JP2006284186A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Abstract
固体と液体との界面の位置あるいは表面形状を正確に測定することができる測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる測定装置は、光源11からの光を分岐して第1の可干渉光61と第2の可干渉光62とを生成するPBS32と、第1の可干渉光61及び第2の可干渉光62を容器の固体が取り付けられた面から容器の内側に入射させるレンズ42であって、第1の可干渉光61を参照面に集光して照射し、第2の可干渉光62を界面に集光して照射するレンズ42と、PBS32によって合成された光を共焦点光学系を介して検出し、干渉光の強度に応じた検出信号を出力する検出器72と、検出信号に基づいて第1の可干渉光61と第2の可干渉光62との位相差を求め、位相差に基づいて界面の位置を測定する処理装置59とを備えるものである。
【選択図】 図1
Description
発明の実施の形態1.
発明の実施の形態2.
発明の実施の形態3.
発明の実施の形態4.
15 レンズ、16 偏光ビームスプリッタ(PBS)、17 ガルバノミラー、
18 レンズ、19 ミラー、20 ミラー、21 レンズ、22 1/4波長板、
30 マッハ・ツェンダー干渉光学系、32 PBS、33 1/2波長板、
34 ミラー、35 一対の光学くさび、36 一対の光学くさび、37 ミラー、
38 1/2波長板、39 PBS、40 レンズ、41 レンズ、42 レンズ、
43 シャッター
50 試料、51 容器、52 液体、53 カバーガラス、54 接着材、
55 固体、56 参照物体、59 処理装置、61 第1の可干渉光、
62 第2の可干渉光、62 第1の照明領域、64 第2の照明領域、65 駆動装置
71 レンズ、72 検出器
91 フォトマスク、92 支持具、93 ガラス板、94 XYステージ
95 エアパッド
Claims (26)
- 物体と参照面とに光を照射して、前記物体で反射された反射光と前記参照面で反射された反射光との位相差に基づいて前記物体の表面形状を測定する測定装置であって、
光源と、
光源からの光と前記物体との相対位置が変わるよう走査する走査手段と、
前記光源からの光を分岐して互いに干渉性を有する第1の可干渉光と第2の可干渉光とを生成し、前記参照面で反射された前記第1の可干渉光と前記物体の表面で反射された第2の可干渉光とを合成するマッハ・ツェンダー干渉光学系と、
前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との焦点位置をずらすよう、前記マッハ・ツェンダー干渉光学系の前記第1の可干渉光及び前記第2の可干渉光の少なくともいずれか一方の光路に配置されたレンズと、
前記マッハ・ツェンダー干渉光学系から出射された前記第1の可干渉光を前記参照面に集光して照射し、前記第2の可干渉光を前記物体の表面に集光して照射する光学手段と、
前記マッハ・ツェンダー干渉光学系によって合成された光を共焦点光学系を介して検出し、検出された光の強度に応じた検出信号を出力する検出器と、
前記検出信号に基づいて前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との位相差を求め、前記位相差に基づいて前記物体の表面の形状を算出する処理装置とを備える測定装置。 - 前記参照面を有する参照物体が前記物体の上に設けられ、
前記物体に対向する面に気体を噴出する噴出部と気体を吸引する吸引部とを有するエアパッドにより前記参照物体が支持され、
前記エアパッドと前記参照面との間にエアギャップが設けられた状態で、前記参照物体が前記物体の上に設けられている請求項1に記載の測定装置。 - 容器内に取り付けられた固体と前記固体を浸漬するよう前記容器内に注入された液体との界面の参照面に対する位置を測定する測定装置であって、
光源と、
前記光源からの光を分岐して互いに干渉性を有する第1の可干渉光と第2の可干渉光とを生成する可干渉光生成手段と、
前記可干渉光生成手段によって生成された前記第1の可干渉光及び前記第2の可干渉光を前記容器の前記固体が取り付けられた面から前記容器の内側に入射させる光学手段であって、前記第1の可干渉光を参照面に集光して照射し、前記第2の可干渉光を前記界面に集光して照射する光学手段と、
前記参照面で反射された前記第1の可干渉光の反射光と前記界面で反射された第2の可干渉光の反射光とを合成する光合成手段と、
前記光合成手段によって合成された光を共焦点光学系を介して検出し、干渉光の強度に応じた検出信号を出力する検出器と、
前記検出信号に基づいて前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との位相差を求め、前記位相差に基づいて前記界面の前記参照面に対する位置を測定する処理装置とを備える測定装置。 - 前記参照面上での前記第1の可干渉光の位置及び前記界面上での第2の可干渉光の位置を移動させる走査手段をさらに備える請求項3に記載の測定装置。
- 前記測定装置がマッハ・ツェンダー干渉光学系を備え、
前記マッハ・ツェンダー干渉光学系に前記可干渉光生成手段と前記光合成手段とが設けられている請求項3又は4に記載の測定装置。 - 前記第1の可干渉光又は前記第2の可干渉光の少なくともいずれか一方の光路に設けられ、前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との焦点位置をずらすレンズをさらに備え、
前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光が前記参照面の同じ位置に入射される請求項5に記載の測定装置。 - 前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との焦点位置をずらすレンズを可変焦点距離レンズにより構成する請求項6に記載の測定装置。
- 前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光とが前記マッハ・ツェンダー干渉光学系において異なる光路で往復する請求項1、2、5、6又は7に記載の測定装置。
- 前記第1の可干渉光の光路上に挿入可能に設けられたシャッタを備え、
前記シャッタによって、前記第1の可干渉光を遮光した状態で、前記第2の可干渉光を前記検出器で検出した結果に基づいて前記位相差による測定結果をフェーズアンラッピングする請求項8に記載の測定装置。 - 前記マッハ・ツェンダー干渉光学系において、
第1の偏光ビームスプリッタにより前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光とが生成され、
前記第1の偏光ビームスプリッタで生成された前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光とが前記第2の偏光ビームスプリッタを介して前記物体又は参照面にそれぞれ入射し、
前記第1の偏光ビームスプリッタと前記第2の偏光ビームスプリッタとの間の前記第1の可干渉光の光路中に第1の1/2波長板が配置され、
前記第1の偏光ビームスプリッタと前記第2の偏光ビームスプリッタとの間の前記第2の可干渉光の光路中に第2の1/2波長板が配置されている請求項8又は9に記載の測定装置。 - 前記参照面に対して光軸と垂直な方向にずれて配置された前記界面に前記第2の可干渉光を入射させるよう、前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との入射位置をずらす請求項3乃至5のいずれかに記載の測定装置。
- 前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との間に位相差を与える位相差生成手段をさらに備え、
前記位相差生成手段により前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との間に与えられる位相差を変えて前記検出器で光を検出する請求項1乃至11のいずれかに記載の測定装置。 - 前記位相差生成手段が前記第1の可干渉光及び前記第2の可干渉光の少なくともいずれか一方の光路に設けられた光学くさびと、
前記光学くさびを光軸に対して垂直な方向に駆動する駆動装置とを備えることを特徴とする請求項12に記載の測定装置。 - 前記光学くさびが前記第2の可干渉光の光路に設けられ、
前記光学くさびの光軸に対する角度を変えることにより、前記第2の可干渉光を前記第1の可干渉光に対して傾けた状態で前記界面に入射させる請求項13に記載の測定装置。 - マッハ・ツェンダー干渉光学系を介して物体と参照面とに光を照射して、前記物体で反射された反射光と前記参照面で反射された反射光との位相差に基づいて前記物体の表面形状を測定する測定方法であって、
光源からの光と前記物体との相対位置が変わるよう走査するステップと、
前記光源からの光を前記マッハ・ツェンダー干渉光学系に設けられた第1の光学手段により分岐して第1の可干渉光と第2の可干渉光とを生成するステップと、
前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との焦点位置にずらすよう前記第1の可干渉光及び前記第2の可干渉光の少なくともいずれか一方を屈折させるステップと、
焦点位置がずれた第1の可干渉光と第2の可干渉光とをマッハ・ツェンダー干渉光学系に設けられた第2の光学手段により重ね合わせるステップと、
前記重ね合わされた第1の可干渉光と第2の可干渉光とのうち、前記第1の可干渉光を参照面に集光して照射するステップと、
前記重ね合わされた第1の可干渉光と第2の可干渉光とのうち、前記第2の可干渉光を物体の界面に集光して照射するステップと、
前記参照面で反射された第1の可干渉光の反射光と前記物体の表面で反射された第2の可干渉光の反射光とを前記第2の光学手段により分岐するステップと、
前記第2の光学手段により分岐された第1の可干渉光の反射光と前記第2の可干渉光の反射光とを前記第1の光学手段で合成するステップと、
前記第1の光学手段で合成された反射光を共焦点光学系を介して検出するステップと、
前記検出された光の強度に基づいて前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との位相差を求め、前記位相差に基づいて前記物体の表面の形状を算出するステップとを有する測定方法。 - 前記参照面を有する参照物体を前記物体の上に設け、
前記物体に対向する面に気体を噴出する噴出部と気体を吸引する吸引部とを有するエアパッドにより前記参照物体を支持し、
前記エアパッドと前記参照面との間にエアギャップが設けられた状態で、前記参照物体が前記物体の上に設けている請求項15に記載の測定方法。 - 容器内に取り付けられた固体と前記固体を浸漬するよう前記容器内に注入された液体との界面の参照面に対する位置を測定する測定方法であって、
光源からの光を分岐して第1の可干渉光と第2の可干渉光とを生成するステップと、
前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光とのうち、前記第1の可干渉光を前記参照面に集光して照射するステップと、
前記第1の可干渉光と第2の可干渉光とのうち、前記第2の可干渉光を前記界面に集光して照射するステップと、
前記参照面で反射された前記第1の可干渉光の反射光と前記界面で反射された前記第2の可干渉光の反射光とを合成するステップと
前記合成された反射光を共焦点光学系を介して検出するステップと、
前記検出された光の強度に基づいて前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との位相差を求め、前記位相差に基づいて前記界面の参照面に対する位置を算出するステップとを有する測定方法。 - 前記参照面上での前記第1の可干渉光の位置及び前記界面上での第2の可干渉光の位置を走査するステップをさらに備える請求項17に記載の測定方法。
- マッハ・ツェンダー干渉光学系に設けられた第1の光学手段により前記光源からの光が第1の可干渉光と前記第2の可干渉光とに分岐され、
前記第1の光学手段により、前記第1の可干渉光の反射光と前記第2の可干渉光の反射光とを合成する請求項17又は18に記載の測定方法。 - 前記参照面と前記界面が光軸に対して平行な方向に異なった位置に配置され、前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光の焦点位置をずらして、前記第1の可干渉光を前記参照面に集光し、前記第2の可干渉光を前記界面に集光する請求項15、16又は19に記載の測定方法。
- 可変焦点距離レンズにより、前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光の焦点位置をずらす請求項20に記載の測定方法。
- 前記マッハ・ツェンダー干渉光学系において前記第1の可干渉光の光路と前記第2の可干渉光との光路が異なる請求項15、16、19、20又は21に記載の測定方法。
- 前記第1の可干渉光を遮光した状態で、前記第2の可干渉光を前記共焦点光学系により検出し、
前記第2の可干渉光による測定結果に基づいて前記位相差による測定結果をフェーズアンラッピングする請求項22のいずれかに記載の測定方法。 - 前記参照面と前記界面が光軸に対して垂直な方向に異なった位置に配置され、前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光とを異なる位置に入射させるよう、瞳の位置で前記第1の可干渉光又は前記第2の可干渉光の少なくともいずれか一方の傾きを変化させる請求項17、18又は19のいずれかに記載の測定方法。
- 前記第1の可干渉光と前記第2の可干渉光との間の位相差を変えて前記合成された反射光を検出する請求項15乃至24のいずれかに記載の測定方法
- 前記界面に対して前記第2の可干渉光を垂直に入射させるよう、前記第2の可干渉光の傾きを前記第1の可干渉光の傾きに対して変化させる請求項15乃至25のいずれかに記載の測定方法。
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