JP2006269225A - 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法、ならびに該ディスプレイパネルを具備した有機elディスプレイ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 発光特性が長期にわたって維持される有機ELディスプレイパネルおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 パッシブマトリクス方式の有機ELディスプレイパネルにおいて、透明基板上の第一電極上の画素領域以外の領域および第一電極間に設けられる絶縁層が、ドライプロセスで製造された絶縁性炭素膜からなることを特徴とする。
【選択図】 図3
【解決手段】 パッシブマトリクス方式の有機ELディスプレイパネルにおいて、透明基板上の第一電極上の画素領域以外の領域および第一電極間に設けられる絶縁層が、ドライプロセスで製造された絶縁性炭素膜からなることを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス(以下「有機EL」という)ディスプレイパネルに関し、さらに詳しくは、パッシブマトリクス方式の電極構成を有する有機ELディスプレイパネルおよびその製造方法ならびに該ディスプレイパネルを具備した有機ELディスプレイ装置に関する。
有機ELディスプレイパネルの電極構成には、TFT(薄膜トランジスタ)を用いたアクティブマトリクス方式やパッシブマトリクス方式があり、パッシブマトリクス方式は電極構成が単純であり安価に製造できる利点を有している。
パッシブマトリクス型ディスプレイパネルは、透明基板上の複数の第一電極、該第一電極に直交して配置される複数の第二電極および前記第一電極と第二電極とに狭持された有機発光層を含む有機EL層から構成され、前記第一電極と第二電極との一の交差領域が1単位の発光部として1画素を形成し、前記画素の複数個が規則的に配列されて表示部を形成している。
前記第一電極と第二電極との交差領域の縁部は、電極形状が急峻に変化することから電界集中が発生し易い部位であり、有機EL層の絶縁破壊の要因の一つと考えられている。有機EL層の絶縁破壊は、第一電極と第二電極とを短絡させ、第一電極と第二電極との間に並列する全ての画素を常時発光させる表示欠陥を発生させる。
前記第一電極と第二電極との短絡を防止する手段として、第一電極と第二電極との交差領域の縁部に沿ってポジ型フォトレジストよりなる絶縁膜の隔壁を設ける方法(特許文献1)、第一電極と第二電極との交差領域を除く非発光部に紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂、ポリイミドなどの絶縁物を塗布する方法(特許文献2)などが提案されている。
前記絶縁膜にフォトレジストやポリイミドなどの有機材料を用いる方法は、十分な耐電圧を有する膜厚をフォトリソグラフなどにより簡便に形成できる利点を有する。一方、これらの有機材料はかなりの吸湿性を有するため、有機絶縁層に存在する水分が有機EL層を変質させる可能性があり、有機EL層を形成する前に有機絶縁層の十分な脱水を行う工程が要求される。しかしながら、真空加熱などにより有機絶縁層の脱水処理を行っても十分な脱水を行うことは極めて困難である。
本発明は、長期にわたって安定した発光特性を維持可能な有機ELディスプレイパネルおよびその製造方法、ならびに該有機ELディスプレイパネルを具備した有機ELディスプレイ装置を提供することを目的とする。
本発明者ら前記目的を達成するために鋭意研究した結果、絶縁性炭素膜からなる絶縁層をドライプロセスで形成し、ドライプロセスでパターニングすることにより、脱水工程なしに有機ELディスプレイパネルを製造し得ること、該方法で製造された有機ELディスプレイパネルが長期にわたって安定した発光特性を示すことを見出し、本発明を完成した。
本発明の有機ELディスプレイパネルは、基板と、該基板上の複数の互いに平行な第一電極と、該第一電極に交差して対向配置された複数の互いに平行な第二電極と、前記第一電極および第二電極間に配置された少なくとも有機発光層を含む有機EL層とを備え、前記第一電極上の前記第一電極と前記第二電極とが重なり合う交差領域(画素領域)以外の領域および第一電極間に絶縁層が配置されたパッシブマトリクス有機ELディスプレイパネルであって、前記絶縁層が、106Ω・cm以上の抵抗率を有する絶縁性炭素膜からなることを特徴とする。
本発明において、有機ELディスプレイパネルの好ましい態様は、第二電極間に電気絶縁性の分離隔壁をさらに含む。
本発明の上記有機ELディスプレイパネルの製造方法は、基板上に、複数の透明な第一電極を互いに平行に配置して形成する工程、前記第一の電極を形成した前記基板上に、106Ω・cm以上の抵抗率を有する絶縁性炭素膜を蒸着する工程、前記絶縁性炭素膜を所定の画素領域のパターンにパターニングする工程、前記パターニングされた絶縁性炭素膜を有する基板上に、有機発光層を含む有機EL層を形成する工程、前記有機EL層上に複数の第二電極を前記第一電極と交差させ、第一電極と第二電極との交差領域を前記絶縁性炭素膜の画素領域のパターンに対応配置させて形成する工程、および積層された全体を封止する工程、を含むことを特徴とする。
本発明の有機ELディスプレイ装置は、前記本発明の有機ELディスプレイパネル、または前記本発明の製造方法で製造された有機ELディスプレイパネルを具備することを特徴とする。
本発明において、有機ELディスプレイパネルの絶縁層がドライプロセスで形成される実質的に水分を含まない絶縁性炭素膜からなることにより、水分による有機EL層の変質が防止され、長期にわたって安定した発光特性を維持可能な有機ELディスプレイパネルならびに該ディスプレイパネルを具備した有機ELディスプレイが提供される。
図1は、パッシブマトリクス方式の有機ELカラーディスプレイパネルの断面積層構造の一例を示し、「基板10」が、透明な支持基板102、および該支持基板上に形成されたカラーフィルタ層104、色変換層106、およびこれらの層上に設けられた高分子膜からなる平坦化層108や無機膜からなるパッシベーション層110などが積層され一体化された透明な層状構成物からなる。有機ELモノクロディスプレイパネルの場合には、「基板10」は、透明な支持基板自体であることができる。本明細書において「基板10」これらの両者を意味する。
図2は、本発明の有機ELディスプレイパネルの部分平面図、図3は図2中の“X−X”断面図、図4は図2中の“Y−Y”断面図、図5は好ましい態様の有機ELディスプレイパネルの図2中の“Y−Y”断面に相当する断面図である。
本発明の有機ELディスプレイパネルは、図2に示したように、基板10上に互いに平行に配置された複数の第一電極20、第一電極20に交差して対向配置された第二電極50、および第一電極20と第二電極50との間に有機発光層を含む有機EL層40とを備え、前記第一電極20上の第一電極20と第二電極50とが重なり合う交差領域A以外の領域に絶縁層30を有し、前記交差領域Aが画素(発光部)を構成するパッシブマトリクス方式の有機ELディスプレイパネルである。
第一電極20は、基板10上に成膜した透明導電膜を複数の平行な帯状にパターニングした透明電極からなり、外部駆動回路との接続部から表示部まで配置される。透明導電膜として、たとえばITO(インジウム−スズ酸化物)膜、IZO(インジウム−亜鉛酸化物)膜などが挙げられ、特にIZO膜は、比較的に低抵抗でかつ平滑な膜を低温で成膜でき、弱酸によるパターニングが容易であることから、第一電極20の作製に好適に使用される。
本発明において、絶縁層30は、少なくとも第一電極20の肩部を覆い、第一電極20と第二電極50とが重なり合う交差領域A以外の領域に配置される。該絶縁層30は、106Ω・cm以上の抵抗率を有する絶縁性炭素膜、好ましくは1012Ω・cmオーダーの抵抗率を有するダイヤモンドライクカーボン膜からなる。
絶縁性炭素膜からなる絶縁層30は、前記第一電極20が作製されている基板10上に絶縁性炭素膜を蒸着法、たとえば真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマCVD法などを用いて成膜し、次いで前記交差領域Aの縁部に沿ってエッチングして除去し、画素領域をパターン化することによって作製される。
絶縁性炭素膜のエッチング方法として、たとえばエキシマレーザー、固体レーザーによるレーザーエッチング、マスクを用いた紫外線照射によるエッチング、酸素プラズマによるエッチングなどのドライエッチングプロセスを採用することができる。
特に特定の波長範囲の紫外線は、絶縁性炭素膜中の炭素−炭素間、炭素−水素間、炭素−酸素間結合を分断するのに十分な大きな紫外線エネルギーを有するので、絶縁性炭素膜のエッチングに好適に採用することができる。絶縁性炭素膜中の各種結合の結合エネルギーと、紫外線エネルギーを表1に示す。
低圧水銀ランプは184.9nm(エネルギー155kcal/mol)の波長の紫外線を、エキシマUVランプは173nm(エネルギー166.7kcal/mol)の波長の紫外線を含むので、絶縁性炭素膜のエッチングに好適に用いることができる。また、紫外線照射を酸素雰囲気下で行うことにより、励起酸素原子(O)が発生するので、励起酸素原子(O)により炭素膜を酸化除去することができ、、効率良く絶縁性炭素膜をエッチングすることができる。
第一電極20と第二電極50との間に設けられる有機EL層40は、陰極と陽極との間に有機発光層を含む層構成を有する。有機EL層40の層構成として、以下の層構成を例示することができる。
(a) 陽極/有機発光層/陰極
(b) 陽極/正孔注入層/有機発光層/陰極
(c) 陽極/有機発光層/電子注入層/陰極
(d) 陽極/正孔注入層/有機発光層/電子注入層/陰極
(e) 陽極/正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層/陰極
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上記層構成において、陽極および陰極の少なくとも一方は、有機発光材料の発する光の波長域で透明である必要があり、透明な電極を通して前記色変換層106に有機発光材料からの光を入射させる。この場合、前記透明導電膜からなる第一電極20は、陽極および陰極のいずれに機能させてもよい。
前記有機発光層として、公知の有機発光材料を含む層が使用される。有機発光層として青色ないし青緑色の発光を得るために、有機発光材料として、たとえばベンゾチアゾール系、ベンソイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系などの蛍光増白剤、金属キレート化オキソニウム化合物、スチリルベンゼン系化合物、芳香族ジメチリディン系化合物などが好ましく使用される。また、有機発光層以外の各層には、それぞれに公知の材料を使用することができる。
第二電極50は、前記第一電極20上に前記絶縁層30が存在しない画素領域A上で前記第一電極20と交差する複数の帯状の電極であり、通常、第二電極50は、第一電極20に直交して配置される。
第二電極50は、通常、金、銀、アルミニウム、銅などの良導性の金属またはそれらを主成分とする合金からなる導電膜を、前記有機EL層40に密着させて形成する。第二の電極50の形成法として、有機EL層40に悪影響を与えない条件で導電膜を形成できる方法であればよく、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマCVD法などの蒸着法、メッキ法などを採用することができる。
第二電極50の形成には、第二電極50のパターンを有するマスクやメッキレジストを通常用いるが、これらのマスクやメッキレジストを用いない場合には、第二電極50間に電気絶縁性の分離隔壁60が設けられる。この分離隔壁60は第二電極50のパターニング機能を有することから、マスクやメッキレジストの代わりに使用することができる。
第二電極50の分離隔壁60は、アクリレート、ノボラック樹脂などを主体としたネガ型またはポジ型のフォトレジストを用いフォトリソグラフ法により形成してもよく、また、絶縁膜30上に酸化ケイ素、窒化ケイ素など無機絶縁膜、絶縁性炭素膜を形成し、それらをエッチングして形成してもよい。ドライプロセスで分離隔壁60を形成できる無機絶縁膜または絶縁性炭素を採用することが好ましい。
上記積層体からなる有機EL発光素子の全体を、最後に封止材料を用いて封止することにより、有機ELディスプレパネルが作製される。封止方法として、第二電極50を形成した後、酸化シリコン、酸化窒化シリコンなどの無機膜を有機発光素子の全体に連続的に形成する方法、ガラス板、ポリカーボネートなどのプラスチック板、ステンレス鋼(SUS)などの金属板、あるいはそれらで作製された筐体や缶体を、接着剤、たとえばUV硬化性樹脂を主成分とする接着剤、を用いて透明支持基板に接着する方法などを採用することができる。
第一電極20の形成
透明支持基板10を洗浄後、スパッタリング装置内に装着し、ターゲットとしてIn−Zn酸化物ターゲットを、スパッタガスとしてArを用いたDCスパッタ法により、前記基板10上に室温で透明なIn−Zn酸化物膜を200nm厚さに積層した。得られたInーZn酸化物膜上にレジストを塗布し、フォトリソグラフにより前記レジストをパターニングした後、エッチング液としてシュウ酸を用いて前記In−Zn酸化物膜をエッチングし、ピッチ0.195mmで配線幅100μmの透明な第一電極20を形成した。
透明支持基板10を洗浄後、スパッタリング装置内に装着し、ターゲットとしてIn−Zn酸化物ターゲットを、スパッタガスとしてArを用いたDCスパッタ法により、前記基板10上に室温で透明なIn−Zn酸化物膜を200nm厚さに積層した。得られたInーZn酸化物膜上にレジストを塗布し、フォトリソグラフにより前記レジストをパターニングした後、エッチング液としてシュウ酸を用いて前記In−Zn酸化物膜をエッチングし、ピッチ0.195mmで配線幅100μmの透明な第一電極20を形成した。
絶縁層30の形成
前記第一電極20を形成した基板10をプラズマCVD装置内に装着し、原料ガスとしてCH4を用い、成膜圧力40Pa、パワー10Wの条件で前記第一電極20上および基板10上の第一電極間にダイヤモンドライクカーボン膜を300nm厚さで積層した。得られたダイヤモンドライクカーボン膜の抵抗率は、5.0×1012Ω・cmであった。
前記第一電極20を形成した基板10をプラズマCVD装置内に装着し、原料ガスとしてCH4を用い、成膜圧力40Pa、パワー10Wの条件で前記第一電極20上および基板10上の第一電極間にダイヤモンドライクカーボン膜を300nm厚さで積層した。得られたダイヤモンドライクカーボン膜の抵抗率は、5.0×1012Ω・cmであった。
第一電極20と第二電極50とが交差して対向する領域の縁部に沿って、第一電極上のダイヤモンドライクカーボン膜を、波長248nmのエキシマレーザーを用い、1L/minの酸素雰囲気下、出力10W、スポット径5μmで走査してエッチングし、画素数320×240×RGB、画素ピッチ0.195mmの画素領域Aを形成した。これにより、第一電極20上の画素領域A以外の領域および第一電極20間に絶縁層30が形成された。
有機EL層40の積層
透明な第一電極20および絶縁層30を形成した基板を抵抗加熱蒸着装置内に装着し、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層および電子注入層を、真空度1×10−5Paの条件で真空を破らずに順次積層し、有機EL層40を形成した。正孔注入層として銅フタロシアニン(CuPu)を100nm、正孔輸送層として4,4´−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(α―NPD)を20nm、有機発光層として4,4´−ビス(2,2´−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)を30nm、および電子注入層としてアルミキレート(Alq)を20nm積層した。
透明な第一電極20および絶縁層30を形成した基板を抵抗加熱蒸着装置内に装着し、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層および電子注入層を、真空度1×10−5Paの条件で真空を破らずに順次積層し、有機EL層40を形成した。正孔注入層として銅フタロシアニン(CuPu)を100nm、正孔輸送層として4,4´−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(α―NPD)を20nm、有機発光層として4,4´−ビス(2,2´−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)を30nm、および電子注入層としてアルミキレート(Alq)を20nm積層した。
第二電極50の形成
前記抵抗加熱蒸着装置内において、第一電極20に垂直な幅0.165mm、空隙0.03mmのストライプパターンが得られるマスクを用い、前記積層された有機EL層40上に、Mg/Ag=10/1(重量比)からなる厚さ200nmの第二電極50を、引き続き真空を破らずに積層した。
前記抵抗加熱蒸着装置内において、第一電極20に垂直な幅0.165mm、空隙0.03mmのストライプパターンが得られるマスクを用い、前記積層された有機EL層40上に、Mg/Ag=10/1(重量比)からなる厚さ200nmの第二電極50を、引き続き真空を破らずに積層した。
以上で得られた積層体(有機発光素子)を、酸素濃度および水分濃度が共に10ppm以下の乾燥窒素雰囲気下のグローブボックス内において、封止ガラスおよび硬化接着剤を用いて封止して有機ELモノクロディスプレイパネルを作製した。
実施例1において、ダイヤモンドライクカーボン膜のエキシマレーザーによるパターニング法を、以下に示すエキシマランプを用いた紫外線照射によるパターニング法に代えた以外は、実施例1と同様に処理して有機ELモノクロディスプレイパネルを作製した。
画素領域Aに相当する開口部を有するマスクを、ダイヤモンドライクカーボン膜とエキシマランプとの間に装着し、エキシマランプとダイヤモンドカーボン膜との間隙を1mmに調整し、大気下において波長172nm、50mW/cm2の紫外線をダイヤモンドライクカーボン膜に照射して画素領域Aをエッチングすると共に、第一電極20上の画素領域A以外の領域および第一電極20間に絶縁層30を形成した。
(比較例1)
実施例1において、絶縁層30のダイヤモンドライクカーボン膜を、ポジ型フォトレジスト(JEM 700−R2、JSR製)に代え、絶縁層30の形成方法をフォトリソグラフ法に代えた以外は、実施例1と同様に処理し、比較用の有機ELモノクロディスプレイパネルを作製した。本比較例において、絶縁層の厚さは1μmとした。
実施例1において、絶縁層30のダイヤモンドライクカーボン膜を、ポジ型フォトレジスト(JEM 700−R2、JSR製)に代え、絶縁層30の形成方法をフォトリソグラフ法に代えた以外は、実施例1と同様に処理し、比較用の有機ELモノクロディスプレイパネルを作製した。本比較例において、絶縁層の厚さは1μmとした。
(評価試験)
実施例1、2および比較例で作製したパネルのそれぞれについて、駆動周波数60Hzの線順次走査および1画素当たりの電流量75μAの駆動条件で1000時間の駆動試験を行い、パネルの輝度変化および非発光面積を評価した。評価結果を表2に示す。
実施例1、2および比較例で作製したパネルのそれぞれについて、駆動周波数60Hzの線順次走査および1画素当たりの電流量75μAの駆動条件で1000時間の駆動試験を行い、パネルの輝度変化および非発光面積を評価した。評価結果を表2に示す。
本発明の有機ELディスプレイパネルは、表2に示した評価結果から、1000時間の駆動試験後においても、非発光面積が小さく、かつ輝度保持率の低下が抑制されていることが確認できる。
10 基板
20 第一電極
30 絶縁層
40 有機EL層
50 第二電極
60 第二電極の分離隔壁
20 第一電極
30 絶縁層
40 有機EL層
50 第二電極
60 第二電極の分離隔壁
Claims (10)
- 基板と、該基板上の複数の互いに平行な第一電極と、該第一電極に交差して対向配置された複数の互いに平行な第二電極と、前記第一電極および第二電極間に配置された少なくとも有機発光層を含む有機EL層とを備え、前記第一電極上の前記第一電極と前記第二電極とが重なり合う交差領域(画素領域)以外の領域および第一電極間に絶縁層が配置されたパッシブマトリクス有機ELディスプレイパネルであって、前記絶縁層が、106Ω・cm以上の抵抗率を有する絶縁性炭素膜からなることを特徴とする有機ELディスプレイパネル。
- 前記絶縁性炭素膜が、10%未満の酸素、窒素、水素またはそれらの2種以上を含んでいてもよい請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 前記絶縁性炭素膜が、ダイヤモンドライクカーボンである請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 前記有機発光層を含む有機EL層が、有機発光層の単独、正孔注入層/有機発光層、有機発光層/電子注入層、正孔注入層/有機発光層/電子注入層、正孔注入層/正孔輸送層/有機発光層/電子注入層よりなる群から選択される層構成を陽極−陰極間に有する請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 第二の電極間に電気絶縁性の分離隔壁を備える請求項1に記載の有機ELディスプレイパネル。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のパッシブマトリクス有機ELディスプレイパネルの製造方法であって、
基板上に、複数の透明な第一電極を互いに平行に配置して形成する工程、
前記第一の電極を形成した前記基板上に、106Ω・cm以上の抵抗率を有する絶縁性炭素膜を蒸着する工程、
前記絶縁性炭素膜を所定の画素領域のパターンにパターニングする工程、
前記パターニングされた絶縁性炭素膜を有する基板上に、有機発光層を含む有機EL層を形成する工程、
前記有機EL層上に複数の第二電極を前記第一電極と交差させ、第一電極と第二電極との交差領域を前記絶縁性炭素膜の画素領域のパターンに対応配置させて形成する工程、
および
積層された全体を封止する工程、
を含むことを特徴とする有機ELディスプレイパネルの製造方法。 - 前記絶縁性炭素膜がダイヤモンドライクカーボンであり、CH4を用いるプラズマCVD法により蒸着する請求項6に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。
- 前記絶縁性炭素膜のパターニング方法が、レーザーエッチング、紫外線エッチングおよび酸素プラズマエッチングよりなる群から選択されるエッチング法である請求項6に記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の有機ELディスプレイパネルを具備することを特徴とする有機ELディスプレイ装置。
- 請求項6〜8のいずれかに記載の方法で製造された有機ELディスプレイパネルを具備することを特徴とする有機ELディスプレイ装置。
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JP2005084854A JP2006269225A (ja) | 2005-03-23 | 2005-03-23 | 有機elディスプレイパネルおよびその製造方法、ならびに該ディスプレイパネルを具備した有機elディスプレイ装置 |
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---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-03-23 JP JP2005084854A patent/JP2006269225A/ja not_active Withdrawn
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