JP2006286685A - 半導体集積回路装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子顕微鏡の試料台124上に置かれた被検査半導体ウェーハ119の主面上の検査対象となる検査領域に対して、電子線110を照射して発生した二次電子および反射電子をそれぞれ二次電子検出器126および反射電子検出器1により検出し、検出信号変換回路136、2、画像描画回路138、139、3、4、比較演算回路140および欠陥判定処理回路141により欠陥または異物を検出および判別を行なう。
【選択図】 図1
Description
1.以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)電子顕微鏡のステージ上に置かれた半導体ウェーハの主面上の検査対象となる複数の単位検査領域に対して、電子線を照射して発生した二次電子および反射電子を検出する工程;
(b)前記二次電子により形成された第1の二次電子画像と、第2の二次電子画像とを比較し、第1の差画像を形成する工程;
(c)前記反射電子により形成された第1の反射電子画像と、第2の反射電子画像とを比較し、第2の差画像を形成する工程;
(d)前記第1の差画像と、前記第2の差画像とを比較し、前記複数の単位検査領域の欠陥または異物を検出する工程。
2.前記第1項に記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、100nA以下である。
3.前記第1項に記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は60nA以上、100nA以下である。
4.前記第1項に記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、60nA未満である。
5.前記1項記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、30nA未満である。
6.前記1項記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、10nA未満である。
7.前記1項記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記二次電子および反射電子の検出には、前記二次電子のための第1の検出器、および前記反射電子のための第2の検出器を用いる。
8.前記1項記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記複数の単位検査領域のそれぞれには、複数のプラグが同一のレイアウトで形成されている。
9.前記1項記載の半導体集積回路装置の製造方法において、更に以下の工程を含む。
(e)前記半導体ウェーハの主面上に形成された配線層上に絶縁膜を形成する工程;
(f)前記(e)工程後、前記絶縁膜上にレジスト膜を形成した後、前記レジスト膜に対して、接続孔のパターンを露光する工程;
(g)前記(f)工程後、前記レジスト膜を現像してレジストパターンを形成した後、前記レジストパターンをエッチングマスクにして、前記絶縁膜に対してエッチングする工程;
(h)前記(g)工程後、前記接続孔に導電性膜を埋め込む工程;
(i)前記欠陥を、埋込不良、非導通、または非開口の欠陥と判別する工程;
(j)前記埋込不良の欠陥が前記(h)工程で発生、前記非導通の欠陥が前記(g)工程で発生、または前記非開口の欠陥が前記(f)工程で発生していると判別する工程。
10.以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法。
(a)電子顕微鏡のステージ上に置かれた半導体ウェーハの主面上の検査対象となる複数の単位検査領域に対して、第1の電子線を照射して発生した第1の二次電子を検出する工程;
(b)電子顕微鏡のステージ上に置かれた前記半導体ウェーハの主面上の検査対象となる複数の単位検査領域に対して、前記第1の電子線の電流値よりも低い第2の電子線を照射して発生した第2の二次電子を検出する工程;
(c)前記第1の二次電子により形成された第1の二次電子画像と、第2の二次電子画像とを比較し、第1の差画像を形成する工程;
(d)前記第2の二次電子により形成された第3の二次電子画像と、第4の二次電子画像とを比較し、第2の差画像を形成する工程;
(e)前記第1の差画像と、前記第2の差画像とを比較し、前記複数の単位検査領域の欠陥または異物を検出する工程。
11.前記10項記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第1の電子線の電流は60nA以上、100nA以下であり、前記第2の電子線の電流は1nA以上、60nA未満である。
12.前記10項記載の半導体集積回路装置の製造方法において、更に以下の工程を含む。
(f)前記第1または第2の二次電子を検出すると同時に、反射電子を検出する工程;
(g)前記反射電子により形成された第1の反射電子画像と、第2の反射電子画像とを比較し、第3の差画像を形成する工程;
(h)前記第1の差画像と、前記第2の差画像と、前記第3の差画像とを比較し、前記複数の単位検査領域の欠陥または異物を検出する工程。
図1は、本実施の形態1における電子顕微鏡を模式的に示す構成図である。本実施の形態1における電子顕微鏡は、図34で示した電子顕微鏡に、反射電子検出器1、反射電子検出信号変換回路2、反射電子第一画像描画回路3、反射電子第二画像描画回路4が追加されたものである。
前記実施の形態1は、電子線電流を60nA以上、100nA以下とした電子線を半導体ウェーハ面に照射して発生した二次電子および反射電子を検出して、半導体ウェーハ面の欠陥または異物を検出する場合について説明した。本実施の形態では、前記実施の形態で示した60nA以上、100nA以下の高電子線電流で行なった検査後に、1nA以上、60nA未満の低電子線電流で検出し、より確実に半導体ウェーハ面の欠陥または異物を検出する場合について説明する。なお、前記実施の形態と重複する説明は割愛する。
前記実施の形態1および2では、図10に示した配線層101上のプラグPの製造過程における電子線式検査方法の適用について説明した。本実施の形態では、Cuデュアルダマシンの製造過程における電子線式検査方法の適用について説明する。なお、前記実施の形態1および2と重複する説明は割愛する。
2 反射電子検出信号変換回路
3 反射電子第一画像描画回路
4 反射電子第二画像描画回路
5 検査領域
5a 単位検査領域
5b 単位検査領域
6 反射防止膜
7 フォトレジスト膜
8 マスクパターン
9 フォトマスク
10 異物
11 非開口部
12 非導通孔
12’ 非導通プラグ
15 シーム
16 露光源
21 ライナー層
22 エッチストッパ層
23 ハードマスク層
24 Cu用層間絶縁膜
25 Cuめっき層
26 Cuシード膜/バリア導体膜
101 配線層
102 キャップ層
103 バリア層
104 層間絶縁膜
105 接続孔
106 バリア導体膜
107 導電性膜
110 電子線
111 電子銃
112 コンデンサレンズ
113 引き出し電極
114 アノード電極
115 ブランキング偏向器
116 絞り
117 反射板
118 E×B偏向器
119 被検査半導体ウェーハ
120 対物レンズ
121 走査偏向器
122 Xステージ
123 Yステージ
124 試料台
125 試料高さ検出器
126 二次電子検出器
127 光源
128 光学レンズ
129 CCDカメラ
130 コンデンサレンズ電源
131 走査信号発生器
132 対物レンズ電源
133 試料高さ測定器
134 位置モニタ測長器
135 制御回路
136 二次電子検出信号変換回路
137 画像観察用モニタ
138 二次電子第一画像描画回路
139 二次電子第二画像描画回路
140 比較演算回路
141 欠陥判定処理回路
C1〜C8 導通状態解析箇所
P プラグ
P1 正常プラグ
P2 埋込不良プラグ(バリア導体膜あり)
P3 非導通プラグ
P4 非開口プラグ
P5 半埋込不良プラグ
P6 埋込不良プラグ(バリア導体膜なし)
Claims (12)
- 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)電子顕微鏡のステージ上に置かれた半導体ウェーハの主面上の検査対象となる検査領域に対して、電子線を照射して発生した二次電子および反射電子を検出する工程;
(b)前記二次電子により形成された第1の二次電子画像と、第2の二次電子画像とを比較し、第1の差画像を形成する工程;
(c)前記反射電子により形成された第1の反射電子画像と、第2の反射電子画像とを比較し、第2の差画像を形成する工程;
(d)前記第1の差画像と、前記第2の差画像とを比較し、前記検査領域の欠陥または異物を検出する工程。 - 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、100nA以下である。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は60nA以上、100nA以下である。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、60nA未満である。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、30nA未満である。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記電子線の電流は1nA以上、10nA未満である。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記二次電子および反射電子の検出には、前記二次電子のための第1の検出器、および前記反射電子のための第2の検出器を用いる。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記検査領域のそれぞれには、複数のプラグが一定の間隔でレイアウトされている。
- 請求項1記載の半導体集積回路装置の製造方法において、更に以下の工程を含む。
(e)前記半導体ウェーハの主面上に形成された配線層上に絶縁膜を形成する工程;
(f)前記(e)工程後、前記絶縁膜上にレジスト膜を形成した後、前記レジスト膜に対して、接続孔のパターンを露光する工程;
(g)前記(f)工程後、前記レジスト膜を現像してレジストパターンを形成した後、前記レジストパターンをエッチングマスクにして、前記絶縁膜に対してエッチングする工程;
(h)前記(g)工程後、前記接続孔に導電性膜を埋め込む工程;
(i)前記欠陥を、埋込不良、非導通、または非開口の欠陥と判別する工程;
(j)前記埋込不良の欠陥が前記(h)工程で発生、前記非導通の欠陥が前記(g)工程で発生、または前記非開口の欠陥が前記(f)工程で発生していると判別する工程。 - 以下の工程を含む半導体集積回路装置の製造方法:
(a)電子顕微鏡のステージ上に置かれた半導体ウェーハの主面上の検査対象となる検査領域に対して、第1の電子線を照射して発生した第1の二次電子を検出する工程;
(b)電子顕微鏡のステージ上に置かれた前記半導体ウェーハの主面上の検査対象となる検査領域に対して、前記第1の電子線の電流よりも低い第2の電子線を照射して発生した第2の二次電子を検出する工程;
(c)前記第1の二次電子により形成された第1の二次電子画像と、第2の二次電子画像とを比較し、第1の差画像を形成する工程;
(d)前記第2の二次電子により形成された第3の二次電子画像と、第4の二次電子画像とを比較し、第2の差画像を形成する工程;
(e)前記第1の差画像と、前記第2の差画像とを比較し、前記検査領域の欠陥または異物を検出する工程。 - 請求項10記載の半導体集積回路装置の製造方法において、前記第1の電子線の電流は60nA以上、100nA以下であり、前記第2の電子線の電流は1nA以上、60nA未満である。
- 請求項10記載の半導体集積回路装置の製造方法において、更に以下の工程を含む:
(f)前記第1または第2の二次電子を検出すると同時に、反射電子を検出する工程;
(g)前記反射電子により形成された第1の反射電子画像と、第2の反射電子画像とを比較し、第3の差画像を形成する工程;
(h)前記第1の差画像と、前記第2の差画像と、前記第3の差画像とを比較し、前記検査領域の欠陥または異物を検出する工程。
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