JP2006308425A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 50
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 40
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 45
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】本発明の測定装置は、被測定物の一面上の第1及び第2の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第1及び第2の平行プリズムと、第1及び第2の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、光学レンズからの光を取り込み、第1の場所及び第2の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、電気信号に基づき第1の場所及び第2の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、を有することを特徴とする。本発明によると、1画面上で離れた複数の場所の測定を1つの光学系を用いることで可能となる。本発明の測定装置及び測定方法によると、平行プリズムを用いることにより光路を被測定物の直上で高さ方向に対し90度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ(ワークディスタンス)を小さくでき、測定装置を小型化することができる。
【選択図】 図3
Description
前記2つの台形プリズムの出射側反射面部位に、それぞれ、複数の反射プリズムを配置し、前記複数の反射プリズムの出射側反射面部位を互いに近接して配置した箇所に前記光学レンズ部を配置することを特徴としている。
θ=arctan(Lh/Lc) (1)
Lc=a・Lc’+Lc* (2)
Lh=b・Lh’ (3)
θ=arctan(Lh/Lc)
=arctan(b・Lh’/(a・Lc’+Lc*)) (4)
Lv=a・Lv’ (5)
Δx=b・Δx (6)
Lm=a・Lm’+arccos(Lc*) (7)
2 ベースプレート
3 ビーム
4 仮基準穴
5 フレキシャ
5a パッド
6 ボス穴
7 ヒンジ
8 ワークフレーム
10 測定装置
11 被測定物
12 ステージ
13a、13b 平行プリズム
14 顕微鏡筒
15 イメージセンサ
16 コンピュータ
17 表示装置
18 表示画面
19a、19b、19c 台形プリズム
20、20a、20b 直角プリズム
Claims (16)
- 被測定物の一面上の第1及び第2の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第1及び第2の平行プリズムと、
前記第1及び第2の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、
前記光学レンズからの光を取り込み、前記第1の場所及び第2の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、
前記電気信号に基づき前記第1の場所及び第2の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、
を有する測定装置。 - 第1の被測定物上の第1の場所及び第2の被測定物上の第2の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第1及び第2の平行プリズムと、
前記第1及び第2の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、
前記光学レンズからの光を取り込み、前記第1の場所及び第2の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、
前記電気信号に基づき前記第1の場所及び第2の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、
を有する測定装置。 - 前記第1及び第2の平行プリズムは、前記第1及び第2の場所からの反射光を、それぞれ、同じ方向に向けて出射することを特徴とする請求項1又は2に記載の測定装置。
- 被測定物の異なる面上の第1及び第2の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第1及び第2の台形プリズムと、
前記第1及び第2の台形プリズムからの光をそれぞれ取り込み、それぞれの光を同一方向へ出射する第1及び第2の反射プリズムと、
前記第1及び前記第2の反射プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、
前記光学レンズからの光を取り込み、前記被測定物上の前記第1の場所及び第2の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、
前記電気信号に基づき前記第1の場所及び第2の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、
を有する測定装置。 - 前記第1及び第2の台形プリズムは、前記被測定物上の前記第1及び第2の点からの反射光を、それぞれ、180度異なる方向に向けて出射する請求項4に記載の測定装置。
- 前記第1及び第2の反射プリズムは、直角プリズムである請求項4又は5に記載の測定装置。
- 被測定物の一面上の第1及び第2の場所からの反射光を光学レンズによって収束又は発散させ、前記被測定物の前記第1及び第2の場所の映像をイメージセンサを介して一つの画面に表示し、前記一つの画面上で前記第1及び第2の場所にある複数の点の間の距離又は前記第1及び第2の場所にある前記被測定物の部位の角度又は配置を測定する測定装置であって、
前記被測定物の前記第1及び第2の場所からの反射光を受光する2つの平行プリズムの入射側反射面部位を前記第1及び第2の場所それぞれの直上に設け、
前記2つの平行プリズムの前記被測定物と反対側の出射側反射面部位を互いに近接して配置した箇所に前記光学レンズを配置する測定装置。 - 被測定物の一面上の第1の場所及び前記被測定物の前記一面とは異なる面上の第2の場所からの反射光を光学レンズによって収束又は発散させ、前記被測定物の前記第1及び第2の場所の映像をイメージセンサを介して一つの画面に表示し、前記一つの画面上で前記第1及び第2の場所にある複数の点の間の距離、前記第1及び第2の場所にある前記被測定物の部位の角度又は位置を測定する測定装置であって、
前記第1及び第2の場所からの反射光が入射側と出射側とで反対方向となるように、2つの台形プリズムの入射側反射面部位を前記第1及び第2の場所の直上にそれぞれを設け、
前記2つの台形プリズムの出射側反射面部位に、それぞれ、複数の反射プリズムを配置し、前記複数の反射プリズムの出射側反射面部位を互いに近接して配置した箇所に前記光学レンズ部を配置する測定装置。 - 前記複数の反射プリズムは、直角プリズムである請求項7又は8に記載の測定装置。
- 前記複数の反射プリズムは、一つが直角プリズムであり、もう一つが台形プリズムである請求項7又は8に記載の測定装置。
- 被測定物の一面上の第1及び第2の場所からの反射光をそれぞれ第1及び第2の平行プリズムに取り込み、
前記第1及び第2の平行プリズムからの光を収束又は発散させ、
前記収束又は発散させた光を取り込み、前記被測定物上の前記第1の場所及び第2の場所の映像を電気信号に変換し、
前記電気信号に基づき前記第1の場所及び第2の場所の映像を一つの画面に表示する、測定方法。 - 第1の被測定物上の第1の場所及び第2の被測定物上の第2の場所からの反射光をそれぞれ第1及び第2の平行プリズムに取り込み、
前記第1及び第2の平行プリズムからの光を収束又は発散させ、
前記収束又は発散させた光を取り込み、前記第1の場所及び第2の場所の映像を電気信号に変換し、
前記電気信号に基づき前記第1の場所及び第2の場所の映像を一つの画面に表示する、測定方法。 - 前記第1及び第2の平行プリズムは、前記被測定物上の前記第1及び第2の場所からの反射光を、それぞれ、同じ方向に向けて出射する請求項11又は12に記載の測定方法。
- 被測定物の異なる面上の第1及び第2の場所からの反射光をそれぞれ第1及び第2の台形プリズムに取り込み、
前記第1及び第2の台形プリズムからの光をそれぞれ第1及び第2の反射プリズムに取り込み、それぞれの光を同一方向へ出射し、
前記第1及び第2の反射プリズムからの光を収束又は発散させ、
前記収束又は発散させた光を取り込み、前記被測定物上の前記第1の場所及び第2の場所の映像を電気信号に変換し、
前記電気信号に基づき前記第1の場所及び第2の場所の映像を一つの画面に表示する、測定方法。 - 前記第1及び第2の台形プリズムは、前記被測定物上の前記第1及び第2の場所からの反射光を、それぞれ、180度異なる方向に向けて出射する請求項14に記載の測定方法。
- 前記第1及び第2の反射プリズムは、直角プリズムである請求項14又は15に記載の測定方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005131486A JP4652883B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | 測定装置及び測定方法 |
US11/400,769 US7508513B2 (en) | 2005-04-28 | 2006-04-10 | Measuring apparatus and measuring method |
CN2006100766020A CN1854681B (zh) | 2005-04-28 | 2006-04-19 | 测量装置以及测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005131486A JP4652883B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | 測定装置及び測定方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010184274A Division JP4897076B2 (ja) | 2010-08-19 | 2010-08-19 | 測定装置及び測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006308425A true JP2006308425A (ja) | 2006-11-09 |
JP4652883B2 JP4652883B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=37195005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005131486A Active JP4652883B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | 測定装置及び測定方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7508513B2 (ja) |
JP (1) | JP4652883B2 (ja) |
CN (1) | CN1854681B (ja) |
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- 2006-04-10 US US11/400,769 patent/US7508513B2/en active Active
- 2006-04-19 CN CN2006100766020A patent/CN1854681B/zh active Active
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JP7021870B2 (ja) | 2017-06-09 | 2022-02-17 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1854681A (zh) | 2006-11-01 |
US20060244967A1 (en) | 2006-11-02 |
CN1854681B (zh) | 2010-05-12 |
US7508513B2 (en) | 2009-03-24 |
JP4652883B2 (ja) | 2011-03-16 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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