JP2006276729A - 光スイッチ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 可動部1が、シリコン支持基板3c上に一定の間隙を介した中空状態で保持されており、前記可動部1の先端には、幅広に拡張されたミラー台座10が設けられ、その上部には角柱状のミラー部6が一体的に形成されている。前記ミラー台座10底面には、前記シリコン基板3c側へ向かい階段状に突出した凸型段部10aが形成され、前記シリコン基板3aの前記台座部底面と対向する領域には、前記台座部底面側へ向かい階段状に突出した凸型段部3dが形成され、互いの凸型段部の先端部が対向配置された構成とする。
【選択図】 図1
Description
工程(a):シリコン活性層3a、シリコン酸化物層である中間層3b、シリコン支持基板3cよりなるシリコン積層体(SOI基板)3のシリコン活性層3a表面全体にマスキング用の耐性膜7をスパッタリング等により形成する。耐性膜7は、例えばクロム(Cr)よりなり、シリコンの深異方性の反応性イオンエッチングとフッ酸(HF)に対して耐性のある膜である。
少なくとも、中間層をシリコン支持基板とシリコン活性層とで挟持してなるシリコン積層体の前記シリコン活性層表面に第一のマスキングパターンを形成する第一のマスキング工程と、当該第一のマスキングパターンをエッチングマスクとして、露出領域の前記シリコン活性層を前記中間層が露出するまでドライエッチングする工程と、
前記第一のマスキングパターンを除去する工程と、残存する前記シリコン活性層表面に第二のマスキングパターンを形成する第二のマスキング工程と、当該第二のマスキングパターンをエッチングマスクとして、露出領域の前記シリコン活性層をドライエッチングにより一定量除去する工程と、前記第二のマスキングパターンを除去する工程と、前記中間層をウェットエッチングにより一部を除いて除去する工程と、前記シリコン活性層と前記シリコン支持基板に酸化膜を形成する工程と、前記酸化膜をウェットエッチングにより除去する工程とを有し、前記酸化膜形成工程と前記酸化膜除去工程を、前記台座部と前記基部の間に残存する中間層が除去されるまで複数回繰り返すことにより、前記台座部底面と前記基台の前記台座部底面と対向する領域に凸型段部を形成する光スイッチの製造方法とする。
工程(e):露出領域の中間層3b表面を含め、シリコン活性層3aの表面全体にクロム(Cr)からなる耐性膜7をスパッタリング等により形成する。尚、耐性膜7は、前記工程(a)で用いたものと同じである。
本明細書では、本発明による技術を光スイッチに適用した場合について説明したが、当然、ミラー部が形成されていない他用途のアクチュエータにも適用可能であることは言うまでもない。
1a 櫛歯電極
1b 梁部
2 支持電極
3 シリコン積層体(SOI基板)
3a シリコン活性層
3b 中間層
3c シリコン支持基板
3d 凸型段部
4 フレーム部
4a 対向電極
5 ミラー台座
6 ミラー部
7 耐性膜
7a 第一のマスキングパターン
7b 第二のマスキングパターン
7c 第一のマスキングパターン
7d 第一のマスキングパターン
10 ミラー台座
10a 凸型段部
11 酸化膜
Claims (3)
- 少なくとも、
平坦面を有する基部と、
当該基部の平坦面上に固定された固定部を支点として可撓性の梁部を介し中空状態で保持された可動部と、
当該可動部の一端部に形成された台座部と、
当該台座部上に形成されたミラー部と、
前記可動部に駆動力を発生させる駆動力発生手段とで構成され、
前記可動部を前記基部の平坦面に沿って揺動させる光スイッチであって、
前記台座部底面には、前記基部側へ向かい突出した凸型段部が形成され、
前記基部の前記台座部底面と対向する領域には前記台座部底面側へ向かい突出した凸型段部が形成され、互いの凸型段部の先端部が対向配置されて成ることを特徴とする光スイッチ。 - 前記台座部底面に形成された凸型段部と、これと対向する前記基部に形成された凸型段部が、同一形状であることを特徴とする請求項1に記載の光スイッチ。
- 平坦面を有する基部の当該平坦面上に固定された固定部を支点として可撓性の梁部を介し中空状態で保持された可動部を有すると共に、当該可動部の一端部にはミラー部が形成された台座部が設けられ、当該台座部底面には、前記基部側へ向かい突出した凸型段部が形成され、前記基部の前記台座部底面と対向する領域には前記台座部底面側へ向かい突出した凸型段部が形成され、互いの凸型段部の先端部が対向配置されて成る光スイッチの製造方法であって、
少なくとも、
中間層をシリコン支持基板とシリコン活性層とで挟持してなるシリコン積層体の前記シリコン活性層表面に第一のマスキングパターンを形成する第一のマスキング工程と、
当該第一のマスキングパターンをエッチングマスクとして、露出領域の前記シリコン活性層を前記中間層が露出するまでドライエッチングする工程と、
前記第一のマスキングパターンを除去する工程と、
残存する前記シリコン活性層表面に第二のマスキングパターンを形成する第二のマスキング工程と、
当該第二のマスキングパターンをエッチングマスクとして、露出領域の前記シリコン活性層をドライエッチングにより一定量除去する工程と、
前記第二のマスキングパターンを除去する工程と、
前記中間層をウェットエッチングにより一部を除いて除去する工程と、
前記シリコン活性層と前記シリコン支持基板に酸化膜を形成する工程と、
前記酸化膜をウェットエッチングにより除去する工程とを有し、
前記酸化膜形成工程と前記酸化膜除去工程を、前記台座部と前記基部の間に残存する中間層が除去されるまで複数回繰り返すことにより、前記台座部底面と前記基台の前記台座部底面と対向する領域に凸型段部を形成することを特徴とする光スイッチの製造方法。
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---|---|---|---|---|
US5750420A (en) * | 1995-07-21 | 1998-05-12 | Commissariat A L'energie Atomique | Method for manufacturing a structure with a useful layer held at a distance from a substrate by abutments, and for detaching such a layer |
JP2001264650A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 微小可動デバイスおよびその製造方法 |
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JP2003329946A (ja) * | 2002-05-10 | 2003-11-19 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 光スイッチ |
WO2005012160A2 (fr) * | 2003-07-04 | 2005-02-10 | Commissariat A L'energie Atomique | Procede de desolidarisation d’une couche utile et composant obtenu par ce procede |
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