JP2006272683A - Flexible metal laminate and flexible printed circuit board - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible metal laminate which is used in treatment to push a projection like a bump at high temperatures and can solve a problem caused by the deformation of a resin layer etc., and a flexible printed circuit board using the laminate. <P>SOLUTION: The flexible metal laminate comprises a metal layer 10 and a resin layer 11. The resin layer is divided into two at a place 1/2 in thickness. When the side of a contact surface 13 with the metal layer 10 is made a first specimen 11a and the rest is made a second specimen 11b, a penetration displacement quantity (L1) from the contact surface 13 with the metal layer 10 of the first specimen 11a is smaller than a penetration displacement quantity (L2) from the opposite surface (outermost surface) 12 to the metal layer 10 of the second specimen 11b. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明はフレキシブル金属積層体およびフレキシブルプリント基板に関する。   The present invention relates to a flexible metal laminate and a flexible printed board.

携帯電話や液晶モニター等の普及が進む今日、電子機器には更なる小型化、薄型化、多機能化が要求されている。この要求を実現するため、電子部品の小型化、高集積化は必須であるが、更なる電子部品の高密度実装技術が必要となる。
最近では、液晶ディスプレイ(LCD)の駆動ICの小型化やICの多出力化の要求に伴い、IC(集積回路)チップとフレキシブルプリント基板との接合にフリップチップ接合、とりわけ、COF(Chip On Film)実装が採用されている。
これまでのCOF実装は、TCP(Tape Carrier Package)実装で用いられたILB(Inner Lead Bonder)ボンダーを改造して使用している。
また、駆動ICの小型化やICの多出力化に対応する更なる高密度化には、ICチップとフレキシブルプリント基板との接合位置のバラツキ精度を小さくすることが必須とされており、ファインピッチ対応での接合可能なCOFボンダーが近年採用されはじめた。
With the spread of mobile phones and liquid crystal monitors, electronic devices are required to be further reduced in size, thickness and functionality. In order to realize this requirement, downsizing and high integration of electronic components are indispensable, but further high-density mounting technology for electronic components is required.
Recently, with the demand for downsizing of driving ICs for liquid crystal displays (LCDs) and multi-outputs of ICs, flip chip bonding, especially COF (Chip On Film), is used for bonding IC (integrated circuit) chips and flexible printed circuit boards. ) Implementation is adopted.
The COF implementation so far uses a modified ILB (Inner Lead Bonder) bonder used in TCP (Tape Carrier Package) implementation.
In order to further reduce the size of drive ICs and increase the number of ICs that can handle multiple outputs, it is essential to reduce the accuracy of the joint position between the IC chip and flexible printed circuit board. COF bonders that can be joined in response have begun to be adopted in recent years.

図3は、COFボンダーによる接合方式の一例を示した説明図である。
COFボンダーは、ICチップ1とフレキシブルプリント基板2とを圧接するための加熱ツール3と、ステージ4とから概略構成されている。
ICチップ1は、板状の本体1aと、金などからなるバンプ1bとを備えている。バンプ1bは、例えば、複数の板状の突起物が、本体1aの片面上に、所定の間隔をあけて配置されたものである。
また、フレキシブルプリント基板2は、板状の絶縁性の樹脂層2aと、その片面に設けられた金属製の配線2bとを備えている。なお、フレキシブルプリント基板2は、フレキシブル金属積層体を加工して製造したものである。すなわち、フレキシブル金属積層体は、絶縁性の樹脂層と、その上に金属層が設けられてなり、フレキシブルプリント基板2は、この金属層をメッキ処理等によって加工し、配線2bを形成することにより得ることができる。
FIG. 3 is an explanatory view showing an example of a joining method using a COF bonder.
The COF bonder is generally composed of a heating tool 3 for pressing the IC chip 1 and the flexible printed circuit board 2 and a stage 4.
The IC chip 1 includes a plate-like main body 1a and bumps 1b made of gold or the like. In the bump 1b, for example, a plurality of plate-like protrusions are arranged on one side of the main body 1a with a predetermined interval.
The flexible printed board 2 includes a plate-like insulating resin layer 2a and a metal wiring 2b provided on one surface thereof. In addition, the flexible printed circuit board 2 processes and manufactures a flexible metal laminated body. That is, the flexible metal laminate includes an insulating resin layer and a metal layer provided thereon. The flexible printed circuit board 2 is formed by processing the metal layer by plating or the like to form the wiring 2b. Obtainable.

ICチップ1とフレキシブルプリント基板2との圧接時には、ステージ4の上に、配線2bが設けられた面が上になる様にフレキシブルプリント基板2を配置する。そして、ICチップ1のバンプ1b側が、前記配線2bに対峙する様に配置する。
ついで、ICチップ1の上から加熱ツール3を押しつけ、ICチップ1とフレキシブルプリント基板2に圧力をかけると、バンプ1bと配線2bとが高温高圧で溶融され共晶することで、ICチップ1とフレキシブルプリント基板2とが接合される。
そして、この様にして接合が終了した後、ICチップ1とフレキシブルプリント基板2との間のバンプ1bと配線2bの周囲にアンダーフィルと呼ばれる絶縁樹脂を充填する。
When the IC chip 1 and the flexible printed circuit board 2 are pressed against each other, the flexible printed circuit board 2 is disposed on the stage 4 so that the surface on which the wiring 2b is provided faces up. And it arrange | positions so that the bump 1b side of IC chip 1 may oppose the said wiring 2b.
Next, when the heating tool 3 is pressed from above the IC chip 1 and pressure is applied to the IC chip 1 and the flexible printed circuit board 2, the bumps 1b and the wiring 2b are melted at a high temperature and high pressure to be eutectic. The flexible printed circuit board 2 is joined.
After the joining is completed in this way, an insulating resin called underfill is filled around the bump 1b and the wiring 2b between the IC chip 1 and the flexible printed board 2.

この様な用途に用いられるフレキシブルプリント基板2を製造するためのフレキシブル金属積層体としては、非熱可塑ポリイミド層と銅箔からなる金属箔を積層し、これらの間に、非熱可塑ポリイミド層よりもガラス転位温度の低い熱可塑系ポリイミド層を設けた構成のもの等が提案されている(例えば、特許文献1、2、3参照)。
特開2004−82719号公報 特開2004−322636号公報 特開2004−230670号公報
As a flexible metal laminate for producing a flexible printed circuit board 2 used for such applications, a metal foil composed of a non-thermoplastic polyimide layer and a copper foil is laminated, and between these, a non-thermoplastic polyimide layer is used. In addition, a structure in which a thermoplastic polyimide layer having a low glass transition temperature is provided has been proposed (see, for example, Patent Documents 1, 2, and 3).
JP 2004-82719 A JP 2004-322636 A Japanese Patent Laid-Open No. 2004-230670

しかしながら、従来のフレキシブル金属積層体を用いてフレキシブルプリント基板2を構成し、これを図3に示した様にして、ICチップ1と接合しようとすると、高温条件下、バンプ1bが配線2bを介して強く押しつけられるため、軟化したフレキシブルプリント基板2の樹脂層2aが変形したりするという問題が生じる。
樹脂層2aが変形等すると、その上に設けられた配線2bや、これと接合するバンプ1bが、樹脂層2aに沈み込んでしまうことがある。そして、ICチップ1とフレキシブルプリント基板2との間の隙間が狭くなり、接合後、ICチップ1とフレキシブルプリント基板2との間にアンダーフィルを充填できなくなる。
また、樹脂層2aが柔らかくなっている状態でバンプ1bと配線2bとを点接触により、強く押しつけると、これらの接点を支点として、配線2bが樹脂層2aから剥離することがある。そして、この剥離した配線2bがICチップ1と接触し、ショート(いわゆるエッジショート)することがある。
However, when the flexible printed circuit board 2 is configured using a conventional flexible metal laminate and is to be joined to the IC chip 1 as shown in FIG. 3, the bumps 1b are connected via the wiring 2b under high temperature conditions. Therefore, there is a problem that the resin layer 2a of the soft flexible printed circuit board 2 is deformed.
When the resin layer 2a is deformed or the like, the wiring 2b provided on the resin layer 2a or the bump 1b bonded thereto may sink into the resin layer 2a. Then, the gap between the IC chip 1 and the flexible printed board 2 becomes narrow, and after bonding, the underfill cannot be filled between the IC chip 1 and the flexible printed board 2.
Further, when the bump 1b and the wiring 2b are strongly pressed by point contact while the resin layer 2a is soft, the wiring 2b may be peeled off from the resin layer 2a using these contacts as fulcrums. Then, the peeled wiring 2b may come into contact with the IC chip 1 to cause a short (so-called edge short).

よって、本発明においては、高温条件下、バンプの様な突起物を押しつける処理を行う用途に用いるフレキシブル金属積層体およびこれを用いたフレキシブルプリント基板において、樹脂層の軟化、変形(以下変形等という)に伴う不都合を解決できるフレキシブル金属積層体およびこれを用いたフレキシブルプリント基板を提供することを課題とする。   Therefore, in the present invention, in a flexible metal laminate used for a process of pressing a projection such as a bump under a high temperature condition and a flexible printed circuit board using the same, the resin layer is softened and deformed (hereinafter referred to as deformation). And a flexible printed circuit board using the same.

前記課題を解決するために、本発明においては以下の手段を提案する。
第1の態様は、金属層と、樹脂層とを有するフレキシブル金属積層体であって、
前記樹脂層を、厚さ1/2のところで2つに分け、前記金属層との接触面側を第1の試料、残りを第2の試料としたとき、
前記第1の試料の、金属層との接触面からの針入変位量(L1)は、前記第2の試料の、金属層と反対側の面からの針入変位量(L2)よりも小さいことを特徴とするフレキシブル金属積層体である。
第2の態様は、第1の態様のフレキシブル金属積層体において、前記(L1)と前記(L2)との差の絶対値(dL)が、2μm以上であるフレキシブル金属積層体である。
第3の態様は、前記樹脂層は、前記金属層との接触面からの針入変位量(L0)が、10μm以下である第1または2の態様のフレキシブル金属積層体である。
第4の態様は、前記樹脂層は、300℃における貯蔵弾性率(E’)が1GPa以上であり、かつ300℃以上のガラス転移点(Tg)を有する第1〜3のいずれかの態様のフレキシブル金属積層体である。
第5の態様は、前記樹脂層は、有機溶剤に可溶な熱可塑性樹脂を含む第1〜4のいずれかの態様のフレキシブル金属積層体である。
第6の態様は、前記樹脂層は、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、およびポリシロキサンイミド樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種類の樹脂を含有する第1〜5のいずれかの態様のフレキシブル金属積層体である。
第7の態様は、前記樹脂層は、複数層からなる第1〜6のいずれかの態様のフレキシブル金属積層体である。
第8の態様は、前記金属層は、金属箔から構成されている第1〜7のいずれかの態様のフレキシブル金属積層体である。
第9の態様は、前記金属箔は、銅箔、ステンレス箔、アルミニウム箔、およびニッケル箔からなる群から選ばれる1種以上から構成されている第8の態様のフレキシブル金属積層体である。
第10の態様は、本発明のフレキシブル金属積層体を用いたことを特徴とするフレキシブルプリント基板である。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
The first aspect is a flexible metal laminate having a metal layer and a resin layer,
When the resin layer is divided into two at a thickness of 1/2, the contact surface side with the metal layer is the first sample, and the rest is the second sample,
The penetration displacement amount (L1) of the first sample from the contact surface with the metal layer is smaller than the penetration displacement amount (L2) of the second sample from the surface opposite to the metal layer. This is a flexible metal laminate.
The second aspect is a flexible metal laminate in which the absolute value (dL) of the difference between (L1) and (L2) is 2 μm or more in the flexible metal laminate of the first aspect.
A third aspect is the flexible metal laminate according to the first or second aspect, wherein the resin layer has a penetration displacement (L0) from a contact surface with the metal layer of 10 μm or less.
According to a fourth aspect, in the first to third aspects, the resin layer has a storage elastic modulus (E ′) at 300 ° C. of 1 GPa or more and a glass transition point (Tg) of 300 ° C. or more. It is a flexible metal laminate.
A 5th aspect is a flexible metal laminated body of the aspect in any one of the 1st-4th in which the said resin layer contains a thermoplastic resin soluble in an organic solvent.
A sixth aspect is any one of the first to fifth aspects, wherein the resin layer contains at least one resin selected from the group consisting of a polyimide resin, a polyamideimide resin, a polyetherimide resin, and a polysiloxaneimide resin. It is a flexible metal laminated body of an aspect.
A seventh aspect is the flexible metal laminate according to any one of the first to sixth aspects, wherein the resin layer includes a plurality of layers.
An 8th aspect is a flexible metal laminated body of the aspect in any one of the 1st-7th in which the said metal layer is comprised from metal foil.
A ninth aspect is the flexible metal laminate according to the eighth aspect, wherein the metal foil is composed of one or more selected from the group consisting of a copper foil, a stainless steel foil, an aluminum foil, and a nickel foil.
A tenth aspect is a flexible printed board using the flexible metal laminate of the present invention.

本発明においては、高温条件下、バンプの様な突起物を押しつける処理を行う用途に用いるフレキシブル金属積層体およびこれを用いたフレキシブルプリント基板において、樹脂層の変形等に伴う不都合を解決できるフレキシブル金属積層体およびこれを用いたフレキシブルプリント基板を提供することができる。   In the present invention, a flexible metal laminate for use in a process of pressing bumps and other protrusions under high temperature conditions, and a flexible metal that can solve problems associated with deformation of the resin layer in a flexible printed circuit board using the same. A laminated body and a flexible printed circuit board using the same can be provided.

[フレキシブル金属積層体]
図1(a)は、フレキシブル金属積層体の構成の一例を示した断面図である。
この例のフレキシブル金属積層体は、金属層10と、その片面上に積層された樹脂層11とから構成されている。
[Flexible metal laminate]
Fig.1 (a) is sectional drawing which showed an example of the structure of the flexible metal laminated body.
The flexible metal laminate of this example is composed of a metal layer 10 and a resin layer 11 laminated on one side thereof.

金属層10を構成する金属としては、銅、ステンレス、アルミニウム、スチール等があげられる。
中でも、金属箔が好適である。金属箔を使用することにより、ピンホールの発生を抑制できる。そのため、配線欠陥を低減することができる。よって、歩留まりの向上、電気的信頼性の向上の効果が得られる。また、金属箔を利用すると、連続的に高温に加熱をしても、樹脂層と金属層(配線)との間が剥離しにくいという優れた効果が得られる。
Examples of the metal constituting the metal layer 10 include copper, stainless steel, aluminum, and steel.
Among these, metal foil is preferable. By using a metal foil, the generation of pinholes can be suppressed. Therefore, wiring defects can be reduced. Therefore, the effect of improving the yield and improving the electrical reliability can be obtained. Further, when the metal foil is used, an excellent effect is obtained that the resin layer and the metal layer (wiring) are hardly separated even when continuously heated to a high temperature.

そして、金属箔の中でも銅箔、ステンレス箔、アルミニウム箔、およびスチール箔からなる群から選ばれる1種以上を用いることが好ましい。
さらに好ましくは、エッチング特性が良好でファインピッチ化が対応できる電解銅箔や高屈曲性を向上させることができる圧延銅箔、さらには銅箔の工程搬送性を向上させることができる銅箔をキャリアとした極薄銅箔等が挙げられる。
金属層の厚さは、好ましくは3〜50μm、さらに好ましくは3〜35μmである。さらには、ファインピッチ化対応や金属箔単独で搬送性可能な8〜18μmとすることが望ましい。
And it is preferable to use 1 or more types chosen from the group which consists of copper foil, stainless steel foil, aluminum foil, and steel foil among metal foil.
More preferably, the carrier is an electrolytic copper foil that has good etching characteristics and can cope with fine pitching, a rolled copper foil that can improve high flexibility, and a copper foil that can improve the processability of copper foil. And ultrathin copper foil.
The thickness of the metal layer is preferably 3 to 50 μm, more preferably 3 to 35 μm. Furthermore, it is desirable that the thickness is 8 to 18 μm, which can be fine pitched and can be transported by a metal foil alone.

本発明のフレキシブル金属積層体は、図1(b)〜(d)に示す様に、樹脂層11を、厚さ1/2のところで2層に分け、前記金属層10との接触面13側を第1の試料11a、残りを第2の試料11bとしたとき、前記第1の試料11aの金属層10との接触面13からの針入変位量(L1)は、前記第2の試料11bの、金属層10と反対側の面(ここでは、便宜上「最外面」と呼ぶ)12からの針入変位量(L2)よりも小さいことを特徴とする。   As shown in FIGS. 1B to 1D, the flexible metal laminate of the present invention divides the resin layer 11 into two layers at a thickness of 1/2, and contacts the metal layer 10 with the contact surface 13 side. Is the first sample 11a and the rest is the second sample 11b, the penetration displacement amount (L1) from the contact surface 13 of the first sample 11a with the metal layer 10 is the second sample 11b. This is characterized in that it is smaller than the penetration displacement amount (L2) from the surface 12 (referred to herein as “outermost surface” for convenience) opposite to the metal layer 10.

本発明において、「針入変位量」とは、TMA(サーモメカニカルアナライザー)を用い、先端が1mm×1mm角の針入プローブで、荷重:300mN、昇温速度:20℃/minの測定条件において測定した、300℃におけるプローブの変位量である。
TMAとしては、例えばエスアイアイナノテクノロジー社製 商品名:EXSTAR6100TMA/SSが好適に用いられる。
なお、プローブの種類、荷重、昇温速度、測定温度などは、全て、上述の図3に示した様なCOFボンダーによる接合方式の条件を考慮して決定した。
すなわち、針状のプローブが、突起状のバンプに相当する。この様な条件で針入変位量を測定することによって、バンプと配線との接続時の樹脂層の状態を数値で表すことができる。
In the present invention, the “needle displacement amount” is a 1 mm × 1 mm square needle probe using TMA (thermomechanical analyzer), under the measurement conditions of load: 300 mN, heating rate: 20 ° C./min. The measured displacement of the probe at 300 ° C.
As the TMA, for example, trade name: EXSTAR6100TMA / SS manufactured by SII Nano Technology is preferably used.
Note that the probe type, load, heating rate, measurement temperature, etc. were all determined in consideration of the conditions of the bonding method using the COF bonder as shown in FIG.
That is, the needle-like probe corresponds to a protruding bump. By measuring the penetration displacement amount under such conditions, the state of the resin layer at the time of connection between the bump and the wiring can be represented by a numerical value.

具体的には、例えば以下の手順で測定する。
まず、図1(a)に示す構造のフレキシブル金属積層体を、2つ用意する。
ついで、2つのフレキシブル金属積層体について、それぞれ、図1(b)に示す様に、金属層10を除去し、樹脂層11のみとする。金属層10の除去には、化学エッチング処理等を適用することができる。例えば銅箔からなる金属層10を用いた場合には、塩化第二鉄溶液などによって除去することができる。
Specifically, for example, the measurement is performed according to the following procedure.
First, two flexible metal laminates having the structure shown in FIG.
Next, as shown in FIG. 1B, the metal layer 10 is removed and only the resin layer 11 is obtained for the two flexible metal laminates. For the removal of the metal layer 10, a chemical etching process or the like can be applied. For example, when the metal layer 10 made of copper foil is used, it can be removed with a ferric chloride solution or the like.

そして、一方の樹脂層11から、以下の様にして第1の試料11aを得る。すなわち、この樹脂層11について、マイクロメータを用いて樹脂層11の膜厚(T0)を計測し、その1/2の膜厚T1を算出する。
そして、膜厚をマイクロメータにて計測しながら、機械研磨等の方法により、樹脂層11を最外面12側から、膜厚T1になるまで削りとる。
これにより、金属層10との接触面13側の第1の試料11aが得られる。
Then, the first sample 11a is obtained from one resin layer 11 as follows. That is, about this resin layer 11, the film thickness (T0) of the resin layer 11 is measured using a micrometer, and the film thickness T1 of the 1/2 is calculated.
Then, while measuring the film thickness with a micrometer, the resin layer 11 is scraped off from the outermost surface 12 side to a film thickness T1 by a method such as mechanical polishing.
Thereby, the 1st sample 11a by the side of the contact surface 13 with the metal layer 10 is obtained.

そして、他方の樹脂層11について、以下の様にして第2の試料11bを得る。
すなわち、この樹脂層11について、第1の試料11aを得る手順と同様にして、樹脂層11を、今度は金属層10との接触面13側から膜厚T1になるまで削り取る。これにより、金属層10と反対側の最外面12側の第2の試料11bが得られる。
And about the other resin layer 11, the 2nd sample 11b is obtained as follows.
That is, the resin layer 11 is scraped off from the contact surface 13 side with the metal layer 10 until the film thickness T1 in the same manner as the procedure for obtaining the first sample 11a. Thereby, the second sample 11b on the outermost surface 12 side opposite to the metal layer 10 is obtained.

そして、第1の試料11aを、23±5℃、55±5%相対湿度環境下で24時間以上放置した後、図1(c)に示す様に、接触面13側からプローブ20を押し当てて、20℃/minにて昇温しながら400℃まで針入変位量を測定する。そして、300℃に到達した時点の針入変位量を針入変位量(L1)とする。   Then, after the first sample 11a is left for 24 hours or more in an environment of 23 ± 5 ° C. and 55 ± 5% relative humidity, the probe 20 is pressed from the contact surface 13 side as shown in FIG. Then, the needle displacement is measured up to 400 ° C. while raising the temperature at 20 ° C./min. The amount of needle insertion displacement when the temperature reaches 300 ° C. is defined as needle insertion displacement amount (L1).

他方、第2の試料11bについても、23±5℃、55±5%相対湿度環境下で24時間以上放置した後、図1(d)に示す様に、最外面12側からプローブ20を押し当てて、20℃/minにて昇温しながら400℃まで針入変位量を測定する。そして、300℃に到達した時点の針入変位量を針入変位量(L2)とする。   On the other hand, after leaving the second sample 11b for 24 hours or more in an environment of 23 ± 5 ° C. and 55 ± 5% relative humidity, the probe 20 is pushed from the outermost surface 12 side as shown in FIG. Then, the penetration displacement is measured up to 400 ° C. while raising the temperature at 20 ° C./min. The amount of needle insertion displacement when the temperature reaches 300 ° C. is defined as needle insertion displacement amount (L2).

本発明において、針入変位量(L1)は針入変位量(L2)よりも小さい値に設定されている。すなわち、樹脂層11においては、接触面13側から、針状のプローブ20を押しつけたときの変位量が、最外面12側からプローブ20を押しつけた変位量よりも小さい。
したがって、このフレキシブル金属積層体を用いてフレキシブルプリント基板を製造した場合は、最外面12側においては、フレキシブル基板として必要とされるフレキシブル性(可とう性)を保持しつつ、接触面13側においては、最外面12側よりもプローブ20の様に針状のものが押しつけられても樹脂層11が変形等しにくくなっているので、高温条件下、バンプが、金属層10から形成された配線を介して樹脂層11に強く押しつけられたとしても、樹脂層11の変形等を抑制することができる。
そして、その結果、上述の様に、配線やバンプが樹脂層11に沈み込んだり、それによってアンダーフィルが充填できなくなったりする不都合を抑制できる。また、配線がICチップに接触するエッジショートを抑制できる。
In the present invention, the needle insertion displacement amount (L1) is set to a value smaller than the needle insertion displacement amount (L2). That is, in the resin layer 11, the displacement amount when the needle-like probe 20 is pressed from the contact surface 13 side is smaller than the displacement amount when the probe 20 is pressed from the outermost surface 12 side.
Therefore, when a flexible printed circuit board is manufactured using this flexible metal laminate, on the outermost surface 12 side, while maintaining the flexibility (flexibility) required as a flexible substrate, on the contact surface 13 side. Since the resin layer 11 is not easily deformed even when a needle-like object such as the probe 20 is pressed from the outermost surface 12 side, the bumps are formed from the metal layer 10 under high temperature conditions. Even if it is strongly pressed against the resin layer 11 via, deformation of the resin layer 11 and the like can be suppressed.
As a result, as described above, it is possible to suppress the inconvenience that the wiring and bumps sink into the resin layer 11 and the underfill cannot be filled. In addition, edge shorts where the wiring contacts the IC chip can be suppressed.

なお、最外面12側と接触面13側とに分離し、第1の試料11aと第2の試料11bについて、それぞれ針入変位量を測定するのは、最外面12側と接触面13側の特性を正確に評価するためである。
樹脂層11を分離せずに、樹脂層11全体について、最外面12側と接触面13側からそれぞれプローブ20を押しつけて針入変位量を測定すると、第1の試料11aに対応する部分と、第2の試料11bに対応する部分は相互に影響を受ける。そのため、最外面12側と接触面13側のそれぞれの特性を正確に評価することができない。
It is to be noted that the penetration displacement amount is measured for the first sample 11a and the second sample 11b separately on the outermost surface 12 side and the contact surface 13 side, on the outermost surface 12 side and the contact surface 13 side. This is to accurately evaluate the characteristics.
Without separating the resin layer 11, when the probe 20 is pressed from the outermost surface 12 side and the contact surface 13 side to measure the amount of needle insertion displacement for the entire resin layer 11, a portion corresponding to the first sample 11a, The portions corresponding to the second sample 11b are affected by each other. Therefore, it is not possible to accurately evaluate the characteristics of the outermost surface 12 side and the contact surface 13 side.

針入変位量(L1)と針入変位量(L2)の値は、これらの差の絶対値(dL)が、2μm以上であるが望ましい。好ましくは5μm以上、より好ましくは10μm以上である。この範囲とすることによって、最外面12側の機能と接触面13側の機能がそれぞれ有効に発揮され、好適にはフレキシブル性とともに、高温条件下の樹脂層11の変形等を抑制する効果を向上させることができる。   The values of the needle insertion displacement (L1) and the needle insertion displacement (L2) are preferably such that the absolute value (dL) of these differences is 2 μm or more. Preferably it is 5 micrometers or more, More preferably, it is 10 micrometers or more. By setting it as this range, the function on the outermost surface 12 side and the function on the contact surface 13 side are each effectively exhibited, and preferably the flexibility and the effect of suppressing deformation of the resin layer 11 under high temperature conditions are improved. Can be made.

また、針入変位量(L1)の値は、最外面12側と、接触面13側の特性とのバランスから、0〜6μmであることが望ましく、特には0〜3μmで有ることが望ましい。
針入変位量(L2)の値は、最外面12側と、接触面13側の特性とのバランスから、 2〜15μmであることが望ましく、特には2〜10μmで有ることが望ましい。
Further, the value of the penetration displacement amount (L1) is preferably 0 to 6 μm, and particularly preferably 0 to 3 μm, from the balance between the characteristics of the outermost surface 12 side and the contact surface 13 side.
The value of the needle insertion displacement (L2) is desirably 2 to 15 μm, and particularly desirably 2 to 10 μm, from the balance between the characteristics of the outermost surface 12 side and the contact surface 13 side.

なお、樹脂層11の厚さ(T0)は、フレキシブル金属積層体の搬送時に必要な折り曲げ性や引張強度の点や、フレキシブル性を持たせる点から、好ましくは12〜75μm、さらに好ましくは12〜50μmである。   The thickness (T0) of the resin layer 11 is preferably 12 to 75 μm, and more preferably 12 to 75 μm, from the viewpoint of bending properties and tensile strength necessary for transporting the flexible metal laminate, and flexibility. 50 μm.

針入変位量(L1)が針入変位量(L2)よりも小さい特性を有する樹脂層11は、例えば複数の異なる種類の樹脂を積層することによって製造することができる。例えば、図2に示す様に、樹脂層11を、第1層14、第2層15の様に、複数層から構成する。
好ましくは、例えば接触面13を構成する層とこれに隣接する層の一方あるいは両方を、針入変位量を小さくする作用を有する層(以下、便宜上「変位防止層」と呼ぶ)から構成する。なお、「変位防止層」は、最外面12を構成しない層とする。
The resin layer 11 having a characteristic that the needle insertion displacement amount (L1) is smaller than the needle insertion displacement amount (L2) can be manufactured, for example, by laminating a plurality of different types of resins. For example, as shown in FIG. 2, the resin layer 11 is composed of a plurality of layers such as a first layer 14 and a second layer 15.
Preferably, for example, one or both of the layer constituting the contact surface 13 and the layer adjacent thereto are constituted by a layer having an action of reducing the penetration displacement amount (hereinafter referred to as “displacement preventing layer” for convenience). The “displacement preventing layer” is a layer that does not constitute the outermost surface 12.

変位防止層は、「ガラス転位点(Tg)」が高い樹脂材料から構成する。あるいは「動的粘弾性測定における貯蔵弾性率(E')」が大きい樹脂材料から構成する。特にガラス転位点(Tg)が高く、かつ貯蔵弾性率(E')が大きい樹脂材料から構成することが望ましい。   The displacement prevention layer is made of a resin material having a high “glass dislocation point (Tg)”. Alternatively, it is made of a resin material having a large “storage elastic modulus (E ′) in dynamic viscoelasticity measurement”. In particular, it is desirable to use a resin material having a high glass transition point (Tg) and a large storage elastic modulus (E ′).

変位防止層を構成する樹脂材料のガラス転位温度(Tg)は、以下の様に、動的粘弾性測定を行い、その結果を温度と損失係数(tanδ)との関係のグラフとしたときの、ピークの頂点の温度(ピークトップ温度)である。実際は、ピークトップ温度は測定装置にて自動的に検出される。
すなわち、強制震動非共振型粘弾性測定器(オリエンテック社製、商品名:レオバイブロン)を用いて、測定条件:加振周波数11Hz、静的張力3.0gf、サンプルサイズ0.5mm(幅)×30mm(長さ)×厚さ20(μm)にて、常温常湿環境下から昇温速度10℃/minで昇温し、温度と損失係数の関係を求める。
The glass transition temperature (Tg) of the resin material constituting the displacement prevention layer is measured as follows, and dynamic viscoelasticity measurement is performed, and the result is a graph of the relationship between temperature and loss coefficient (tan δ). This is the temperature at the peak apex (peak top temperature). In practice, the peak top temperature is automatically detected by the measuring device.
That is, using a forced vibration non-resonant viscoelasticity measuring device (Orientec Co., Ltd., trade name: Leo Vibron), measurement conditions: excitation frequency 11 Hz, static tension 3.0 gf, sample size 0.5 mm (width) × The temperature is raised at a rate of temperature rise of 10 ° C./min from a room temperature and humidity environment at 30 mm (length) × thickness 20 (μm), and the relationship between the temperature and the loss factor is obtained.

樹脂層の各層を構成する樹脂材料においては、例えば質量平均分子量が異なる樹脂を混合した場合等において、ピークトップ温度は2つ以上存在する場合がある。そして、その少なくとも1点が300℃以上であることが望ましい。
変位防止層を構成する樹脂材料のガラス転移点(Tg)は高い程好ましく、より好ましくは330℃以上のガラス転位点(Tg)が存在することであり。さらには、350℃以上のガラス転位点(Tg)が存在することが望ましい。
また、複数のガラス転位点(Tg)が存在する場合、全てのガラス転位点(Tg)が300℃以上であることが、高温処理時の変形等防止等の点から望ましい。
In the resin material constituting each layer of the resin layer, for example, when two or more resins having different mass average molecular weights are mixed, there may be two or more peak top temperatures. And it is desirable that at least one point is 300 ° C. or higher.
The higher the glass transition point (Tg) of the resin material constituting the displacement prevention layer is, the more preferable it is, and more preferably the presence of a glass transition point (Tg) of 330 ° C. or higher. Furthermore, it is desirable that a glass transition point (Tg) of 350 ° C. or higher exists.
In addition, when there are a plurality of glass transition points (Tg), it is desirable that all the glass transition points (Tg) be 300 ° C. or higher from the viewpoint of preventing deformation during high temperature treatment.

変位防止層を構成する樹脂材料の貯蔵弾性率(E')は、強制震動非共振型粘弾性測定器(オリエンテック社製、商品名:レオバイブロン)による動的粘弾性測定における、温度300℃の測定値である。
具体的な測定条件は、ガラス転位点(Tg)と同様であり、加振周波数11Hz、静的張力3.0gf、サンプルサイズ0.5mm(幅)×30mm(長さ)×厚さ20(μm)にて、常温常湿環境下から昇温速度10℃/minで昇温する。そして、300℃になったときの測定値を求める。
The storage elastic modulus (E ′) of the resin material constituting the displacement prevention layer is measured at a temperature of 300 ° C. in a dynamic viscoelasticity measurement using a forced vibration non-resonant viscoelasticity measuring device (product name: Leo Vibron). It is a measured value.
The specific measurement conditions are the same as the glass transition point (Tg), the excitation frequency is 11 Hz, the static tension is 3.0 gf, the sample size is 0.5 mm (width) × 30 mm (length) × thickness 20 (μm). The temperature is increased at a temperature increase rate of 10 ° C./min from a room temperature and humidity environment. And the measured value when it becomes 300 degreeC is calculated | required.

貯蔵弾性率(E')は、好ましくは1GPa以上、特に好ましくは3GPa以上である。上限値は特に限定するものではないが、実質的には10GPa以下である。   The storage elastic modulus (E ′) is preferably 1 GPa or more, particularly preferably 3 GPa or more. The upper limit value is not particularly limited, but is substantially 10 GPa or less.

貯蔵弾性率(E’)やガラス転位点(Tg)は、例えば樹脂の種類(化学構造)や、質量平均分子量(Mw)を変更することによって調整することができる。
変位防止層の厚さは、針入変位量(L1)を適切な範囲に調整する点から、例えば2〜20μmであることが望ましく、5〜15μmであることがより望ましい。
The storage elastic modulus (E ′) and the glass transition point (Tg) can be adjusted, for example, by changing the type of resin (chemical structure) or the mass average molecular weight (Mw).
The thickness of the displacement prevention layer is preferably, for example, 2 to 20 μm, and more preferably 5 to 15 μm from the viewpoint of adjusting the penetration displacement (L1) to an appropriate range.

また、接触面13を構成する層に隣接する層を変位防止層とすることは、耐熱性向上の点から好ましい。
この場合、接触面13を構成する層は、下記に示す変位防止層以外の層の材料と同様の特性を有する樹脂から製造することができる。また、このとき、接触面13を構成する層の厚さは2〜10m程度とすることが、これに隣接して設けられた変位防止層の効果を発揮させる点から好ましい。
Moreover, it is preferable from the point of heat resistance improvement to make the layer adjacent to the layer which comprises the contact surface 13 into a displacement prevention layer.
In this case, the layer which comprises the contact surface 13 can be manufactured from resin which has the characteristic similar to the material of layers other than the displacement prevention layer shown below. At this time, the thickness of the layer constituting the contact surface 13 is preferably about 2 to 10 m from the viewpoint of exerting the effect of the displacement preventing layer provided adjacent thereto.

この様に、樹脂層11を複数層から構成すると、フレキシブル金属積層体の特性制御が容易となる。好ましくは、樹脂層11を2〜5層から構成すると望ましく、樹脂積層歩留まりなどのコスト低減を考慮すると2〜3層がより好ましい。   Thus, if the resin layer 11 is comprised from multiple layers, the characteristic control of a flexible metal laminated body will become easy. Preferably, the resin layer 11 is preferably composed of 2 to 5 layers, and 2 to 3 layers are more preferable in consideration of cost reduction such as the resin lamination yield.

変位防止層以外の層は、フレキシブル性を発揮する比較的柔らかい層であることが望ましい。
例えば、変位防止層以外の層を構成する樹脂材料のガラス転位点(Tg)は、ある程度高い方が望ましいが、300℃以上の範囲であることが望ましい。
また、変位防止層以外の層を構成する樹脂材料の貯蔵弾性率(E’)は0.1〜5GPa、好ましくは0.5〜3GPaであることが望ましい。
The layers other than the displacement prevention layer are desirably relatively soft layers that exhibit flexibility.
For example, the glass transition point (Tg) of the resin material constituting the layers other than the displacement prevention layer is preferably higher to some extent, but is preferably in the range of 300 ° C. or higher.
Further, the storage elastic modulus (E ′) of the resin material constituting the layers other than the displacement prevention layer is 0.1 to 5 GPa, preferably 0.5 to 3 GPa.

なお、樹脂層11全体については、以下の特性を満足することが、耐熱性向上の点から望ましい。
すなわち、樹脂層11全体を測定サンプルとしたとき、その接触面13からの針入変位量(L0)が、好ましくは10μm以下、より好ましくは8μm以下、さらに好ましくは5μm以下であると望ましい。これにより、高温時の樹脂層11の変形等をより効果的に抑制することができる。
針入変位量(L0)は、針入変位量(L1)の測定方法で説明した様に、金属層10を取り除いた後の樹脂層11を(L0)測定用のサンプルとする。そして、このサンプルについて、上述の第1の試料11aと同様にして接触面13側からプローブ20を押しつけて、測定することができる。
In addition, about the resin layer 11 whole, it is desirable from the point of heat resistance improvement to satisfy the following characteristics.
That is, when the entire resin layer 11 is used as a measurement sample, the needle insertion displacement (L0) from the contact surface 13 is preferably 10 μm or less, more preferably 8 μm or less, and even more preferably 5 μm or less. Thereby, the deformation | transformation etc. of the resin layer 11 at the time of high temperature can be suppressed more effectively.
As described in the method of measuring the needle insertion displacement amount (L1), the needle insertion displacement amount (L0) is the resin layer 11 after removing the metal layer 10 as a sample for (L0) measurement. And about this sample, it can measure by pressing the probe 20 from the contact surface 13 side like the above-mentioned 1st sample 11a.

また、樹脂層11全体を測定サンプルとしたとき、300℃における貯蔵弾性率(E')が、好ましくは1GPa以上、特に好ましくは3GPa以上である。上限値は特に限定するものではないが、実質的には10GPa以下である。この範囲であると、特に高温時の樹脂層11の変形等を効果的に抑制できる。
このときの貯蔵弾性率(E')は、(L0)測定用のサンプルと同様のサンプルを用いて、上述の樹脂材料毎の測定方法と同様にして測定することができる。ただし、上述の樹脂材料毎の測定方法ではサンプルの厚さを規定しているが、樹脂層11全体について測定する際には、樹脂層11の厚さを特に変更する必要はない。
Moreover, when the resin layer 11 whole is used as a measurement sample, the storage elastic modulus (E ′) at 300 ° C. is preferably 1 GPa or more, and particularly preferably 3 GPa or more. The upper limit value is not particularly limited, but is substantially 10 GPa or less. Within this range, deformation of the resin layer 11 at a high temperature can be effectively suppressed.
The storage elastic modulus (E ′) at this time can be measured in the same manner as the measurement method for each resin material, using a sample similar to the sample for (L0) measurement. However, in the measurement method for each resin material described above, the thickness of the sample is specified, but when measuring the entire resin layer 11, it is not necessary to change the thickness of the resin layer 11 in particular.

また、樹脂層11は、例えば複数層の異なる種類の樹脂材料を積層してなるので、樹脂層11全体を測定サンプルとして測定すると、ガラス転位点(Tg)は複数存在することがある。そして、樹脂層11全体として測定したときに、樹脂層11は、少なくとも1点以上、300℃以上のガラス転位点(Tg)を有することが望ましい。
より好ましくは330℃以上のガラス転位点(Tg)が存在することであり。さらには、350℃以上のガラス転位点(Tg)が存在することが望ましい。
また、複数ガラス転位点(Tg)が存在する場合、全てのガラス転位点(Tg)が300℃以上であることが、高温処理時の変形等防止等の点から望ましい。
ガラス転位点(Tg)は、(L0)測定用のサンプルと同様のサンプルを用いて、上述の樹脂材料毎の測定方法と同様にして測定することができる。ただし、上述の樹脂材料毎の測定方法ではサンプルの厚さを規定しているが、樹脂層11全体について測定する際には、樹脂層11の厚さを特に変更する必要はない。
Moreover, since the resin layer 11 is formed by laminating a plurality of different types of resin materials, for example, when the entire resin layer 11 is measured as a measurement sample, a plurality of glass transition points (Tg) may exist. And when it measures as the resin layer 11 whole, it is desirable for the resin layer 11 to have a glass transition point (Tg) of at least 1 point or more and 300 degreeC or more.
More preferably, a glass transition point (Tg) of 330 ° C. or higher exists. Furthermore, it is desirable that a glass transition point (Tg) of 350 ° C. or higher exists.
Further, when there are a plurality of glass transition points (Tg), it is desirable that all the glass transition points (Tg) be 300 ° C. or higher from the viewpoint of preventing deformation during high temperature treatment.
The glass transition point (Tg) can be measured in the same manner as the measurement method for each resin material, using a sample similar to the sample for (L0) measurement. However, in the measurement method for each resin material described above, the thickness of the sample is specified, but when measuring the entire resin layer 11, it is not necessary to change the thickness of the resin layer 11 in particular.

樹脂層11を構成する樹脂は、フレキシブル金属積層体の搬送時に必要な折り曲げ性や引張強度が得られ、フレキシブル性を付与できるものであれば特に制限されるものではない。本発明においては、加工性、フレキシブル性の点から、熱可塑性樹脂が好適に用いられる。
さらに、製造時の塗工などの操作が容易であることから、熱可塑性樹脂は、有機溶剤に可溶性であることが望ましい。ここで、「可溶性」とは、室温〜100℃の温度範囲において有機溶剤に1質量%以上溶解することをいう。
The resin constituting the resin layer 11 is not particularly limited as long as the bending property and the tensile strength necessary for transporting the flexible metal laminate can be obtained and flexibility can be imparted. In the present invention, a thermoplastic resin is preferably used from the viewpoint of processability and flexibility.
Furthermore, it is desirable that the thermoplastic resin be soluble in an organic solvent because operations such as coating during production are easy. Here, “soluble” means that 1% by mass or more dissolves in an organic solvent in a temperature range of room temperature to 100 ° C.

具体的には、例えば ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリシロキサンイミド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等の耐熱熱可塑性樹脂を挙げることができる。
より好ましくは、有機溶剤に対して可溶性であり、イミド化反応等の脱水縮重合反応が十分に終了した、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリシロキサンイミド樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂が望ましい。
より好ましくは、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリシロキサンイミド樹脂から選ばれた少なくとも1種類からなる熱可塑性樹脂である。
Specific examples include heat-resistant thermoplastic resins such as polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, polysiloxaneimide resin, polyetherketone resin, and polyetheretherketone resin.
More preferably, it is soluble in an organic solvent, and a dehydration condensation polymerization reaction such as an imidization reaction has been sufficiently completed, a polyimide resin, a polyamideimide resin, a polyetherimide resin, a polysiloxaneimide resin, a polyetherketone resin, Polyether ether ketone resins are desirable.
More preferably, it is a thermoplastic resin made of at least one selected from polyimide resin, polyamideimide resin, polyetherimide resin, and polysiloxaneimide resin.

なお、樹脂層11を構成する樹脂は1種または2種以上混合して用いることができる。
また、樹脂の質量平均分子量は例えば20000〜150000の範囲から選択される。
In addition, the resin which comprises the resin layer 11 can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.
Moreover, the mass average molecular weight of resin is selected from the range of 20000-150000, for example.

また、本発明の効果を損なわない範囲で、樹脂層11を構成する1層以上を、三次元架橋型熱硬化性樹脂から構成してもよい。
その場合、三次元架橋型熱硬化性樹脂層の熱硬化を促進させるため有機過酸化物やルイス酸化合物等の硬化促進剤を添加してもよい。
Moreover, you may comprise one or more layers which comprise the resin layer 11 from a three-dimensional bridge | crosslinking type thermosetting resin in the range which does not impair the effect of this invention.
In that case, a curing accelerator such as an organic peroxide or a Lewis acid compound may be added in order to accelerate the thermosetting of the three-dimensional crosslinkable thermosetting resin layer.

また、樹脂層11には、難燃性を付与させるためのリン酸エステル系化合物、窒素系エステル化合物、ハロゲン化エポキシ樹脂を添加することもできる。
また、線膨張コントロール等のために有機フィラー、無機フィラー等を添加することもできる。
ただし、有機フィラー、無機フィラーは、接触面13側ではなく、最外面12側の層に配合することが望ましい。さらには、最外面12を構成する最外層に添加することがより望ましい。有機フィラー、無機フィラーを配合すると、フレキシブルプリント基板の製造工程時の搬送性を向上させることができる。
フィラーとしては、中でも無機フィラーが好ましく、特に好ましくは平均粒径0.005〜5μm、さらに好ましくは0.005〜2μmのコロイダルシリカ、窒化珪素、タルク、酸化チタン、リン酸カルシウム等である。
その配合量は、例えば添加する層の樹脂100質量部に対して、0.1〜3質量部とされる。
In addition, a phosphate ester compound, a nitrogen ester compound, and a halogenated epoxy resin for imparting flame retardancy can also be added to the resin layer 11.
Moreover, an organic filler, an inorganic filler, etc. can also be added for linear expansion control etc.
However, it is desirable to mix the organic filler and the inorganic filler not in the contact surface 13 side but in the layer on the outermost surface 12 side. Furthermore, it is more desirable to add to the outermost layer constituting the outermost surface 12. When an organic filler and an inorganic filler are blended, the transportability during the manufacturing process of the flexible printed circuit board can be improved.
Among these, inorganic fillers are preferable, and colloidal silica, silicon nitride, talc, titanium oxide, calcium phosphate having an average particle size of 0.005 to 5 μm, and more preferably 0.005 to 2 μm are particularly preferable.
The compounding quantity is 0.1-3 mass parts with respect to 100 mass parts of resin of the layer to add, for example.

フレキシブル金属積層体を製造する方法としては、例えば以下の方法が挙げられる。
銅箔などの金属層の上に有機溶剤に溶解させた樹脂溶液を塗布し、有機溶剤を乾燥し、1層目を形成する。
Examples of the method for producing the flexible metal laminate include the following methods.
A resin solution dissolved in an organic solvent is applied onto a metal layer such as a copper foil, and the organic solvent is dried to form a first layer.

有機溶剤としては、樹脂を可溶な有機溶剤であればよく、溶剤の種類も1種類のみで用いることも、2種類以上の混合溶剤として適宜用いてもかまわない。
例えば、N−メチル−2−ピロリドン、N−ビニル−2−ピロリドン等のピロリドン系溶剤、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系溶剤、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド等のホルムアミド系溶剤、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤といった極性溶剤が挙げられる。また、これら比較的高沸点溶剤の他に、塗料樹脂の溶解性に問題がない程度に、アセトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤、トルエン、キシレン系の芳香族系溶剤、テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジクライム、トリグライム等のエーテル系溶剤等も混合溶剤として用いることもできる。
The organic solvent only needs to be a soluble organic solvent, and the solvent may be used alone or as a mixed solvent of two or more.
For example, pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone, acetamide solvents such as N, N-dimethylacetamide and N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N And polar solvents such as formamide solvents such as N-diethylformamide and sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide. In addition to these relatively high boiling solvents, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, toluene, xylene aromatic solvents, tetrahydrofuran, etc. Ether solvents such as dioxane, diclime and triglyme can also be used as a mixed solvent.

以下、上記塗布、乾燥の操作を繰り返して、複数層からなる樹脂層11を形成する。なお、複数層間でミキシングが生じない程度に連続塗布することもできる。
塗工機としては、所望の樹脂層厚に応じ塗布することが可能であればいずれも制限されるものではない。例示として、ダム式コータ、ダイコータ、リバースコータ、リップコータ、グラビアコータ、コンマコータ等を所望の樹脂層厚に応じ単独または、各塗工ヘッドを組み合わせ連続塗布等が可能な塗工機が挙げられる。
また、塗布においては、2つ以上の塗工ヘッドを用いてもよい。
Thereafter, the above coating and drying operations are repeated to form a resin layer 11 composed of a plurality of layers. In addition, it can also apply | coat continuously to such an extent that mixing does not arise between several layers.
The coating machine is not limited as long as it can be applied according to the desired resin layer thickness. Examples include a coating machine capable of performing continuous coating or the like with a dam type coater, a die coater, a reverse coater, a lip coater, a gravure coater, a comma coater or the like alone or in combination with each coating head according to a desired resin layer thickness.
In application, two or more application heads may be used.

より好ましい方法は、金属層上に樹脂溶液を塗布した後、その層の表面のタック性がない状態まで初期乾燥を行う操作を繰り返して、複数層からなる樹脂層11を形成した後、樹脂の耐熱性やフレキシブル金属積層体の反り性をコントロールできる様に、減圧または、無酸素雰囲気下で有機溶剤が完全に除去できる温度で、有機溶剤を除去する方法である。   More preferably, after the resin solution is applied on the metal layer, the initial drying is repeated until the surface of the layer has no tackiness to form the resin layer 11 composed of a plurality of layers, In this method, the organic solvent is removed at a temperature at which the organic solvent can be completely removed under reduced pressure or in an oxygen-free atmosphere so that the heat resistance and the warpage of the flexible metal laminate can be controlled.

[フレキシブルプリント基板]
本発明のフレキシブルプリント基板は、本発明のフレキシブル金属積層体を用いたものであり、例えば図1に示した構成において、金属層10をメッキ処理等によって加工して配線とすることにより、得ることができる。
[Flexible printed circuit board]
The flexible printed circuit board of the present invention uses the flexible metal laminate of the present invention. For example, in the configuration shown in FIG. 1, the metal layer 10 is obtained by processing the metal layer 10 by plating or the like to obtain a wiring. Can do.

以上の様に、本発明においては、高温条件下、バンプの様な突起物を押しつける処理を行う用途に用いるフレキシブル金属積層体およびこれを用いたフレキシブルプリント基板において、樹脂層の変形等に伴う不都合を解決できるフレキシブル金属積層体およびこれを用いたフレキシブルプリント基板を提供することができる。
すなわち、フリップチップ接合方式、とりわけCOF実装の様に、高温条件下において、バンプの様な突起物が、金属層や、この金属層から形成される金属配線を介して、強く樹脂層に押しつけられる処理に用いる場合に、樹脂層の変形等の不都合を抑制することができる。そのため、アンダーフィルの充填の不具合や、エッジショートの問題を抑制できる。
As described above, in the present invention, in a flexible metal laminate used for a process of pressing a protrusion such as a bump under a high temperature condition and a flexible printed circuit board using the same, there are inconveniences associated with deformation of the resin layer, etc. Can be provided, and a flexible printed circuit board using the same.
In other words, bump-like projections are strongly pressed against the resin layer through the metal layer and the metal wiring formed from the metal layer under high-temperature conditions as in the flip-chip bonding method, particularly COF mounting. When used for processing, inconveniences such as deformation of the resin layer can be suppressed. For this reason, it is possible to suppress underfill filling problems and edge short-circuit problems.

以下、実施例を具体的に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Examples will be specifically shown below, but the present invention is not limited to these examples.

<ポリイミド系樹脂溶液:A>
ポリイミド樹脂(ピーアイ技術研究所社製、商品名:Q−VR−FP007、ガラス転移点330℃)を固形分濃度12質量%となるようにN−メチル−2−ピロリドンに溶解させ、ポリイミド樹脂溶液(以下、「樹脂溶液A」という)を得た。
<Polyimide resin solution: A>
A polyimide resin solution (trade name: Q-VR-FP007, glass transition point 330 ° C., manufactured by PI Engineering Laboratory Co., Ltd.) is dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone so as to have a solid content concentration of 12% by mass to obtain a polyimide resin solution. (Hereinafter referred to as “resin solution A”).

<ポリイミド系樹脂溶液:B>
ポリアミドイミド樹脂(東洋紡績社製、商品名:バイロマックスHR16NN、ガラス転移点320℃)を固形分濃度12質量%となるようにN−メチル−2−ピロリドンに溶解させ、ポリアミドイミド樹脂溶液(以下、「樹脂溶液B」という)を得た。
<Polyimide resin solution: B>
Polyamideimide resin (manufactured by Toyobo Co., Ltd., trade name: Viromax HR16NN, glass transition point 320 ° C.) was dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone so as to have a solid content concentration of 12% by mass, and a polyamideimide resin solution (hereinafter referred to as “polyamideimide resin solution”) And “resin solution B”).

<ポリイミド系樹脂溶液:C>
ポリアミドイミド樹脂(東洋紡績社製、商品名:バイロマックスN003TM、ガラス転移点370℃)を固形分濃度12質量%となるようにN−メチル−2−ピロリドンに溶解させ、ポリアミドイミド樹脂溶液C(以下、「樹脂溶液C」という)を得た。
<Polyimide resin solution: C>
Polyamideimide resin (manufactured by Toyobo Co., Ltd., trade name: Viromax N003TM, glass transition point 370 ° C.) was dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone so as to have a solid content concentration of 12% by mass, and polyamideimide resin solution C ( Hereinafter, "resin solution C") was obtained.

<ポリイミド系樹脂溶液:D>
前記ポリイミド樹脂溶液A300gと前記ポリアミドイミド樹脂溶液Cを100gとを混合させ攪拌し、ポリイミド系樹脂溶液D(以下、「樹脂溶液D」という)を得た。
<Polyimide resin solution: D>
300 g of the polyimide resin solution A and 100 g of the polyamideimide resin solution C were mixed and stirred to obtain a polyimide resin solution D (hereinafter referred to as “resin solution D”).

<ポリイミド系樹脂溶液:E>
前記ポリイミド樹脂溶液A200gと前記ポリアミドイミド樹脂溶液Cを200gとを混合させ攪拌し、ポリイミド系樹脂溶液E(以下、「樹脂溶液E」という)を得た。
<Polyimide resin solution: E>
200 g of the polyimide resin solution A and 200 g of the polyamideimide resin solution C were mixed and stirred to obtain a polyimide resin solution E (hereinafter referred to as “resin solution E”).

次に前記で作製した樹脂溶液を用いて、下記の手順にしたがって、フレキシブル金属積層体を作製した。
なお、以下の説明では、樹脂溶液A〜Eを用いて製造した樹脂層を、それぞれ樹脂層A〜Eと呼ぶものとする。
Next, the flexible metal laminated body was produced according to the following procedure using the resin solution produced above.
In the following description, resin layers manufactured using the resin solutions A to E are referred to as resin layers A to E, respectively.

実施例1
電解銅箔(商品名;USLP、日本電解社製、厚さ:9μm)の疎化処理面に、樹脂溶液Cを最終熱処理後10μmの厚さになるように塗布し、100℃10分間加熱乾燥させ樹脂層Cを得た。次に、樹脂C層の上に樹脂溶液Aを塗布して120℃5分間加熱乾燥し、乾燥後30μmの厚さになるように2回にわけて塗布し、樹脂層Aを得た。さらに、窒素雰囲気下で30℃から280℃に昇温させながら18時間、280℃10時間にて熱処理をおこない、全樹脂層の総厚が40μmであるフレキシブル金属積層体を得た。
Example 1
The resin solution C was applied to the roughened surface of electrolytic copper foil (trade name: USLP, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness: 9 μm) so as to have a thickness of 10 μm after the final heat treatment, and dried by heating at 100 ° C. for 10 minutes. Resin layer C was obtained. Next, the resin solution A was applied onto the resin C layer, dried by heating at 120 ° C. for 5 minutes, and then applied twice so as to have a thickness of 30 μm after drying, to obtain a resin layer A. Furthermore, heat treatment was performed at 280 ° C. for 10 hours while raising the temperature from 30 ° C. to 280 ° C. in a nitrogen atmosphere, and a flexible metal laminate having a total thickness of all resin layers of 40 μm was obtained.

実施例2
電解銅箔(商品名;USLP、日本電解社製、厚さ:9μm)の疎化処理面に、樹脂溶液Eを最終熱処理後20μmの厚さになるように塗布し、120℃10分間加熱乾燥させ樹脂層Eを得た。次に、樹脂層Eの上に樹脂溶液Aを乾燥後20μmの厚さになるように塗布して120℃10分間加熱乾燥し樹脂層Aを得た。さらに、窒素雰囲気下で30℃から300℃に昇温させながら18時間、300℃3時間にて熱処理をおこない、全樹脂層の総厚が40μmであるフレキシブル金属積層体を得た。
Example 2
The resin solution E was applied to the roughened surface of electrolytic copper foil (trade name: USLP, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness: 9 μm) to a thickness of 20 μm after the final heat treatment, and dried by heating at 120 ° C. for 10 minutes. Resin layer E was obtained. Next, the resin solution A was applied onto the resin layer E so as to have a thickness of 20 μm after drying, and was heated and dried at 120 ° C. for 10 minutes to obtain a resin layer A. Furthermore, heat treatment was performed for 18 hours at 300 ° C. for 3 hours while raising the temperature from 30 ° C. to 300 ° C. in a nitrogen atmosphere, and a flexible metal laminate having a total thickness of all resin layers of 40 μm was obtained.

実施例3
電解銅箔(商品名;USLP、日本電解社製、厚さ:9μm)の疎化処理面に、樹脂溶液Dを乾燥後5μmの厚さになるように塗布し、120℃5分間加熱乾燥させ樹脂層Dを得た。次に、樹脂層Dの上に樹脂溶液Eを乾燥後15μmの厚さになるように塗布して、120℃10分間加熱乾燥させ樹脂層Eを得た。さらに、樹脂層Eの上に樹脂溶液Bを乾燥後20μmの厚さになるように塗布して、130℃10分間加熱乾燥させた。窒素雰囲気下で30℃から300℃に昇温させながら20時間、300℃で2時間にて熱処理をおこない、全樹脂層の総厚が40μmであるフレキシブル金属積層体を得た。
Example 3
The resin solution D is applied to a roughened surface of an electrolytic copper foil (trade name: USLP, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness: 9 μm) to a thickness of 5 μm after drying, and is heated and dried at 120 ° C. for 5 minutes. Resin layer D was obtained. Next, the resin solution E was applied onto the resin layer D so as to have a thickness of 15 μm after drying, and was heated and dried at 120 ° C. for 10 minutes to obtain a resin layer E. Further, the resin solution B was applied on the resin layer E so as to have a thickness of 20 μm after drying, and was dried by heating at 130 ° C. for 10 minutes. Heat treatment was performed for 20 hours at 300 ° C. for 2 hours while raising the temperature from 30 ° C. to 300 ° C. in a nitrogen atmosphere to obtain a flexible metal laminate having a total thickness of all resin layers of 40 μm.

実施例4
電解銅箔(商品名;USLP、日本電解社製、厚さ:9μm)の疎化処理面に、樹脂溶液Dを乾燥後8μmの厚さになるように塗布し、120℃5分間加熱乾燥させ樹脂層Dを得た。次に、樹脂層Dの上に樹脂溶液Eを乾燥後13μmの厚さになるように塗布して、120℃5分間加熱乾燥させた。さらに、樹脂層Eの上に樹脂溶液Bを乾燥後19μmの厚さになるように塗布して、130℃10分間加熱乾燥させた。窒素雰囲気下で30℃から300℃に昇温させながら20時間、300℃で2時間にて熱処理をおこない、全樹脂層の総厚が40μmであるフレキシブル金属積層体を得た。
Example 4
The resin solution D is applied to a roughened surface of an electrolytic copper foil (trade name: USLP, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness: 9 μm) to a thickness of 8 μm after drying, and is heated and dried at 120 ° C. for 5 minutes. Resin layer D was obtained. Next, the resin solution E was applied on the resin layer D so as to have a thickness of 13 μm after drying, and was heated and dried at 120 ° C. for 5 minutes. Further, the resin solution B was applied on the resin layer E so as to have a thickness of 19 μm after drying, and was dried by heating at 130 ° C. for 10 minutes. Heat treatment was performed for 20 hours at 300 ° C. for 2 hours while raising the temperature from 30 ° C. to 300 ° C. in a nitrogen atmosphere to obtain a flexible metal laminate having a total thickness of all resin layers of 40 μm.

比較例1
電解銅箔(商品名;F0−WS、古河サーキットフォイル社製、厚さ:9μm)の疎化処理面に、樹脂溶液Bを最終熱処理後30μmの厚さになるように塗布し、130℃10分間加熱乾燥させ樹脂層Bを得た。次に、樹脂層Bの上に繰り返し樹脂溶液Cを塗布して120℃5分間加熱乾燥し、乾燥後10μmの厚さになるようにして樹脂層Cを得た。さらに、窒素雰囲気下で30℃から280℃に昇温させながら18時間、280℃10時間にて熱処理をおこない、全樹脂層の総厚が40μmであるフレキシブル金属積層体を得た。
Comparative Example 1
The resin solution B was applied to a roughened surface of electrolytic copper foil (trade name: F0-WS, manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd., thickness: 9 μm) so as to have a thickness of 30 μm after the final heat treatment. The resin layer B was obtained by heating and drying for minutes. Next, the resin solution C was repeatedly applied onto the resin layer B, dried by heating at 120 ° C. for 5 minutes, and the resin layer C was obtained so as to have a thickness of 10 μm after drying. Furthermore, heat treatment was performed at 280 ° C. for 10 hours while raising the temperature from 30 ° C. to 280 ° C. in a nitrogen atmosphere, and a flexible metal laminate having a total thickness of all resin layers of 40 μm was obtained.

比較例2
電解銅箔(商品名;USLP、日本電解社製、厚さ:9μm)の疎化処理面に、樹脂溶液Dを乾燥後18μmの厚さになるように塗布し、130℃10分間加熱乾燥させ手樹脂層Dを得た。次に、樹脂層Dの上に樹脂溶液Eを乾燥後14μmの厚さになるように塗布して、120℃5分間加熱乾燥させた。さらに、樹脂層Eの上に樹脂溶液Bを乾燥後8μmの厚さになるように塗布して、120℃5分間加熱乾燥させた。窒素雰囲気下で30℃から300℃に昇温させながら20時間、300℃で2時間にて熱処理をおこない、全樹脂層の総厚が40μmであるフレキシブル金属積層体を得た。
Comparative Example 2
The resin solution D is applied to a roughened surface of electrolytic copper foil (trade name: USLP, manufactured by Nippon Electrolytic Co., Ltd., thickness: 9 μm) to a thickness of 18 μm after drying, and is heated and dried at 130 ° C. for 10 minutes. A hand resin layer D was obtained. Next, the resin solution E was applied on the resin layer D so as to have a thickness of 14 μm after drying, and was heated and dried at 120 ° C. for 5 minutes. Further, the resin solution B was applied on the resin layer E so as to have a thickness of 8 μm after drying, and was heated and dried at 120 ° C. for 5 minutes. Heat treatment was performed for 20 hours at 300 ° C. for 2 hours while raising the temperature from 30 ° C. to 300 ° C. in a nitrogen atmosphere to obtain a flexible metal laminate having a total thickness of all resin layers of 40 μm.

表1に、実施例、比較例のフレキシブル金属積層体の樹脂層の構成をまとめて示した。なお、表中の数値は膜厚(単位:μm)である。
なお、便宜上、金属箔側から、第1層、第2層、第3層とし、その樹脂層の種類を示した。
In Table 1, the structure of the resin layer of the flexible metal laminated body of an Example and a comparative example was shown collectively. In addition, the numerical value in a table | surface is a film thickness (unit: micrometer).
For convenience, the first layer, the second layer, and the third layer are shown from the metal foil side, and the types of the resin layers are shown.

Figure 2006272683
Figure 2006272683

この様にして得られた実施例、比較例のフレキシブル金属積層体の物性値測定及び評価を下記のとおり行った。   Thus, the physical property value measurement and evaluation of the flexible metal laminated body of an Example and a comparative example which were obtained in this way were performed as follows.

<フレキシブル金属積層体の評価>
1.針入変位量
前記実施例と比較例のそれぞれのフレキシブル金属積層体を複数ずつ用意して、以下のようにして測定に用いる樹脂層のサンプル作製をおこなった。
<Evaluation of flexible metal laminate>
1. Needle displacement amount A plurality of flexible metal laminates of each of the examples and comparative examples were prepared, and a sample of a resin layer used for measurement was prepared as follows.

・(L0)測定用サンプル
フレキシブル金属積層体から塩化第二鉄液で銅箔層を除去し、マイクロメータにて樹脂厚を計測し確認後、金属層と隣接する樹脂面からの針入変位量(L0)を測定するサンプルを作製した。
・ (L0) Sample for measurement Remove the copper foil layer with ferric chloride solution from the flexible metal laminate, measure the resin thickness with a micrometer, and then check the amount of penetration from the resin surface adjacent to the metal layer. A sample for measuring (L0) was prepared.

・(L1)測定用サンプル
同様にして、フレキシブル金属積層体から銅箔層を除去した樹脂層を、丸本ストルアス社製Tegraシリーズ研磨機で樹脂厚をマイクロメータにて計測しながら、最外面側から研磨し、膜厚20μmのサンプルとした。
・ (L1) Sample for measurement In the same manner, the resin layer from which the copper foil layer was removed from the flexible metal laminate was measured on the outermost surface side while measuring the resin thickness with a Marumoto Struers Tegra series polishing machine with a micrometer. Was polished into a sample having a thickness of 20 μm.

・(L2)測定用サンプル
金属層との接触面側から研磨した以外は、(L1)測定用サンプルと同様にして研磨して(L2)測定用サンプルを製造した。
-(L2) Sample for measurement A sample for measurement was manufactured by polishing in the same manner as the sample for measurement (L1) except that the sample was polished from the contact surface side with the metal layer.

上記の3つのサンプルについて、それぞれ、23±5℃、55±5%相対湿度環境下で24時間以上放置した後、昇温し、300℃における針入変位量を測定した。
(L0)測定用サンプル、(L1)測定サンプルについては、それぞれ金属層との接触面側からプローブを押しつけて測定した。(L2)測定サンプルについては、最外面側からプローブを押しつけて測定した。
なお、測定条件は以下の通りである。
測定装置:エスアイアイナノテクノロジー社製 商品名:EXSTAR6100TMA/SS、先端が1mm×1mm角の針入プローブ使用、荷重:300mN、昇温速度:20℃/min。
結果を表2に示した。
Each of the above three samples was allowed to stand for 24 hours or more in an environment of 23 ± 5 ° C. and 55 ± 5% relative humidity, and then the temperature was raised and the penetration displacement at 300 ° C. was measured.
The (L0) measurement sample and (L1) measurement sample were each measured by pressing the probe from the contact surface side with the metal layer. (L2) The measurement sample was measured by pressing the probe from the outermost surface side.
Measurement conditions are as follows.
Measuring device: manufactured by SII Nano Technology, Inc. Product name: EXSTAR6100TMA / SS, use of a 1 mm × 1 mm square needle-inserted probe, load: 300 mN, heating rate: 20 ° C./min.
The results are shown in Table 2.

Figure 2006272683
Figure 2006272683

2.貯蔵弾性率(E’)、ガラス転移点(Tg)
(L0)測定用サンプルと同じものを用意し、このサンプルについて、強制震動非共振型粘弾性測定器(オリエンテック社製 商品名:レオバイブロン)を用いて、以下の条件で、300℃における貯蔵弾性率(E’)を測定した。
測定条件:
加振周波数:11Hz、静的張力:3.0gf、サンプルサイズ:0.5mm(幅)×30mm(長さ)、昇温速度:10℃/min、測定環境条件:常温常湿環境下。
2. Storage elastic modulus (E '), glass transition point (Tg)
(L0) The same sample as the measurement sample is prepared, and the storage elasticity at 300 ° C. is used for this sample under the following conditions using a forced vibration non-resonant viscoelasticity measuring device (trade name: Leo Vibron, manufactured by Orientec). The rate (E ′) was measured.
Measurement condition:
Excitation frequency: 11 Hz, static tension: 3.0 gf, sample size: 0.5 mm (width) × 30 mm (length), heating rate: 10 ° C./min, measurement environment conditions: room temperature and humidity.

また、同様にして、損失係数(tanδ)のピークトップを検出し、ガラス転移点(Tg)を求めた。
結果を表3に示した。
Similarly, the peak top of the loss coefficient (tan δ) was detected, and the glass transition point (Tg) was obtained.
The results are shown in Table 3.

Figure 2006272683
Figure 2006272683

3.樹脂層の線熱膨張係数
(L0)測定用サンプルと同じものを用意し、このサンプルについて、サーモメカニカルアナライザー(真空理工社製 商品名:TMA7)によるTMA引張測定を行い、50から250℃における平均線膨張率を、JIS K7197での平均線膨張率算出方法により測定した。
測定条件は次の通りである。サンプル形状:0.5cm幅×1.5cm長さ、測定温度範囲:30→400℃、荷重:9.8mN、昇温速度:10℃/min、測定初期環境条件:常温常湿環境下。
その結果を、表4に示した。
3. The same linear thermal expansion coefficient (L0) measurement sample as the resin layer was prepared, and this sample was subjected to TMA tensile measurement with a thermomechanical analyzer (trade name: TMA7, manufactured by Vacuum Riko Co., Ltd.), and the average at 50 to 250 ° C. The linear expansion coefficient was measured by an average linear expansion coefficient calculation method according to JIS K7197.
The measurement conditions are as follows. Sample shape: 0.5 cm width × 1.5 cm length, measurement temperature range: 30 → 400 ° C., load: 9.8 mN, heating rate: 10 ° C./min, initial measurement environmental condition: normal temperature and humidity environment.
The results are shown in Table 4.

4.カール量
実施例、比較例のフレキシブル金属積層体を70mm幅×250mmにカットした。
次にこれらカットされたサンプルを23±5℃/55±5%(湿度)環境に調整された恒温恒湿槽にて72時間調湿した状態を常態時のカール量として、金属層面を上にして平滑なガラス板上に静置して、円弧状にカールしたサンプルのガラス面からの高さを計測した。
さらに、フレキシブル金属積層体を恒温オーブン中に空気中150℃24時間放置終了後23±5℃/55±5%(湿度)環境に調整された恒温恒湿槽にて72時間調湿した状態を150℃24時間放置後のカール量とした。
各々の結果を表4に示した。
4). Curling Amount The flexible metal laminates of Examples and Comparative Examples were cut into 70 mm width × 250 mm.
Next, these cut samples were conditioned for 72 hours in a constant temperature and humidity chamber adjusted to an environment of 23 ± 5 ° C./55±5% (humidity). The sample was placed on a flat and smooth glass plate, and the height of the sample curled in an arc shape from the glass surface was measured.
Furthermore, after leaving the flexible metal laminate in a constant temperature oven at 150 ° C. for 24 hours in air, the humidity was adjusted for 72 hours in a constant temperature and humidity chamber adjusted to an environment of 23 ± 5 ° C./55±5% (humidity). The curl amount after standing at 150 ° C. for 24 hours was used.
The results are shown in Table 4.

5.フリップチップ接合性(インナーリード(ILB性))
実施例、比較例のフレキシブル金属積層体における金属層に、フォトレジスト塗布、パターン露光、現像、エッチング、ソルダーレジスト塗布及び錫メッキを施しフォトレジスト法によって、フリップチップ接合用の回路パターンを形成した。この回路パターンを形成させたフレキシブルプリント基板を23℃55%Rh下にて72時間放置後、フリップチップ接合用の回路パターンとICのバンプとの接合をフリップチップボンダー(澁谷工業社製)にて行った。
なお、接合する際の温度、接合時間及び接合圧力は次の条件でおこなった。
回路基板側ステージ温度:100℃
チップ側ツール温度 :450℃
接合時間 :2.5秒
接合圧力 :200mN/mm
5. Flip chip bonding (inner lead (ILB))
The metal layers in the flexible metal laminates of Examples and Comparative Examples were subjected to photoresist coating, pattern exposure, development, etching, solder resist coating, and tin plating, and a circuit pattern for flip chip bonding was formed by a photoresist method. The flexible printed circuit board on which this circuit pattern is formed is allowed to stand at 23 ° C. and 55% Rh for 72 hours, and then the flip chip bonder (manufactured by Kabuya Kogyo Co., Ltd.) is used to bond the circuit pattern for flip chip bonding to the IC bump. went.
In addition, the temperature at the time of joining, joining time, and joining pressure were performed on the following conditions.
Circuit board stage temperature: 100 ° C
Tip side tool temperature: 450 ° C
Joining time: 2.5 seconds Joining pressure: 200 mN / mm 2

そして、樹脂層の外観上の変化や、接合部位の断面観察を下記の評価基準に基づいて行った。
その結果を表4に示した。
<評価基準>
○:外観上の問題が無く、接合部位の著しい変形や剥離が生じていなかった。
△:外観上の問題が無いが、接合部位にやや樹脂の沈み込みが生じているものの、エッジショートやリードずれが生じていなかった。。
×:外観上に問題があり、接合部位に著しい樹脂の沈み込みやエッジショート、あるいはリードずれが発生していた。
And the change in the external appearance of a resin layer and the cross-sectional observation of a junction part were performed based on the following evaluation criteria.
The results are shown in Table 4.
<Evaluation criteria>
◯: There was no problem in appearance, and no significant deformation or peeling occurred at the joining site.
Δ: There was no problem in appearance, but although resin subsidence occurred slightly at the joining site, edge short-circuit and lead misalignment did not occur. .
X: There was a problem in appearance, and significant resin sinking, edge short-circuiting, or lead displacement occurred at the joining site.

Figure 2006272683
Figure 2006272683

表2〜4に示す結果から明らかなように、針入変位量が本発明の条件を満たす実施例のフレキシブル金属積層体は、フリップチップ接合性(インナーリード(ILB性))において良好な結果が得られた。これに対して、比較例においては、針入変位量の条件を満足することができず、フリップチップ接合性(インナーリード(ILB性))が不良であった。   As is clear from the results shown in Tables 2 to 4, the flexible metal laminates of the examples in which the penetration displacement satisfies the conditions of the present invention have good results in flip chip bonding properties (inner leads (ILB properties)). Obtained. On the other hand, in the comparative example, the condition of the penetration displacement amount could not be satisfied, and the flip chip bondability (inner lead (ILB property)) was poor.

図1(a)は本発明のフレキシブル金属積層体の一例を示す断面図であり、図1(b)〜図1(d)は針入変位量の測定手順を示した説明図である。Fig.1 (a) is sectional drawing which shows an example of the flexible metal laminated body of this invention, and FIG.1 (b)-FIG.1 (d) is explanatory drawing which showed the measurement procedure of the penetration displacement amount. 本発明のフレキシブル金属積層体の他の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other example of the flexible metal laminated body of this invention. COFボンダーによる接合方式の一例を示した説明図である。It is explanatory drawing which showed an example of the joining system by a COF bonder.

符号の説明Explanation of symbols

10 金属層
11 樹脂層
11a 第1の試料
11b 第2の試料
12 金属層と反対側の面(最外面)
13 接触面


10 Metal layer 11 Resin layer 11a First sample 11b Second sample 12 Surface opposite to metal layer (outermost surface)
13 Contact surface


Claims (10)

金属層と、樹脂層とを有するフレキシブル金属積層体であって、
前記樹脂層を、厚さ1/2のところで2つに分け、前記金属層との接触面側を第1の試料、残りを第2の試料としたとき、
前記第1の試料の、金属層との接触面からの針入変位量(L1)は、前記第2の試料の、金属層と反対側の面からの針入変位量(L2)よりも小さいことを特徴とするフレキシブル金属積層体。
A flexible metal laminate having a metal layer and a resin layer,
When the resin layer is divided into two at a thickness of 1/2, the contact surface side with the metal layer is the first sample, and the rest is the second sample,
The penetration displacement amount (L1) of the first sample from the contact surface with the metal layer is smaller than the penetration displacement amount (L2) of the second sample from the surface opposite to the metal layer. The flexible metal laminated body characterized by the above-mentioned.
請求項1に記載のフレキシブル金属積層体において、前記針入変位量(L1)と前記針入変位量(L2)との差の絶対値(dL)が、2μm以上であるフレキシブル金属積層体。   The flexible metal laminate according to claim 1, wherein an absolute value (dL) of a difference between the needle insertion displacement (L1) and the needle insertion displacement (L2) is 2 µm or more. 前記樹脂層は、前記金属層との接触面からの針入変位量(L0)が、10μm以下である請求項1または2に記載のフレキシブル金属積層体。   The flexible metal laminate according to claim 1, wherein the resin layer has a penetration displacement (L0) from a contact surface with the metal layer of 10 μm or less. 前記樹脂層は、300℃における貯蔵弾性率(E’)が1GPa以上であり、かつ300℃以上のガラス転移点(Tg)を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載のフレキシブル金属積層体。   The flexible metal laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the resin layer has a storage elastic modulus (E ') at 300 ° C of 1 GPa or more and a glass transition point (Tg) of 300 ° C or more. body. 前記樹脂層は、有機溶剤に可溶な熱可塑性樹脂を含む請求項1〜4のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体。   The said resin layer is a flexible metal laminated body as described in any one of Claims 1-4 containing the thermoplastic resin soluble in an organic solvent. 前記樹脂層は、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、およびポリシロキサンイミド樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種類の樹脂を含有する請求項1〜5のいずれか1項に記載のフレキシブル金属積層体。   The flexible resin according to claim 1, wherein the resin layer contains at least one resin selected from the group consisting of a polyimide resin, a polyamideimide resin, a polyetherimide resin, and a polysiloxaneimide resin. Metal laminate. 前記樹脂層は、複数層からなる請求項1〜6のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体。   The flexible metal laminate according to claim 1, wherein the resin layer includes a plurality of layers. 前記金属層は、金属箔から構成されている請求項1〜7のいずれか1項に記載のフレキシブル金属積層体。   The said metal layer is a flexible metal laminated body of any one of Claims 1-7 comprised from metal foil. 前記金属箔は、銅箔、ステンレス箔、アルミニウム箔、およびニッケル箔からなる群から選ばれる1種以上からなる請求項8に記載のフレキシブル金属積層体。   The flexible metal laminate according to claim 8, wherein the metal foil is one or more selected from the group consisting of a copper foil, a stainless steel foil, an aluminum foil, and a nickel foil. 請求項1〜9のいずれか一項に記載のフレキシブル金属積層体を用いたことを特徴とするフレキシブルプリント基板。

The flexible printed circuit board using the flexible metal laminated body as described in any one of Claims 1-9.

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