JP2006330623A - 周期分極反転光導波路素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サファイアA面基板101と、この上に形成されてa軸方向に配向したLiNbO3の結晶からなるコア102とから構成され、コア102は、この延在方向(m軸)及びサファイアA面基板101の法線方向(a軸)の両方に垂直な基板平面方向がc軸とされている。また、コア102は、c軸の一方の方向に分極されたドメイン121と、c軸の他方の方向に分極されたドメイン122とが、交互に配列されて構成され、周期分極反転構造とされている。コア102の幅や、コア102よりなる光導波路の光の導波方向のドメイン121,ドメイン122の長さ(配列周期)は、導波する光の基本波と第2高調波の位相が、擬似的に整合するように設定されていればよい。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- 主表面の法線方向が結晶のa軸とされたサファイアからなる基板と、
この基板の上に形成されて前記a軸の方向に配向した金属酸化物の結晶からなるコアと
を少なくとも備え、
前記金属酸化物は、LiNbO3,LiTaO3,MgOが添加されたLiNbO3,及びMgOが添加されたLiTaO3の少なくとも1つから構成され、
前記コアは、c軸に沿った一方の向きに分極された第1ドメインと、c軸に沿った他方の向き分極された第2ドメインとが、前記コアよりなる光導波路の導波方向に交互に配列されて構成されている
ことを特徴とする周期分極反転光導波路素子。 - 主表面の法線方向が結晶のa軸とされたサファイアからなる基板の上にアモルファス状の金属酸化物からなる金属酸化物薄膜が形成された状態とする第1工程と、
前記金属酸化物薄膜を加熱して、前記基板の上に前記a軸に配向した前記金属酸化物の結晶からなる結晶膜が形成された状態とする第2工程と、
分極の方向がc軸に沿った一方の向きとされた領域が前記結晶膜に形成された状態とする第3工程と、
前記c軸に沿った他方の向き分極された部分を所定の間隔を開けて前記領域に形成することで、c軸に沿った一方の向きに分極された第1ドメインと、c軸に沿った他方の向き分極された第2ドメインとが前記領域に形成された状態とする第4工程と、
前記結晶膜の前記領域を加工して前記基板の上に前記a軸の方向に配向した金属酸化物の結晶からなるコアが形成された状態とする第5工程と
を少なくとも備え、
前記金属酸化物は、LiNbO3,LiTaO3,MgOが添加されたLiNbO3,及びMgOが添加されたLiTaO3の少なくとも1つから構成され、
前記コアは、c軸に沿った一方の向きに分極された第1ドメインと、c軸に沿った他方の向き分極された第2ドメインとが、前記コアよりなる光導波路の導波方向に交互に配列された状態に形成される
ことを特徴とする周期分極反転光導波路素子の製造方法。 - 請求項2記載の周期分極反転光導波路素子の製造方法において、
前記第4工程では、
第1電極と櫛形の第2電極を前記結晶膜の上に配置し、前記第1電極と前記第2電極との間に電極間の短い箇所と電極間の長い箇所とが交互に配列された状態として前記結晶膜の前記領域に電界が印加された状態とし、前記領域の前記電極間の短い箇所に前記第2ドメインが形成された状態とし、前記領域の前記電極間の長い箇所に前記第1ドメインが形成された状態とする
ことを特徴とする周期分極反転光導波路素子の製造方法。
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