JP2006291316A - 圧延銅合金箔およびその圧延銅合金箔を用いて製造した銅張積層板 - Google Patents
圧延銅合金箔およびその圧延銅合金箔を用いて製造した銅張積層板 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】Ag:30〜100ppm未満を含有し、必要に応じてSn、TeおよびInの内の1種または2種以上を合計で70ppm未満(0も含む)を、Ag+Sn+Te+In<100ppmとなるように含有し、さらに必要に応じて酸素:100〜500ppmを含有し、残部が銅および不可避不純物からなる圧延銅合金箔。
【選択図】 なし
Description
(イ)Ag:30〜100ppm未満を含有し、残部がCuおよび不可避不純物からなる成分組成を有する圧延銅合金箔は、その半軟化温度(5min)がイミド化温度(最低200℃)よりも高いところから、加熱乾燥工程を通過中に過度に軟化することがなく、したがって圧延銅合金箔はポリイミド前駆体ワニスのイミド化中に変形することがなく、圧延銅合金箔の表面にポリイミド樹脂層を形成することができる、
(ロ)Ag:30〜100ppm未満に、さらにSn、TeおよびInの内の1種または2種以上を合計で70ppm未満(0も含む)を、Ag+Sn+Te+In<100ppm未満の条件を満たすように含む圧延銅合金箔の軟化温度(再結晶温度)は、ポリイミド樹脂層が劣化する温度(310℃)よりも低いので、最終焼鈍中に銅張積層板のポリイミド樹脂層が劣化することはない、という研究結果が得られたのである。
(1)Ag:30〜100ppm未満を含有し、残部が銅および不可避不純物からなる成分組成を有する圧延銅合金箔、
(2)Ag:30〜100ppm未満を含有し、さらにSn、TeおよびInの内の1種または2種以上を合計で70ppm未満(0も含む)を、Ag+Sn+Te+In<100ppmとなるように含有し、残部が銅および不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする圧延銅合金箔、に特徴を有するものである。
(3)前記(1)または(2)記載の成分組成に、さらに酸素:100〜500ppmを含有する成分組成の圧延銅合金箔、に特徴を有するものである。
次に、圧延銅合金箔に含まれるAg、Sn、TeおよびIn並びに酸素の含有量を前記の如く限定した理由を説明する。
Ag:
Agは、銅に固溶し、耐熱性を向上させるために添加するが、Agを30ppm未満添加しても耐熱性の向上効果が得られず、一方、100ppm以上添加すると、圧延銅合金箔の軟化温度(再結晶温度)が上昇し過ぎ、この圧延銅合金箔を使用して作製したポリイミド樹脂層被覆銅張積層板を焼鈍し、再結晶化して完全軟化させ、可とう性を向上させようとすると、圧延銅合金箔とポリイミド樹脂層の積層体である銅張積層板のポリイミド樹脂層が劣化し、銅張積層板のポリイミド樹脂層が圧延銅合金箔から剥離したりするので好ましくない。したがって、この発明の圧延銅合金箔に含まれるAgは30〜100ppm未満(一層好ましくは、40〜90ppm)に定めた。
Sn、Te、In:
これら成分は、銅に固溶し、耐熱性を一層向上させるためにAg:30〜100ppm未満含有する銅合金に必要に応じて添加するが、Sn、TeおよびInの内の1種または2種以上を合計で70ppm以上添加すると、Ag+Sn+Te+In≧100ppmとなって圧延銅合金箔の軟化温度(再結晶温度)が上昇し過ぎ、この圧延銅合金箔を使用して作製したポリイミド樹脂層被覆銅張積層板を焼鈍し、再結晶化して完全軟化させ、可とう性を向上させようとすると、圧延銅合金箔とポリイミド樹脂層の積層体である銅張積層板のポリイミド樹脂層が劣化し、銅張積層板のポリイミド樹脂層が圧延銅合金箔から剥離したりするので好ましくない。したがって、この発明の圧延銅合金箔に必要に応じて含まれる添加元素は、Sn、TeおよびInの内の1種または2種以上を合計で70ppm未満(0も含む)(ただし、Ag+Sn+Te+In<100ppm)となるように定めた。
酸素:
酸素含有量が100ppmよりも少ないと健全な鋳塊が得られず、一方、酸素を500ppmを越えて含有すると、鋳塊素地中にガスホールが多く発生したり、圧延時に割れが発生したりするので好ましくない。したがって、この発明の圧延銅合金箔に含まれる酸素は100〜500ppmに定めた。
原料として電気銅を用意し、この電気銅を電気炉にて溶解し、酸素量を調整することにより銅溶湯を作製した。得られた溶湯にAg、Sn、Te、Inを添加し、銅合金鋳塊を作製し、得られた銅合金鋳塊を700℃で熱間圧延し、表面を面削し、ついで冷間圧延と焼鈍する操作を繰り返し施した後、最終的に冷間圧延することにより厚さ:12μmを有する表1に示される成分組成の本発明圧延銅合金箔1〜16、比較圧延銅合金箔1〜5および従来圧延銅合金箔1〜5を製造した。得られた本発明圧延銅合金箔1〜16、比較圧延銅合金箔1〜5および従来圧延銅合金箔1〜5圧延銅合金箔について引張強さ、半軟化温度、軟化温度を調査し、その結果を表2に示した。
Claims (5)
- Ag:30〜100ppm未満を含有し、残部が銅および不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする圧延銅合金箔。
- Ag:30〜100ppm未満を含有し、さらにSn、TeおよびInの内の1種または2種以上を合計で70ppm未満(0も含む)を、Ag+Sn+Te+In<100ppmとなるように含有し、残部が銅および不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする圧延銅合金箔。
- さらに酸素:100〜500ppmを含有し、残部が銅および不可避不純物からなる成分組成を有することを特徴とする請求項1または2記載の圧延銅合金箔。
- 請求項1、2または3記載の圧延銅合金箔の表面に樹脂層を形成してなることを特徴とする銅張積層板。
- 前記樹脂層は、ポリイミド樹脂層であることを特徴とする請求項4記載の銅張積層板。
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