JP2006329783A - インクリメンタルエンコーダ - Google Patents

インクリメンタルエンコーダ Download PDF

Info

Publication number
JP2006329783A
JP2006329783A JP2005152855A JP2005152855A JP2006329783A JP 2006329783 A JP2006329783 A JP 2006329783A JP 2005152855 A JP2005152855 A JP 2005152855A JP 2005152855 A JP2005152855 A JP 2005152855A JP 2006329783 A JP2006329783 A JP 2006329783A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
zero
mask
main scale
disk
slit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005152855A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Nakamura
豊 中村
Satoshi Minobe
聡 弥延
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sokkia Co Ltd
Original Assignee
Sokkia Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sokkia Co Ltd filed Critical Sokkia Co Ltd
Priority to JP2005152855A priority Critical patent/JP2006329783A/ja
Publication of JP2006329783A publication Critical patent/JP2006329783A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】二つのゼロインデックスのうちどちらを検出したかを確実に認識でき、かつ、測定点の角度を正確に測定できるインクリメンタルエンコーダの提供。
【解決手段】メインスケール21がスリットとして形成された回転可能なディスク2と、このディスクに対応して光を遮光かつ透過可能な第1のマスク3及び第2のマスク4と、発光部51、61及び受光部52、62を有する第1の検出手段5及び第2の検出手段6とを備え、ディスク2は、メインスケール21と異なるトラックの二箇所に形成されたスリット状のゼロインデックス22、23と、このゼロインデックスに対応し、かつ、ゼロインデックスと異なるトラックに形成された一以上の排他的パターン24、25とを有し、マスク3、4は、メインスケール21、二箇所のゼロインデックス22、23及び排他的パターン24、25に対応したスリットを有している。
【選択図】 図1

Description

本発明は、測量機の角度測定等に用いられるインクリメンタルエンコーダに関する。
従来、回転検出や位置検出にエンコーダが広く用いられている。エンコーダには原理上アブソリュート形とインクリメンタル形とがある。
アブソリュート形はエンコーダがいったん機械に組み込まれると、入力回転軸のゼロ位置が定まり、常にゼロ位置を座標原点にした回転角度がデジタルで出力される。これに対してインクリメンタル形では基準とする位置でカウンタの計数値をリセットし、その位置からのパルス数をカウンタで累積加算するため、基準位置を任意に選ぶことができるようになっており、一回転につき一回だけ発生するZ相信号を原点用の信号としている。
このようなインクリメンタルエンコーダとして、メインスケールが形成されたディスクと、サブスケールが形成されたマスクと、これらディスク及びマスクを挟むように配置され、発光部及び受光部を有する検出手段とを備えたインクリメンタルエンコーダであって、ディスク及びマスクに、メインスケール及びサブスケールとは異なるトラックに基準位置検出のためのゼロインデックスがそれぞれ形成されているものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
このゼロインデックスは、ディスク及びマスクに1つ設けられている場合と、二つ180°対向した位置に設けられている場合がある。
測定点の角度は、ゼロインデックスが1つ設けられているものの場合、ゼロインデックスから測定点までの角度と、ゼロインデックスから180°対向した位置にある仮のゼロインデックスから測定点までの角度とを足して2で割ることにより求めている。
また、ゼロインデックスが二つ180°対向した位置に設けられているものの場合、その二つのゼロインデックスを同時に検出する2カ所の検出手段が設けられており、第1のゼロインデックスから測定点までの角度と、第2のゼロインデックスから測定点までの角度とを足して2で割ることにより測定点の角度を求めている。
特開平08−178700号公報
しかしながら、上記ディスク及びマスクに1つのゼロインデックスが設けられているインクリメンタルエンコーダでは、周囲の温度上昇によってディスク及びマスクに膨張や歪み等の変形が生じ、ゼロインデックスから180°対向した位置にある仮のゼロインデックスの位置がずれるため、正確に測定点の角度を測定することができないといった問題がある。
また、上記ディスク及びマスクにゼロインデックスが二つ180°対向した位置に設けられているインクリメンタルエンコーダでは、温度上昇によるディスク及びマスクの変形の影響は小さいものの、検出手段によって二つのゼロインデックスのうちどちらのゼロインデックスを検出したのかが判断できない場合や、誤って認識してしまう場合があり、これらの場合、測定点の角度が正反逆になってしまうことがあるという問題がある。
そこで本発明は、上記の問題点に鑑み、検出手段によって二つのゼロインデックスのうちどちらのゼロインデックスを検出したかを確実に認識でき、測定点の角度を正確に測定することができるインクリメンタルエンコーダを提供することを課題とする。
上記課題を解決するために、本発明のインクリメンタルエンコーダのうち請求項1記載の発明は、メインスケールがスリットとして形成された回転可能なディスクと、スリットに対応して光を遮光かつ透過可能なマスクと、ディスク及びマスクを挟むように配置され、発光部及び受光部を有する検出手段と、を備えたインクリメンタルエンコーダにおいて、ディスクは、メインスケールと異なるトラックの二箇所に形成されたスリット状のゼロインデックスと、ゼロインデックスに対応し、かつ、ゼロインデックスと異なるトラックに形成された一以上の排他的パターンとを有し、マスクは、メインスケール、二箇所のゼロインデックス及び排他的パターンに対応したスリットを有しており、検出手段は、メインスケールを検出する第1検出部と、ゼロインデックスを検出する第2検出部と、排他的パターンを検出する第3検出部とを有していることを特徴とするものである。
また請求項2記載の発明は、メインスケールがスリットとして形成された回転可能なディスクと、スリットに対応して光を遮光かつ透過可能なマスクと、ディスク及びマスクを挟むように配置され、発光部及び受光部を有する検出手段と、を備えたインクリメンタルエンコーダにおいて、ディスクは、メインスケールと異なるトラックの二箇所に形成された排他的パターンであるスリット状のゼロインデックスを有し、マスクは、メインスケール及び二箇所のゼロインデックスに対応したスリットを有しており、検出手段は、メインスケールを検出する第1検出部と、ゼロインデックスを検出する第2検出部とを有していることを特徴とするものである。
また請求項3記載の発明は、上記構成に加え、ゼロインデックスの一方がディスクの円周上の外側に位置し、他方が円周上の内側に位置することにより反転パターンとしたことを特徴とする。
さらに請求項4記載の発明は、ゼロインデックスがランダム系列であることを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、排他的パターンは検出手段による出力が中心部に光量のピークを形成するパターンであることを特徴とする。
本発明によれば、ディスク及びマスクが、基準位置検出のためのゼロインデックスと排他的パターンに対応したスリットとを有しているため、温度上昇等によりディスク及びマスクが変形しても、ゼロインデックス及び排他的パターンのスリットにより基準位置を確実に認識でき、正確に測定点の角度を測定することができる。
また、ゼロインデックスの他に排他的パターンのスリットを有しているため、二つのゼロインデックスが同形状の場合であっても、第3検出部によるスリット検出の結果によって、二つのゼロインデックスのうちどちらのゼロインデックスを検出したかを確実に認識でき、測定点の角度を正確に測定することができる。
また、二つのゼロインデックスを異なる形状にすれば、さらに精度良くゼロインデックスを認識でき、測定点の測定角度が正反逆となることがない。
なお、前記ゼロインデックスが前記排他的パターンのスリットを兼ねると共に、前記第2検出部が前記第3検出部を兼ねるようにしても良い。
本発明のインクリメンタルエンコーダは、メインスケールがスリットとして形成された回転可能なディスクと、このディスクに対応して光を遮光かつ透過可能な第1のマスク及び第2のマスクと、発光部及び受光部を有する第1の検出手段及び第2の検出手段とを備え、ディスクは、メインスケールと異なるトラックの二箇所に形成されたスリット状のゼロインデックスと、このゼロインデックスに対応し、かつ、ゼロインデックスと異なるトラックに形成された一以上の排他的パターンとを有し、第1のマスク及び第2マスクは、メインスケール、二箇所のゼロインデックス及び排他的パターンに対応したスリットを有しており、検出手段は、メインスケールを検出する第1検出部と、ゼロインデックスを検出する第2検出部と、排他的パターンを検出する第3検出部とを有している。
さらに本発明のインクリメンタルエンコーダでは、ゼロインデックスが排他的パターンを兼ねるとともに、第2検出部が第3検出部を兼ねるようにしてもよい。
以下、図1〜図6に基づき、実質的に同一又は対応する部材には同一符号を用いて本発明によるインクリメンタルエンコーダの好適な実施の形態を説明する。
図1を参照して、本実施形態のインクリメンタルエンコーダ1は、光学式インクリメンタルエンコーダであり、ディスク2と、第1のマスク3と、第2のマスク4と、このディスク2及び第1のマスク3又は第2のマスク4を挟むように配置された第1の光学式検出手段5と第2の光学式検出手段6とを備えている。
一般に、第1のマスク3及び第2マスク4を固定した状態でディスク2を回転させるが、装置の構成によっては逆であっても良い。
図1及び図2を参照して、ディスク2には、メインスケール21と、二つのゼロインデックス22、23と、二つの光学的に排他的な排他的パターン24、25とが形成されている。
メインスケール21は、最も外側の円周上にくまなく形成された矩形状のスリットであって等間隔の格子目盛で構成されている。
二つのゼロインデックス22、23は、原点用の基準位置検出のために設けられた矩形状のスリットであり、メインスケール21よりも内側のトラックの180°対向した位置に設けられている。
本実施形態ではゼロインデックス22とゼロインデックス23とは同一円周上に形成されているが、同一円周上でなくてもよく、異なる半径の円周上であってもよい。
このとき、一のゼロインデックスに対応したマスク及び光量を検出する手段と、他のゼロインデックスに対応したマスク及び光量を検出する手段とを用意する必要がある。
ゼロインデックス22、23は、それぞれ異なるランダム系列M1、M2で構成されており、互いに異なるパターン配列となっている。
したがって、ゼロインデックス22とゼロインデックス23とは異なるランダム系列であるため、検出手段5、6の光学的パターンが異なり互いが誤認されることはない。
二つの光学的に排他的パターン24、25は矩形状のスリットであり、ゼロインデックス22、23よりも内側の2トラックにそれぞれ形成されており、二つのゼロインデックス22、23と出力信号が同じ位相になるようにそれぞれ形成されている。
図2に示すように二つの排他的パターン24、25は円周上の外側と円周上の内側とに、動径方向に位置をずらした矩形状スリットとして形成されており、光学的に反転パターンを作っている。
光の断続により生じるパターンは中心部分に光量のピークを持たせるように形成するのがよく、例えばスリットを矩形状にすればよい。
第1のマスク3と第2のマスク4とは、ディスク2に対向して円周上の180°をなす位置に設けられており、第1のマスク3及び第2マスク4には、ディスク2のメインスケール21のトラックに対向する矩形状のスリットであるサブスケール31、41と、ゼロインデックス22、23のトラックに対向する矩形状のスリットであるサブゼロインデックス32、42と、排他的パターン24、25の2トラックに対向する矩形状のスリットであるサブパターン33、43とがそれぞれ形成されている。
第1のマスク3のサブスケール31とサブゼロインデックス32とサブパターン33とは出力信号が同じ位相のパターンとして形成されており、同様に、第2のマスク4のサブスケール41とサブゼロインデックス42とサブパターン43とは出力信号が同じ位相のパターンとして形成されている。
第1の検出手段5(第2の検出手段6)は、ディスク2及び第1のマスク3(第2のマスク4)を挟むように、第1のマスク3(第2のマスク4)に対向する位置に固設され、発光部51(発光部61)と、受光部52(受光部62)とをそれぞれ有している。
発光部51、61は受光部52、62の各検出部に対応した複数の発光素子を有している。
なお、()内の構成はそれぞれ第2の検出手段6に対応した構成を示す。
第1の検出手段5の受光部52は、図3(a)に示すように、メインスケール21を検出する第1検出部5aと、ゼロインデックス22を検出する第2検出部5bと、排他的パターン24を検出する第3検出部5cとを有している。
同様に、第2の検出手段6の受光部62は、図3(b)に示すように、メインスケール21を検出する第1検出部6aと、ゼロインデックス23を検出する第2検出部6bと、排他的パターン25を検出する第3検出部6cとを有している。
第1の検出手段における第1検出部5aは、ディスク2に形成されたメインスケール21の格子目盛りパターンを、発光部51から照射されてメインスケール21とサブスケール31とが重なることにより通過する光の断続として検出し、この光の断続を受光する第1検出部5aにより光電変換してパルスとして出力し、このパルスをカウントすることによりメインスケール21が回転した角度を計測する。
なお、後述する第1のゼロ点を検出したとき第1のカウンタ(図示せず)をリセットし、カウントを開始するようになっている。
また、第2の検出手段における第1検出部6aは、ディスク2に形成されたメインスケール21の格子目盛りパターンを、発光部61から照射されてメインスケール21とサブスケール41とが重なることにより通過する光の断続として検出し、この光の断続を受光する第1検出部6aにより光電変換してパルスとして出力し、このパルスをカウントすることによりメインスケール21が回転した角度を計測する。
なお、後述する第2のゼロ点を検出したとき第2のカウンタ(図示せず)をリセットし、カウントを開始するようになっている。
第1の検出手段における第2検出部5bは、ディスク2に形成されたゼロインデックス22を、発光部51から照射されてゼロインデックス22とサブゼロインデックス32とが重なることにより通過する光の断続として検出し、この光の断続を受光する第2検出部5bにより光電変換して電気信号として出力し、この電気信号を検出することにより第1のゼロ点を検出するようになっている。
また、第2の検出手段における第2検出部6bは、ディスク2に形成されたゼロインデックス23を、発光部61から照射されてゼロインデックス23とサブゼロインデックス42とが重なることにより通過する光の断続として検出し、この光の断続を受光する第2検出部6bにより光電変換して電気信号として出力し、この電気信号を検出することにより第2のゼロ点を検出するようになっている。この電気信号をパルスに整形して第2のゼロ点リセット用信号として第2のカウンタをリセットする。
第1の検出手段における第3検出部5cは、ディスク2に形成された排他的パターン24を、発光部51から照射されて排他的パターン24とサブパターン33とが重なることにより通過する光の有無として検出し、この光の有無を受光する第3検出部5cにより光電変換してパルスとして出力し、このパルスを検知することにより第1のゼロ点を検出するようになっている。
また、第2の検出手段における第3検出部6cは、ディスク2に形成された排他的パターン25を、発光部61から照射されて排他的パターン25とサブパターン43とが重なることにより通過する光の有無として検出し、この光の有無を受光する第3検出部6cにより光電変換してパルスとして出力し、このパルスを検知することにより第2のゼロ点を検出するようになっている。
このような構成の本実施形態では、第1の検出手段における第2検出部5bが第1のゼロ点を検出し、かつ、第1の検出手段における第3検出部5cが第1のゼロ点を検出したとき、第2検出部5bの電気信号をパルスに整形して第1のゼロ点リセット用信号として第1のカウンタをリセットする。
さらに、第2の検出手段における第2検出部6bが第2のゼロ点を検出し、かつ、第2の検出手段における第3検出部6cが第2のゼロ点を検出したとき、第2検出部6bの電気信号をパルスに整形して第2のゼロ点リセット用信号として第2のカウンタをリセットする。
このように本実施形態ではそれぞれのゼロ点信号で独立してインクリメンタル目盛のカウンタをリセットし、それぞれのカウント値から角度値を計算して両者の平均を取る処理をCPUで行っている。
次に、本実施形態の作用について説明する。
本実施形態に係るインクリメンタルエンコーダ1を用いて測角する場合、まず、ディスク21を回転させて基準位置検出を行う。
具体的には、ディスク21を回転させると、第1の検出手段5の第2検出部5bがディスク2のゼロインデックス22を検出し、第3検出部5cがディスク2の排他的パターン24を検出する。
このとき、同時に第2の検出手段6の第2検出部6bがディスク2のゼロインデックス23を検出し、第3検出部6cがディスク2の排他的パターン25を検出する。
上述したように、ディスク2上のゼロインデックスと排他的パターンとは異なるトラックに形成されているので、第1の検出手段の第3検出部5c及び第2の検出手段の第3検出部6cがどちらの排他的パターン24、25を検出したかを確実に認識できる。
したがって、基準位置検出後の測角において、測角値が正反逆になるおそれがない。
さらに第1の検出手段においてディスク2のゼロインデックス22と第1のマスクのサブゼロインデックス32とが重なり第1のゼロ点を検出し、かつ、ディスク2の排他的パターン24と第1のマスクのサブパターン33とが重なり第1のゼロ点を検出したときにのみゼロ点として判断するようにすれば、ゼロ点の判断が正確になり、正反逆に判断することがなくなる。
なお、第2の検出手段において第2のゼロ点を検出したときも同様である。
さらに、本実施形態では、排他的パターン24、25のスリットを矩形状としたが、これに限定されるものではなく、対応する二つのゼロインデックス22、23を区別して認識できればどのような形状であっても良い。例えば、図4に示すように、楔形のスリット26、27としても良い。
また、上記実施形態では、排他的パターン24、25を2箇所に設けたが、これに限定されるものではなく、対応する二つのゼロインデックス22、23を区別して認識できれば何カ所に設けても良い。
例えば、図5に示すようにゼロインデックス23側にのみ1箇所に排他的形状のスリット28を設け、スリット28の検出の有無によって対応する二つのゼロインデックス22、23を区別して認識しても良い。
さらに、三つ以上のトラックにそれぞれ排他的パターンのスリットを設けると共に、それら排他的パターンのスリットを検出可能な検出手段を設け、それら排他的パターンのスリットの検出の有無によって二つのゼロインデックス22、23を区別して認識しても良い。
また、上記実施形態では、ゼロインデックス22、23と排他的パターン24、25とを別個に設けたが、これらを統合し、図6に示すように、二つのゼロインデックス22、23を互いに異なるトラック上に形成し、上記実施形態における排他的パターン24、25の機能を持たせるようにしても良い。
このときディスク2上のゼロインデックス22、23がそれぞれ排他的パターン24、25を兼ねるとともに、第2検出部が第3検出部を兼ねるようにする。
本発明のインクリメンタルエンコーダでは二つのゼロインデックスのうちどちらのゼロインデックスを検出したか確実に認識できるので、カウンタの計数値をリセットする基準とする位置を決定するのに極めて有用である。
本発明の実施の形態に係るインクリメンタルエンコーダを示す斜視図 メインスケールを示す平面図 インクリメンタルエンコーダを示す断面図 他の実施の形態におけるメインスケールを示す平面図 他の実施の形態におけるメインスケールを示す平面図 他の実施の形態におけるメインスケールを示す平面図
符号の説明
2…ディスク、3…第1のマスク、4…第2のマスク、5…第1の検出手段、
6…第2の検出手段、21…メインスケール、22、23…ゼロインデックス、
24、25…排他的パターン、31、41…サブスケール、
32、42…サブゼロインデックス、33、43…サブパターン

Claims (5)

  1. メインスケールがスリットとして形成された回転可能なディスクと、このスリットに対応して光を遮光かつ透過可能なマスクと、これらディスク及びマスクを挟むように配置され、発光部及び受光部を有する検出手段と、を備えたインクリメンタルエンコーダにおいて、
    上記ディスクは、上記メインスケールと異なるトラックの二箇所に形成されたスリット状のゼロインデックスと、このゼロインデックスに対応し、かつ、ゼロインデックスと異なるトラックに形成された一以上の排他的パターンとを有し、
    上記マスクは、上記メインスケール、上記二箇所のゼロインデックス及び上記排他的パターンに対応したスリットを有しており、
    上記検出手段は、上記メインスケールを検出する第1検出部と、上記ゼロインデックスを検出する第2検出部と、上記排他的パターンを検出する第3検出部とを有していること、を特徴とするインクリメンタルエンコーダ。
  2. メインスケールがスリットとして形成された回転可能なディスクと、このスリットに対応して光を遮光かつ透過可能なマスクと、これらディスク及びマスクを挟むように配置され、発光部及び受光部を有する検出手段と、を備えたインクリメンタルエンコーダにおいて、
    上記ディスクは、上記メインスケールと異なるトラックの二箇所に形成された排他的パターンであるスリット状のゼロインデックスを有し、
    上記マスクは、上記メインスケール及び上記二箇所のゼロインデックスに対応したスリットを有しており、
    上記検出手段は、上記メインスケールを検出する第1検出部と、上記ゼロインデックスを検出する第2検出部とを有していること、を特徴とするインクリメンタルエンコーダ。
  3. 前記ゼロインデックスの一方が前記ディスクの円周上の外側に位置し、他方が円周上の内側に位置することにより反転パターンとしたことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクリメンタルエンコーダ。
  4. 前記ゼロインデックスがランダム系列であることを特徴とする請求項1〜3に記載のインクリメンタルエンコーダ。
  5. 前記排他的パターンは前記検出手段による出力が中心部に光量のピークを形成するパターンであることを特徴とする請求項1〜4に記載のインクリメンタルエンコーダ。
JP2005152855A 2005-05-25 2005-05-25 インクリメンタルエンコーダ Pending JP2006329783A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005152855A JP2006329783A (ja) 2005-05-25 2005-05-25 インクリメンタルエンコーダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005152855A JP2006329783A (ja) 2005-05-25 2005-05-25 インクリメンタルエンコーダ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006329783A true JP2006329783A (ja) 2006-12-07

Family

ID=37551622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005152855A Pending JP2006329783A (ja) 2005-05-25 2005-05-25 インクリメンタルエンコーダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006329783A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021144965A1 (ja) * 2020-01-17 2021-07-22 ヤマハ発動機株式会社 アブソリュートエンコーダ及びアブソリュートエンコーダを備えるアクチュエータ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0293324A (ja) * 1988-09-30 1990-04-04 Canon Inc ロータリーエンコーダの原点検出系
JPH0389112A (ja) * 1989-08-31 1991-04-15 Topcon Corp インクリメンタル式エンコーダ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0293324A (ja) * 1988-09-30 1990-04-04 Canon Inc ロータリーエンコーダの原点検出系
JPH0389112A (ja) * 1989-08-31 1991-04-15 Topcon Corp インクリメンタル式エンコーダ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021144965A1 (ja) * 2020-01-17 2021-07-22 ヤマハ発動機株式会社 アブソリュートエンコーダ及びアブソリュートエンコーダを備えるアクチュエータ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1980824B1 (en) Absolute position length-measurement type encoder
EP2006642B1 (en) Absolute position encoder
JP4119254B2 (ja) 位置決定システム
EP1821075A2 (en) Photoelectric encoder
JPH0989595A (ja) ロータリーエンコーダ
JP2015224908A (ja) スケール及び光学式エンコーダ
JP5168106B2 (ja) 回転円板の偏心測定方法
JP2006071634A (ja) 回転角を正確に測定する方法及び装置
JP2004534247A (ja) 位置測定装置
JPS63140913A (ja) 測長測角装置
ES2758525T3 (es) Encoder de posición absoluta
US7839296B2 (en) Scale and readhead apparatus and method
JP2008292483A (ja) エンコーダ用のスケール及びエンコーダ
JP5553667B2 (ja) 光学式基準位置検出型エンコーダ
JP2006030189A (ja) エンコーダ
US7126108B2 (en) Photodetector array arrangement for optical encoders
JP7181808B2 (ja) 光学式の位置測定装置
CN109211288B (zh) 用于提供位移信号的抗污染和缺陷光学编码器配置
JP2006071535A (ja) 変位検出装置
JP3442869B2 (ja) 光学式アブソリュートエンコーダ
JP2006329783A (ja) インクリメンタルエンコーダ
JP2007024887A (ja) 角度測定装置
JP2007064949A (ja) ロータリエンコーダ
JP5553669B2 (ja) 光学式絶対位置測長型エンコーダ
JP7130472B2 (ja) 光学式角度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20070517

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20070517

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080424

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100817

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110329