JP2006303446A - リソグラフィ用マスク及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持基板5上に薄膜3を形成したマスクブランク13と、穴17、凹部11を有する補強枠7を準備する。支持基板5側の所定の位置に金属箔15を配置するか、もしくは、補強枠7側の所定の位置に金属箔15を配置する。その後、支持基板5、金属箔15、及び補強枠7側を重ね、支持基板5側、もしくは補強枠7側のいずれか一方、もしくは両方から加熱し、より好ましくは加熱及び加圧して金属箔15を溶解させた後、冷却して固化させることにより、支持基板5及び補強枠7を接合する。
【選択図】図9
Description
図3は本実施の形態に係るリソグラフィ用マスク1の斜視図、図4は、リソグラフィ用マスク1の積層構造を示すための断面図である。
リソグラフィ用マスク1を製造するには、まず支持基板5と穴17を有する補強枠7の間の接合部9が設けられる予定の区域に、金属箔15を配置する。その後、支持基板5と補強枠7との間に熱をかけ、より好ましくは、熱と圧力をかけて、金属箔15を溶解させ、支持基板5と補強枠7との間に接合部9を形成する。
図9で後述するような凹部11を形成する場合には、切削するか、もしくはエッチング等によって行う。
以上の製造過程において、薄膜3に対するエッチング及び支持基板5に対するエッチングは、逆の順に行ってもよい。
図9は補強枠7の上面に凹部11aを有したリソグラフィ用マスク1aを示し、図10は図9の要部の拡大図を示す。
図9、図10に示すリソグラフィ用マスク1aでは、補強枠7の上面に凹部11aを有しており、補強枠7側の凹部11aにおいて金属箔15からなる接合部9を有している。
図11は接合対象面に凹部11aを設けた場合の接合前の状態を示す断面図である。補強枠7の上部に形成された凹部11aに金属箔15を配置する。この後、第1の実施形態と同様、加熱し、好ましくは加熱及び加圧し、金属箔15を溶解させる。
この後、冷却して固化させ、図12に示すように金属箔15が固化して接合部9となり、支持基板5と補強枠7が接合される。
接合部9において、実際に接合に寄与する面積は、必ずしも広くなくてもよい。例えば、接合部9は、図12に示すように、補強枠7と支持基板5の重なり合う部分の幅に対して、十分な幅を有していてもよいが、十分な面積を有していなくてもよく、線状や点状に接合した部分であってもよい。
図13(a)、図13(b)は、接合部9における、支持基板5と補強枠7の間の相対する面の表面形状を示す図である。なお、図13(a)、図13(b)においては、接合に関係する部分のみを図示する。
また、凹部11の直径は1mm〜10mmが好ましい。凹部11の直径が1mmより小さいと支持基板5と補強枠7の金属箔15の接合面積が小さく、接合の信頼性に欠ける。また、凹部の直径が10mmより大きいと、支持基板5と補強枠7の接合強度が強く、支持基板5と補強枠7の間に発生する熱収縮量差に起因する応力により、支持基板5を破壊することがある。
支持基板5としては、シリコン、炭素、低膨張ガラス、アルミナ等の酸化物セラミック、炭化ケイ素、炭化タングステン、もしくは炭化モリブデン等の炭化物セラミック、または、窒化ケイ素、もしくは窒化アルミニウム等の窒化物セラミックを素材とするものが好ましく、支持基板5の厚みとしては、一例として、0.6mm〜2mm程度が好ましい。
ここで、接合部9の配置は、補強枠7の穴17の周囲でその穴17と同心円上で円周を3等分とした120°等配の3点接合が発生応力を低減し、高い平面平行度が得られることから、特に望ましい。
図14を参照しながら、実施例1について説明を行う。
支持基板5としては、直径4インチ、厚さ600μmの結晶方位が(100)である、両面研磨したSiウエハを用いた。これにCVD法で厚さ0.5μmのSiC薄膜3を成膜した。
その凹部11aに純度99.9%の金Auからなる金属箔15を配した後、支持基板5のSiC薄膜3を形成した面と反対面である研磨面と補強枠7とが接触するように重ね合わせ、それを真空中において、10g/cm2の荷重をかけながら加熱処理して補強枠7と支持基板5とを実質的に点接合した。
同様にして、リング円盤状の補強枠7の穴17の周囲でその穴17と同心円上で円周を4等分とした90°等配部位に点状の深さ20μmの凹部11aを4箇所形成した場合を実施例2とした。
次に図15を参照しながら、実施例3について説明を行う。実施例1と同様に、リング円盤状の補強枠7の穴17の周囲にリング状に深さ10μmの凹部11aを形成した。
ここで、SiC薄膜3部分のそり量が1μm以下のものを「良好」であるとして評価した。
次に、図16を参照しながら、実施例8について説明を行う。図15(a)は支持基板5と薄膜3を示す断面図である。図15(b)はパターン部35を有する支持基板5を示す平面図、図15(c)は補強枠7に接合前の金属箔15を配した補強枠7の平面図である。支持基板5と薄膜3は金属箔15を介して補強枠7に接合される。下側から、厚みが725μmのSiからなる支持基板5、厚みが0.10μmのエッチングストッパ層となるSiO2、及び厚みが1μmのSiからなる薄膜3(メンブレン)が順に積層した、合計厚みが726μmの直径200mmである、Silicon On Insulator(SOI)ウエハを準備した。このSOIウエハを、ウエハ中心を通る直線の長さが縦横とも152mmとなり、かつそれらの直線に対して垂直方向に交わるよう、ダイシングによって外形を切断加工したうえで、支持基板5の中央部を裏面からパターンエッチングを行って除去し、周縁部に沿った幅64mmの支持基板5を形成した。
次に図17、図18を参照しながら、実施例9について説明を行う。図17は、シリコンブロック(Siブロック)29の平面図、図18はSiブロック29と、シリコン板(Si板)25との接合状態を示す断面図である。
また、製造の過程においても、上記の薄膜と支持基板との複合体と、上記の補強枠とを準備し、支持基板と補強枠との間に金属箔を配置し、溶解させて両者間を接合することにより、上記のような利点を有するリソグラフィ用マスクの製造を支障なく、かつ効率よく行うことができる。
3………薄膜
5………支持基板
7………補強枠
9………接合部
13………マスクブランク
15………金属箔
17………穴
Claims (9)
- 所望のパターンが形成されている薄膜と、前記薄膜の外周を固定して支持する支持基板と、補強枠と、金属箔の溶解固化物から成り、前記支持基板と前記補強枠とを接合する接合部と、
を具備することを特徴とするリソグラフィ用マスク。 - 前記支持基板の前記補強枠側、もしくは前記補強枠の前記支持基板側の少なくともいずれか一方の面に凹部を有することを特徴とする請求項1記載のリソグラフィ用マスク。
- 前記凹部の深さが10μm〜20μmであることを特徴とする請求項2記載のリソグラフィ用マスク。
- 前記金属箔を構成する素材が前記支持基板及び前記補強枠と共晶をなす材料または共晶をなす材料を含む合金であることを特徴とする請求項1記載のリソグラフィ用マスク。
- 前記金属箔を構成する素材が金または金を含む合金であることを特徴とする請求項4記載のリソグラフィ用マスク。
- 所望のパターンが形成されている薄膜と前記薄膜の外周を固定して支持する支持基板とからなる薄膜/支持基板複合体と、前記支持基板を補強する補強枠とを準備し、前記薄膜/支持基板複合体の前記支持基板と前記補強枠との間に金属箔を配置し、配置後、前記金属箔を溶解、固化させて前記支持基板と前記補強枠とを接合することを特徴とするリソグラフィ用マスクの製造方法。
- 前記金属箔を溶解させることを加熱及び加圧により行うことを特徴とする請求項6記載のリソグラフィ用マスクの製造方法。
- 前記金属箔を構成する素材が前記支持基板及び前記補強枠と共晶をなす材料または共晶をなす材料を含む合金であることを特徴とする請求項6記載のリソグラフィ用マスクの製造方法。
- 前記金属箔を構成する素材が金または金を含む合金であることを特徴とする請求項6記載のリソグラフィ用マスクの製造方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09102447A (ja) * | 1995-10-03 | 1997-04-15 | Canon Inc | マスク構造体及びその製造方法、そのマスク構造体を用いた露光装置及びデバイスの製造方法並びにその方法により製造されたデバイス |
JP2000306805A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-11-02 | Nikon Corp | 補強枠付き荷電粒子線露光用転写マスク及びその製造方法 |
JP2002252164A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Riipuru:Kk | 転写用マスク及び転写用マスクの検査方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09102447A (ja) * | 1995-10-03 | 1997-04-15 | Canon Inc | マスク構造体及びその製造方法、そのマスク構造体を用いた露光装置及びデバイスの製造方法並びにその方法により製造されたデバイス |
JP2000306805A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-11-02 | Nikon Corp | 補強枠付き荷電粒子線露光用転写マスク及びその製造方法 |
JP2002252164A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Riipuru:Kk | 転写用マスク及び転写用マスクの検査方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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