JP2006327165A - マスク洗浄装置及びマスク洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スクリーン印刷におけるスクリーンマスクに付着した不要のペースト類を事態に悪影響を与えることなく除去できるマスク洗浄装置を提供する。
【解決手段】スクリーンマスク６１０の、印刷ペーストにより目詰まりする可能性がある領域を、両側から中空構造のキャップ５０、６０で液密状態に挟み込む。一方から送液ポンプ２１０で洗浄液を噴射し、目詰まりを起こしている部分などを手で触れることなく自動的に洗浄する。洗浄液は洗浄液タンク２００に回収し、ペーストに含まれる有用成分を効率良く回収する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、スクリーン印刷機のスクリーンマスクを洗浄するマスク洗浄装置及びマスク洗浄方法に関するものである。

従来よりスクリーン印刷は広く利用されており、一般の印刷物のみならず、近年は電子回路基板のパターン印刷や半田ペーストの塗布にも用いられている。

しかしながら、スクリーン印刷機を用いて印刷を行っていると、スキージ等でペーストをスクリーンマスクからワーク（印刷される物品）に「印刷する工程において、印刷を重ねるほどペーストがスクリーンマスクに残留し、綺麗な印刷ができなくなってしまう。

このため、現在は何回か印刷を行うと、作業者が印刷作業を停止し、マスクを拭くための特殊な布等でスクリーンマスクに残留している印刷ペーストなどをふき取らなければならなかった。

このとき、印刷ペーストを拭き取るための布には、印刷ペーストを溶融させるための溶剤などを染み込ませて行う必要があり、これらの溶剤は揮発性を有するのが一般的であり、人体に有毒の成分が含まれていた。

このため、防毒マスクを装着して作業しており、防毒マスクをしない場合、あるいは防毒効果が不十分であれば人体に重要な影響を与えかねなかった。このためマスクに付着した印刷ペーストの掃除において健康上の問題が避けて通れなかった。

さらに、印刷ペーストには金や銀などの貴金属や、有用な重金属が含有しているため、清掃作業で用いた清掃布は集められ、焼却した灰からこれら貴金属や重金属を回収していた。

しかし、回収した布の量に比し回収される金属の量は甚だ少なく、二酸化炭素の搬出量も多く、効率の悪いものであった。

本発明は、上述した課題を解決することを目的としてなされたもので、スクリーン印刷においてスクリーンマスクに付着する印刷ペーストなどを作業者の健康に悪影響を与えることなく自動的に除去できるマスク洗浄装置及び方法を提供する。係る目的を達成する一手段として、例えば以下の構成を備える。

即ち、スクリーン印刷機のスクリーンマスクを洗浄するマスク洗浄装置であって、洗浄するべきスクリーンマスクの洗浄領域両面に対向して位置決めされ前記スクリーンマスクの洗浄領域を液密に挟持する液漏れ防止キャップ組と、前記液漏れ防止キャップ組を係止し、待機位置と洗浄位置に位置決め移動する移動アーム組と、前記液漏れ防止キャップ組の一方のキャップ内に洗浄液を噴出させる洗浄液噴出手段と、前記液漏れ防止キャップ組の他方のキャップ内に、前記一方の液漏れ防止キャップから噴出され、前記スクリーンマスク洗浄領域を通過した洗浄液を回収する回収手段とを備え、前記回収手段は、他方の液漏れ防止キャップ内に前記一方の液漏れ防止キャップ内から噴出した洗浄液を排出する排出手段を含むことを特徴とする。

そして例えば、前記液漏れ防止キャップ組は互いにほぼ対称の外形形状に成形され、前記移動アーム組は、前記液漏れ防止キャップ組のそれぞれの液漏れ防止キャップを互いが対向する様に係止し、それぞれスクリーン印刷中はスクリーン印刷機の印刷動作範囲外の待機位置に位置決めし、洗浄時には待機位置より前記スクリーンマスクの洗浄領域を挟むように前記液漏れ防止キャップ組を移動させ、前記液漏れ防止キャップ組の最周辺縁端部がほぼ対向する位置に位置決めして互いに所定圧力で挟み付けることを特徴とする。

また例えば、前記液漏れ防止キャップ組は、最周辺縁端部の前記スクリーンマスク当接面をほぼＵ字状に形成することを特徴とする。

さらに例えば、前記液漏れ防止キャップ組は、キャップの少なくとも中央部上部に洗浄液が供給・排出可能な導液路を備え、前記導液路を介して一方の液漏れ防止キャップ内に洗浄液を噴射可能に構成すると共に、他方の液漏れ防止キャップの前記導液路を用いて前記一方の液漏れ防止キャップから噴出され、スクリーンマスクを通過した洗浄液を排出可能に構成されていることを特徴とする。

また例えば、前記液漏れ防止キャップ組は、洗浄液の供給・排出処理実行後に前記液漏れ防止キャップ内に空気を送り込み可能に構成されていることを特徴とする。

さらに例えば、さらに、洗浄液タンクと、前記洗浄液タンク内の洗浄液を一方の前記液漏れ防止キャップの導液路に供給し、スクリーンマスクに挟持されている液漏れ防止キャップ内に噴出させる噴出手段と、前記噴出手段の洗浄液供給に同期してスクリーンマスクに挟持されている液漏れ防止キャップ内に噴出されている洗浄液を対向する液漏れ防止キャップの導液路を介して排出して前記洗浄液タンク内に戻す排出手段と、前記噴出手段と前記排出手段による洗浄液循環処理の終了後前記液漏れ防止キャップ内に空気を供給して前記スクリーンマスクに残余の洗浄液を除去する気体供給手段とを備えることを特徴とする。

また例えば、前記液漏れ防止キャップは、さらに内部に超音波振動子を備え、洗浄時に前記超音波振動子を振動させることを特徴とする。

または、スクリーンマスクの洗浄領域を液密に挟持する液漏れ防止キャップ組を備え、スクリーン印刷機のスクリーンマスクを洗浄するマスク洗浄装置におけるマスク洗浄方法であって、前記液漏れ防止キャップ組をスクリーン印刷中はスクリーン印刷機の印刷動作範囲外の待機位置に位置決めし、洗浄時には待機位置より前記スクリーンマスクの洗浄領域両面に移動させ、液漏れ防止キャップ組を前記スクリーンマスクの洗浄領域に対向して圧接して液密状態に位置決めし、所定時間前記液漏れ防止キャップ組の一方のキャップ内に洗浄液を噴出させ、洗浄液を前記スクリーンマスクを通過させてマスク面を洗浄すると共に、前記液漏れ防止キャップ組の他方のキャップ内から、前記一方の液漏れ防止キャップから噴出され、前記スクリーンマスク洗浄領域を通過した洗浄液を排出し、スクリーンマスクを自動洗浄するマスク洗浄方法とすることを特徴とする。

さらに例えば、前記液漏れ防止キャップ組は互いにほぼ対称の外形形状に成形され、前記移動アーム組は、前記液漏れ防止キャップ組のそれぞれの液漏れ防止キャップを互いが対向する様に係止し、スクリーン印刷中は前記液漏れ防止キャップ組をスクリーン印刷機の印刷動作範囲外の待機位置に位置決めし、洗浄時には前記液漏れ防止キャップ組を待機位置より前記スクリーンマスクの洗浄領域に移動させ、前記液漏れ防止キャップ組の最周辺縁端部がほぼ対向する位置になるように位置決めして互いに所定圧力で前記スクリーンマスクを挟み付けて液密状態にするマスク洗浄方法とすることを特徴とする。

また例えば、洗浄液の噴出・排出処理実行後に前記液漏れ防止キャップ内に空気を送り込み前記スクリーンマスクに残余の洗浄液を助鏡するマスク洗浄方法とすることを特徴とする。

さらに例えば、前記液漏れ防止キャップは、さらに内部に超音波振動子を備え、洗浄時に前記超音波振動子を振動させるマスク洗浄方法とすることを特徴とする。

本発明によれば、スクリーン印刷機のスクリーンマスクに付着したものを作業者の健康を害することなく自動的に除去してスクリーンマスクを洗浄することのできるマスク洗浄装置及び方法を提供する。

さらに本発明によれば、洗浄によりスクリーンマスクから回収された印刷ペーストなどに含まれる有用物質を効率良く回収することのできるマスク洗浄装置及びマスク洗浄方法を提供する。

以下、本発明に係る一発明の実施の形態例を図面を参照して詳細に説明する。以下の説明は、スクリーン印刷機に隣接して設置されるマスク洗浄装置を例として説明する。しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、スクリーン印刷機の一部に組み込まれている場合であっても、あるいは上部などに設置されるものであっても良いことは勿論である。
〔第１の実施の形態例〕

まず図１及び図２を参照して本実施の形態例の概略構成を説明する。図１は本発明に係る一発明の実施の形態例のマスク洗浄装置の全体構成を説明するための図、図２は液漏れ防止キャップの詳細構成例を示す図である。

図１において、１００は本実施の形態例のマスク洗浄装置、６００はスクリーンマスクでスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機である。

本実施の形態例のマスク洗浄装置が洗浄できるスクリーンマスクに制限はなく、スクリーンマスクの洗浄領域に合わせた形状の液漏れ防止キャップを製作し、取り付けるのみであらゆるスクリーン印刷機に適用可能である。

スクリーン印刷機６００において、６１０は洗浄対象のスクリーンマスク、６２０はスクリーン印刷するべき印刷対象（ワーク）６２５を係止して所定の印刷位置に位置決めする位置決め制御部、６３０は印刷ペーストなどをスクリーンマスクから印刷対象であるワーク６２５に印刷するスキージ、６５０は全体制御を司る制御部である。位置決め制御部６２０は、ワーク６２５の位置決め制御と共に、スクリーンマスク６１０の位置決め、スキージ６３０の位置決め及び移動制御も合わせて行う。

マスク洗浄装置１００において、５０、６０は少なくともスクリーンマスク６１０の洗浄領域をカバーする大きさに成形されている液漏れ防止キャップである。そして、例えば中央部にポンプに接続されるフレキシブルチューブが接続される連結孔部が形成されている。例えば洗浄領域が長方形であれば液漏れ防止キャップも長方形で線上領域の大きさより大きい形状とすればよい。

剛性の高い金属などで液漏れ防止キャップ５０、６０を形成すると、スクリーンマスクの僅かの凹凸や液漏れ防止キャップ５０、６０の摩耗による僅かな凹凸でも液漏れを起こす可能性がある。

このため本実施の形態例では、液漏れ防止キャップ５０、６０をある程度の可撓性を有する剛性の低い材料で形成している。そして、洗浄するべきスクリーンマスク６１０の洗浄領域を所定圧力で挟み込み、液密状態を作る出すこととしている。

具体的には、ある程度の剛性を有しながら適度な可撓性も有するウレタンゴムで構成している。なお、洗浄領域が広い場合などで、ウレタンゴムでは全体的に変形などのおそれがある場合には、金属製のカバー（例えばステンレス製のカバー）を被せて強度を確保することが望ましい。

１１０は液漏れ防止キャップ５０、６０を３次元位置制御可能な位置制御部であり、スクリーン印刷機６００の印刷の障害とならない待機位置に位置決めすると共に、洗浄時にアーム１５０，１６０を制御して液漏れ防止キャップ５０、６０を前記待機位置からスクリーンマスク６１０の洗浄領域に移動させ、その後に液漏れ防止キャップ５０、６０をスクリーンマスク６１０に圧接して液密状態に制御可能である。

液漏れ防止キャップ５０、６０の搬送制御は不図示のステッピングモータにより行う。例えば予めスクリーン印刷機とマスク洗浄装置との設置位置を決め、液漏れ防止キャップ５０、６０をマスク位置に制御し、細かい位置を調整して調整位置を登録し、その後登録位置に搬送するように制御することが最も簡単である。

しかし、以上の例に限定されるものではなく、先端近傍にテレビカメラを設置し、撮影画像を確認しながら位置決め制御しても良く、また、スクリーン印刷機の位置決め箇所に液漏れ防止キャップ５０、６０が来たときに検出できる検出対象を配置し、マスク洗浄装置にセンサを配置して、センサで検出対象を検出した位置で位置決めしても良い。位置決め方法に限定はない。

１５０、１６０は先端近傍に液漏れ防止キャップ５０、６０が配設されたアームであり、位置制御部１１０の制御で液漏れ防止キャップ５０、６０後を３次元制御する。

２００は洗浄液を保持する洗浄液タンクであり、タンク内の洗浄液を送液ポンプ２１０で取り出し、吸液ポンプ２２０で回収し、これを濾過などして再生して再び送液ポンプで送り出すリサイクル循環システムを構築している。

例えば、吸液ポンプ２２０からの汚濁洗浄液を最初に貯液し、不純物を沈殿させる第１の貯液タンク、第１の貯液タンクよりの洗浄液をさらに沈殿させ濾過する第２の貯液タンク、さらに第２の貯液タンクよりの洗浄液をさらに沈殿させる第３の貯液タンク、第３の貯液タンクよりの洗浄液を例えば濾過フィルタで濾過する濾過漕等で構成することが望ましい。

２１０は送液ポンプであり、洗浄液タンクより洗浄液を取り出し、所定圧力で例えば液漏れ防止キャップ６０に送り出す。２２０は吸液ポンプであり、液漏れ防止キャップ５０より洗浄液を吸引して洗浄液タンク２００に返している。

なお、図１では、液漏れ防止キャップ５０、６０において、液漏れ防止キャップ５０が上方に表されているが、液漏れ防止キャップ５０、６０の上限関係左右関係は図１の位置関係に限られるものではなく、実際には液漏れ防止キャップ５０が下側に、液漏れ防止キャップ６０が上側に位置している。スクリーンマスクの非印刷時の位置が直立状態であれば液漏れ防止キャップ５０、６０が左右から挟み込む様に制御される。

この場合においても、送液ポンプ２１０により所定圧力で洗浄液がスクリーンマスクに噴射され、洗浄液がスクリーンマスクの目を通過して吸液ポンプ２２０で吸い出されることから、何ら液漏れ防止キャップ５０、６０に位置に限定される良好か洗浄効果が得られる。

２３０は送気ポンプ、２４０はヒーターであり、必要に応じてヒーター２３０で加熱された空気が液漏れ防止キャップ５０、６０に送られ、乾燥処理される。この場合には、排気された空気がガスフィルタを介して外部に排出されるように制御し、洗浄液による周囲環境への悪影響を防止することができる。

例えば、液漏れ防止キャップ内に残留する洗浄液を早く除去する必要がある場合にはヒーター２４０で空気を加熱し、ホットエアー液漏れ防止キャップに送る。

この温度として例えば、摂氏４０度乃至摂氏１００度程度の温度に加熱して液漏れ防止キャップに送出すれば周辺に悪影響を与えるｋと無く確実な洗浄液の除去ができる。しかし、常温でのエアーの吹きつけであっても、確実に洗浄液を除去できることは勿論である。

２５０は切替バルブであり、フレキシブルチューブ２６０に送液ポンプ２１０よりの洗浄液を送り出すか、送気ポンプ２４０よりの空気を送り出すかを切り替える切替バルブである。

なお、この切替バルブを吸液ポンプに接続されているフレキシブルチューブ２７０側にも取り付け、例えば必要に応じてフレキシブルチューブ２７０に送液ポンプよりの洗浄液を送り出せるように構成すると共に、切替バルブ２５０の入力を３系統とし、吸液ポンプ２２０側とフレキシブルチューブ２６０側に接続可能とすることにより、液漏れ防止キャップ５０、６０の一方から洗浄液を噴出後バルブを切り替えて液漏れ防止キャップ５０、６０の他方からも洗浄液を噴出するように構成でき、スクリーンマスクの両面から洗浄液を噴射できより確実に付着した印刷ペーストを洗浄・除去できる。

２６０は切替バルブ２５０と液漏れ防止キャップ６０の連結孔部間を連結する湾曲自在に構成されたフレキシブルチューブ、２７０は吸液ポンプ２２０と液漏れ防止キャップ５０の連結孔部間を連結する湾曲自在に構成されたフレキシブルチューブである。

本実施の形態例においては、フレキシブルチューブには高圧の洗浄液が送り込まれるため、耐圧性が必要である他、耐食性も必要であることから、例えばワイヤー入りのステンレス製フレキシブルチューブとすることが望ましい。

次に図２を参照して液漏れ防止キャップ５０、６０の詳細構成例を説明する。図２は本実施の形態例のマスク洗浄装置の洗浄時の液漏れ防止キャップ部の断面図である。

図２に示すように、液漏れ防止キャップ５０、６０の中央部には凹部が形成され中空構造となっている。そして中央部上部にはフレキシブルチューブ２６０，２７０が液密に連結係止される連結孔部５５，６５が形成されている。

各周辺端部は一部拡大断面図に示すように、最外縁部５１は断面コの字状に成形され、その内側凹部５２はＵ字状の凹部形状に成形され、さらにＵ字状の凸部５３が形成されている。Ｕ字状凸部５３の頂部はコ字状凸部５１上部に比し僅かに出ており（例えば外形１００ｍｍ角、厚み２０ｍｍの液漏れ防止キャップである場合には、中央中空凹部の深さ１５ｍｍでコの字状凸部５１上部の頂部厚さ及びＵ字状凸部５３の直径２ｍｍに成形し、Ｕ字状凸部５３の頂部はコ字状凸部５１上部に比し約０．３ｍｍ程度出ている。）、例え液漏れ防止キャップ５０、６０のマスク６１０への押圧力を強くしても、縁部が圧力で必要以上に変形することが無く、しかもＵ字状凸部の頂部（５３）は強くマスク６１０表面に押しつけられて変形し、確実に液密状態に維持できる。

このように、変形量を規制する部分を最縁部に設けたことにより、その内側の液密構造を形成する部分の劣化が抑えられ、良好な性能が長期間維持できる。

そして、例えば送液ポンプ２１０から送り込まれる洗浄液は、連結孔部６５からスクリーンマスク６１０表面に噴射され、液漏れ防止キャップ６０の中空部内で循環攪拌され、液漏れ防止キャップ６０側のスクリーンマスク表面を洗浄する。

液漏れ防止キャップ５０の連結孔部５５には吸液ポンプ２２０が連結されているので、洗浄液は送液ポンプ２１０から送り込まれるのみでなく、液漏れ防止キャップ５０側に吸引される。

このため、洗浄液はスクリーンマスク６１０の編み目から液漏れ防止キャップ５０側に押し出され（同時に吸い込まれ）、スクリーンマスク６１０の目詰まり、あるいは目詰まりししかかった部分などがあってもこの部分の印刷ペーストを取り除くことができる。

なお、スクリーンマスク６１０の状態によって送液ポンプ２１０のみで洗浄液を洗浄液タンク２００まで送ることができる場合には、吸液ポンプ２２０を省略することができる。この場合においても、送気ポンプ２３０から空気を送り込むことができ、洗浄液を除去あるいは蒸発させることができる。

以上の構成を備える本実施の形態例のマスク洗浄装置の制御の概略を時系列に従って説明すると以下のようになる。

本実施の形態例のマスク洗浄装置をスクリーン印刷装置に隣接して設置する。そして、スクリーン印刷機で印刷を行い、所定枚数印刷したとき、あるいは印刷品質に変化が生じたときには、スクリーン印刷を中断する。

スクリーン印刷装置のスクリーンマスクは、印刷中断位置にそのまま停止していればよい。そして、本実施の形態例のマスク洗浄装置を起動させ、液漏れ防止キャップ５０、６０をマスク洗浄領域に搬送して位置決めする。そして、液漏れ防止キャップ５０、６０をスクリーンマスクに圧接して液密状態とする。続いて切替バルブ２５０を送液ポンプ２１０側に切替え、送液ポンプ２１０を駆動し、洗浄液を液漏れ防止キャップ６０に送る。必要に応じて吸液ポンプ２２０も駆動し、洗浄液を液漏れ防止キャップ５０から洗浄液を吸引し、洗浄液タンク２００内に送り返す。

これを所定時間行い、スクリーンマスク６１０に付着している不要な印刷ペーストを洗浄する。なお、液漏れ防止キャップ５０、６０への送液、吸液を逆転できる場合には逆転させて洗浄液を逆方向に噴射する。

続いてポンプを停止し、切替バルブ２５０を送気ポンプ２３０側に切替る。そしてヒーター２４０に通電すると共に送気ポンプ２３０を駆動し、液漏れ防止キャップ５０、６０に加熱空気を送り、残留した洗浄液を除去する。

洗浄液を除去するとヒーター２４０を停止し、続いて送気ポンプ２３０を停止させる。必要に応じて切替バルブ２５０を切替る。そして液漏れ防止キャップ５０、６０をスクリーンマスク６１０から離反し、その後液漏れ防止キャップ５０、６０をマスク洗浄装置１００側に引き込み、待避位置に位置決めする。そして、スクリーン印刷機６００によるスクリーン印刷を再開する。

以上説明したように本実施の形態例によれば、スクリーン印刷装置のスクリーンマスクを印刷機から取り外したり、マスク位置を特別の位置に移動させたりするような人手を介した制御を行うことなく、自動的に直接洗浄液を噴射してマスクの目詰まりを取り除くという従来全く考えられなかった方法を採用したことにより、従来手作業で取り除くしかなかったスクリーンマスクに印刷ペーストの一部が残留して目詰まり状態が発生した場合であっても、スクリーンマスクを取り外すことなく、また、特別に位置に移動などすることなく、印刷停止位置のままで洗浄液の液漏れ等することなく、かつ手作業の場合に比して完璧に綺麗に、かつ自動的に洗浄することができる。

さらに、洗浄後に例えば加熱空気を送り込んで残留洗浄液を除去することができ、加熱空気を送り込んだ後に液漏れ防止キャップ５０、６０をスクリーンマスク６１０から離反させ、マスク洗浄装置に引き込んで再び待機位置に待避させることにより、引き続きスクリーン印刷を行うことができ、マスク洗浄に要する時間を大幅に短縮できる。

例えば、印刷中断から液漏れ防止キャップ５０、６０のマスク位置搬送位置決め、洗浄領域の液密状態維持、洗浄液の噴射、加熱空気による残留洗浄液の除去、液漏れ防止キャップ５０、６０の待機位置への搬送位置決めを数分で行うことができる。

このように、マスク洗浄を自動的に行うことができ、人体に触れたり、蒸気を肺に吸引したりして人体に悪影響を与えることがない、安全性が高いマスク洗浄が行える。

さらに、印刷用ペーストの中には、金、銀などの貴金属や重金属等が含まれている場合も多く、従来は、作業者が手で布などに溶剤を付けてペーストを拭き取っているため、この布を回収して付着した金属を回収していたため、甚だ効率が悪かったが、上記の方法で自動的にマスクを洗浄することにより、結果としてマスクに残留している印刷ペーストなどを洗浄液と共にほとんど全て回収できる。

即ち、洗浄液毎ペーストをタンク内に回収することができ、例えば１〜２ヶ月毎にタンクの底などに沈殿した残留物から金属を回収すれば、ほぼ１００％に近くの回収率とでき、収益につながる。また、不用意に外部に流出することが防げ、環境破壊を起こさないという面でも優れた効果が得られる。

〔第２の実施の形態例〕
以上の説明は、液漏れ防止キャップの中央部上部に配設される洗浄液及びエアー送出・排出用チューブ２６０，２７０を用いて送気ポンプ２３０よりの空気を液漏れ防止キャップ５０、６０内に噴出する例を説明した。

しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、空気を噴出するための専用の空気孔を備え、係る空気孔から空気を噴出しても良い。このように構成した本発明に係る第２の実施の形態例を図３を参照して以下に説明する。

図３は本発明に係る第２の実施の形態例の液漏れ防止キャップの構造を説明するための図である。第２の実施の形態例においても、基本的な構成は、上述した第１の実施の形態例と同様であり、以下、主に異なる部分のみ説明し、共通の構成についての説明を省略する。

第２の実施の形態例においては、図３に示すように、液漏れ防止キャップ５０、６０の上部に中央部内に加圧した空気を噴出するための空気孔であるエアーシャワーノズル３５０、３５５、３６０、３６５を備えている。そして、エアーシャワーノズル３５０、３５５、３６０、３６５と送気ポンプ２３０とを気密に接続する接続チューブを備えることになる。接続チューブは、例えば蛇腹式のチューブとする。

具体的には、液漏れ防止キャップの周辺部上部に複数のエアーシャワーノズル３５０、３５５、３６０、３６５を設ける。例えば、液漏れ防止キャップがほぼ正方形に近い場合には中央部４箇所にエアーシャワーノズル３５０、３５５、３６０、３６５設ける。

以上説明したように第２の実施の形態例によれば、第２の実施の形態例の構造を用いて、液漏れ防止キャップ内に多少残留する洗浄液をエアーシャワーノズル３５０、３５５、３６０、３６５より噴射される噴射エアーの勢いで、残余の洗浄液が拡散し、洗浄液を効率良く除去できる。この場合には、ヒーターにより加熱空気を作らなくても、エアーをノズルより勢いよく噴射することで効率良く洗浄液の完全除去ができる。

なお、エアーシャワーノズル３５０、３５５、３６０、３６５から噴射される空気は、接続チューブ２６０，２７０を介して外部放出される。

〔第３の実施の形態例〕
以上の説明は、液漏れ防止キャップの周辺部端部の断面ほぼＵ字状の凸部５３でスクリーンマスク６１０に圧接して液密状態とする例を説明した。

しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、凸部６３で液密状態とするのではなく、液漏れ防止キャップの周辺端部近傍の全周に渉って凹部を形成し、該凹部内に可撓性を有するＯリングを一部が露出するようにはめ込み、このＯリングの露出している部分をスクリーンマスク面に圧接して液密構造としても良い。このように構成した本発明に係る第３の実施の形態例を図４を参照して以下に説明する。

図４は本発明に係る第３の実施の形態例の液漏れ防止キャップの構造を説明するための図である。第３の実施の形態例においても、基本的な構成は、上述した第１の実施の形態例と同様であり、以下、主に異なる部分のみ説明し、共通の構成についての説明を省略する。

第３の実施の形態例においては、図４に示すように、液漏れ防止キャップ５０、６０の周辺端部にコの字状凸部やＵ字状の凸部を設けるのではなく、周辺縁端部先端の全周に渉って凹部を設け、該凹部の中に全周に渉って洗浄液に耐性を有する弾性体材料で形成されたＯリング（オーリング）５８，６８をはめ込む。

凹部は、最外周部分の凸部５６と内側部分の凸部５７とに挟まれて形成され、図４の断面に明らかなように入り口部分がやや狭く、奥が幅広に形成され、中にＯリング５８、６８が容易に着脱できないように収納可能に形成されている。
図４では、底部が幅広の角形の凹部であるが、これは、Ｏリング５８、６８先端部がマスク６１０表面に圧接されたときに、Ｏリング５８、６８の形状が変形しても、凹部内で変形を吸収可能とするためである。

図４に示すように第３の実施の形態例によれば、液漏れ防止キャップ５０、６０の周辺端部の全周に渉って凸部５６、５７及び凸部６６、６７を形成し、挟まれた部分にＯリング５８、６８を収納係止する入り口がやや幅狭の凹部を形成し、この中に洗浄液に耐性を有するやや可撓性を有する（弾性がある）Ｏリング５８、６８をそれぞれはめ込む。

Ｏリング５８、６８の長さは、凹部の全長よりやや短い長さで良い。これを凹部内に圧入することで凹部から脱落することもなく、安定的に係止することが可能となる。そして、弾性力が落ちて液密特性が低下するおそれが出てきたときには、凹部内からＯリング５８、６８を取り出し、新たな替えリングを取り付けることにより安定した液密構造と維持できる。

そして、スクリーンマスク６１０の当接する面は、第１の侍史の形態例とほぼ同じ先端Ｕ字状となり、良好な液密構造が得られる。
〔第４の実施の形態例〕

以上の説明は、液漏れ防止キャップで挟み付けたスクリーンマスクに洗浄液を噴射して、洗浄液の攪拌水流等により印刷ペーストを除去する例について説明した。

しかし、本発明は以上の例に限定されるものではなく、さらに洗浄力を上げるため、液漏れ防止キャップ内に超音波振動子を配置し、洗浄水又はスクリーンマスクを振動させてスクリーンマスクの付着物の剥離を補助する構成を付加しても良い。このように構成した本発明に係る第４の実施の形態例を説明する。

第４の実施の形態例においても、基本的な構成は、上述した各実施の形態例と同様であり、以下、主に異なる部分のみ説明し、共通の構成についての説明を省略する。

第４の実施の形態例においては、図１あるいは図３に示す液漏れ防止キャップ５０、６０の中空部内部に不図示の超音波振動子を設け、液漏れ防止キャップ５０、６０のいずれにも送液ポンプ２１０、吸液ポンプ２２０を切り換え接続可能に構成する。

そして、一定時間で洗浄液を噴射する液漏れ防止キャップ５０、６０を切替え、スクリーンマスク６１０の印刷ペースト塗布面のみならず、裏面にも洗浄液を噴射するように構成する。これにより、より確実にスクリーンマスクに付着した印刷ペーストや埃、ゴミなどを除去できる。

そしてさらに液漏れ防止キャップ５０、６０の中空部に超音波振動子を配設する。この超音波振動子としては、超音波洗浄機に使用されている振動子を利用することができる。振動子制御も公知の超音波洗浄機の制御機構をそのまま適用できる。

特に液漏れ防止キャップ５０、６０内に多くの洗浄液がある状態で振動させると大きな効果が得られる。例えば、洗浄液の噴射方向を反転させるタイミングで振動子を振動させることが考えられる。しかし、このタイミングは任意であり、設置場所もフレキシブルチューブとの連結部近傍のほか、任意の場所に設置できる。

あるいは、超音波振動子をスクリーンマスク６１０に当接させてスクリーンマスクに直接振動を伝達してもよい。スクリーンマスクに直接振動を伝達する構造の場合では、洗浄液の量が例え少なくても大きな除去能力を発揮させることができる。

この超音波振動子は、第４実施例のマスク洗浄装置のみならず、上記した各実施の形態例の液漏れ防止キャップ５０、６０に配設しても洗浄能力のアップに貢献できることは勿論である。

〔他の実施の形態例〕
以上の説明はスクリーン印刷機とマスク洗浄装置とを全く別筐体とする例を説明したが、本発明は以上の例に限定されるものではなく、スクリーン印刷機の一部にマスク洗浄装置を内蔵させても良い。

内蔵させた場合には、スクリーン印刷機とマスク洗浄装置との間の位置決めや、洗浄位置の位置決め制御が簡略化でき、また、設置面積も少なくできる。

さらに、以上の説明では、洗浄液を３つの貯液漕と１つのフィルタをで再生して循環利用する例を説明した。しかし、以上の例に限定されるものではなく、貯液漕を１つのみとし、フィルタを複数備える構成としても良い。これによりより小型化が実現する。さらに、フィルタを１個のみであってもよい。

本発明に係る一発明の実施の形態例のマスク洗浄装置の全体構成を説明するための図である。 図１に示す液漏れ防止キャップの詳細構成例を示す図である。

本発明に係る第２の実施の形態例の液漏れ防止キャップの構造を説明するための図である。 本発明に係る第２の実施の形態例の液漏れ防止キャップの構造を説明するための図である。

符号の説明

５０、６０ 液漏れ防止キャップ
５５，６５ 連結孔部
５３、５３ Ｕ字状の凸部
５８、６８ Oリング
１００ マスク洗浄装置
１１０ 位置制御部
１５０，１６０ アーム
２００ 洗浄液タンク
２１０ 送液ポンプ
２２０ 吸液ポンプ
２３０ 送気ポンプ
２４０ ヒーター
２５０ 切替バルブ
２６０、２７０、２８０ フレキシブルチューブ
６００ スクリーン印刷機
６１０ スクリーンマスク
６２０ 位置決め制御部
６２５ 印刷対象（ワーク）
６３０ スキージ
６５０ 制御部

Claims (11)

1. スクリーン印刷機のスクリーンマスクを洗浄するマスク洗浄装置であって、
   洗浄するべきスクリーンマスクの洗浄領域両面に対向して位置決めされ前記スクリーンマスクの洗浄領域を液密に挟持する液漏れ防止キャップ組と、
   前記液漏れ防止キャップ組を係止し、待機位置と洗浄位置に位置決め移動する移動アーム組と、
   前記液漏れ防止キャップ組の一方のキャップ内に洗浄液を噴出させる洗浄液噴出手段と、
   前記液漏れ防止キャップ組の他方のキャップ内に、前記一方の液漏れ防止キャップから噴出され、前記スクリーンマスク洗浄領域を通過した洗浄液を回収する回収手段とを備え、
   前記回収手段は、他方の液漏れ防止キャップ内に前記一方の液漏れ防止キャップ内から噴出した洗浄液を排出する排出手段を含むことを特徴とするマスク洗浄装置。
2. 前記液漏れ防止キャップ組は互いにほぼ対称の外形形状に成形され、
   前記移動アーム組は、前記液漏れ防止キャップ組のそれぞれの液漏れ防止キャップを互いが対向する様に係止し、それぞれスクリーン印刷中はスクリーン印刷機の印刷動作範囲外の待機位置に位置決めし、洗浄時には待機位置より前記スクリーンマスクの洗浄領域を挟むように前記液漏れ防止キャップ組を移動させ、前記液漏れ防止キャップ組の最周辺縁端部がほぼ対向する位置に位置決めして互いに所定圧力で挟み付けることを特徴とする請求項１記載のマスク洗浄装置。
3. 前記液漏れ防止キャップ組は、最周辺縁端部の前記スクリーンマスク当接面をほぼＵ字状に形成することを特徴とする請求項１又は請求項２記載のマスク洗浄装置。
4. 前記液漏れ防止キャップ組は、キャップの少なくとも中央部上部に洗浄液が供給・排出可能な導液路を備え、
   前記導液路を介して一方の液漏れ防止キャップ内に洗浄液を噴射可能に構成すると共に、他方の液漏れ防止キャップの前記導液路を用いて前記一方の液漏れ防止キャップから噴出され、スクリーンマスクを通過した洗浄液を排出可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のマスク洗浄装置。
5. 前記液漏れ防止キャップ組は、洗浄液の供給・排出処理実行後に前記液漏れ防止キャップ内に空気を送り込み可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のマスク洗浄装置。
6. さらに、洗浄液タンクと、
   前記洗浄液タンク内の洗浄液を一方の前記液漏れ防止キャップの導液路に供給し、スクリーンマスクに挟持されている液漏れ防止キャップ内に噴出させる噴出手段と、
   前記噴出手段の洗浄液供給に同期してスクリーンマスクに挟持されている液漏れ防止キャップ内に噴出されている洗浄液を対向する液漏れ防止キャップの導液路を介して排出して前記洗浄液タンク内に戻す排出手段と、
   前記噴出手段と前記排出手段による洗浄液循環処理の終了後前記液漏れ防止キャップ内に空気を供給して前記スクリーンマスクに残余の洗浄液を除去する気体供給手段とを備えることを特徴とする請求項５記載のマスク洗浄装置。
7. 前記液漏れ防止キャップは、さらに内部に超音波振動子を備え、洗浄時に前記超音波振動子を振動させることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のマスク洗浄装置。
8. スクリーンマスクの洗浄領域を液密に挟持する液漏れ防止キャップ組を備え、スクリーン印刷機のスクリーンマスクを洗浄するマスク洗浄装置におけるマスク洗浄方法であって、
   前記液漏れ防止キャップ組をスクリーン印刷中はスクリーン印刷機の印刷動作範囲外の待機位置に位置決めし、洗浄時には待機位置より前記スクリーンマスクの洗浄領域両面に移動させ、
   液漏れ防止キャップ組を前記スクリーンマスクの洗浄領域に対向して圧接して液密状態に位置決めし、
   所定時間前記液漏れ防止キャップ組の一方のキャップ内に洗浄液を噴出させ、洗浄液を前記スクリーンマスクを通過させてマスク面を洗浄すると共に、
   前記液漏れ防止キャップ組の他方のキャップ内から、前記一方の液漏れ防止キャップから噴出され、前記スクリーンマスク洗浄領域を通過した洗浄液を排出し、
   スクリーンマスクを自動洗浄することを特徴とするマスク洗浄方法。
9. 前記液漏れ防止キャップ組は互いにほぼ対称の外形形状に成形され、
   前記移動アーム組は、前記液漏れ防止キャップ組のそれぞれの液漏れ防止キャップを互いが対向する様に係止し、
   スクリーン印刷中は前記液漏れ防止キャップ組をスクリーン印刷機の印刷動作範囲外の待機位置に位置決めし、
   洗浄時には前記液漏れ防止キャップ組を待機位置より前記スクリーンマスクの洗浄領域に移動させ、前記液漏れ防止キャップ組の最周辺縁端部がほぼ対向する位置になるように位置決めして互いに所定圧力で前記スクリーンマスクを挟み付けて液密状態にすることを特徴とする請求項８記載のマスク洗浄方法。
10. 洗浄液の噴出・排出処理実行後に前記液漏れ防止キャップ内に空気を送り込み前記スクリーンマスクに残余の洗浄液を助鏡することを特徴とする請求項８又は請求項９記載のマスク洗浄方法。
11. 前記液漏れ防止キャップ内部に超音波振動子を配置し、洗浄時に前記超音波振動子を振動させることを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載のマスク洗浄方法。
    

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