JP2006327640A - 基板収納容器及び基板収納体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段と、前記支持台上に、前記支持台に載置された前記積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第1の蓋体と、前記第1の蓋体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第2の蓋体とを有することを特徴とする基板収納容器。
【選択図】 図1
Description
また、第2の発明は、第1の発明の基板収納容器に基板を収納した基板収納体である。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る基板収納容器に基板の積重体を収納して形成した基板収納体の概略断面図であり、図2は、図1の基板収納体の概略斜視図であり、また、図3は、パレットに基板の積重体を載置した状態を示す概略側面図であり、図4は、パレットに基板の積重体を載置した状態を示す概略斜視図である。基板収納体1は、多数の基板を合紙と交互に積み重ねて形成した積重体2を基板収納容器10内に収納したものである。
第1の実施形態では、積重体2内の基板3の固定に、積重体2の上面に配置したエアバッグ17による押圧力のみを利用しているが、必要に応じ、積重体2の側面と第1の蓋体5の側板5bとの間に適当なクッション材を配置することも可能である。図8は、第2の実施形態に係る基板収納体21を示す。図8において、第1の実施の形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
上記実施形態では、積重体の上面に均一な押圧力を付与する押圧手段としてエアバッグ17を用いたものを用いているが、押圧手段はこれに限らず、他の構造としてもよい。図9は他の構造の押圧手段を用いた基板収納体31を示す。図9において、第1の実施形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
図10は他の構造の押圧手段を用いた基板収納体41を示す。図10において、第1の実施形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
2………積重体
3………基板
3a………基板本体
3b………機能層
3c………保護膜
4………合紙
5………第1の蓋体
5a………天板
5b………側板
7………第2の蓋体
10………収納容器
11………パレット
11a………支持面
11b………突起
13………パチン錠
15………補強板材
16………補強板材
17………エアバッグ
19………エア供給用チューブ
20………弁
21………基板収納体
23………エアバッグ
31………基板収納体
33………弾性板材
41………基板収納体
43………バネ体
45………バネ
47………鋼性板材
Claims (10)
- 複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、
前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段と、
前記支持台上に、前記支持台に載置された積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第1の蓋体と、前記第1の蓋体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第2の蓋体とを有することを特徴とする基板収納容器。 - 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように前記支持台に連結して設けられた荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグを有することを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。
- 前記第1の蓋体の天板が、前記荷重支持板として作用することを特徴とする請求項2記載の基板収納容器。
- 前記エアバッグと前記積重体との間、及び前記積重体と前記支持台との間のいずれか一方又は双方に、平坦な補強板材を配置したことを特徴とする請求項2記載の基板収納容器。
- 前記積重体の側面と前記第1の蓋体の側板との間に挿入するクッション材を具備することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記押圧手段が、前記支持台に載置された積重体の上面に配置される弾性板材と、前記弾性板材の上面に配置された荷重支持板と、前記荷重支持板が前記弾性板材を加圧して弾性変形させ、前記弾性板材を介して積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるように前記荷重支持板を前記支持台に連結する連結手段を有することを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。
- 前記第1の蓋体の天板が、前記荷重支持板として作用することを特徴とする請求項6記載の基板収納容器。
- 基板と合紙とを交互に積み重ねた積重体を請求項1から請求項7のいずれか1項記載の基板収納容器に収納して形成した基板収納体。
- 前記合紙が、樹脂の発泡シートであることを特徴とする請求項8記載の基板収納体。
- 前記基板が、機能層を備えたガラス基板であることを特徴とする請求項8又は請求項9記載の基板収納体。
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