JP2006332531A - 投影光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法 - Google Patents
投影光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006332531A JP2006332531A JP2005157521A JP2005157521A JP2006332531A JP 2006332531 A JP2006332531 A JP 2006332531A JP 2005157521 A JP2005157521 A JP 2005157521A JP 2005157521 A JP2005157521 A JP 2005157521A JP 2006332531 A JP2006332531 A JP 2006332531A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- projection optical
- liquid
- optical element
- specific
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】投影光学系PLは複数のレンズエレメントを備えており、これら各レンズエレメントのうち最も像面側の第1特定レンズエレメントLS7以外のレンズエレメントは、鏡筒13内に収容されている。第1特定レンズエレメントLS7に露光光ELの光軸方向において隣り合う第2特定レンズエレメントLS6と、この第2特定レンズエレメントLS6の光射出面側の空間16に純水LQを供給するための第2ノズル部材21との間には、隙間S1が形成されている。そして、この隙間S1を介して第2特定レンズエレメントLS6におけるフランジ部LS6Bの下面LS6dと対向する第2ノズル部材21の上面21bには、第2環状溝28が形成されている。
【選択図】 図2
Description
R=−gap /( cosθ1 + cosθ2 )…(2)
ただし、ΔP:隙間S1内における純水LQの圧力,γ:純水LQの表面張力(=7.28×10-2(Nm-1)),R:隙間S1内における純水LQの曲率半径,gap …隙間S1の幅(=10(μm)),θ1 :純水LQと第2特定レンズエレメントLS6との接触角,θ2 :純水LQと第2ノズル部材21との接触角
また、第2ノズル部材21における第2特定レンズエレメントLS6のフランジ部LS6Bの下面LS6dと対向する上面21bには、排出溝としての環状溝(以下、第2ノズル部材21に形成されていることから「第2環状溝」と示す。)28が形成されている。さらに、第2ノズル部材21には、第2環状溝28内と外部とを連通させるための排出通路29が第2環状溝28の底面28aから延びるように形成されている。そして、第2環状溝28内は、排出通路29及びドレーン管(図示略)を介してドレーンタンク(図示略)内と連通している。なお、本実施形態の排出通路29は、第2ノズル部材21内に形成された液体供給通路23や液体回収通路26とは連通していない。
さて、ウエハステージWSTに載置されたウエハWが露光光ELの光路上に配置されると、第1液体供給装置17及び第2液体供給装置18が駆動を開始する。すると、第1液体供給装置17からは純水LQが供給され、この純水LQは、液体供給管22及び液体供給通路23内を流動して、供給用開口部24を介して空間15内に供給される。同時に、第2液体供給装置18からは純水LQが供給され、この純水LQは、液体供給管31及び液体供給通路32内を流動して、供給用開口部33を介して空間16内に供給される。
図4は、デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造例のフローチャートを示す図である。
本実施形態では、以下に示す効果を得ることができる。
・実施形態において、第1特定レンズエレメントLS7の光射出面側の空間15のみに、液浸領域を形成するようにしてもよい。
・実施形態において、第2ノズル部材21の内側面21a及び上面21bと、第2特定レンズエレメントLS6の側面LS6a及びフランジ部LS6Bの下面LS6dとのうち少なくとも一方のみに、撥水処理を施すようにしてもよい。同様に、第1ノズル部材30の内側面30a及び上面30bと、第1特定レンズエレメントLS7の側面LS7a及びフランジ部LS7Bの下面LS7dとのうち少なくとも一方のみに、撥水処理を施すようにしてもよい。
Claims (10)
- 複数の光学素子を有し、該各光学素子のうち特定光学素子の光射出面側の空間に液浸領域を形成可能な投影光学系において、
前記特定光学素子の光射出面のうち、光が通過する第1領域の面とは異なる第2領域の面に対して所定間隔の隙間を空けて配置される環状部材を備え、該環状部材における前記特定光学素子の第2領域の面と対向する対向面に、前記液浸領域の液体を排出するための排出溝を設けた投影光学系。 - 前記排出溝は、環状をなすように形成されている請求項1に記載の投影光学系。
- 前記隙間は、その幅が1mm未満に設定されている請求項1又は請求項2に記載の投影光学系。
- 前記環状部材の対向面及び前記特定光学素子の前記第2領域の面のうち、少なくとも一方には、撥水処理が施されている請求項1〜請求項3のうち何れか一項に記載の投影光学系。
- 前記環状部材には、前記排出溝内と外部とを連通する排出通路が形成されている請求項1〜請求項4のうち何れか一項に記載の投影光学系。
- 前記特定光学素子は、前記各光学素子のうち前記投影光学系の像面に最も近い光学素子である請求項1〜請求項5のうち何れか一項に記載の投影光学系。
- 前記特定光学素子は、前記各光学素子のうち前記投影光学系の像面に最も近い光学素子に次いで前記投影光学系の像面に近い光学素子である請求項1〜請求項5のうち何れか一項に記載の投影光学系。
- 所定のパターンを介した露光光を基板に照射して、前記基板を露光する露光装置において、
請求項1〜請求項7のうち何れか一項に記載の投影光学系と、
前記特定光学素子の光射出面側の空間に液体を供給する液体供給装置と、
前記特定光学素子の光射出面側の空間から液体を回収する液体回収装置とを備えた露光装置。 - 前記投影光学系が備える環状部材には、前記液体供給装置に接続される供給用開口部及び前記液体回収装置に接続される回収用開口部のうち少なくとも一方が形成されている請求項8に記載の露光装置。
- リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、
前記リソグラフィ工程で請求項8又は請求項9に記載の露光装置を用いて露光を行うデバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005157521A JP4720293B2 (ja) | 2005-05-30 | 2005-05-30 | 露光装置、及びデバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005157521A JP4720293B2 (ja) | 2005-05-30 | 2005-05-30 | 露光装置、及びデバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006332531A true JP2006332531A (ja) | 2006-12-07 |
JP4720293B2 JP4720293B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=37553872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005157521A Active JP4720293B2 (ja) | 2005-05-30 | 2005-05-30 | 露光装置、及びデバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4720293B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012142625A (ja) * | 2007-08-02 | 2012-07-26 | Asml Netherlands Bv | バリア部材およびリソグラフィ装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005006417A1 (ja) * | 2003-07-09 | 2005-01-20 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2005020298A1 (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-03 | Nikon Corporation | 光学素子及び露光装置 |
JP2005167211A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-06-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
-
2005
- 2005-05-30 JP JP2005157521A patent/JP4720293B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005006417A1 (ja) * | 2003-07-09 | 2005-01-20 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2005020298A1 (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-03 | Nikon Corporation | 光学素子及び露光装置 |
JP2005167211A (ja) * | 2003-10-28 | 2005-06-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012142625A (ja) * | 2007-08-02 | 2012-07-26 | Asml Netherlands Bv | バリア部材およびリソグラフィ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4720293B2 (ja) | 2011-07-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4510494B2 (ja) | 露光装置 | |
US9182679B2 (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method | |
US8179517B2 (en) | Exposure apparatus and method, maintenance method for exposure apparatus, and device manufacturing method | |
US20060192930A1 (en) | Exposure apparatus | |
JP2007142366A (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
CN1713075A (zh) | 光刻装置和器件制造方法 | |
WO2006030908A1 (ja) | 基板保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
JP2006120674A (ja) | 露光装置及び方法、デバイス製造方法 | |
WO2006059720A1 (ja) | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2006245590A (ja) | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | |
JP4984747B2 (ja) | 光学素子、それを用いた露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 | |
JP2007184336A (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2007096254A (ja) | 露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 | |
KR100859244B1 (ko) | 노광장치 및 디바이스의 제조방법 | |
JP2008218653A (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP4720293B2 (ja) | 露光装置、及びデバイスの製造方法 | |
JP2006332530A (ja) | 投影光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法 | |
JP2009094145A (ja) | 露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 | |
JP2006060016A (ja) | 流体給排装置及びそれを有する露光装置 | |
JP2010267926A (ja) | 基板処理装置及びデバイスの製造方法 | |
JP2009260352A (ja) | 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2009267401A (ja) | 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2007012954A (ja) | 露光装置 | |
JP2008263091A (ja) | 光洗浄部材、メンテナンス方法、洗浄方法、露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 | |
JP2007266409A (ja) | 光学素子、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080314 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100819 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101101 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110321 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4720293 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |