JP2006275779A - パターン欠陥検査装置及びこれを用いたパターン欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 レチクルあるいはLSI自身のパターンの外観検査における、斜めエッジ部分の検査精度の向上を可能とする外観検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 レーザビームを走査させる照明光学系11と、試料面を検出するセンサ15と、検出手段から得られる検出信号を用いて試料面の画像を得て欠陥検出を行う比較回路25と、CADデータから作成した画像をステージと同じ角度だけ回転させた画像を作成する座標回転回路22と、試料12を保持しX軸、Y軸方向に駆動するXYステージ13とを備え、検査する斜めエッジ部分に平行な角度で走査を行うことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
従来、マスクなどのパターンの検査は、マスク等を設計したデータから、パターン画像を構成し、これと、実際のマスクに形成されたパターンを撮像した画像を比較したり、あるいはマスク上に形成された複数のパターンを撮像した画像を比較したりする等の方法で検査を行っている(特許文献1参照)。
一方、演算処理装置67に接続されたメモリ70には、この試料63に形成されているパターンの設計データ(CADデータ)が記録されており、この設計データに基づいてデータ展開回路71及び参照回路72によって設計データに基づく参照画像が形成される。
上記図6においては、試料パターンの撮像を透過光によって行う装置を示しているが、反射光を用いる装置も光学系の配置が異なるのみで同様の装置でパターン欠陥検出を行うことができる。
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、斜めエッジ部分の検査精度の向上を図ることのできるパターン欠陥検査方法および装置を提供することにある。
該試料に対して任意の角度で該光を走査させる手段と、該試料の走査角度と等しい角度で該参照画像を回転させる手段を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置である。
前記試料パターンの遮光エッジ部に対する光の走査方向を、前記遮光エッジ部の直線部分に対して平行もしくは直交する方向となるよう、走査方向を回転させ、前記参照画像を前記走査方向の回転角度と等しい角度で回転した回転参照画像と比較することによって欠陥を検出することを特徴とするパターン欠陥検査方法である。
この実施の形態は、前記本発明において、マスクを固定載置したステージを回転して、パターンのエッジ部分とスキャン方向とを整合させるものである。
以下、図面を参照しながら本実施の形態を説明する。
図1には本実施の形態に係るパターン欠陥検査装置の概略構成を示す。
本実施の形態のパターン欠陥検査装置は、レーザ光のような光を照射する光源10と、この光源から照射されるレーザ光を、表面にパターンを有する試料表面に合焦させる照明光学系11と、試料であるマスク12およびこれを載置したステージ13と、試料からのレーザ光を集光する拡大光学系14と、該拡大光学系からの光を受光して電気信号に変換するセンサ15、及びこのセンサ15の出力信号を元に、パターンの画像を構成してマスク画像(図1(a))とするセンサ回路16を備えている。
上記本実施の形態においては、本発明で実現しようとする、マスクパターンのエッジ角度と走査角度とを整合させるために、ステージ13の角度調整を、回転角度制御機構20の指令に基づいて駆動されるモータなどの回転機構21によって回転させる方法を示したが、ステージ13をオペレータが手動によってθ度回転させて行うこともできる。この場合には、回転角度制御機構20がステージ13の回転角度を、図示しない表示装置などを用いて表示するなどの方法によってオペレータに通知することによって実現できる。
前記第1の本実施の形態においては、マスクパターンのエッジ角度と走査角度の整合を、ステージ13を回転駆動することによって行っているが、ステージの回転に代えて、ステージ上に搭載するマスクの配置を回転させて、エッジ角度と走査角度の整合を行うこともできる。
前記第1の実施の形態においては、パターンの全体について、センサ画像と、参照画像の比較を行って欠陥を検出したが、比較に当たって、エッジ方向と平行な部分がもっとも検査精度が高くなるため、もしエッジ付近に欠陥が発生していた場合には、検査結果でエッジの荒さとして検出され、エッジ検出回路26にて得られるエッジ周辺部のみを検査結果として出力することで、高い精度でマスクの欠陥を検出することができる。
この実施の形態について、パターン欠陥検査装置のブロック図である図5を用いて説明する。図5において、図1と同等の構成については、同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
前述の第1の実施の形態と同様にして、センサ回路16によってセンサ画像(図5(a))を形成する。一方、CADデータを処理し、参照回路24で、回転した参照画像(図5(c))を形成する。この参照回路24の出力を用いて、エッジ検出回路26でパターンのエッジ部分を抽出する(エッジ抽出画像:図5(d))。このエッジ抽出画像を用いて、比較回路25による比較結果27を処理することにより、エッジ部分についての欠陥検出を行うことができる(図5(e))。
この方法によれば、少ないデータ処理量で、エッジ部分について、高い検出精度で欠陥を検出することができる。
前記第1の実施の形態においては、走査方向の変更をステージもしくはマスクの回転によって行っているが、本実施の形態においては、センサを所定の角度回転させ、かつ、ステージの移動を、X方向及びY方向同時に行い、レーザ光が、所定の角度で試料表面を走査することによって、前記第1の実施の形態と同等のパターン欠陥検出を行うこともできる。
また、走査角度の変更を、マスクを回転させるのではなく、図2においてセンサ15をθ度回転させ、またステージ13の制御をX方向とY方向同時に行い、センサの回転角度に対して直角に動かすことで、座標系のひずみを打ち消し、参照画像の作成を容易にすることができる。
前記第3の実施の形態の方法では、レーザ光の走査は、ステージを移動させることによって行っているが、この方式に代えて、照明光学系11にローテーションプリズムを配置し、光源10から照射される光の方向を変動させて、マスク上の所要位置に走査することもできる。この場合に、センサ15も、レーザ光の照射位置に位置するよう追従させる必要がある。
以下、前記実施の形態についての変形例を示す。
(変形例5)
検出された角度データがマスクデータ内に複数存在する場合は、異なる角度データ領域ごとに複数回のマスク検査を行うこととなる。なお、この場合に、検査は目標とする角度の遮光エッジ部分だけを行うことになるので、目標エッジ部分以外の部分は省略することができ検査時間を短縮することができる。
マスクのエッジ角度が既知である場合は、図1及び図5における回転角度検出回路19を省略し、回転制御回路20に対して予めオペレータが必要なパラメータを入力し、これに従い、マスクやCADデータの回転を行うこともできる。これによって回転角度検出の工程を短縮することができ、処理を高速化できる。
上記各実施の形態においては、検出されたもしくは予め設定されたパターンのエッジ角度と等しい角度で、マスク、ステージまたは走査機構を回転させているが、複数の固定回転角度を予め設定しておき、回転角度検出回路19によって検出した回転角度に最も近い固定回転角度を用いて、マスク、ステージまたは走査機構を回転させることもできる。これに依れば、より高速に欠陥検査処理を行うことができる。
11:照明光学系
12:マスク
13:ステージ
14:拡大光学系
15:センサ
16:センサ回路
17:CADデータ
18:第1のデータ展開回路
19:回転角度検出回路
20:回転角度制御回路
21:回転機構
22:座標回転回路
23:第2のデータ展開回路
24:参照回路
25:比較回路
26:エッジ検出回路
27:第2の比較回路
61:光源
62:照明光学系
63:マスク
64:ステージ
65:拡大光学系
66:センサ回路
67:演算処理装置
68:ステージ制御回路
69:駆動系
70:メモリ
71:データ展開回路
72:参照回路
73:比較回路
Claims (14)
- 表面にパターンが形成されている試料と、該試料を保持する試料保持手段と、該試料に光を照射する光源と、該光源からの光を該試料上に合焦させる照明光学系と、該試料からの光を受光して電気信号に変換しセンサ画像を形成する撮像手段と、該試料表面に形成されているパターンの設計データからパターンの画像を構成する参照画像形成手段と、該センサ画像と該参照画像とを比較する比較手段とを少なくとも備えたパターン欠陥検出装置であって、
該試料に対して任意の角度で該光を走査させる手段と、該試料の走査角度と等しい角度で該参照画像を回転させる手段を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置。 - 前記任意の角度が、前記パターンの遮光エッジ部の直線部分端部と前記走査方向がなす角度をθとした場合、θもしくは、90−θであることを特徴とする請求項1に記載のパターン欠陥検査装置。
- 前記任意の角度で前記光を走査させる手段が、前記試料保持手段を回転させる手段であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパターン欠陥検査装置。
- 前記任意の角度で前記光を走査させる手段が、前記試料を回転させる手段であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパターン欠陥検査装置。
- 前記任意の角度で前記光を走査させる手段が、前記試料保持手段を任意の方向に移動させる手段と、前記センサを回転させる手段の組み合わせであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のパターン欠陥検査装置。
- 前記参照画像から、前記パターンの遮光エッジ部の直線部分と前記走査方向がなす角度を検出する回転角度検出回路をさらに備えたことを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のパターン欠陥検査装置。
- 前記参照回路によって形成された参照画像から遮光パターンのエッジ部を含む領域を抽出してエッジ抽出画像を形成する手段と、前記センサ画像と前記参照画像との比較画像から該エッジ画像相当領域を抽出する第2の比較手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のパターン欠陥検査装置。
- ステージ上に載置した試料を光で走査して、該試料に形成されている試料パターンをセンサによって撮像してセンサ画像を形成し、該試料パターンの設計データから前記試料パターンの参照画像を形成して、前記センサ画像と比較して試料パターンの欠陥を検出するパターン欠陥検査方法であって、
前記試料パターンの遮光エッジ部に対する光の走査方向を、前記遮光エッジ部の直線部分に対して平行もしくは直交する方向となるよう、走査方向を回転させ、前記参照画像を前記走査方向の回転角度と等しい角度で回転した回転参照画像と比較することによって欠陥を検出することを特徴とするパターン欠陥検査方法。 - 前記光の走査方向の回転を、前記ステージの回転によって行うことを特徴とする請求項8に記載のパターン欠陥検査方法。
- 前記光の走査方向の回転を、前記試料の回転によって行うことを特徴とする請求項8に記載のパターン欠陥検査方法。
- 前記光の走査方向の回転を、前記ステージの移動方向の変更及び、前記センサの回転によって行うことを特徴とする請求項8に記載のパターン欠陥検査方法。
- 前記走査方向の回転の角度が、前記参照画像の遮光エッジ部の直線部分の傾斜に基づいて決定することを特徴とする請求項8に記載のパターン欠陥検査方法。
- 前記走査方向の回転角度が、予め設定されている複数の固定角度の内、前記参照画像の遮光エッジ部の直線部分の傾斜に基づいて決定される角度に最も近い角度とすることを特徴とする請求項8に記載のパターン欠陥検査方法。
- 前記センサ画像及び前記参照画像から、遮光エッジ部分を含む領域を抽出して抽出センサ画像及び抽出参照画像とし、これらの抽出画像を比較することを特徴とする請求項8に記載のパターン欠陥検査方法。
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