JP2006322775A - テストシステム - Google Patents

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Abstract

【課題】 ICテスタにより、ダイナミック特性の試験が行えるテストシステムを実現することを目的にする。
【解決手段】 本発明は、LVDS信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムに改良を加えたものである。本装置は、試験対象に試験信号を出力するICテスタと、被試験対象が出力するLVDS信号が入力され、シングルエンド出力をICテスタに与えるトランスとを備えたことを特徴とする装置である。
【選択図】 図1

Description

本発明は、LVDS(Low Voltage Differential Signal)信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムに関し、ダイナミック特性の試験が行えるテストシステムに関するものである。
近年、低消費電力で、ノイズに強いLVDS信号がデジタルテレビ用ICに使用されるようになってきた。LVDS信号は高速な差動信号であるため、ICテスタでは直接試験することができず、例えば下記特許文献1に示すように、LVDSレシーバを介して、ICテスタに入力し、被試験対象であるLVDSトランスミッタの試験を行っていた。このような装置を図8に示し説明する。
特開2002−48843号公報
図8において、ICテスタ1は、ドライバ、コンパレータ等を有し、試験信号を出力する。DUT2は例えばLVDSトランスミッタで、パラレル/シリアル変換器21、差動送信部22等からなり、ICテスタ1からの出力(パラレル信号)を入力し、LVDS信号を出力する。パラレル/シリアル変換器21は、ICテスタ1からのパラレルデータをシリアルデータに変換する。差動送信部22は、パラレル/シリアル変換器21からのシリアルデータを、LVDS信号として出力する。LVDSレシーバ3は、差動受信部31、シリアル/パラレル変換器32等からなり、DUT2からのLVDS信号を入力し、ICテスタ1にパラレル信号を出力する。差動受信部31は、DUT2からのLVDS信号を入力し、シリアルデータとして出力する。シリアル/パラレル変換器32は、差動受信器31からのシリアルデータをパラレルデータに変換し、ICテスタ1に出力する。
このような装置の動作を以下に説明する。ICテスタ1は、複数のドライバ(図示せず)から試験信号(パラレルデータ)をDUT2に出力する。DUT2は、試験信号により、LVDS信号を生成し、LVDSレシーバ3に出力する。そして、LVDSレシーバ3は、LVDS信号からパラレルデータを生成し、ICテスタ1の複数のコンパレータ(図示せず)に出力する。ICテスタ1は、入力した信号と期待値パターンとを比較し、DUT2の良否の判定を行う。
このような装置では、LVDSレシーバ3を使用して、LVDSトランスミッタ等のLVDS信号を出力するICやLSI等の機能検査は可能であるが、例えば、(立ち上がり時間)/(立下り時間)、スキュー、アイパターンの開口、ジッタ等のダイナミック特性の試験を行うことができなかった。
そこで、本発明の目的は、ICテスタにより、ダイナミック特性の試験が行えるテストシステムを実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
LVDS信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記試験対象に試験信号を出力するICテスタと、
前記被試験対象が出力するLVDS信号が入力され、シングルエンド出力を前記ICテスタに与えるトランスと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、
LVDS信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記試験対象に試験信号を出力するICテスタと、
前記被試験対象が出力するLVDS信号が入力されるトランスと、
このトランスのシングルエンド出力を入力し、この出力とシュレッショルド電圧とを比較し、ICテスタに出力するコンパレータと
を設けたことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、
LVDS信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
前記試験対象に試験信号を出力するICテスタと、
前記被試験対象が出力するLVDS信号が入力されるトランスと、
このトランスのシングルエンド出力を入力し、この出力とシュレッショルド電圧とを比較するコンパレータと、
このコンパレータの出力を保持し、ICテスタに出力する保持回路と
を設けたことを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明であって、
被試験対象の出力端を、前記トランスまたは前記ICテスタに切り替える切替部を設けたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、請求項4記載の発明であって、
ICテスタは、切替部がトランスに切り替えたとき、機能特性試験を行い、切替部が自身に切り替えたとき、直流特性試験を行うことを特徴とするものである。
請求項6記載の発明は、請求項2または3記載の発明であって、
ICテスタは、コンパレータの出力によりジッタ測定を行うジッタ測定部を有することを特徴とするものである。
請求項7記載の発明は、請求項1〜6のいずれかに記載の発明であって、
ICテスタの出力が入力され、トランスに出力する校正用トランスを設け、校正を行うことを特徴とするものである。
請求項8記載の発明は、請求項1〜7のいずれかに記載の発明であって、
トランスの前段に直流成分を除去するコンデンサを設けたことを特徴とするものである。
本発明によれば、トランスが、被試験対象のLVDS信号をシングルエンド信号にするので、ICテスタで機能試験、ダイナミック特性試験を行うことができる。
また、トランスのシングルエンド出力を、コンパレータでスレッショルド電圧と比較し、2値化を行うので、比較的良好な周波数特性が得られる。
また、保持回路が保持を行うので、ICテスタの動作スピードが遅くとも、処理を行うことができ、ICテスタ内の比較タイミング精度はゆるくて済む。
また、切替部が、ICテスタ、トランスの切替を行うので、ICテスタにより、直流特性試験を行うことができる。
また、ICテスタが、コンパレータの出力を入力するので、ジッタ測定部によりジッタ測定を行うことができる。
また、校正用トランスにより、トランスに、ICテスタからの出力を出力するので、校正を行うことができる。
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図8と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図1において、ICテスタ1は、ドライバ11,12,13a,13b,14,15、コンパレータ16a,16b、電圧発生部17a,17b、ジッタ測定部18等を有する。DUT2は例えばLVDSトランスミッタで、パラレル/シリアル変換器21、差動送信部22a,22b、クロック発生器23等からなり、ICテスタ1からの出力を入力し、LVDS信号を出力する。パラレル/シリアル変換器21は、ICテスタ1の複数のドライバ11によるパラレルデータをシリアルデータに変換する。差動送信部22aは、クロックを入力し、LVDS信号を出力する。複数の差動送信部22bは、パラレル/シリアル変換器21からのシリアルデータを、LVDS信号として出力する。クロック発生器23は、ICテスタ1のドライバ12によるクロックを入力し、パラレル/シリアル変換器21、差動送信部22aにクロックを与える。
リレーRL1〜RL4は、DUT2の出力端に可動接点aを接続し、ICテスタ1の直流測定部(図示せず)を固定接点bに接続する。コンデンサC1〜C4は、それぞれリレーRL1〜RL4の固定接点cに一端を接続する。トランス4aは、1次側巻線の一端、他端に、それぞれコンデンサC1,C2の他端を接続し、2次側巻線の一端を接地する。トランス4bは、1次側巻線の一端、他端に、それぞれコンデンサC3,C4の他端を接続し、2次側巻線の一端を接地する。抵抗R1,R2は、それぞれトランス4a,4bの2次側巻線に並列して接続される。
コンパレータ5a,5bは、それぞれトランス4a,4bの2次側巻線の他端が一方の入力端に接続され、他方の入力端に電圧発生部17a,17bに接続し、比較結果を保持する。リレーRL5,RL6は、それぞれコンパレータ5aの正、負の出力端に可動接点aを接続する。レベル変換回路6aは、リレーRL5,RL6の固定接点bに接続し、ECL(Emitter Coupled Logic)レベルをICテスタ1の電圧レベルに変換して、ICテスタ1のコンパレータ16aに出力する。レベル変換回路6bは、リレーRL7,RL8の固定接点bに接続し、ECLレベルをICテスタ1の電圧レベルに変換して、ICテスタ1のコンパレータ16bに出力する。レベル変換回路6c,6dは、それぞれICテスタ1のドライバ13a,13bからの出力を入力し、ECLレベルに変換して、コンパレータ5a,5bにラッチイネーブル信号を出力する。コネクタCN1,CN2は、それぞれコンデンサC1,C2の一端に接続する。コネクタCN3,CN4は、それぞれコンデンサC3,C4の一端に接続する。校正用トランス7は、ドライバ14の出力が1次巻線に接続され、2次巻線がコネクタCN5,CN6に接続する。選択部8は、リレーRL5〜RL8の固定接点bを接続し、ドライバ15、ジッタ測定部18に接続する。
次に、選択部8の具体的構成を図2に示し説明する。図2において、DフリップフロップF1〜F4は、D端子がハイレベルに固定され、それぞれのクロック端子がリレーRL5〜RL8の固定接点cに接続される。論理和回路81は、ORゲート81a〜81cからなり、DフリップフロップF1〜F4の出力を論理和して、ジッタ測定部18に出力する。ORゲート81aは、DフリップフロップF1,F2の出力を入力する。ORゲート81bは、DフリップフロップF3,F4の出力を入力する。ORゲート81cは、ORゲート81a,81bの出力を入力し、ジッタ測定部18に出力する。レベル変換回路82a〜82dは、それぞれICテスタ1のドライバ17a〜17dの出力を入力し、ECLレベルに変換して、DフリップフロップF1〜F4のリセット端子に入力する。
このような装置の動作を以下に説明する。
(A)機能試験
まず、機能試験について説明する。図3は図1に示す装置の動作を示したタイミングチャートで、(a)はDUT2に入力されるパラレルデータ、(b)はDUT2に入力されるクロック、(c)はDUT2が出力するLVDS信号である。
リレーRL1〜RL4の可動接点aを固定接点cに接続する。そして、リレーRL5〜RL8の可動接点aを固定接点bに接続する。
ICテスタ1が、図3(a)に示されるように、複数のドライバ11からパラレルデータをDUT2のパラレル/シリアル変換器21に出力すると共に、図3(b)に示されるように、ドライバ12からクロックをDUT2のクロック発生器23に出力する。クロック発生器23は、内部のフェーズ・ロック・ループにより、入力したクロックを逓倍して、パラレル/シリアル変換器21に与えると共に、逓倍したクロックを分周して、差動送信部22aに与える。そして、差動送信部22aは、クロック発生器23の分周されたクロックにより、LVDS信号を出力し、差動送信部22bは、パラレル/シリアル変換器21のシリアルデータにより、図3(c)に示されるように、LVDS信号を出力する。
DUT2の出力が、リレーRL1〜RL4を介して、コンデンサC1〜C4に入力され、直流成分が除去される。そして、コンデンサC1〜C4からトランス4a,4bに入力され、トランス4a,4bがシングルエンド出力をコンパレータ5a,5bに出力する。コンパレータ5a,5bは、電圧発生部17a,17bからのスレッショルド電圧により、トランス4a,4bの出力を2値にする。そして、コンパレータ5a,5bは、ドライバ13a,13bのラッチイネーブル信号をレベル変換回路6c,6dを介して入力し、この信号により、比較結果をラッチし、リレ−RL5〜RL8、レベル変換回路6a,6bを介して、ICテスタ1のコンパレータ15a,15bに入力する。ICテスタ1が、コンパレータ16a,16bでストローブをかけ、期待値と比較し、DUT2の良否の判定を行う。すなわち、ストローブでなく、ラッチイネーブル信号が実質的な比較タイミングとなる。
(B)ダイナミック特性試験
次に基本的なダイナミック特性試験について説明する。図4は図1に示す装置の動作を示したタイミングチャートで、(a)はDUT2が出力するLVDS信号、(b)はドライバ13a,13bが出力するラッチイネーブル信号、(c)はコンパレータ16a,16bのストローブである。
リレーRL1〜RL4の可動接点aを固定接点cに接続する。そして、リレーRL5〜RL8の可動接点aを固定接点bに接続する。
ICテスタ1が、複数のドライバ11から、シリアルデータがハイ、ロウの繰り返しになるようにパラレルデータをDUT2のパラレル/シリアル変換器21に出力すると共に、ドライバ12からクロックをDUT2のクロック発生器23に出力する。クロック発生器23は、入力したクロックを逓倍して、パラレル/シリアル変換器21に与えると共に、逓倍したクロックを分周して、差動送信部22aに与える。そして、差動送信部22aは、クロック発生器23の分周されたクロックにより、LVDS信号を出力し、差動送信部22bは、パラレル/シリアル変換器21のシリアルデータにより、図4(a)に示されるように、LVDS信号を出力する。
DUT2の出力が、リレーRL1〜RL4を介して、コンデンサC1〜C4に入力され、直流成分が除去される。そして、コンデンサC1〜C4からトランス4a,4bに入力され、トランス4a,4bがシングルエンド出力をコンパレータ5a,5bに出力する。コンパレータ5a,5bは、電圧発生部17a,17bからのスレッショルド電圧により、トランス4a,4bの出力を2値にする。そして、コンパレータ5a,5bは、例えば、図4(b)に示されるように、ドライバ13a,13bのラッチイネーブル信号をレベル変換回路6c,6dを介して入力し、この信号により、比較結果をラッチし、リレーRL5〜RL8、レベル変換回路6a,6bを介して、ICテスタ1のコンパレータ15a,15bに入力する。ICテスタ1が、例えば、図4(c)に示されるように、コンパレータ15a,15bでストローブをかけ、期待値と比較する。
ドライバ13a,13bがラッチイネーブル信号を微妙に変化させ、LVDS信号のロウからハイ、または、ハイからロウの切り換わるタイミングをサーチする。図4に示すように、ICテスタ1のテストレート内にLVDS信号が変化するが、コンパレータ5a,5bでラッチするので、信号変化をとらえることができる。
(立ち上がり時間)/(立下り時間)は個々のチャンネルにおいて、電圧発生部17a,17bのスレッショルド電圧をトランス4a,4bの出力振幅の20%、80%に変えて、サーチを行い、図示しないICテスタ1の演算部により、(立ち上がり時間)/(立下り時間)を求める。
チャンネル間スキューは、スレッショルド電圧は固定し、各チャンネルのタイミング差を求める。アイパターンの開口は、個々のチャンネルで、スレッショルド電圧を変えて、タイミングを測定し、タイミング値と電圧値を2次元でプロットすることで測定する。
(C)ジッタ測定
そして、ダイナミック特性試験の中のジッタ測定動作について説明する。図5はジッタ測定の動作を説明する図で、(a)はLVDS信号のビット番号、(b)はDUT2の出力、(c)はDフリップフロップF1のリセット信号、(d)は論理回路81の出力である。
リレーRL1〜RL8の可動接点aを固定接点cに接続する。ICテスタ1が、複数のドライバ11からパラレルデータをDUT2のパラレル/シリアル変換器21に出力すると共に、ドライバ12からクロックをDUT2のクロック発生器23に出力する。クロック発生器23は、入力したクロックを逓倍して、パラレル/シリアル変換器21に与えると共に、逓倍したクロックを分周して、差動送信部22aに与える。そして、差動送信部22aは、クロック発生器23のクロックにより、LVDS信号を出力し、差動送信部22bは、パラレル/シリアル変換器21のシリアルデータにより、LVDS信号を出力する。
DUT2の出力が、リレーRL1〜RL4を介して、コンデンサC1〜C4に入力され、直流成分が除去される。そして、コンデンサC1〜C4からトランス4a,4bに入力され、トランス4a,4bがシングルエンド出力をコンパレータ5a,5bに出力する。コンパレータ5a,5bは、電圧発生部17a,17bからのスレッショルド電圧により、トランス4a,4bの出力を2値にする。ここで、図示しないICテスタ1のドライバからコンパレータ5a,5bに制御信号が入力され、比較結果をラッチせずにそのまま出力している。
ドライバ15a〜15dは、レベル変換部82a〜82dを介して、DフリップフロップF1〜F4のリセット端子にリセット信号を出力し、DフリップフロップF1〜F4をリセットさせている。そして、ドライバ15cがリセット信号の出力を止める。そして、コンパレータ5bが、比較結果をラッチせずに、リレーRL7を介して、図5(b)に示されるように、DフリップフロップF3のクロック端子に入力し、DフリップフロップF3は、Q出力を立ち上げる。このQ出力を、ORゲート81b,81cを介して、図5(d)に示されるように、ジッタ測定部18に入力される(t1)。そして、ドライバ15cが再びリセット信号を出力し、DフリップフロップF3のQ出力を立ち下げる(t2)。再び、ドライバ15cがリセット信号を止める。コンパレータ5bの正出力が、DフリップフロップF3のクロック端子に入力され、DフリップフロップF3のQ出力は再び立ち上がる。このQ出力を、ORゲート81b,81cを介して、図5(d)に示されるように、ジッタ測定部18に入力される(t3)。このような動作を繰り返し、ジッタ測定部18が、入力された信号の立ち上がりの時間間隔の測定を繰り返し、ジッタ測定が行われる。
ここで、LVDS信号のシリアルデータは600Mbpsで、ビット間の時間間隔約1.6ns時間を測定しなければならないが、約13nsを測定し、1/8にすることにより、ビット間の時間間隔の測定を行っている。
差動送信部22bの出力の立ち下がりジッタを測定する場合、上述と同じように、DフリップフロップF4に対して、ドライバ15dからリセット信号が入力され、ジッタ測定部18が入力された信号の立ち上がりの時間間隔の測定を繰り返し、ジッタ測定が行われる。
同様に、差動送信部22aの出力の立ち上がりジッタを測定する場合は、コンパレータ5aの正出力(リレーRL5の出力)により測定を行い、立ち下がりジッタを測定する場合は、コンパレータ5aの負出力(リレーRL6の出力)により測定を行う。
そして、同一ビットを測定する場合には、図6に示すように、同一ビットの手前で、立ち上がるときに、ドライバ15a〜15cのリセット信号を解除するように制御を行う。
(D)直流特性試験
リレーRL1〜RL4の可動接点aを固定接点bに接続する。そして、図示しないICテスタ1の直流測定部により、直流特性の試験を行う。
(E)校正
最後に校正について説明する。校正する場合、図示しない同軸ケーブルをコネクタCN1,CN5に接続し、コネクタCN1,CN5間を接続すると共に、図示しない同軸ケーブルをコネクタCN2,CN6に接続し、コネクタCN2,CN6間を接続する。リレーRL1,RL2の可動接点aを固定接点bに接続し、リレーRL5,RL6の可動接点aを固定接点bに接続する。そして、ドライバ14が信号をトランス7の1次側巻線に出力し、トランス7の2次側巻線の出力が、同軸ケーブル、コンデンサC1,C2を介して、トランス4aの1次側巻線に入力される。トランス4aの2次側巻線の出力が、コンパレータ5aに入力される。
コンパレータ5aは、電圧発生部17からのスレッショルド電圧により、トランス4aの出力を2値にする。そして、コンパレータ5aは、ドライバ13aのラッチイネーブル信号を、レベル変換回路6cを介して入力し、この信号により、比較結果をラッチし、リレーRL5,RL6、レベル変換回路6aを介して、ICテスタ1のコンパレータ16aに入力する。ICテスタ1が、コンパレータ16aでストローブをかけ、期待値と比較する。そして、ドライバ13aがラッチイネーブル信号を微妙に変化させ、ロウからハイに切り換わるタイミングをサーチする。これにより、回路等の遅延量を測定し、各部の校正を行う。
同様に、同軸ケーブルをコネクタCN1,CN2から取り外し、それぞれコネクタCN3,CN4に接続し、コネクタCN3,CN5間を接続すると共に、コネクタCN4,CN6を接続する。リレーRL3,RL4の可動接点aを固定接点bに接続し、リレーRL7,RL8の可動接点aを固定接点bに接続する。そして、ドライバ14が信号をトランス7の1次側巻線に出力し、トランス7の2次側巻線の出力を、同軸ケーブル、コンデンサC3,C4を介して、トランス4bの1次側巻線に入力される。トランス4bの2次側巻線の出力が、コンパレータ5bに入力される。
コンパレータ5bは、電圧発生部17bからのスレッショルド電圧により、トランス4bの出力を2値にする。そして、コンパレータ5bは、ドライバ13bのラッチイネーブル信号を、レベル変換回路6dを介して入力し、この信号により、比較結果をラッチし、リレーRL7,RL8、レベル変換回路6bを介して、ICテスタ1のコンパレータ16bに入力する。ICテスタ1が、コンパレータ16bでストローブをかけ、期待値と比較する。そして、ドライバ13bがラッチイネーブル信号を微妙に変化させ、ロウからハイに切り換わるタイミングをサーチする。これにより、回路等の遅延量を測定し、各部の校正を行う。このような動作を行い、回路等の遅延の校正を行う。
このように、トランス4a,4bが、DUT2のLVDS信号を良好な周波数特性でシングルエンド信号にするので、ICテスタ1で機能試験、ダイナミック特性試験を行うことができる。
また、トランス4a,4bのシングルエンド出力を、コンパレータ5a,5bでスレッショルド電圧と比較し、2値化を行うので、比較的良好な周波数特性が得られる。これにより、ジッタ測定を精度よく行うことができる。
また、コンパレータ5a,5bが、ラッチイネーブル信号により保持を行うので、ICテスタ1の動作スピードが遅くとも、処理を行うことができ、ICテスタ1内の比較タイミング精度はゆるくて済む。
また、リレーRL1〜RL4の切替部が、ICテスタ1、トランス4a,4bの切替を行うので、ICテスタ1により、直流特性試験を行うことができる。
また、ICテスタ1が、コンパレータ5a,5bの出力を入力するので、ジッタ測定部によりジッタ測定を行うことができる。
また、補正用トランス7により、トランス4a,4bに、ICテスタ1からの出力を出力するので、校正を行うことができる。
次に、第2の実施例を図7に示し説明する。ここで、図1と同一のものは同一符号を付して説明を省略する。
図7において、コンパレータ9は、コンパレータ5aの代わりに設けられ、トランス4aの2次側巻線の他端が一方の入力端に接続され、他方の入力端に電圧発生部17aに接続する。DフリップフロップFは保持回路で、コンパレータ9の出力端をD端子に接続すると共に、クロック端子にドライバ13aの出力端を接続し、Q出力をコンパレータ16aに出力する。ドライバ19は、ICテスタ1に設けられ、DフリップフロップFのリセット端子に接続する。
このような装置は、ジッタ測定を行うためのリレーRL5,RL6、レベル変換回路6a,6bが設けられていないだけで、その他の動作は図1に示す装置と同じである。つまり、コンパレータ5aのラッチの代わりに、DフリップフロップFがラッチを行う。そして、ドライバ19の出力により、DフリップフロップFのリセットが行われ、次のコンパレータ9の出力を、ドライバ13aの出力によりラッチする。その他の動作は図1に示す装置と同様なので説明を省略する。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、レベル変換回路6a〜6dを設けた構成を示したが、ICテスタ1がコンパレータ5aの電圧レベルを直接受けるとことが可能であれば、設ける必要はない。
また、ジッタ測定において、選択部8の代わりに、分周回路を設け、リレーRL5〜RL8の出力を分周し、ジッタ測定部18に入力する構成でもよい。つまり、図5に示す動作をさせるためには、分周回路の分周数が4になり、図6に示す動作をさせるためには、分周回路の分周数が7になる。
また、ICテスタ1の速度が高速であれば、コンパレータ5a,5b,9、DフリップフロップFを設けずに、トランス4a,4bの出力を直接、ICテスタ1のコンパレータ16a,16bに入力する構成にしてもよい。
また、DUT2は、LVDSトランスミッタだけでなく、LVDS信号を出力するものであればよい。
また、リレーRL1〜RL8はリレーだけでなく、スイッチで構成してもよい。すなわち、切り替えを行う切替部であればよい。
本発明の一実施例を示した構成図である。 図1に示す装置の選択部8の具体的構成を示した図である。 図1に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図1に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図1,2に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図1,2に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 本発明の第2の実施例を示した構成図である。 従来のテストシステムの構成を示した図である。
符号の説明
1 ICテスタ
2 DUT
4a,4b トランス
5a,5b,9 コンパレータ
7 校正用トランス
18 ジッタ測定部
C1〜C4 コンデンサ
F Dフリップフロップ
RL1〜RL8 リレー

Claims (8)

  1. LVDS信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
    前記試験対象に試験信号を出力するICテスタと、
    前記被試験対象が出力するLVDS信号が入力され、シングルエンド出力を前記ICテスタに与えるトランスと
    を備えたことを特徴とするテストシステム。
  2. LVDS信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
    前記試験対象に試験信号を出力するICテスタと、
    前記被試験対象が出力するLVDS信号が入力されるトランスと、
    このトランスのシングルエンド出力を入力し、この出力とシュレッショルド電圧とを比較し、ICテスタに出力するコンパレータと
    を設けたことを特徴とするテストシステム。
  3. LVDS信号を出力する被試験対象を試験するテストシステムにおいて、
    前記試験対象に試験信号を出力するICテスタと、
    前記被試験対象が出力するLVDS信号が入力されるトランスと、
    このトランスのシングルエンド出力を入力し、この出力とシュレッショルド電圧とを比較するコンパレータと、
    このコンパレータの出力を保持し、ICテスタに出力する保持回路と
    を設けたことを特徴とするテストシステム。
  4. 被試験対象の出力端を、前記トランスまたは前記ICテスタに切り替える切替部を設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のテストシステム。
  5. ICテスタは、切替部がトランスに切り替えたとき、機能特性試験を行い、切替部が自身に切り替えたとき、直流特性試験を行うことを特徴とする請求項4記載のテストシステム。
  6. ICテスタは、コンパレータの出力によりジッタ測定を行うジッタ測定部を有することを特徴とする請求項2または3記載のテストシステム。
  7. ICテスタの出力が入力され、トランスに出力する校正用トランスを設け、校正を行うことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のテストシステム。
  8. トランスの前段に直流成分を除去するコンデンサを設けたことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のテストシステム。
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