画像を得るためには、これらの略Ｘ字状の４つの反射面が各液晶パネルに対して所定方向に確実に向いている必要がある。

このため、固定板に対するクロスダイクロイックプリズムの位置を調整し、固定板に対してクロスダイクロイックプリズムを固定する色合成光学装置の製造装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の製造装置では、クロスダイクロイックプリズムの位置を調整する位置調整機構は、クロスダイクロイックプリズムを保持するプリズム保持部と、固定板に対するクロスダイクロイックプリズムの平面位置、面内回転位置、および面外回転位置をそれぞれ調整する平面位置調整部、面内回転位置調整部、および面外回転位置調整部を有する機構本体とを備えている。
そして、位置調整機構は、クロスダイクロイックプリズムを鉛直方向上側から保持して側面視略コ字形状（所謂、オーバーハング）となるように各構成部材が接続されている。

特開２００３−３３７２１１号公報（図９）

しかしながら、特許文献１に記載の製造装置では、位置調整機構が所謂、オーバーハングの状態で接続されているので、例えば、各構成部材に製造誤差等が生じている場合には、位置調整機構やクロスダイクロイックプリズム等の自重により、クロスダイクロイックプリズムの位置を調整している際に、がたつく虞がある。このため、色合成光学素子を高精度に位置調整することが難しく、すなわち、色合成光学装置を高精度に製造することが難しい。

本発明の目的は、色合成光学装置を高精度に製造できる色合成光学装置の製造装置を提供することにある。

本発明の色合成光学装置の製造装置は、入射する複数の光束の光軸と直交する方向から見て、入射角略４５度となるように略Ｘ字状に配置される４つの反射面を有し、略Ｘ字状の一方の延出方向に沿った一組の反射面が、他の一組の反射面と異なる波長域の光束を反射するように構成された色合成光学素子と、前記色合成光学素子における前記Ｘ字状の反射面に交差する端面に接着固定される固定板とを備える色合成光学装置の製造装置であって、前記固定板を当該製造装置内の所定位置で保持する固定板保持部、および前記色合成光学素子を保持し前記固定板保持部に保持された固定板に対する前記色合成光学素子の位置調整を実施する位置調整機構を含んで構成される製造装置本体を備え、前記位置調整機構は、前記色合成光学素子を保持する色合成光学素子保持部と、前記色合成光学素子保持部の鉛直方向下側に配設され前記色合成光学素子保持部を支持する位置調整機構本体とを備え、前記位置調整機構本体は、鉛直方向に直交する平面内で移動可能とし前記色合成光学素子の平面位置を調整する平面位置調整部と、前記平面の面内で回転可能とし前記色合成光学素子の面内回転位置を調整する面内回転位置調整部と、前記平面の面外方向に回転可能とし前記色合成光学素子の面外回転位置を調整する面外回転位置調整部とを備え、前記平面位置調整部、前記面内回転位置調整部、および前記面外回転位置調整部は、鉛直方向に積層配置されていることを特徴とする。

ここで、固定板保持部としては、固定板を製造装置内の所定位置で保持可能とすればいずれの構成でもよく、例えば、固定板を鉛直方向下側から支持する構成、固定板を鉛直方向上側から支持する構成、あるいは、固定板を鉛直方向と直交する側方から支持する構成等を採用できる。
本発明では、位置調整機構本体が色合成光学素子保持部の鉛直方向下側に配設され、位置調整機構本体を構成する平面位置調整部、面内回転位置調整部、および面外回転位置調整部が鉛直方向に積層配置されている。このことにより、位置調整機構を構成する各構成部材に製造誤差等が生じている場合であっても、位置調整機構や色合成光学素子等の自重により、色合成光学素子の位置を調整している際に、がたつく虞がない。このため、色合成光学素子を高精度に位置調整でき、すなわち、色合成光学装置を高精度に製造できる。

本発明の色合成光学装置の製造装置では、前記固定板保持部は、前記固定板を鉛直方向下側から支持固定し、前記位置調整機構本体は、前記固定板保持部の鉛直方向下側に配設され、両端部側が前記固定板保持部と平面的に干渉しない位置まで延出し前記色合成光学素子保持部を支持する支持板を有し、前記色合成光学素子保持部は、前記支持板における鉛直方向上側端面の両端部側にそれぞれ支持され前記色合成光学素子を鉛直方向と直交する側方から挟持する一対の挟持部を備えていることが好ましい。
本発明では、固定板保持部が固定板を鉛直方向下側から支持固定し、固定板保持部の鉛直方向下側に位置調整機構本体が配設される。また、色合成光学素子保持部を構成する一対の挟持部は、位置調整機構本体を構成する支持板における固定板保持部と平面的に干渉しない両端部側にそれぞれ支持される。このことにより、位置調整機構により色合成光学素子を高精度に位置調整できかつ、固定板保持部にて固定板を安定した状態で支持できるため、色合成光学装置をより高精度に製造できる。

本発明の色合成光学装置の製造装置では、前記固定板には、少なくとも２つの位置決め用凹部が形成され、前記固定板保持部の支持面には、鉛直方向上側に突出し、前記位置決め用凹部に嵌合可能とする位置決め用突起が形成され、前記固定板保持部は、前記固定板の前記位置決め用凹部に前記位置決め用突起が嵌合した状態で、前記固定板を鉛直方向と直交する水平方向に押圧する押圧部材を備えていることが好ましい。
本発明によれば、固定板保持部が押圧部材を備えているので、押圧部材が固定板を鉛直方向と直交する水平方向に押圧することで、位置決め用突起の外周面に位置決め用凹部の内周面を確実に当接できる。このため、固定板保持部に対して固定板をがたつきのない状態で支持でき、色合成光学装置をより一層高精度に製造できる。

本発明の色合成光学装置の製造装置では、前記４つの反射面の少なくともいずれかの反射面に入射角略４５度で測定光を導入し、導入された測定光の戻り光を検出するオートコリメータを備え、前記製造装置本体は、前記反射面で反射された光束を反射して戻り光として前記オートコリメータに導入する反射部材を備えていることが好ましい。
本発明によれば、製造装置がオートコリメータを備え、製造装置本体が反射部材を備えているので、測定光の位置と検出された戻り光の位置との偏差がなくなるように、位置調整機構で色合成光学素子の位置調整を実施すれば、色合成光学素子の面内回転位置の調整、および色合成光学素子の面外回転位置の調整を簡単な構成で容易に実施できる。
また、測定光を導入する装置と、戻り光を検出する装置とを別々に配置する構成も考えられるが、本発明では、前記各装置を一体的に構成したオートコリメータを用いているので、製造装置の小型化を図れる。

本発明の色合成光学装置の製造装置では、前記製造装置本体は、複数で構成され、光束を反射する反射部および前記反射部を移動可能に支持する移動部材を含んで構成され、前記移動部材により前記反射部を移動させることで前記オートコリメータから前記複数の製造装置本体までの前記測定光が辿る各光路を切り替える光路切替部を備えていることが好ましい。
ここで、光路切替部としては、測定光が辿る各光路を切り替え可能であればいずれの構成でもよく、例えば、反射部の反射面が光路中に配設され移動部材により前記反射面を回動させることで反射面を介した測定光の射出方向を変更して複数の製造装置本体のいずれかに導入させる構成、移動部材により反射部の反射面を光路内および光路外に移動させることで測定光を複数の製造装置本体のいずれかに導入させる構成等を採用できる。
また、光路切替部としては、単体で用いる構成の他、複数用いた構成を採用してもよい。
本発明によれば、製造装置本体が複数で構成され、製造装置が光路切替部を備えているので、１つのオートコリメータを用いて、複数の色合成光学装置を製造できる。このため、製造装置を複数用いて複数の色合成光学装置を製造する構成と比較して、作業スペースの効率化を図れるとともに、部材の省略から低コスト化を図れる。

本発明の色合成光学装置の製造装置では、前記移動部材は、前記オートコリメータから射出される光束が辿る光路内および前記光路外に前記反射部を移動可能とし、前記光路内に前記反射部を移動させた際に前記測定光の光軸に対して前記反射部の反射面が略４５度を成すように前記反射部を支持し、前記複数の製造装置本体のうち隣接する各製造装置本体は、前記光路切替部による前記各光路の切替位置を中心とした略９０度の回転対称位置に配設されていることが好ましい。
本発明によれば、光路切替部が上述した構成を有し、隣接する各製造装置本体が各光路の切替位置を中心とした略９０度の回転対称位置に配設されているので、複数の製造装置本体を製造装置内に配設した場合であっても、製造装置内において最低限の作業スペースを確保でき、複数の色合成光学装置を効率的に製造できる。

以下、本発明に係る一実施形態を図面に基づいて説明する。
[１．プロジェクタの構造]
図１は、色合成光学装置としてのプリズムユニットを備えるプロジェクタ１を模式的に示す図である。
図２は、プロジェクタ１の内部側を示す斜視図である。
プロジェクタ１は、光源から射出された光束を画像情報に応じて変調して光学像を形成し、形成した光学像をスクリーン（図示略）に向けて拡大投射するものである。このプロジェクタ１は、図１，２に示すように、外装ケース内に収容された電源ユニット３（図２）と、同じく外装ケース内に配置された平面Ｕ字形の光学ユニット４とを備え、全体略直方体状となっている。

電源ユニット３は、図２に示すように、電源３１と、この電源３１の側方に配置されたランプ駆動回路（バラスト）３２とを備える。
電源３１は、電源ケーブルを通して供給された電力をランプ駆動回路３２や図示しないドライバーボード等に供給するものであり、図１，２に示すように、前記電源ケーブルが差し込まれるインレットコネクタ３３を備える。ランプ駆動回路３２は、電力を光学ユニット４の光源ランプ４１１に供給するものである。

[２．光学ユニットの構成]
光学ユニット４は、光源ランプ４１１から射出された光束を画像情報に応じて変調して光学像を形成するユニットであり、インテグレータ照明光学系４１と、色分離光学系４２と、リレー光学系４３と、電気光学装置４４と、色合成光学装置としてのプリズムユニット５０と、投射レンズ４６と、これらの光学系４１〜４４，５０を収納する合成樹脂製の光学部品用筐体４７（図２）とを備える。

インテグレータ照明光学系４１は、電気光学装置４４を構成する３枚の液晶パネル４４１（赤、緑、青の色光毎にそれぞれ液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂと示す）の画像形成領域をほぼ均一に照明するための光学系であり、図１に示すように、光源装置４１３と、第１レンズアレイ４１８と、第２レンズアレイ４１４と、偏光変換素子４１５と、第１コンデンサレンズ４１６と、反射ミラー４２４と、第２コンデンサレンズ４１９とを備える。

光源装置４１３は、図１に示すように、放射状の光線を射出する放射光源としての光源ランプ４１１と、この光源ランプ４１１から射出された放射光を反射するリフレクタ４１２とを備える。光源ランプ４１１は、高圧水銀ランプであるが、ハロゲンランプやメタルハライドランプとしてもよい。リフレクタ４１２としては、放物面鏡を用いている。なお、放物面鏡の他、平行化レンズ（凹レンズ）とともに楕円面鏡を用いた構成としてもよい。

第１レンズアレイ４１８は、光軸方向から見てほぼ矩形状の輪郭を有する小レンズがマトリクス状に配列された構成を有する。各小レンズは、光源ランプ４１１から射出される光束を、複数の部分光束に分割する。
第２レンズアレイ４１４は、第１レンズアレイ４１８と略同様な構成を有し、小レンズがマトリクス状に配列される。第２レンズアレイ４１４は、第１コンデンサレンズ４１６および第２コンデンサレンズ４１９とともに、第１レンズアレイ４１８の各小レンズの像を液晶パネル４４１上に結像させる機能を有する。

偏光変換素子４１５は、第２レンズアレイ４１４と第１コンデンサレンズ４１６との間に配置されるとともに、第２レンズアレイ４１４と一体でユニット化されている。この偏光変換素子４１５は、第２レンズアレイ４１４からの光を１種類の偏光光に変換するものであり、これにより、電気光学装置４４での光の利用効率が高められている。

具体的に、偏光変換素子４１５によって１種類の偏光光に変換された各部分光は、第１コンデンサレンズ４１６および第２コンデンサレンズ４１９によって最終的に電気光学装置４４の液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂ上にほぼ重畳される。偏光光を変調するタイプの液晶パネル４４１を用いたプロジェクタ１では、１種類の偏光光しか利用できないため、他種類のランダムな偏光光を発する光源ランプ４１１からの光のほぼ半分が利用されない。そこで、偏光変換素子４１５を用いることにより、光源ランプ４１１からの射出光を全て１種類の偏光光に変換し、電気光学装置４４での光の利用効率を高めている。

色分離光学系４２は、図１，２に示すように、２枚のダイクロイックミラー４２１，４２２と、反射ミラー４２３とを備え、ダイクロイックミラー４２１，４２２によりインテグレータ照明光学系４１から射出された複数の部分光束を赤、緑、青の３色の色光に分離する機能を有している。

リレー光学系４３は、図１，２に示すように、入射側レンズ４３１、リレーレンズ４３３、および反射ミラー４３２，４３４を備え、色分離光学系４２で分離された色光、青色光を液晶パネル４４１Ｂまで導く機能を有している。

この際、色分離光学系４２のダイクロイックミラー４２１では、インテグレータ照明光学系４１から射出された光束の青色光成分と緑色光成分とが透過するとともに、赤色光成分が反射する。ダイクロイックミラー４２１によって反射した赤色光は、反射ミラー４２３で反射し、フィールドレンズ４１７を通って赤色光用の液晶パネル４４１Ｒに達する。このフィールドレンズ４１７は、第２レンズアレイ４１４から射出された各部分光束をその中心軸（主光線）に対して平行な光束に変換する。他の液晶パネル４４１Ｇ，４４１Ｂの光入射側に設けられたフィールドレンズ４１７も同様である。

ダイクロイックミラー４２１を透過した青色光と緑色光のうちで、緑色光はダイクロイックミラー４２２によって反射し、フィールドレンズ４１７を通って緑色光用の液晶パネル４４１Ｇに達する。一方、青色光はダイクロイックミラー４２２を透過してリレー光学系４３を通り、さらにフィールドレンズ４１７を通って青色光用の液晶パネル４４１Ｂに達する。なお、青色光にリレー光学系４３が用いられているのは、青色光の光路の長さが他の色光の光路の長さよりも長いため、光の発散等による光の利用効率の低下を防止するためである。すなわち、入射側レンズ４３１に入射した部分光束をそのまま、フィールドレンズ４１７に伝えるためである。

電気光学装置４４は、３枚の光変調装置としての液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂを備え、これらは、例えば、ポリシリコンＴＦＴ（Thin Film Transistor）をスイッチング素子として用いたものであり、色分離光学系４２で分離された各色光は、これら３枚の液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂによって、画像情報に応じて変調された光学像を形成する。

[３．色合成光学装置の構造]
プリズムユニット５０は、光学部品用筐体４７の所定位置に取り付けられて、３枚の液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂで変調され射出された各色光を合成してカラー画像を形成するものである。このプリズムユニット５０は、図１，２に示すように、色合成光学素子としてのクロスダイクロイックプリズム４５（図１）と、このクロスダイクロイックプリズム４５の端面に接着固定される固定板４４７（図２）とを備えて構成される。

図３は、クロスダイクロイックプリズム４５を分解して示す平面図である。
クロスダイクロイックプリズム４５は、図３に示すように、３枚の液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂ（図１）から射出された各色光を合成してカラー画像を形成する機能を有し、４つの直角プリズム４５１を各界面に沿って貼り合わせて形成された略立方体状である。
これらの界面において、延出方向に沿った２つの面５０１，５０２の一組である赤色反射面５００には、所定波長域を有する赤色光を反射する図示しない誘電体多層膜が設けられている。
また、延出方向に沿った他の２つの面５１１，５１２の一組である青色反射面５１０には、前述とは異なる波長域を有する青色光を反射する誘電体多層膜が設けられている。

したがって、クロスダイクロイックプリズム４５の内部には、４つの反射面５０１，５０２，５１１，５１２が、互いに９０度の直角なＸ字状に配置され、クロスダイクロイックプリズム４５の上下端面を見た場合には、４つの反射面５０１，５０２，５１１，５１２で形成されるＸ字状線５３０（図１）が確認されることになる。また、２つの色反射面５００，５１０の交線５２０は、クロスダイクロイックプリズム４５の中心位置を示す線である。クロスダイクロイックプリズム４５で合成されたカラー画像は、投射レンズ４６から射出され、スクリーン上に拡大投射される。

なお、本実施形態のクロスダイクロイックプリズム４５とは別に、赤色反射面５００と青色反射面５１０とが反対の位置とされたクロスダイクロイックプリズムも採用できる。また、各一組の反射面５００，５１０のうちいずれかの反射面に、前述とは異なる波長域を有する緑色光を反射する誘電体多層膜を設けたクロスダイクロイックプリズムを採用してもよい。ただし、以下の説明では、前述したクロスダイクロイックプリズム４５で説明する。

図４は、プリズムユニット５０を含む光学部品の構造を示す斜視図である。
図５は、固定板４４７を示す平面図である。
固定板４４７は、図４，５に示すように、平面視略正方形の固定板本体４４８（図５）と、この固定板本体４４８の四隅から外側へ突出した四つの腕部４４７Ａとを備える。
固定板本体４４８は、図５に示すように、中央部分に球状の膨出部４４７Ｃを有する。また、固定板本体４４８における正方形の対角線の位置に、膨出部４４７Ｃの頂上部分、すなわち固定板本体４４８の中心部分である基準点４４７Ｃ１で交差する略Ｘ字状の基準線４４７Ｄが形成されている。
各腕部４４７Ａには、位置決め用凹部としての丸孔４４７Ｂが１つずつ設けられている。これらの丸孔４４７Ｂのうち対角となる位置の２つの丸孔４４７Ｂは、光学部品用筺体４７に形成された位置出し用の突部に嵌合される孔であり、残りの２つの丸孔４４７Ｂは、光学部品用筐体４７に螺合されるネジ挿通用の孔である。

ここで、図４，５を参照し、電気光学装置４４およびプリズムユニット５０を含んで一体的に構成された光学部品の構造について説明する。
図４に示すように、各液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂは、保持枠４４３内に収納され、この保持枠４４３の四隅部分に形成された孔４４３Ａに透明樹脂製のピン４４５を紫外線硬化型接着剤とともに挿入することにより、クロスダイクロイックプリズム４５の側面である光束入射面側に金属製の固定用プレート４４６を介して接着されている。

また、保持枠４４３には、矩形状の開口部４４３Ｂが形成されている。各液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂは、開口部４４３Ｂで露出し、この部分が画像形成領域となる。すなわち、各液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂの画像形成領域に各色光Ｒ，Ｇ，Ｂが導入され、画像情報に応じて光学像が形成される。一体化された液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂおよびプリズムユニット５０を含んで構成される光学部品は、クロスダイクロイックプリズム４５の光束入射面に対して直交する面である上面（プロジェクタ１に設置される場合での鉛直方向上側端面）に接着された固定板４４７を介して部品収納部材４７１に固定される。

光学部品用筐体４７は、図２に示すように、各光学部品４１４〜４１９，４２１〜４２４，４３１〜４３４を上方からスライド式に嵌め込む溝部がそれぞれ設けられた部品収納部材４７１と、部品収納部材４７１の上部の開口側を閉塞する蓋状の蓋状部材（図示略）とを備える。
また、光学部品用筐体４７の光射出側にはヘッド部４９が形成されている。ヘッド部４９の前方側に投射レンズ４６が固定され、後方側に液晶パネル４４１Ｒ，４４１Ｇ，４４１Ｂが取り付けられたプリズムユニット５０が配置される。

[４．色合成光学装置の製造装置の構造]
図６は、色合成光学装置の製造装置としてのプリズムユニット製造装置６００を示す平面図である。
プリズムユニット製造装置６００は、固定板４４７に対するクロスダイクロイックプリズム４５の位置を調整して接着固定することによりプリズムユニット５０を製造する装置である。プリズムユニット製造装置６００は、下側にキャスタ６０１Ａ（図９参照）が設置され移動可能とされた装置台６０１と、この装置台６０１上に設置された２つの製造装置本体６０２，６０３、オートコリメータ６２０、および光路切替装置６０４とを備える。

[4-1．オートコリメータの構造]
図７は、オートコリメータ６２０を示す模式的な断面図である。
オートコリメータ６２０は、図６，７に示すように、製造装置本体６０２，６０３に配置されるクロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅ（図６）に略垂直に測定光Ｘを導入し、その戻り光Ｙを検出する装置であり、プリズムユニット５０に対して位置調整自在とされ、オートコリメータ本体６２１（図７）と、３ＣＣＤカメラ６２５（図７）とを備える。
なお、クロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅに対して、略垂直に測定光Ｘが導入されると、クロスダイクロイックプリズム４５の４つの反射面５０１，５０２，５１１，５１２には、入射角略４５度で測定光Ｘが導入されることになる。

オートコリメータ本体６２１は、図７に示すように、測定光Ｘを射出する光源ユニット６２２と、光源ユニット６２２から射出された測定光Ｘを平行光束として射出する対物レンズ６２３と、光源ユニット６２２から射出された測定光Ｘ、およびこの測定光Ｘの戻り光Ｙを導く導光部６２４とを備える。

光源ユニット６２２は、図７に示すように、対物レンズ６２３のバックフォーカス位置に配置され、ハロゲン光である測定光Ｘを射出する光源６２２Ａと、「＋」形状の透過孔が形成されたチャート６２２Ｂとを備える。光源６２２Ａから射出された測定光Ｘは、チャート６２２Ｂを通過することにより、「＋」形状を有する測定光Ｘとして導光部６２４へ射出される。
導光部６２４は、図７に示すように、光源ユニット６２２のチャート６２２Ｂに対して、略４５度に配置されたハーフミラー６２４Ａを備え、光源ユニット６２２から射出された測定光Ｘは、ハーフミラー６２４Ａで反射された後、対物レンズ６２３で平行光束とされ外部へ射出される。

図８は、３ＣＣＤカメラ６２５および処理部を示す模式図である。
３ＣＣＤカメラ６２５は、図８に示すように、「＋」形状を有する戻り光Ｙを検出する装置であり、色分離ダイクロイックプリズム６２６、および、この色分離ダイクロイックプリズム６２６の各光射出端面６２６Ｒ，６２６Ｇ，６２６Ｂに配置される赤色用撮像素子（Ｒ−ＣＣＤ）６２７Ｒ、緑色用撮像素子（Ｇ−ＣＣＤ）６２７Ｇ、青色用撮像素子（Ｂ−ＣＣＤ）６２７Ｂを有する３ＣＣＤカメラ本体６２９と、ここでは図示しないコンピュータ７００に含まれる処理部６２８とを備える。

色分離ダイクロイックプリズム６２６は、所定形状の３枚のプリズムを貼り合わせて構成され、「＋」形状を有する戻り光Ｙを、赤色光Ｒ、緑色光Ｇ、青色光Ｂの３色光に分離するものである。なお、実際には、戻り光Ｙは、赤色光Ｒまたは青色光Ｂに既に分離された状態で戻ってくるため、色分離ダイクロイックプリズム６２６は、３つの色光に分離するというよりも、色光毎に光束の方向を変える機能を果たしているといえる。
各撮像素子６２７Ｒ，６２７Ｇ，６２７Ｂは、処理部６２８と電気的に接続されており、各撮像素子６２７Ｒ，６２７Ｇ，６２７Ｂで検出された画像信号は処理部６２８へ出力される。
なお、図示を省略するが、３ＣＣＤカメラ６２５の代わりに、戻り光Ｙを拡大する接眼レンズを配置して、この接眼レンズを介して、目視によって戻り光を検出する構成としてもよい。
また、処理部６２８の機能については、後述する。

[4-2．光路切替装置の構造]
光路切替装置６０４は、オートコリメータ６２０から射出された測定光Ｘの光路内外に移動可能に構成され、測定光Ｘの光路を製造装置本体６０２側、および製造装置本体６０３側の光路に切り替えるものである。この光路切替装置６０４は、図６に示すように、切替装置本体６０４１と、移動部材６０４２とを備える。
切替装置本体６０４１は、図６に示すように、オートコリメータ６２０から射出される測定光Ｘの光軸と略４５度なすように配置された矩形状の反射部としての反射ミラー６０４１Ａと、この反射ミラー６０４１Ａを支持する支持板６０４１Ｂを介して、反射ミラー６０４１Ａの水平面回転方向および垂直面傾き方向の位置を、図示しないモータ等の駆動により調整する２軸調整部６０４１Ｃとを備える。
移動部材６０４２は、切替装置本体６０４１を移動自在に支持する部材である。この移動部材６０４２は、図６に示すように、装置台６０１上に配置される基部６０４２Ａと、基部６０４２Ａ上面に形成され切替装置本体６０４１と係合するレール６０４２Ｂとで構成される。
そして、図示しないモータ等の駆動によりレール６０４２Ｂ上を切替装置本体６０４１が摺動し、反射ミラー６０４１Ａが切替位置としての第１の位置Ｐ１に位置付けられた場合（図６中、実線で示す場合）に、オートコリメータ６２０から射出された測定光Ｘが反射ミラー６０４１Ａにて反射され、製造装置本体６０２側に進行する。また、反射ミラー６０４１Ａが第２の位置Ｐ２に位置付けられた場合（図６中、破線で示す場合）に、オートコリメータ６２０から射出された測定光Ｘは光路が変更されることなく、製造装置本体６０３側に進行する。

[4-3．製造装置本体の構造]
図９は、製造装置本体６０２，６０３を示す側面図である。具体的に、図９は、製造装置本体６０２，６０３を光路切替装置６０４の配設位置の反対側から見た側面図である。
なお、以下では、製造装置本体６０２，６０３において、光路切替装置６０４に近接する方向を前方向、離間する方向を後方向、および、光路切替装置６０４の配設位置の反対側から見た場合での左右方向を左右方向として説明する。
製造装置本体６０２，６０３は、同様の構成であり、図６に示すように上述した切替位置としての第１の位置Ｐ１を回転軸とした略９０度の回転対称位置にそれぞれ配置されたものであるため、以下では、製造装置本体６０２の構造のみを説明し、製造装置本体６０３において、製造装置本体６０２と同様の部材については、同一の符号を付して説明を省略する。
製造装置本体６０２は、図９に示すように、固定板保持部としての載置台６１０と、切替装置６３０と、２つの反射部材としての反射装置６４０，６５０と、ＣＣＤカメラ装置６６０と、紫外線照射装置６７０と、ここでは図示しないコンピュータ６８０，７００と、位置調整機構６９０とを備える。

[4-3-1．載置台および位置調整機構の構造]
先ず、載置台６１０および位置調整機構６９０の構造について説明する。
載置台６１０は、固定板４４７を鉛直方向下側から支持固定する部材であり、図９に示すように、装置台６０１の上面から立設した４つの脚部６１１と、４つの脚部６１１に支持される平面視矩形状の支持板６１２と、支持板６１２上面に固定され、固定板４４７を載置固定するための載置台本体６１３とを備える。
なお、載置台本体６１３の詳細な構造については、後述する。

位置調整機構６９０は、固定板４４７に対するクロスダイクロイックプリズム４５の三次元位置を調整する装置である。この位置調整機構６９０は、図９に示すように、位置調整機構本体６９１と、色合成光学素子保持部としてのプリズム挟持部６９２とを備える。

[4-3-1-1．位置調整機構本体の構造]
図１０は、位置調整機構本体６９１を示す側面図である。具体的に、図１０は、図９において、位置調整機構本体６９１を拡大した図である。
位置調整機構本体６９１は、図１０に示すように、モータ等により駆動し、プリズム挟持部６９２の姿勢を調整する部分であり、プリズム挟持部６９２に挟持されたクロスダイクロイックプリズム４５を三次元的に自由な位置に調整できるようになっている。この位置調整機構本体６９１は、図１０に示すように、装置台６０１上に固定される基部６９１１と、鉛直方向に直交する平面内で移動可能としクロスダイクロイックプリズム４５の平面位置を調整する平面位置調整部６９１２と、前記平面の面内で回転可能としクロスダイクロイックプリズム４５の面内回転位置を調整する面内回転位置調整部６９１３と、前記平面の面外方向に回転可能としクロスダイクロイックプリズム４５の面外回転位置を調整する面外回転位置調整部６９１４と、プリズム挟持部６９２を支持する支持板６９１５とを備える。そして、これら平面位置調整部６９１２、面内回転位置調整部６９１３、面外回転位置調整部６９１４、および支持板６９１５は、位置調整機構本体６９１の自重が掛かる方向（鉛直方向）に積層配置されている。

平面位置調整部６９１２は、固定板４４７に対してクロスダイクロイックプリズム４５の前後方向および左右方向の位置（平面位置）を調整する部分である。この平面位置調整部６９１２は、図１０に示すように、基部６９１１上の前後方向に沿って延びるレール６９１１Ａに沿って摺動可能に設けられる板状の前後調整部６９１２Ａと、前後調整部６９１２Ａ上面の左右方向に沿って延びる図示しないレールに沿って摺動可能に設けられる板状の左右調整部６９１２Ｂとを備える。
各調整部６９１２Ａ，６９１２Ｂは、図示しないモータ等の駆動により、装置台６０１に対して前後方向および左右方向を移動する。これにより、プリズム挟持部６９２に挟持されたクロスダイクロイックプリズム４５が固定板４４７に対して左右方向および前後方向に移動する。

面内回転位置調整部６９１３は、図１０に示すように、略円筒形状を有し該筒状軸が鉛直方向（図１０中、上下方向）に向くように平面位置調整部６９１２における左右調整部６９１２Ｂ上面に取り付けられる基部６９１３Ａと、基部６９１３Ａの筒状内部に挿通される略円柱形状を有し、基部６９１３Ａの円周方向に回転自在に設けられる面内回転部６９１３Ｂとを備える。
面内回転部６９１３Ｂは、図示しないモータ等の駆動により、基部６９１３Ａの筒状軸を中心として回転する。これにより、プリズム挟持部６９２に挟持されたクロスダイクロイックプリズム４５が固定板４４７に対して鉛直方向を回転軸として回転する。

面外回転位置調整部６９１４は、固定板４４７に対してクロスダイクロイックプリズム４５の面外回転位置の調整（クロスダイクロイックプリズム４５におけるあおり方向の位置調整）を行う部分である。この面外回転位置調整部６９１４は、図１０に示すように、面内回転位置調整部６９１３の面内回転部６９１３Ｂの上面に取り付けられ上面が左右方向で円弧となるように設けられた板状の第１基部６９１４Ａと、第１基部６９１４Ａの上面に左右方向で円弧となるように摺動可能に設けられた板状の第１調整部６９１４Ｂと、第１調整部６９１４Ｂの上面に取り付けられ上面が前後方向で円弧となるように設けられた板状の第２基部６９１４Ｃと、第２基部６９１４Ｃの上面に前後方向で円弧となるように摺動可能に設けられた板状の第２調整部６９１４Ｄとを備える。
そして、第１調整部６９１４Ｂの側部に設けられた図示しないモータの駆動により、第１調整部６９１４Ｂが摺動し、第２調整部６９１４Ｄの側部に設けられた図示しないモータの駆動により、第２調整部６９１４Ｄが摺動する。これにより、プリズム挟持部６９２に挟持されたクロスダイクロイックプリズム４５が固定板４４７に対して前後方向および左右方向を回転軸として回転する。

支持板６９１５は、平面視略矩形形状を有する板体で構成される。そして、支持板６９１５は、載置台６１０における支持板６１２の長手方向と支持板６９１５の長手方向とが略４５度で交差するように面外回転位置調整部６９１４における第２調整部６９１４Ｄ上面に取り付けられる。このような配置により、支持板６９１５の両端部側は、支持板６１２と平面的に干渉しない位置まで延出する（図１１参照）。

[4-3-1-2．プリズム挟持部の構造]
図１１，１２は、プリズム挟持部６９２および載置台本体６１３の構造を示す図である。具体的に、図１１は、プリズム挟持部６９２および載置台本体６１３の平面図である。図１２は、プリズム挟持部６９２および載置台本体６１３の側面図である。
プリズム挟持部６９２は、位置調整機構本体６９１における支持板６９１５の上面に取り付けられ、クロスダイクロイックプリズム４５を側方から挟持する部分である。このプリズム挟持部６９２は、図１１，１２に示すように、一対の挟持部としての支持受け装置６９２１および押圧装置６９２２とを備える。

支持受け装置６９２１は、クロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅおよび入射端面４５Ｒを支持する部分である。この支持受け装置６９２１は、図１１，１２に示すように、支持板６９１５の上面における載置台６１０の支持板６１２と平面的に干渉しない両端部側のうち一方の端部側に立設される。そして、この支持受け装置６９２１は、図１１，１２に示すように、上方側に突出するとともに突出方向先端部分が支持板６１２の上方側に向けて突出し支持受け装置６９２１全体を支持する基部６９２１Ａと、基部６９２１Ａの突出方向先端部分に取り付けられクロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅおよび入射端面４５Ｒを支持する支持受け部６９２１Ｂとを備える。

支持受け部６９２１Ｂは、図１１，１２に示すように、その先端部分が左右方向および前後方向にそれぞれ延出し、クロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅおよび入射端面４５Ｒ（図１１）を平面的に覆う平面視Ｌ字形状の一対の支持片６９２１Ｃ，６９２１Ｄを有している。
これら一対の支持片６９２１Ｃ，６９２１Ｄは、図１１，１２に示すように、鉛直方向略中央部分に先端部分から基端部分にかけて切り欠き６９２１Ｃ１，６９２１Ｄ１を有し、平面視略コ字形状を有している。
また、これら一対の支持片６９２１Ｃ，６９２１Ｄには、図１１，１２に示すように、鉛直方向上端縁からクロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅおよび入射端面４５Ｒの当接面にかけて、クロスダイクロイックプリズム４５を吸着する吸入用孔６９２１Ｃ２，６９２１Ｄ２が形成されている。これら吸入用孔６９２１Ｃ２，６９２１Ｄ２の鉛直方向上端縁の開口には、エアーチューブ（図示略）を介して吸引装置（図示略）が接続されている。そして、前記吸引装置を駆動することで、クロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅおよび入射端面４５Ｒが一対の支持片６９２１Ｃ，６９２１Ｄ側に引き寄せられ、クロスダイクロイックプリズム４５が支持受け部６９２１Ｂに吸着される。

さらに、左右方向に延出する支持片６９２１Ｃにおけるクロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅの当接面には、図１２に示すように、鉛直方向上方側の左右方向略中央部分に平面視円形状の凹部６９２１Ｃ３が形成されている。そして、凹部６９２１Ｃ３には、コンピュータ６８０による制御の下、クロスダイクロイックプリズム４５に向けて白色光を射出する白色ＬＥＤ６９２１Ｅが嵌合している。

押圧装置６９２２は、クロスダイクロイックプリズム４５を支持受け装置６９２１に向けて押圧する部分である。この押圧装置６９２２は、図１１，１２に示すように、支持板６９１５の上面における載置台６１０の支持板６１２と平面的に干渉しない両端部側のうち他方の端部側に立設される。そして、この押圧装置６９２２は、図１１，１２に示すように、上方側に突出し押圧装置６９２２全体を支持する基部６９２２Ａと、基部６９２２Ａの突出方向先端部分に取り付けられるエアーシリンダ６９２２Ｂと、エアーシリンダ６９２２Ｂを構成するロッド６９２２Ｂ１（図１１）の先端部分に取り付けられクロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｂ，４５Ｇ（図１１）を支持受け部６９２１Ｂ側に押圧する押圧部６９２２Ｃとを備える。

エアーシリンダ６９２２Ｂは、一般的なエアーシリンダで構成され、図１１，１２に示すように、ロッド６９２２Ｂ１の先端が支持受け装置６９２１に向き、ロッド６９２２Ｂ１の進退方向が支持板６９１５の長手方向に向くように配設されている。そして、このエアーシリンダ６９２２Ｂが駆動することで、ロッド６９２２Ｂ１が進退移動する。
押圧部６９２２Ｃは、図１１，１２に示すように、直方体形状を有し対向する端面のうち一方の端面にロッド６９２２Ｂ１の先端部分が固定される基部６９２２Ｃ１と、基部６９２２Ｃ１の他方の端面に取り付けられる弾性部材６９２２Ｃ２（図１１）とを備える。
弾性部材６９２２Ｃ２は、図１１，１２に示すように、基部６９２２Ｃ１の他方の端面の四隅位置にそれぞれ取り付けられ、略半球形状を有する。そして、エアーシリンダ６９２２Ｂのロッド６９２２Ｂ１が突出することで、各弾性部材６９２２Ｃ２の球面がクロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｇ，４５Ｂに当接してクロスダイクロイックプリズム４５を支持受け装置６９２１側に押圧する。これら弾性部材６９２２Ｃ２としては、例えば、ウレタン樹脂を採用できる。

[4-3-1-3．載置台本体の構造]
載置台本体６１３は、支持板６１２上面に固定され、固定板４４７を載置固定する部分である。この載置台本体６１３は、図１１に示すように、基部６１３１と、載置部６１３２と、押圧部材としての位置決め固定部６１３３とを備える。
基部６１３１は、平面視矩形板形状を有し、支持板６１２上面に固定される部分である。
載置部６１３２は、平面視矩形板形状を有し、基部６１３１上面に固定され、固定板４４７が載置される部分である。
この載置部６１３２において、その上面には、図１１，１２に示すように、固定板４４７の対角位置にある各丸孔４４７Ｂに対応して、上方に向けて突出する一対の位置決め用突起６１３２Ａが形成されている。
また、この載置部６１３２において、左側（図１１，１２における左側）端面略中央部分から、載置面における配置される固定板４４７の固定板本体４４８の左側（図１１，１２における左側）端面位置に対応する位置にかけて互いに連通し、位置決め固定部６１３３の一部を挿通可能とする挿通孔６１３２Ｂ，６１３２Ｃが形成されている。

位置決め固定部６１３３は、固定板４４７を載置部６１３２に位置決め固定する部分である。この位置決め固定部６１３３は、図１１，１２に示すように、固定部６１３３Ａと、突出ピン６１３３Ｂと、コイルばね６１３３Ｃと、ノブ６１３３Ｄとを備える。
固定部６１３３Ａは、図１１に示すように、平面視略コ字形状を有し、コ字状先端部分が載置部６１３２における左側（図１１における左側）端面に取り付けられ、位置決め固定部６１３３全体を載置部６１３２に固定する部分である。
この固定部６１３３Ａにおいて、コ字状基端部分には、図１１，１２に示すように、突出ピン６１３３Ｂを挿通可能とする挿通孔６１３３Ａ１が形成されている。

突出ピン６１３３Ｂは、図１１，１２に示すように、棒状部材で構成され、固定部６１３３Ａの挿通孔６１３３Ａ１および載置部６１３２における挿通孔６１３２Ｂに挿通される部分である。
この突出ピン６１３３Ｂにおいて、載置部６１３２における挿通孔６１３２Ｂに挿通される先端部分には、図１１，１２に示すように、上方に向けて突出する押さえピン６１３３Ｂ１が取り付けられている。そして、押さえピン６１３３Ｂ１は、突出ピン６１３３Ｂに取り付けられた状態で、先端部分が載置部６１３２における挿通孔６１３２Ｃを介して載置面の上方側に突出する。
また、この突出ピン６１３３Ｂにおいて、長手方向略中央部分には、図１１，１２に示すように、他の部分に対して拡径した拡径部６１３３Ｂ２が形成されている。

コイルばね６１３３Ｃは、固定部６１３３Ａに対して突出ピン６１３３Ｂを載置部６１３２の内部側に押圧する部分である。このコイルばね６１３３Ｃは、図１１，１２に示すように、突出ピン６１３３Ｂを挿通し、一端が固定部６１３３Ａのコ字状基端部分に当接し、他端が突出ピン６１３３Ｂの拡径部６１３３Ｂ２に当接する。
ノブ６１３３Ｄは、突出ピン６１３３Ｂの基端部分に取り付けられ、突出ピン６１３３Ｂの位置を変更するためのノブである。

[4-3-2．切替装置の構造]
図１３および図１４は、切替装置６３０の構造を示す図である。具体的に、図１３は、切替装置６３０を光路切替装置６０４の配設位置側から見た正面図である。図１４は、切替装置６３０の側面図である。
切替装置６３０は、オートコリメータ６２０および固定板４４７の間に配置され（図６）、図１３に示すように、オートコリメータ６２０から射出された測定光Ｘの導入方向から見て、クロスダイクロイックプリズム４５の交線５２０によって区画される２つの領域としての左側領域ＬＡおよび右側領域ＲＡのうち、いずれか一方の領域ＬＡ，ＲＡのみに測定光Ｘを導入する、換言すれば、いずれか一方の領域ＬＡ，ＲＡのみに測定光Ｘを導入させない装置である。この切替装置６３０は、図１３，１４に示すように、支持板６１２の前面に設置されており、測定光Ｘを遮蔽する金属製で長方形状の遮光板６３１と、この遮光板６３１の下側に固定され、支持板６１２に対して左右方向に摺動可能な摺動部６３２と、この摺動部６３２の前側に固定された操作部６３３とを備える。

摺動部６３２は、図１３に示すように、支持板６１２の前面に設置され、左右方向に延びるレール６３２Ａと、遮光板６３１の下側に固定されるとともに、レール６３２Ａに沿って摺動自在に設けられる摺動部本体６３２Ｂとを備える。この摺動部６３２は、遮光板６３１が設けられた際には、この遮光板６３１により、クロスダイクロイックプリズム４５の左側領域ＬＡおよび右側領域ＲＡのうち、一方の領域ＬＡ，ＲＡのみ覆うように設計されている。

操作部６３３は、図１３，１４に示すように、摺動部本体６３２Ｂの前面にねじ止めされた長尺状の操作部本体６３３Ａと、この操作部本体６３３Ａの上端部に固定されたハンドル６３３Ｂと、操作部本体６３３Ａの下端部および支持板６１２の前面に固定された軸部材６３３Ｃとを備える。これにより、ハンドル６３３Ｂは、軸部材６３３Ｃを軸として回動可能となっている。
以上まとめれば、ハンドル６３３Ｂの回動に応じて、摺動部本体６３２Ｂがレール６３２Ａに沿って左右方向に摺動するので、摺動部本体６３２Ｂに固定された遮光板６３１も左右方向に移動し、結果として、ハンドル６３３Ｂの操作により、クロスダイクロイックプリズム４５の左側領域ＬＡおよび右側領域ＲＡのうちの一方の領域ＬＡ，ＲＡのみを覆うことができるようになっている。

[4-3-3．反射装置の構造]
反射装置６４０，６５０は、図６，９に示すように、製造装置本体６０２に配置されるクロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｒ，４５Ｂにそれぞれ対向配置され、オートコリメータ６２０から製造装置本体６０２に導入されクロスダイクロイックプリズム４５を介した測定光Ｘを反射して、戻り光Ｙとしてオートコリメータ６２０に戻す装置である。
反射装置６４０は、支持板６１２の上面における右側（図６，９中、右側）にクロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｒに対向するように配置され、クロスダイクロイックプリズム４５の赤色反射面５００で反射された測定光Ｘを反射して、戻り光Ｙとしてオートコリメータに戻す。この反射装置６４０は、図６，９に示すように、クロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｒに対向配置された矩形状の反射ミラー６４１と、この反射ミラー６４１を支持する支持板６４２を介して、反射ミラー６４１の水平面回転方向および垂直面傾き方向の位置を、モータ等の駆動により調整する２軸調整部６４３とを備える。

反射装置６５０は、支持板６１２の上面における左側（図６，９中、左側）にクロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｂに対向するように配置され、クロスダイクロイックプリズム４５の青色反射面５１０で反射された測定光Ｘを反射して、戻り光Ｙとしてオートコリメータ６２０に戻す。この反射装置６４０は、図６，９に示すように、クロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｂに対向配置された矩形状の反射ミラー６５１と、この反射ミラー６５１を支持する支持板６５２を介して、反射ミラー６５１の水平面回転方向および垂直面傾き方向の位置を、モータ等の駆動により調整する２軸調整部６５３とを備える。なお、反射ミラー６４１，６５１および上述した光路切替装置６０４を構成する反射ミラー６０４１Ａは同じものであり、２軸調整部６４３，６５３および上述した光路切替装置６０４を構成する２軸調整部６０４１Ｃも同じものである。

[4-3-4．ＣＣＤカメラ装置および固定用紫外線光源装置の構造]
図１５および図１６は、ＣＣＤカメラ装置６６０および紫外線照射装置６７０の構造を示す図である。具体的に、図１５は、ＣＣＤカメラ装置６６０および紫外線照射装置６７０の平面図である。図１６は、ＣＣＤカメラ装置６６０および紫外線照射装置６７０を光路切替装置６０４の配設位置の反対側から見た側面図である。
ＣＣＤカメラ装置６６０は、製造装置本体６０２に配置されるクロスダイクロイックプリズム４５の鉛直方向上側端面を撮像し、クロスダイクロイックプリズム４５のＸ字状線５３０を検出する装置である。このＣＣＤカメラ装置６６０は、図１５，１６に示すように、支持部６６１と、位置調整部６６２と、ＣＣＤカメラ本体６６３とを備える。

支持部６６１は、図１５，１６に示すように、装置台６０１上面において、載置台６１０に対して前方側に立設され、ＣＣＤカメラ装置６６０全体を支持する部分である。
位置調整部６６２は、ＣＣＤカメラ本体６６３の撮像位置およびフォーカス位置を調整可能にＣＣＤカメラ本体６６３を支持する部分である。この位置調整部６６２は、図１５，１６に示すように、フォーカス位置調整部６６２１と、撮像位置調整部６６２２とを備える。
フォーカス位置調整部６６２１は、支持部６６１を挿通可能とする略筒形状を有し、支持部６６１に対して鉛直方向に移動自在とする部分である。そして、フォーカス位置調整部６６２１を鉛直方向に移動することで、位置調整部６６２に支持されるＣＣＤカメラ本体６６３のフォーカス位置が調整される。
撮像位置調整部６６２２は、図１６に示すように、第１調整部６６２２Ａと、第２調整部６６２２Ｂと、腕部６６２２Ｃとを備える。

第１調整部６６２２Ａは、図１５，１６に示すように、フォーカス位置調整部６６２１の上面に固定される基部６６２２Ａ１と、基部６６２２Ａ１の上面に前後方向に延びるように形成された凹部６６２２Ａ２と係合し凹部６６２２Ａ２に沿って前後方向に移動自在とする前後調整部６６２２Ａ３とを備える。そして、前後調整部６６２２Ａ３が前後方向に移動することで、位置調整部６６２に支持されるＣＣＤカメラ本体６６３の撮像位置が前後方向に調整される。
第２調整部６６２２Ｂは、図１６に示すように、前後調整部６６２２Ａ３の上面に固定される基部６６２２Ｂ１と、基部６６２２Ｂ１の上面に左右方向に延びるように形成されたレール（図示略）と係合し前記レールに沿って左右方向に移動自在とする左右調整部６６２２Ｂ３とを備える。そして、左右調整部６６２２Ｂ３が左右方向に移動することで、位置調整部６６２に支持されるＣＣＤカメラ本体６６３の撮像位置が左右方向に調整される。

腕部６６２２Ｃは、図１５，１６に示すように、左右調整部６６２２Ｂ３の上面に固定され、配置されるクロスダイクロイックプリズム４５の上方側に向けて延び、先端部分にてＣＣＤカメラ本体６６３を支持する部分である。
ＣＣＤカメラ本体６６３は、図１５，１６に示すように、鉛直方向下側を撮像するように腕部６６２２Ｃに支持される。そして、ＣＣＤカメラ本体６６３は、コンピュータ６８０と電気的に接続され、撮像した画像に応じた信号をコンピュータ６８０に出力する。

紫外線照射装置６７０は、固定板４４７およびクロスダイクロイックプリズム４５間に塗布される紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射し、固定板４４７に対してクロスダイクロイックプリズム４５を固定する装置である。この紫外線照射装置６７０は、図１５，１６に示すように、支持部６７１と、位置調整部６７２と、４つの照射装置本体６７３とを備える。
支持部６７１は、図１５，１６に示すように、装置台６０１上面において、載置台６１０に対して前方側に立設され、紫外線照射装置６７０全体を支持する部分である。
この支持部６７１において、後方側（図１５中、下側）の端面には、鉛直方向に延びる２本のレール６７１１が形成されている。

位置調整部６７２は、照射装置本体６７３の鉛直方向の位置を調整可能に照射装置本体６７３を支持する部分である。この位置調整部６７２は、図１５，１６に示すように、摺動部６７２１と、支持部材６７２２とを備える。
摺動部６７２１は、図１５，１６に示すように、鉛直方向に延びる板状部材から構成され、前方側（図１５中、上側）の端面には、支持部６７１における２本のレール６７１１に応じた２つの凹部６７２１Ａ（図１５）が形成されている。この摺動部６７２１は、２つの凹部６７２１Ａが２本のレール６７１１に係合し、２本のレール６７１１に沿って鉛直方向に摺動する。そして、摺動部６７２１が鉛直方向に移動することで、支持部材６７２２に支持される照射装置本体６７３が照射位置（図１６において、実線で示す位置）および非照射位置（図１６において、破線で示す位置）に移動する。

支持部材６７２２は、照射装置本体６７３を支持する部分である。この支持部材６７２２は、図１５，１６に示すように、腕部６７２２Ａと、一対の取付片６７２２Ｂと、４つの取付部６７２２Ｃとを備える。
腕部６７２２Ａは、図１５，１６に示すように、摺動部６７２１の上方側端面に固定され、配置されるクロスダイクロイックプリズム４５の上方側に向けて延びる、平面視略Ｌ字形状を有している。
この腕部６７２２Ａにおいて、先端部分には、図１５に示すように、平面視矩形状の開口部６７２２Ａ１が形成されている。
一対の取付片６７２２Ｂは、図１５，１６に示すように、腕部６７２２Ａにおける先端部分の対向する端部に取り付けられ、鉛直方向下側に延出する略コ字形状を有している。
４つの取付部６７２２Ｃは、図１５，１６に示すように、棒状部材で構成され、一対の取付片６７２２Ｂの下側に延出したコ字状先端部分に４つの取付ピン６７２２Ｄを介して長手方向が左右方向に向き、先端部分が腕部６７２２Ａの開口部６７２２Ａ１と平面的に干渉するように取り付けられる。そして、４つの取付部６７２２Ｃの先端部分にて４つの照射装置本体６７３をそれぞれ支持する。
このような状態では、４つの照射装置本体６７３は、配置されるクロスダイクロイックプリズム４５の各端面４５Ｅ，４５Ｒ，４５Ｇ，４５Ｂにおける鉛直方向上側端縁の略中央部分に対応する位置に配置されることとなる。
また、このような状態では、図１５，１６に示すように、４つの照射装置本体６７３が非照射位置（図１６において、破線で示す位置）に位置付けられた場合に、４つの照射装置本体６７３で囲まれる空間に、ＣＣＤカメラ本体６６３の先端部分が挿通可能となる。

照射装置本体６７３は、図１５，１６に示すように、４つで構成され、紫外線を所定位置に収束した状態で照射する部分である。これら照射装置本体６７３は、具体的な図示は省略するが、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）モジュールと、集光素子と、固定部材とを備える。
前記ＬＥＤモジュールは、コンピュータ６８０の制御の下、点灯を実施し、製造装置本体６０２に配置されたクロスダイクロイックプリズム４５の鉛直方向上側から鉛直方向下側に向けて光束を放射する。このＬＥＤモジュールは、Ｓｉ基板上に固体発光素子である複数のＬＥＤ素子が配列形成されている。なお、前記ＬＥＤ素子は、400nm以下の紫外線を射出するように構成されている。本実施形態では、前記ＬＥＤ素子は、365nmの紫外線を放射する。また、前記ＬＥＤモジュールには、コンピュータ６８０からの駆動信号に応じて前記各ＬＥＤ素子に駆動電圧を印加する光源駆動回路が形成されている。

前記集光素子は、複数の集光レンズで構成され、前記ＬＥＤモジュールから放射された紫外線を所定位置に集光する。これら集光レンズとしては、紫外線の吸収が少ない材料にて形成することが好ましく、例えば、石英等を採用することが好ましい。
前記固定部材は、前記ＬＥＤモジュールおよび前記集光素子を内部に収納固定し、取付部６７２２Ｃの先端部分に固定される部分である。

[4-3-5．プリズムユニット製造装置の制御構造]
次に、コンピュータ６８０，７００によるプリズムユニット製造装置６００の制御構造を説明する。
図１７は、コンピュータ６８０，７００を含むプリズムユニット製造装置６００の機能構成を示すブロック図である。
コンピュータ６８０は、図１７に示すように、各種プログラムを実行するＣＰＵ(Central Processing Unit)や記憶装置等を有する本体６８１と、この本体６８１で処理された結果を表示するモニタ６８２とを備える。

本体６８１は、図１７に示すように、ＣＣＤカメラ本体６６３で検出されたＸ字状線５３０の画像をコンピュータ用の画像信号に変換するビデオキャプチャボード６８１１と、この変換された画像信号を処理する画像処理部６８１２と、画像処理部６８１２による処理結果等に応じて位置調整機構６９０を駆動制御する調整機構制御部６８１３と、モニタ６８２を駆動制御する表示制御部６８１４と、紫外線照射装置６７０を駆動制御する照射装置制御部６８１５と、光路切替装置６０４を駆動制御する光路切替装置制御部６８１６と、白色ＬＥＤ６９２１Ｅを駆動制御する白色ＬＥＤ制御部６８１７とを備える。

画像処理部６８１２は、予め図示しない記憶装置に記憶された基準Ｘ字状線と、ＣＣＤカメラ本体６６３で検出されたＸ字状線５３０との偏差を算出し、該偏差に応じた信号を調整機構制御部６８１３に出力する。
調整機構制御部６８１３は、例えば、画像処理部６８１２から出力される偏差に応じた信号に基づいて、該偏差が略０となるように、位置調整機構６９０を駆動制御する。
表示制御部６８１４は、前記基準Ｘ字状線、およびＣＣＤカメラ本体６６３で検出されたＸ字状線５３０に応じた駆動信号をモニタ６８２に出力し、モニタ６８２にて前記基準Ｘ字状線および前記Ｘ字状線５３０の画像を表示させる。
照射装置制御部６８１５は、所定のプログラムにしたがって、所定の信号を紫外線照射装置６７０に出力し、照射装置本体６７３を照射位置および非照射位置に位置付けるとともに、照射装置本体６７３から紫外線を照射させる。
光路切替装置制御部６８１６は、所定のプログラムにしたがって、所定の信号を光路切替装置６０４に出力し、移動部材６０４２を駆動させて反射ミラー６０４１Ａを第１の位置Ｐ１および第２の位置Ｐ２にそれぞれ位置付ける。
白色ＬＥＤ制御部６８１７は、所定のプログラムにしたがって、所定の信号を白色ＬＥＤ６９２１Ｅに出力し、白色ＬＥＤ６９２１Ｅに白色光を射出させる。

コンピュータ７００は、図１７に示すように、各種プログラムを実行するＣＰＵや記憶装置等を有する処理部６２８と、この処理部６２８で処理および判定された結果を表示するモニタ６２８Ａとを備える。
処理部６２８は、図１７に示すように、３ＣＣＤカメラ６２５を構成する各撮像素子６２７Ｒ，６２７Ｇ，６２７Ｂ（図８）で検出された戻り光Ｙを画像信号として取り込む画像取込装置としてのビデオキャプチャボード６２８１と、このビデオキャプチャボード６２８１で取り込まれた画像信号を処理する画像処理部６２８２と、画像処理部６２８２による処理結果に応じて位置調整機構６９０を駆動制御する調整機構制御部６２８３と、モニタ６２８Ａを駆動制御する表示制御部６２８４と、画像処理部６２８２による処理結果に応じてクロスダイクロイックプリズム４５が不良品であるか否かを判定する良否判定部６２８５と、良否判定部６２８５で不良品と判定された場合に警報を発生させる警報発生部６２８６とを備える。

画像処理部６２８２は、予め図示しない記憶装置に記憶された測定光Ｘの設計上の位置および３ＣＣＤカメラ本体６２９で検出された戻り光Ｙの位置の偏差を算出する。また、画像処理部６２８２は、算出した偏差に基づいて、クロスダイクロイックプリズム４５の回転偏差量および倒れ偏差量を算出し、該偏差量に応じた信号を調整機構制御部６２８３に出力する。さらに、画像処理部６２８２は、算出した偏差に基づいて、クロスダイクロイックプリズム４５の赤色反射面５００における２つの反射面間５０１，５０２の角度、および青色反射面５１０における２つの反射面間５１１，５１２の角度を測定し、該角度に応じた信号を良否判定部６２８５に出力する。
調整機構制御部６２８３は、例えば、画像処理部６２８２から出力される各偏差量に応じた信号に基づいて、位置調整機構６９０を駆動制御する。
表示制御部６２８４は、前記記憶装置に記憶された設計上の測定光Ｘ、および３ＣＣＤカメラ本体６２９で検出された戻り光Ｙに応じた駆動信号をモニタ６２８Ａに出力し、モニタ６２８Ａにて前記設計上の測定光Ｘおよび前記戻り光Ｙを表示させる。
良否判定部６２８５は、画像処理部６２８２から出力される角度に応じた信号に基づいて、角度が規格値の範囲内にあるか否かを判定し、規格値の範囲外であると判定した場合にクロスダイクロイックプリズム４５が不良品であると判定する。

[５．色合成光学装置の製造方法]
次に、色合成光学装置であるプリズムユニット５０の製造方法について説明する。
図１８は、プリズムユニット５０を模式的に示す図である。
図１９は、プリズムユニット５０の製造方法を説明するフローチャートである。

[準備工程]
先ず、準備工程としてプリズムユニット製造装置６００を構成する各装置の位置調整を実施する（処理Ｓ１）。
図２０は、準備工程を説明するフローチャートである。
先ず、オートコリメータ６２０の位置を特定し固定する（処理Ｓ１１）。
具体的には、図示を省略するが、作業者は、ミラー面を含む基準ミラーブロックを準備して、このミラー面がオートコリメータ６２０に対向するようにプリズムユニット製造装置６００内（例えば、光路切替装置６０４とオートコリメータ６２０の間等）に配置する。この状態で、作業者は、オートコリメータ６２０から測定光Ｘを射出させ、ミラー面で反射された戻り光Ｙを検出させて、モニタ６２８Ａに表示された画像（設計上の測定光Ｘおよび検出された戻り光Ｙの画像）を確認しながら、測定光Ｘを示す位置と戻り光Ｙとを示す位置の画像とが一致するようにオートコリメータ６２０の位置を調整して固定する。

処理Ｓ１１の後、製造装置本体６０３を構成する反射装置６４０，６５０における各反射ミラー６４１，６５１の位置を固定する（処理Ｓ１２）。
具体的に、作業者は、光路切替装置６０４の切替装置本体６０４１を移動部材６０４２により移動させて反射ミラー６０４１Ａを第２の位置Ｐ２（図６）に位置付ける。また、図示を省略するが、作業者は、斜面がミラー面とされた略直角三角柱のダミー三角プリズムを、そのミラー面が赤色反射面５００の位置となるように載置部６１３２の載置面に配置する。この状態で、作業者は、オートコリメータ６２０から測定光Ｘを射出させ、前記ミラー面および反射ミラー６４１で反射され、再度、前記ミラー面で反射された戻り光Ｙを検出させて、モニタ６２８Ａに表示された画像（設計上の測定光Ｘおよび検出された戻り光Ｙの画像）を確認しながら、測定光Ｘを示す位置と戻り光Ｙを示す位置の画像とを一致させ、反射ミラー６４１の位置を２軸調整部６４３により調整して固定する。同様に、前記ダミー三角プリズムを、そのミラー面が青色反射面５１０の位置となるように入れ替え配置し、反射ミラー６５１の位置を２軸調整部６５３により調整して固定する。

処理Ｓ１２の後、光路切替装置６０４における反射ミラー６０４１Ａの位置を固定する（処理Ｓ１３）。
具体的に、作業者は、光路切替装置６０４の切替装置本体６０４１を移動部材６０４２により移動させて反射ミラー６０４１Ａを第１の位置Ｐ１（図６）に位置付ける。また、図示を省略するが、作業者は、側面がミラー面とされた略直方体状のダミープリズムを、そのミラー面がオートコリメータ６２０から射出される測定光Ｘの光軸と直交するように載置部６１３２の載置面に配置する。この状態で、作業者は、オートコリメータ６２０から測定光Ｘを射出させ、反射ミラー６０４１Ａを介して製造装置本体６０２内に導入させ、前記ミラー面で反射され、再度、反射ミラー６０４１Ａで反射された戻り光Ｙを検出させて、モニタ６２８Ａに表示された画像（設計上の測定光Ｘおよび検出された戻り光Ｙの画像）を確認しながら、測定光Ｘを示す位置と戻り光Ｙを示す位置の画像とが一致するように反射ミラー６０４１Ａの位置を２軸調整部６０４１Ｃにより調整して固定する。

処理Ｓ１３の後、製造装置本体６０２を構成する反射装置６４０，６５０における各反射ミラー６４１，６５１の位置を固定する（処理Ｓ１４）。
具体的に、作業者は、光路切替装置６０４の切替装置本体６０４１を移動部材６０４２により移動させて反射ミラー６０４１Ａを第１の位置Ｐ１に位置付ける。また、作業者は、処理Ｓ１２と同様に、前記ダミー三角プリズムを載置部６１３２の載置面に配置する。そして、処理Ｓ１２と同様の方法で、製造装置本体６０２の各反射ミラー６４１，６５１の位置を固定する。

処理Ｓ１４の後、製造装置本体６０２，６０３を構成する各ＣＣＤカメラ本体６６３の位置を固定する（処理Ｓ１５）。
具体的には、図示は省略するが、作業者は、プリズムユニット５０の基準となる基準プリズムユニットを載置部６１３２の載置面に配置する。なお、基準プリズムユニットは、製造誤差のない設計値の外形寸法を有する基準固定板、および基準クロスダイクロイックプリズムを一体に設けたものである。この状態で、作業者は、コンピュータ６８０を操作して、基準プリズムユニットの鉛直方向上側から基準クロスダイクロイックプリズムのＸ字状線をＣＣＤカメラ本体６６３に検出させる。そして、作業者は、モニタ６８２に表示された画像（検出されたＸ字状線の画像）を確認しながら、検出されたＸ字状線の画像のフォーカスが合うようにフォーカス位置調整部６６２１によりＣＣＤカメラ本体６６３を鉛直方向に移動させてフォーカス位置を調整して固定する。また、作業者は、モニタ６８２に表示された画像（記憶装置に記憶された基準Ｘ字状線および検出されたＸ字状線の画像）を確認しながら、基準Ｘ字状線と検出されたＸ字状線の画像とが一致するように撮像位置調整部６６２２によりＣＣＤカメラ本体６６３を前後方向および左右方向に移動させて撮像位置を調整して固定する。

処理Ｓ１５の後、製造対象となる２つの固定板４４７をそれぞれ製造装置本体６０２，６０３における載置部６１３２の載置面にそれぞれ設置する（処理Ｓ１６）。
具体的に、作業者は、位置決め固定部６１３３を構成するノブ６１３３Ｄを操作して（把持して）突出ピン６１３３Ｂを載置部６１３２から離間する方向に移動させた状態で、固定板４４７における対角位置にある各腕部４４７Ａの各丸孔４４７Ｂに載置部６１３２の一対の位置決め用突起６１３２Ａを嵌合させる。このように嵌合させることで、固定板４４７が載置部６１３２の載置面の大まかな位置に位置決めされる。この後、作業者がノブ６１３３Ｄを離すと、コイルばね６１３３Ｃの付勢力により、突出ピン６１３３Ｂが載置部６１３２内部に向けて移動する。そして、突出ピン６１３３Ｂの先端部分に取り付けられた押さえピン６１３３Ｂが固定板本体４４８の左側（図１１，１２における左側）端面に当接して固定板４４７を右側（図１１，１２における右側）に押圧する。このように押圧することで、固定板４４７の各丸孔４４７Ｂと載置部６１３２の位置決め用突起６１３２Ａとが当接し、固定板４４７が載置部６１３２の載置面に位置決め固定される。

処理Ｓ１６の後、処理Ｓ１６において設置された各固定板４４７を構成する固定板本体４４８の鉛直方向上面（膨出部４４７Ｃ近傍）に図示しないディスペンサを用いて紫外線硬化型接着剤を塗布する（処理Ｓ１７）。

処理Ｓ１７の後、製造対象となる２つのクロスダイクロイックプリズム４５をそれぞれ製造装置本体６０２，６０３における位置調整機構６９０のプリズム挟持部６９２に設置する（処理Ｓ１８）。
具体的に、先ず、作業者は、クロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅおよび入射端面４５Ｒがプリズム挟持部６９２を構成する一対の支持片６９２１Ｃ，６９２１Ｄに当接させる。この状態で、作業者は、前記吸引装置を駆動させて吸入用孔６９２１Ｃ２，６９２１Ｄ２を介してクロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅおよび入射端面４５Ｒを吸入させることで、クロスダイクロイックプリズム４５を支持受け部６９２１Ｂに吸着させて仮セットする。
次に、作業者は、プリズム挟持部６９２を構成するエアーシリンダ６９２２Ｂを駆動させてロッド６９２２Ｂ１を突出させることで、押圧部６９２２Ｃをクロスダイクロイックプリズム４５の入射端面４５Ｇ，４５Ｂに当接させてクロスダイクロイックプリズム４５を支持受け部６９２１Ｂ側に押圧させる。
以上により、支持受け部６９２１Ｂおよび押圧部６９２２Ｃにてクロスダイクロイックプリズム４５が挟持固定される。また、この状態では、固定板４４７の膨出部４４７Ｃにクロスダイクロイックプリズム４５の端面が当接し、固定板４４７とクロスダイクロイックプリズム４５との隙間に未硬化の状態である紫外線硬化型接着剤が充填された状態となる。

以上により準備工程（処理Ｓ１）が完了する。
そして、準備工程（処理Ｓ１）の後、作業者は、コンピュータ６８０を操作して光路切替装置６０４の切替装置本体６０４１を移動部材６０４２により移動させて反射ミラー６０４１Ａを第１の位置Ｐ１（図６）に位置付ける。この状態で、先ず、製造装置本体６０２内に設置された固定板４４７およびクロスダイクロイックプリズム４５に対して、以下に示す位置調整工程、位置検査工程、接着固定工程、および取り外し工程を実施する。

[位置調整工程]
位置調整工程としては、載置部６１３２に固定された固定板４４７に対して、クロスダイクロイックプリズム４５の空間的な位置を調整する（処理Ｓ２）。
図２１は、位置調整工程を説明するフローチャートである。
先ず、クロスダイクロイックプリズム４５の交線５２０を略中心として、固定板４４７の接着面に対する各反射面５０２，５１２の回転位置を調整する（処理Ｓ２１）。さらに、固定板４４７の接着面に対する各反射面５０２，５１２の倒れ位置も略同時に調整する（処理Ｓ２２）。
図２２は、クロスダイクロイックプリズム４５の回転位置調整方法および倒れ位置調整方法を説明するフローチャートである。
図２３ないし図２５は、クロスダイクロイックプリズム４５の回転位置調整方法および倒れ位置調整方法を説明するための図である。
先ず、作業者は、左側領域ＬＡを遮光板６３１で遮蔽した状態で、オートコリメータ６２０から、光路切替装置６０４の反射ミラー６０４１Ａを介して、入射角略４５度でクロスダイクロイックプリズム４５の射出端面４５Ｅに測定光Ｘを導入させる（処理Ｓ２２１）。
この際、導入された測定光Ｘは、青色反射面５１２で反射されて青色測定光ＸＢとなり、その後、反射ミラー６５１で反射されて戻り光ＹＢとなり、この戻り光ＹＢは、青色反射面５１２で反射された後に、射出端面４５Ｅから射出されて反射ミラー６０４１Ａを介してオートコリメータ６２０に戻る。そして、作業者は、コンピュータ７００を操作して、戻り光ＹＢの位置を３ＣＣＤカメラ６２５の撮像素子６２７Ｂで検出させる（処理Ｓ２２２）。

処理Ｓ２２２の後、検出された戻り光ＹＢの画像は、ビデオキャプチャボード６２８１でこの検出信号として取り込まれ、画像処理部６２８２で検出信号が画像処理される（処理Ｓ２２３）。この際、コンピュータ７００は、処理した画像をモニタ６２８Ａに表示するとともに、記憶装置等に記憶する。
具体的に、画像処理部６２８２は、予め設定された測定光Ｘの設計上の位置である基準位置と、戻り光Ｙの画像位置との偏差量、例えば、図２３に示すモニタ６２８Ａ上の左右方向の偏差量Ｄ２を算出する。そして、画像処理部６２８２は、偏差量Ｄ２に基づいて、例えば、図２４に示すように、基準位置に対する青色反射面５１２の回転偏差量θＢ１を算出する。また、画像処理部６２８２は、基準位置と、戻り光Ｙの画像位置との偏差量、例えば、図２３に示すモニタ６２８Ａ上の左右方向の偏差量Ｄ１を算出する。そして、画像処理部６２８２は、偏差量Ｄ１に基づいて、例えば、図２５に示すように、基準位置に対する倒れ量θＢ２すなわち照明光軸に対するあおり量を算出する。そして、画像処理部６２８２は、算出した回転偏差量θＢ１および倒れ量θＢ２に応じた信号を調整機構制御部６２８３に出力する。

処理Ｓ２２３の後、調整機構制御部６２８３は、画像処理部６２８２にて算出された回転偏差量θＢ１を認識し、回転偏差量θＢ１が略０となるように、位置調整機構６９０を構成する面内回転位置調整部６９１３を駆動して、クロスダイクロイックプリズム４５の青色反射面５１２の回転位置を調整する（処理Ｓ２２４）。
処理Ｓ２２４の後、調整機構制御部６２８３は、画像処理部６２８２にて算出された倒れ量θＢ２を認識し、倒れ量θＢ２が略０となるように、位置調整機構６９０を構成する面外回転位置調整部６９１４を駆動して、クロスダイクロイックプリズム４５の青色反射面５１２の倒れ位置を調整する（処理Ｓ２２５）。

同様の手順により、反射ミラー６０４１Ａ、赤色反射面５０２、および反射ミラー６４１で反射された赤色戻り光ＹＲが３ＣＣＤカメラ６２５の撮像素子６２７Ｒで検出され、コンピュータ７００により、例えば、図２４，２５に示す回転偏差量θＲ１および倒れ量θＲ２が算出される。そして、コンピュータ７００は、位置調整機構６９０を駆動制御することで、クロスダイクロイックプリズム４５の赤色反射面５０２の回転位置および倒れ位置を調整する（処理Ｓ２２６）。

なお、回転偏差量θＢ１，θＲ１および倒れ量θＢ２，θＲ２の良品範囲を±５秒に設定しており、これらの良品範囲内となるように調整する。
以上の手順により、クロスダイクロイックプリズム４５の右側領域ＲＡの反射面５０２，５１２を基準とした調整を実施する。

処理Ｓ２２の後、固定板４４７の接着面に対するクロスダイクロイックプリズム４５の平面的な位置を調整する（処理Ｓ２３）。
先ず、作業者は、コンピュータ６８０を操作して、白色ＬＥＤ６９２１Ｅにクロスダイクロイックプリズム４５に向けて白色光を射出させる。
次に、作業者は、コンピュータ６８０を操作して、ＣＣＤカメラ装置６６０のＣＣＤカメラ本体６６３でクロスダイクロイックプリズム４５の上方側からＸ字状線５３０を撮像させる。
ＣＣＤカメラ本体６６３で撮像されたＸ字状線５３０の画像は、ビデオキャプチャボード６８１１でこの検出信号として取り込まれ、画像処理部６８１２で検出信号が画像処理される。この際、コンピュータ６８０は、処理した画像をモニタ６８２に表示する。具体的に、画像処理部６８１２は、前記記憶装置に記憶された基準Ｘ字状線および撮像されたＸ字状線５３０との前後方向および左右方向の各偏差量を算出する。そして、画像処理部６８１２は、各偏差量に応じた信号を調整機構制御部６８１３に出力する。この後、調整機構制御部６８１３は、画像処理部６８１２にて算出された各偏差量を認識し、各偏差量が略０となるように、位置調整機構６９０を構成する平面位置調整部６９１２を駆動して、クロスダイクロイックプリズム４５の平面位置を調整する。

処理Ｓ２３の後、作業者は、モニタ６８２に表示された画像（基準Ｘ字状線および検出されたＸ字状線５３０の画像）を確認して（処理Ｓ２４）、基準Ｘ字状線および検出されたＸ字状線５３０の画像にずれがあるかないかを判定する（処理Ｓ２５）。
処理Ｓ２５において、作業者は、基準Ｘ字状線および検出されたＸ字状線５３０の画像にずれがあると判定した場合には、コンピュータ６８０，７００を操作して、再度、上述した処理Ｓ２１〜Ｓ２３を実施する。すなわち、処理Ｓ２５において、基準Ｘ字状線および検出されたＸ字状線５３０の画像にずれがないと判定するまで、上述した処理Ｓ２１〜Ｓ２３を実施する。

[位置検査工程]
処理Ｓ２の後、位置検査工程として、左側領域ＬＡを遮光板６３１で遮蔽した状態で、プリズムユニット５０のクロスダイクロイックプリズム４５における各反射面５０１，５０２，５１１，５１２間の相対位置を検査する（処理Ｓ３）。
図２６は、位置検査工程を説明するフローチャートである。
図２７および図２８は、位置検査工程を説明するための図である。
作業者は、オートコリメータ６２０から、反射ミラー６０４１Ａを介して右側領域ＲＡに測定光Ｘを射出させる。そして、作業者は、コンピュータ７００を操作して、反射ミラー６４１，６５１で反射された戻り光Ｙを３ＣＣＤカメラ６２５で検出させる（処理Ｓ３１）。より具体的には、測定光Ｘのうち、青色光ＸＢは青色反射面５１０で反射された後、反射ミラー６５１で反射されて青色戻り光ＹＢとなり、再度、青色反射面５１０で反射されて、反射ミラー６０４１Ａを介してオートコリメータ６２０に戻る。その後、この青色戻り光ＹＢの位置が３ＣＣＤカメラ６２５の撮像素子６２７Ｂで検出され、ビデオキャプチャボード６２８１でこの検出信号が取り込まれ、画像処理部６２８２にてこの検出信号が画像処理される。コンピュータ７００は、処理した画像をモニタ６２８Ａに表示するとともに、記憶装置等に記憶する。一方、赤色光も前記青色光と同様に、測定光Ｘのうち、赤色光ＸＲは赤色反射面５０２で反射された後、反射ミラー６４１で反射されて赤色戻り光ＹＲとなり、再度、赤色反射面５０２で反射されて、オートコリメータ６２０に戻る。その後、この赤色戻り光ＹＲの位置が３ＣＣＤカメラ６２５の撮像素子６２７Ｒで検出され、ビデオキャプチャボード６２８１でこの検出信号が取り込まれ、画像処理部６２８２でこの検出信号が画像処理される。コンピュータ７００は、処理した画像をモニタ６２８Ａに表示するとともに、記憶装置等に記憶する。

処理Ｓ３１の後、作業者は、切替装置６３０のハンドル６３３Ｂを操作して、右側領域ＲＡを遮光板６３１で遮蔽する（処理Ｓ３２）。この後、作業者は、左側領域ＬＡに測定光Ｘを射出させ、コンピュータ７００を操作して、反射ミラー６５１で反射された青色戻り光ＹＢと反射ミラー６４１で反射された赤色戻り光ＹＲとを３ＣＣＤカメラ６２５で検出させる。
処理Ｓ３２の後、作業者は、コンピュータ７００を操作して、以下に示すように、クロスダイクロイックプリズム４５の良否判定を実施させる。
先ず、画像処理部６２８２は、前記記憶装置に記憶された画像に基づいて、画像処理を実施する（処理Ｓ３３）。
具体的に、画像処理部６２８２は、前記記憶装置に記憶された青色反射面５１１，５１２を介した各青色戻り光ＹＢの画像に基づいて、例えば、図２７に示す上下方向の偏差量ＤＢ１を算出する。そして、画像処理部６２８２は、偏差量ＤＢ１に基づいて、右側領域ＲＡの青色反射面５１２を基準にした左側領域ＬＡの青色反射面５１１の水平偏差量ＰＢ、すなわち、反射面５１１，５１２同士の延出方向からの偏差量（角度）を算出する。
次に、画像処理部６２８２は、前記記憶装置に記憶された青色反射面５１１，５１２を介した各青色戻り光ＹＢの画像に基づいて、例えば、図２７に示す左右方向の偏差量ＤＢ２を算出する。そして、画像処理部６２８２は、偏差量ＤＢ２に基づいて、右側領域ＲＡの青色反射面５１２を基準にした左側領域ＬＡの青色反射面５１１の角度である垂直偏差量ＱＢ（図示略）を算出する。
また、画像処理部６２８２は、前記青色光の場合と同様に、例えば、図２７に示す右側領域ＲＡの赤色反射面５０２と左側領域ＬＡの赤色反射面５０１との各偏差量ＤＲ１，ＤＲ２に基づいて、図２８に示す赤色反射面５０２を基準とした赤色反射面５０１の水平偏差量ＰＲおよび垂直偏差量ＱＲ（図示略）を算出する。
そして、画像処理部６２８２は、算出した水平偏差量ＰＢ，ＰＲおよび垂直偏差量ＱＢ，ＱＲに応じた信号を良否判定部６２８５に出力する。

処理Ｓ３３の後、良否判定部６２８５は、画像処理部６２８２にて算出された水平偏差量ＰＢ，ＰＲおよび垂直偏差量ＱＢ，ＱＲを認識し、各偏差量が所定の規格値の範囲内であるか否かを判定する（処理Ｓ３４）。判定の結果、規格値の範囲内であった場合には、良品と判定される（処理Ｓ３５）。一方、規格値の範囲外と判定された場合には、不良品と判定され（処理Ｓ３６）、警報発生部６２８６から警報が発せられる（処理Ｓ３７）。
なお、水平偏差量ＰＢ，ＰＲおよび垂直偏差量ＱＢ，ＱＲの良品範囲は±５秒である。

[接着固定工程]
処理Ｓ３の後、接着固定工程として、位置調整されたクロスダイクロイックプリズム４５の上方から、前記紫外線硬化型接着剤に対して紫外線を照射して、この紫外線硬化型接着剤を硬化させることにより、クロスダイクロイックプリズム４５を固定板４４７に接着固定する（処理Ｓ４）。
具体的に、作業者は、コンピュータ６８０を操作して、紫外線照射装置６７０を構成する位置調整部６７２により照射装置本体６７３を照射位置（図１５，１６において、実線で示す位置）に移動する。この状態で、作業者は、コンピュータ６８０を操作して、照射装置本体６７３から紫外線をクロスダイクロイックプリズム４５の上方側から、クロスダイクロイックプリズム４５を介して、クロスダイクロイックプリズム４５と固定板４４７との間に充填された紫外線硬化型接着剤に照射する。

[取り外し工程]
処理Ｓ４の後、取り外し工程として、作業者は、位置決め固定部６１３３を構成するノブ６１３３Ｄを操作して突出ピン６１３３Ｂを載置部６１３２から離間する方向に移動させた状態で、載置部６１３２の載置面からプリズムユニット５０を取り外す（処理Ｓ５）。
以上のようにして、製造装置本体６０２内に設置されたプリズムユニット５０が製造される。

[光路切替工程]
処理Ｓ５の後、作業者は、コンピュータ６８０を操作して、光路切替装置６０４の切替装置本体６０４１を移動部材６０４２により移動させて反射ミラー６０４１Ａを第１の位置Ｐ１に位置付ける（処理Ｓ６）。すなわち、オートコリメータ６２０から射出された測定光Ｘが反射ミラー６０４１Ａにて反射して製造装置本体６０３に導入されるように構成する。

処理Ｓ６の後、上述した処理Ｓ２〜Ｓ５と同様にして、製造装置本体６０３内に設置されたプリズムユニット５０を製造する（処理Ｓ７）。

上述した実施形態では、プリズムユニット製造装置６００において、位置調整機構本体６９１がプリズム挟持部６９２の鉛直方向下側に配設され、位置調整機構本体６９１を構成する平面位置調整部６９１２、面内回転位置調整部６９１３、および面外回転位置調整部６９１４が鉛直方向に積層配置されている。このことにより、位置調整機構６９０を構成する各構成部材に製造誤差等が生じている場合であっても、位置調整機構６９０やクロスダイクロイックプリズム４５等の自重により、クロスダイクロイックプリズム４５の位置を調整している際に、がたつく虞がない。このため、クロスダイクロイックプリズム４５を高精度に位置調整でき、すなわち、プリズムユニット５０を高精度に製造できる。

ここで、載置台６１０が載置台本体６１３にて固定板４４７を鉛直方向下側から支持固定し、載置台本体６１３の鉛直方向下側に位置調整機構本体６９１が配設される。また、プリズム挟持部６９２を構成する支持受け装置６９２１および押圧装置６９２２は、位置調整機構本体６９１を構成する支持板６９１５における載置台本体６１３と平面的に干渉しない両端部側にそれぞれ支持される。このことにより、位置調整機構６９０によりクロスダイクロイックプリズム４５を良好に位置調整できかつ、載置台６１０にて固定板４４７を安定した状態で支持できるため、プリズムユニット５０をより高精度に製造できる。

また、載置台６１０が位置決め固定部６１３３を備えているので、位置決め固定部６１３３により固定板４４７を鉛直方向と直交する水平方向に押圧することで、載置部６１３２における位置決め用突起６１３２Ａの外周面に丸孔４４７Ｂの内周面を確実に当接できる。このため、載置台６１０に対して固定板４４７をがたつきのない状態で支持でき、プリズムユニット５０をより一層高精度に製造できる。

さらに、プリズムユニット製造装置６００がＣＣＤカメラ装置６６０を備えているので、ＣＣＤカメラ本体６６３で撮像されたＸ字状線５３０と基準Ｘ字状線との偏差がなくなるように、位置調整機構６９０でクロスダイクロイックプリズム４５の位置調整を実施することで、固定板４４７に対するクロスダイクロイックプリズム４５の平面位置の調整を簡単な構成で容易に実施できる。
ここで、プリズムユニット製造装置６００がコンピュータ６８０を備えているので、コンピュータ６８０に、ＣＣＤカメラ本体６６３で撮像された画像に基づいてＸ字状線５３０と基準Ｘ字状線との偏差量を算出させ、該偏差量が略０となるように位置調整機構６９０を駆動制御させてクロスダイクロイックプリズム４５の平面位置調整を自動で実施させることができる。このため、モニタ６８２に表示されたＸ字状線５３０および基準Ｘ字状線の画像を確認しながら、手動にて位置調整機構６９０を操作してクロスダイクロイックプリズム４５の平面位置調整を実施する構成と比較して、平面位置調整を迅速にかつより高精度に実施できる。
また、ＣＣＤカメラ本体６６３にＸ字状線５３０を撮像させる際に、白色ＬＥＤ６９２１Ｅを駆動してクロスダイクロイックプリズム４５に白色光を照射しているので、ＣＣＤカメラ本体６６３にてＸ字状線５３０を明確に検出できる。このため、クロスダイクロイックプリズム４５の平面位置調整をより一層高精度に実施できる。

さらにまた、プリズムユニット製造装置６００がオートコリメータ６２０を備え、製造装置本体６０２，６０３が反射装置６４０，６５０をそれぞれ備えているので、測定光Ｘの位置と検出された戻り光Ｙの位置との間の水平、垂直位置の偏差がなくなるように、位置調整機構６９０でクロスダイクロイックプリズム４５の位置調整を実施することで、固定板４４７に対するクロスダイクロイックプリズム４５の面内回転位置の調整、および面外回転位置の調整を簡単な構成で容易に実施できる。
ここで、プリズムユニット製造装置６００がコンピュータ７００を備えているので、コンピュータ７００に、オートコリメータ６２０の３ＣＣＤカメラ本体６２９で撮像された画像に基づいて測定光Ｘの位置と検出された戻り光Ｙの位置との間の水平、垂直位置の偏差量を算出させ、該偏差量が略０となるように位置調整機構６９０を駆動制御させてクロスダイクロイックプリズム４５の面内回転位置調整および面外回転位置調整を自動で実施させることができる。このため、モニタ６２８Ａに表示された測定光Ｘの位置および戻り光Ｙの位置の画像を確認しながら、手動にて位置調整機構６９０を操作してクロスダイクロイックプリズム４５の面内回転位置調整および面外回転位置調整を実施する構成と比較して、面内回転位置調整および面外回転位置調整を迅速にかつより高精度に実施できる。
したがって、上述したようにクロスダイクロイックプリズム４５の平面位置調整、面内回転位置調整、および面外回転位置調整を実施することで、プリズムユニット５０の製造をさらに一層高精度に製造できる。

また、測定光Ｘを導入する装置と、戻り光を検出する装置とを別々に配置する構成も考えられるが、本実施形態では、前記各装置を一体的に構成したオートコリメータ６２０を用いているので、プリズムユニット製造装置６００の小型化を図れる。

そして、プリズムユニット製造装置６００は、光路切替装置６０４を備え、製造装置本体が２つの製造装置本体６０２，６０３で構成されているので、１つのオートコリメータ６２０を用いて、２つのプリズムユニット５０を製造できる。このため、プリズムユニット製造装置６００を２台用いて２つのプリズムユニット５０を製造する構成と比較して、作業スペースの効率化を図れるとともに、部材の省略から低コスト化を図れる。
ここで、光路切替装置６０４において、移動部材６０４２は、オートコリメータ６２０から射出される測定光Ｘの光軸と略４５度なすように反射ミラー６０４１Ａを支持し、反射ミラー６０４１Ａを第１の位置Ｐ１および第２の位置Ｐ２に位置付ける。また、２つの製造装置本体６０２，６０３は、切替位置としての第１の位置Ｐ１を回転軸とした略９０度の回転対称位置に配設されている。このことにより、オートコリメータ６２０から射出された測定光Ｘを簡単な構成で、製造装置本体６０２または製造装置本体６０３に切り替えて導入させることができる。また、２つの製造装置本体６０２，６０３をプリズムユニット製造装置６００内に配設した場合であっても、プリズムユニット製造装置６００内において作業スペースを十分に確保でき、２つのプリズムユニット５０を効率的に製造できる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、固定板保持部として固定板４４７を鉛直方向下側から支持固定する載置台６１０を採用していたが、これに限らず、固定板４４７を保持可能とすればいずれの構成を採用してもよく、例えば、固定板４４７を鉛直方向上側から支持する構成、あるいは、固定板４４７を鉛直方向と直交する側方から支持する構成等を採用してもよい。

前記実施形態では、製造装置本体が２つで構成されていたが、これに限らず、１つで構成してもよく、あるいは、３つ以上で構成してもよい。
前記実施形態では、光路切替装置６０４において、反射ミラー６０４１Ａは、移動部材６０４２により測定光Ｘが辿る光路内である第１の位置Ｐ１および光路外である第２の位置Ｐ２を移動可能に構成されていたが、これに限らない。光路切替装置としては、例えば、反射面が光路中に配設され移動部材により反射面を回動させることで反射面を介した測定光の射出方向を変更して複数の製造装置本体のいずれかに導入させる構成を採用してもよい。また、光路切替装置としては、単体で用いる構成の他、複数用いた構成を採用してもよい。例えば、製造装置本体として製造装置本体６０２，６０３と他の製造装置本体の３つで構成し、隣接する製造装置本体を切替位置としての第１の位置Ｐ１を中心とした略９０度の回転対称位置に配設する。そして、光路切替装置として、前記実施形態で説明した光路切替装置６０４の他、光路切替装置６０４に対して第１の位置Ｐ１を中心とした略１８０度の回転対称位置に他の光路切替装置を配設する。

前記実施形態では、製造装置本体６０２内に設置されたプリズムユニット５０の製造を完了した後に、製造装置本体６０３内に設置されたプリズムユニット５０の製造を実施する構成を説明したが、これに限らない。例えば、位置検査工程（処理Ｓ３）の後に、光路切替工程（処理Ｓ６）を実施し、接着固定工程（処理Ｓ４）や取り外し工程（処理Ｓ５）と並行して製造装置本体６０３内に設置されたプリズムユニット５０の製造（処理Ｓ７）を実施する構成を採用してもよい。

前記実施形態における光路切替装置６０４、オートコリメータ６２０、ＣＣＤカメラ装置６６０、紫外線照射装置６７０、白色ＬＥＤ６９２１Ｅ、および位置調整機構６９０は、それぞれ手動、自動（コンピュータ６８０，７００による制御）のどちらの方法で動作させてもよく、特に限定されない。なお、切替装置６３０では、ハンドル６３３Ｂを手動で操作していたが、自動的に切り替わる構成としてもよい。
前記実施形態では、各製造装置本体６０２，６０３にそれぞれ２つのコンピュータ６８０，７００を設けていたが、これに限らず、各製造装置本体６０２，６０３にそれぞれ１つのコンピュータのみを搭載して各製造装置本体６０２，６０３を制御する構成や、１つのコンピュータのみで２つの製造装置本体６０２，６０３を制御する構成等を採用してもよい。

前記実施形態において、オートコリメータ６２０に３ＣＣＤカメラ６２５を設けたが、これに限らず、単板のＣＣＤカメラや目視で検出するようにしてもよい。単板のＣＣＤカメラを採用する場合には、例えば、測定光Ｘを赤色光および青色光に切り替えて導入すればよい。なお、各色からなる複数のカラーフィルタを用意し、これらのカラーフィルタに順次戻り光Ｙを通過させて、各色光毎に戻り光Ｙを検出する構成としてもよい。

前記実施形態では、オートコリメータ６２０を採用し、測定光Ｘを導入する装置と戻り光Ｙを検出する装置とを一体的に構成したが、前記各装置を別体として構成してもよい。
前記実施形態において、クロスダイクロイックプリズム４５の良品範囲は、前述の数値には限定されない。つまり、組み込まれるプロジェクタ等の光学機器の機種や目的に合わせて、適宜変更すればよい。
本発明により製造されたプリズムユニットは、スクリーンを観察する方向から投写を行なうフロントタイプのプロジェクタに採用したが、これに限らず、スクリーンを観察する方向とは反対側から投写を行なうリアタイプのプロジェクタにも適用可能である。

本発明を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

本発明の製造装置は、色合成光学装置を高精度に製造できるため、プレゼンテーションやホームシアタで用いられるプロジェクタの色合成光学装置を製造する製造装置として有用である。

本実施形態における色合成光学装置としてのプリズムユニットを備えるプロジェクタを模式的に示す図。 前記実施形態におけるプロジェクタの内部側を示す斜視図。 前記実施形態におけるクロスダイクロイックプリズムを分解して示す平面図。 前記実施形態におけるプリズムユニットを含む光学部品の構造を示す斜視図。 前記実施形態における固定板を示す平面図。 前記実施形態における色合成光学装置の製造装置としてのプリズムユニット製造装置を示す平面図。 前記実施形態におけるオートコリメータを示す模式的な断面図。 前記実施形態における３ＣＣＤカメラおよび処理部を示す模式図。 前記実施形態における製造装置本体を示す側面図。 前記実施形態における位置調整機構本体を示す側面図。 前記実施形態におけるプリズム挟持部および載置台本体の構造を示す図。 前記実施形態におけるプリズム挟持部および載置台本体の構造を示す図。 前記実施形態における切替装置の構造を示す図。 前記実施形態における切替装置の構造を示す図。 前記実施形態におけるＣＣＤカメラ装置および紫外線照射装置の構造を示す図。 前記実施形態におけるＣＣＤカメラ装置および紫外線照射装置の構造を示す図。 前記実施形態におけるコンピュータを含むプリズムユニット製造装置の機能構成を示すブロック図。 前記実施形態におけるプリズムユニットを模式的に示す図。 前記実施形態におけるプリズムユニットの製造方法を説明するフローチャート。 前記実施形態における準備工程を説明するフローチャート。 前記実施形態における位置調整工程を説明するフローチャート。 前記実施形態におけるクロスダイクロイックプリズムの回転位置調整方法および倒れ位置調整方法を説明するフローチャート。 前記実施形態におけるクロスダイクロイックプリズムの回転位置調整方法および倒れ位置調整方法を説明するための図。 前記実施形態におけるクロスダイクロイックプリズムの回転位置調整方法および倒れ位置調整方法を説明するための図。 前記実施形態におけるクロスダイクロイックプリズムの回転位置調整方法および倒れ位置調整方法を説明するための図。 前記実施形態における位置検査工程を説明するフローチャート。 前記実施形態における位置検査工程を説明するための図。 前記実施形態における位置検査工程を説明するための図。

符号の説明

４５・・・クロスダイクロイックプリズム（色合成光学素子）、５０・・・プリズムユニット（色合成光学装置）、４４７・・・固定板、４４７Ｂ・・・丸孔（位置決め用凹部）、５００，５０１，５０２，５１０，５１１，５１２・・・反射面、６００・・・プリズムユニット製造装置（色合成光学装置の製造装置）、６０２，６０３・・・製造装置本体、６０４・・・光路切替装置、６１０・・・載置台（固定板保持部）、６２０・・・オートコリメータ、６４０，６５０・・・反射装置（反射部材）、６９０・・・位置調整機構、６９１・・・位置調整機構本体、６９２・・・プリズム挟持部（色合成光学素子保持部）、６０４１Ａ・・・反射ミラー（反射部）、６０４２・・・移動部材、６１３２Ａ・・・位置決め用突起、６１３３・・・位置決め固定部（押圧部材）、６９１２・・・平面位置調整部、６９１３・・・面内回転位置調整部、６９１４・・・面外回転位置調整部、６９１５・・・支持板、６９２１・・・支持受け装置（挟持部）、６９２２・・・押圧装置（挟持部）。

Claims (6)

1. 入射する複数の光束の光軸と直交する方向から見て、入射角略４５度となるように略Ｘ字状に配置される４つの反射面を有し、略Ｘ字状の一方の延出方向に沿った一組の反射面が、他の一組の反射面と異なる波長域の光束を反射するように構成された色合成光学素子と、前記色合成光学素子における前記Ｘ字状の反射面に交差する端面に接着固定される固定板とを備える色合成光学装置の製造装置であって、
   前記固定板を当該製造装置内の所定位置で保持する固定板保持部、および前記色合成光学素子を保持し前記固定板保持部に保持された固定板に対する前記色合成光学素子の位置調整を実施する位置調整機構を含んで構成される製造装置本体を備え、
   前記位置調整機構は、前記色合成光学素子を保持する色合成光学素子保持部と、前記色合成光学素子保持部の鉛直方向下側に配設され前記色合成光学素子保持部を支持する位置調整機構本体とを備え、
   前記位置調整機構本体は、鉛直方向に直交する平面内で移動可能とし前記色合成光学素子の平面位置を調整する平面位置調整部と、前記平面の面内で回転可能とし前記色合成光学素子の面内回転位置を調整する面内回転位置調整部と、前記平面の面外方向に回転可能とし前記色合成光学素子の面外回転位置を調整する面外回転位置調整部とを備え、
   前記平面位置調整部、前記面内回転位置調整部、および前記面外回転位置調整部は、鉛直方向に積層配置されていることを特徴とする色合成光学装置の製造装置。
2. 請求項１に記載の色合成光学装置の製造装置において、
   前記固定板保持部は、前記固定板を鉛直方向下側から支持固定し、
   前記位置調整機構本体は、前記固定板保持部の鉛直方向下側に配設され、両端部側が前記固定板保持部と平面的に干渉しない位置まで延出し前記色合成光学素子保持部を支持する支持板を有し、
   前記色合成光学素子保持部は、前記支持板における鉛直方向上側端面の両端部側にそれぞれ支持され前記色合成光学素子を鉛直方向と直交する側方から挟持する一対の挟持部を備えていることを特徴とする色合成光学装置の製造装置。
3. 請求項２に記載の色合成光学装置の製造装置において、
   前記固定板には、少なくとも２つの位置決め用凹部が形成され、
   前記固定板保持部の支持面には、鉛直方向上側に突出し、前記位置決め用凹部に嵌合可能とする位置決め用突起が形成され、
   前記固定板保持部は、前記固定板の前記位置決め用凹部に前記位置決め用突起が嵌合した状態で、前記固定板を鉛直方向と直交する水平方向に押圧する押圧部材を備えていることを特徴とする色合成光学装置の製造装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の色合成光学装置の製造装置において、
   前記４つの反射面の少なくともいずれかの反射面に入射角略４５度で測定光を導入し、導入された測定光の戻り光を検出するオートコリメータを備え、
   前記製造装置本体は、前記反射面で反射された光束を反射して戻り光として前記オートコリメータに導入する反射部材を備えていることを特徴とする色合成光学装置の製造装置。
5. 請求項４に記載の色合成光学装置の製造装置において、
   前記製造装置本体は、複数で構成され、
   光束を反射する反射部および前記反射部を移動可能に支持する移動部材を含んで構成され、前記移動部材により前記反射部を移動させることで前記オートコリメータから前記複数の製造装置本体までの前記測定光が辿る各光路を切り替える光路切替部を備えていることを特徴とする色合成光学装置の製造装置。
6. 請求項５に記載の色合成光学装置の製造装置において、
   前記移動部材は、前記オートコリメータから射出される光束が辿る光路内および前記光路外に前記反射部を移動可能とし、前記光路内に前記反射部を移動させた際に前記測定光の光軸に対して前記反射部の反射面が略４５度を成すように前記反射部を支持し、
   前記複数の製造装置本体のうち隣接する各製造装置本体は、前記光路切替部による前記各光路の切替位置を中心とした略９０度の回転対称位置に配設されていることを特徴とする色合成光学装置の製造装置。

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