JP7326292B2 - 基板上のターゲット構造の位置を決定するための装置及び方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2018年1月26日出願の欧州出願第18153587.3号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
に比例することができ、第2のディテクタ432によって検出される干渉信号は、
に比例することができる。
1.センサであって、
音響波を発生させるように構成されたトランスデューサと、
音響波を送信しターゲットに誘導するように、及び、ターゲットと相互作用した後、音響波の少なくとも一部を受信するように構成された、レンズアセンブリと、
音響波の少なくとも一部を受信するようにされた、少なくとも1つの光学反射性部材を備える光ディテクタと、
を備え、
少なくとも1つの光学反射性部材は、受信した音響波に応答して機械的に変位するようにされている、
センサ。
2.少なくとも1つの光学反射性部材を照明するように構成された少なくとも1つの放射源を更に備える、条項1に記載のセンサ。
3.レンズアセンブリは、
音響波をターゲットに誘導するように構成された第1のレンズと、
ターゲットとの相互作用の後、音響波の少なくとも一部を受信するように構成された第2のレンズと、
を備える、条項1又は2に記載のセンサ。
4.レンズアセンブリは、共通の幾何学軸を有するように配置された複数のレンズを備える、条項1から3のいずれかに記載のセンサ。
5.少なくとも1つの放射源は、光ディテクタ内の放射ビーム参照パスに沿って参照ビームを提供及び誘導するように配置される、条項1から4のいずれかに記載のセンサ。
6.光ディテクタは、少なくとも1つの光学反射性部材の機械的変位を検出するように構成された光学干渉計を備える、条項1から5のいずれかに記載のセンサ。
7.光ディテクタは、少なくとも1つの光学反射性部材の機械的変位を検出するように構成された自己参照干渉計を備える、条項1から4のいずれか一項に記載のセンサ。
8.光ディテクタは、少なくとも1つの光学反射性部材の機械的変位を検出するように構成された少なくとも1つのファブリ・ペロー共振器を備える、条項1から7のいずれかに記載のセンサ。
9.少なくとも1つのファブリ・ペロー共振器は誘電体媒質を備える、条項8に記載のセンサ。
10.少なくとも1つのファブリ・ペロー共振器は、共振器の幾何学的寸法を光軸に沿った方向に変更するように構成される、条項8及び/又は9に記載のセンサ。
11.レンズアセンブリはテーパー形状を有する、条項1から10のいずれかに記載のセンサ。
12.受信した音響波に応答して機械的変位を検出するように配置された、少なくとも1つの静電容量検出部材を更に備える、条項1のセンサ。
13.条項1から12のいずれか一項に記載の少なくとも1つのセンサと、ターゲットの位置決めを制御するために1つ以上のターゲットの獲得した情報を使用するために、少なくとも1つのセンサに1つ以上のターゲットの情報を獲得させるように構成された、コントローラとを備える、リソグラフィシステム。
14.オーバーレイ情報を取得するために1つ以上のターゲットの獲得した情報を使用するために、1つ以上のターゲットの情報を獲得するように構成された、条項1から11のいずれか一項に記載のセンサを備える、メトロロジシステム。
15.条項13に記載のリソグラフィ装置と、条項14に記載のメトロロジ装置とを備える、システム。
16.オブジェクトに提供されるターゲットの情報を取得するための方法であって、
オブジェクトを音響波によって照射するステップと、
ターゲットから反射された音響波の少なくとも一部を受信するステップと、
受信した音響波によって誘起された少なくとも1つの光学反射性部材の機械的変位を測定するステップと、
測定された機械的変位からターゲットの特徴を導出するステップと、
を含む、方法。
17.オブジェクトの表面にわたって少なくとも1つの方向にターゲットを介して音響波をスキャンするために、ターゲット及びセンサを相互に相対的に移動するステップを更に含む、条項16に記載の方法。
Claims (15)
- 音響波を発生させるように構成されたトランスデューサと、
前記音響波を送信しターゲットに誘導するように、及び、前記ターゲットと相互作用した後に前記音響波の少なくとも一部を受信するように、構成されたレンズアセンブリと、
前記音響波の前記少なくとも一部を受信するようにされた、少なくとも1つの光学反射性部材を備える光ディテクタと、を備え、
前記光ディテクタは、前記光ディテクタ内の材料特性変化を利用することなく、前記受信した音響波によって誘起された前記少なくとも1つの光学反射性部材の機械的変位を測定する、センサ。 - 前記少なくとも1つの光学反射性部材を照明するように構成された少なくとも1つの放射源を更に備える、請求項1に記載のセンサ。
- 前記レンズアセンブリは、前記音響波を前記ターゲットに誘導するように構成された第1のレンズと、前記ターゲットとの相互作用の後、前記音響波の少なくとも一部を受信するように構成された第2のレンズと、を備える、請求項1又は2に記載のセンサ。
- 前記レンズアセンブリは、共通の幾何学軸を有するようにされた複数のレンズを備える、請求項1から3の何れか一項に記載のセンサ。
- 前記少なくとも1つの放射源は、前記光ディテクタ内の放射ビーム参照パスに沿って参照ビームを提供及び誘導するように配置される、請求項2に記載のセンサ。
- 前記光ディテクタは、前記少なくとも1つの光学反射性部材の前記機械的変位を検出するように構成された光学干渉計を備える、請求項1から5の何れか一項に記載のセンサ。
- 前記光ディテクタは、前記少なくとも1つの光学反射性部材の前記機械的変位を検出するように構成された自己参照干渉計を備える、請求項1から4の何れか一項に記載のセンサ。
- 前記光ディテクタは、前記少なくとも1つの光学反射性部材の前記機械的変位を検出するように構成された少なくとも1つのファブリ・ペロー共振器を備える、請求項1から7の何れか一項に記載のセンサ。
- 前記少なくとも1つのファブリ・ペロー共振器は、誘電体媒質を備える、請求項8に記載のセンサ。
- 前記少なくとも1つのファブリ・ペロー共振器は、前記共振器の幾何学的寸法を光軸に沿った方向に変更するように構成される、請求項8又は9に記載のセンサ。
- 前記レンズアセンブリは、テーパー形状を有する、請求項1から10の何れか一項に記載のセンサ。
- 請求項1から11の何れか一項に記載のセンサを備える、リソグラフィシステム。
- オーバーレイ情報を取得するために1つ以上のターゲットの獲得した情報を使用するために、前記1つ以上のターゲットの情報を獲得するように構成された、請求項1から11の何れか一項に記載のセンサを備える、メトロロジシステム。
- オブジェクトに提供されるターゲットの情報を取得するための方法であって、
前記オブジェクトを音響波によって照射するステップと、
前記ターゲットから反射された前記音響波の少なくとも一部を受信するステップと、
光ディテクタを用いて、前記光ディテクタ内の材料特性変化を利用することなく、前記受信した音響波によって誘起された少なくとも1つの光学反射性部材の機械的変位を測定するステップと、
前記測定された機械的変位から前記ターゲットの特徴を導出するステップと、
を含む、方法。 - 前記オブジェクトの表面にわたって少なくとも1つの方向に前記ターゲットを介して前記音響波をスキャンするために、前記ターゲット及びセンサを相互に相対的に移動するステップを更に含む、請求項14に記載の方法。
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