JP2006333546A - インパクト駆動アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の方向とその逆の第2の方向に、圧電振動子102によって微小変位の往復運動を行う振動基板103上に移動子104を配置し、振動基板103に形成した振動基板電極105と、振動基板電極105と絶縁膜106を介して対向するように移動子104に形成された移動子電極107と、の間の電位差によって、振動基板103と移動子104の間に静電吸着力を作用させるインパクト駆動アクチュエータであって、圧電振動子102が振動基板103を往復運動させるに際して、第1の方向に変位するのに要する変位時間と第2の方向におけるそれとが異なり、変位時間が大きい方向に移動子104が振動基板103に対して相対的な変位を行う。
【選択図】図1
Description
次に、圧電素子2に急峻に減少する電圧Bを印加すると、圧電素子2の変位が戻ると同時に駆動軸4も急峻に戻るが、移動体3と駆動軸4の間にはすべりが生じるため、移動体3はその位置にとどまる(図10(A)における状態(c))。
このような波形を圧電素子2に印加することによって、移動体3は点Oから点Pに移動したことになる。
第1の方向とその逆の第2の方向に、変位手段によって微小変位の往復運動を行う振動基板と、
上記振動基板上に配置された第1の移動子と、
上記振動基板に形成された第1の電極と、
上記第1の電極と絶縁層を介して対向するように上記第1の移動子に形成された第2の電極と、
上記第1の電極と上記第2の電極の間の電位差によって上記振動基板と上記第1の移動子の間に第1の静電吸着力を作用させる手段と、
を具備し、
変位手段が上記振動基板を往復運動させるに際して、上記第1の方向に変位するのに要する変位時間と上記第2の方向に変位するのに要する変位時間とが異なり、上記変位時間が大きい方向に上記第1の移動子が上記振動基板に対して相対的な変位を行うことを特徴とする。
まず、図1(A)及び(B)を参照して、本発明の第1実施形態に係るインパクト駆動アクチュエータの構成を説明する。なおここで、図1(A)は、本実施形態に係るインパクト駆動アクチュエータの上面図であり、図1(B)は、その側面断面図である。
次に、図4(A)乃至図5(B)を参照して、本発明の第2実施形態に係るインパクト駆動アクチュエータの構成を説明する。なおここで、図4(A)は、本実施形態に係るインパクト駆動アクチュエータの上面図であり、図4(B)は、その側面断面図である。また、図5(A)は図4(A)におけるA−A’線断面図であり、図5(B)は同じくB−B’線断面図である。
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
上記振動基板上に配置された第1の移動子と、
上記振動基板に形成された第1の電極と、
上記第1の電極と絶縁層を介して対向するように上記第1の移動子に形成された第2の電極と、
上記第1の電極と上記第2の電極の間の電位差によって上記振動基板と上記第1の移動子の間に第1の静電吸着力を作用させる手段と、
を具備し、
変位手段が上記振動基板を往復運動させるに際して、上記第1の方向に変位するのに要する変位時間と上記第2の方向に変位するのに要する変位時間とが異なり、上記変位時間が大きい方向に上記第1の移動子が上記振動基板に対して相対的な変位を行うことを特徴とするインパクト駆動アクチュエータ。
この(1)に記載のインパクト駆動アクチュエータに関する実施形態は、第1及び第2実施形態が対応する。それらの実施形態において、例えば、振動基板103または203が上記振動基板に、移動子104または第1移動子204が上記第1の移動子に、振動基板電極105(105−1,105−2)または吸着用振動基板電極206が上記第1の電極に、移動子電極107または第1移動子電極208が上記第2の電極に、図示しない電圧発生回路が上記第1の静電吸着力を作用させる手段に、それぞれ対応する。
この(1)に記載のインパクト駆動アクチュエータによれば、第1移動子を振動基板に静電吸着力で保持するので、特別な押圧機構が不要となり、アクチュエータを小型化できる。
上記第1の電極と絶縁層を介して対向するように上記第2の移動子に形成された第3の電極と、
上記第1の電極と上記第3の電極の間の電位差によって上記振動基板と上記第2の移動子の間に第2の静電吸着力を作用させる手段と、
を更に具備し、
上記第1の静電吸着力と上記第2の静電吸着力を独立に制御することによって、上記第1の移動子と上記第2の移動子とを独立に変位させることを特徴とする(1)に記載のインパクト駆動アクチュエータ。
この(2)に記載のインパクト駆動アクチュエータに関する実施形態は、第2実施形態が対応する。その実施形態において、第2移動子電極209が上記第2の移動子に、第2移動子電極209が上記第3の電極に、図示しない電圧発生回路が上記第2の静電吸着力を作用させる手段に、それぞれ対応する。
この(2)に記載のインパクト駆動アクチュエータによれば、単一の振動基板上に配置された複数の移動子に対して、静電吸着力による押圧力を独立に制御することで、独立に変位制御できる。
Claims (2)
- 第1の方向とその逆の第2の方向に、変位手段によって微小変位の往復運動を行う振動基板と、
上記振動基板上に配置された第1の移動子と、
上記振動基板に形成された第1の電極と、
上記第1の電極と絶縁層を介して対向するように上記第1の移動子に形成された第2の電極と、
上記第1の電極と上記第2の電極の間の電位差によって上記振動基板と上記第1の移動子の間に第1の静電吸着力を作用させる手段と、
を具備し、
変位手段が上記振動基板を往復運動させるに際して、上記第1の方向に変位するのに要する変位時間と上記第2の方向に変位するのに要する変位時間とが異なり、上記変位時間が大きい方向に上記第1の移動子が上記振動基板に対して相対的な変位を行うことを特徴とするインパクト駆動アクチュエータ。 - 上記振動基板に上に配置された第2の移動子と、
上記第1の電極と絶縁層を介して対向するように上記第2の移動子に形成された第3の電極と、
上記第1の電極と上記第3の電極の間の電位差によって上記振動基板と上記第2の移動子の間に第2の静電吸着力を作用させる手段と、
を更に具備し、
上記第1の静電吸着力と上記第2の静電吸着力を独立に制御することによって、上記第1の移動子と上記第2の移動子とを独立に変位させることを特徴とする請求項1に記載のインパクト駆動アクチュエータ。
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