JP2006261357A - バンプ形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バンプ形成装置10は、トレーローダ部12、供給・収納トレイ14を備え、また、バンプを形成するための2つのボンディングステージ24,26を有するバンプ形成部20、バンプ高さを揃えるための2つの保持ステージを有するレベラーステージ44を含むレベラー部40、チップを保持して供給・収納トレイ14−バンプ形成部20における2つのボンディングステージ24,26−レベラー部40における2つの保持ステージ−供給・収納トレイ14の間を持ちまわるためのチップコレット搬送部60を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- チップに高さの揃った複数のバンプを形成するバンプ形成装置において、
チップを供給する供給トレイと、
チップに複数のバンプを形成するバンプ形成部であって、2以上のバンプステージを有し、一つのバンプステージでチップにバンプを形成するとき他のバンプステージは次にバンプ形成を行うチップあるいはすでにバンプが形成されたチップを待機させるバンプ形成部と、
形成された複数のバンプの高さを揃えるレベラー部であって、2以上のレベラーステージを有し、一つのレベラーステージでバンプの高さを揃えるとき他のレベラーステージは次の高さを揃えるバンプ付チップあるいは既に高さを揃えたバンプ付チップを待機させるレベラー部と、
バンプの高さの揃ったチップを収納する収納トレイと、
供給トレイとバンプ形成部とレベラー部と収納トレイとの間において、チップコレットを用いてチップを受け渡し及び搬送を行うチップコレット搬送部と、
バンプ形成のサイクルタイムを制御する制御部と、
を備え、
制御部は、
供給トレイにおいてチップコレットに第1チップを把持させる手段と、
第1チップを把持したチップコレットを移動させ、バンプ形成部のこれからバンプ形成を行う方のバンプステージに位置決め配置させる手段と、
空いているチップコレットを既にバンプ形成が終了した方のバンプステージに移動させ、そこにおいて既にバンプが形成されて待機している第2チップを把持させる手段と、
第2チップを把持したチップコレットを移動させ、レベラー部のこれから高さ揃えを行う方のレベラーステージに位置決め配置させる手段と、
空いているチップコレットを既にバンプ高さ揃えが終了した方のレベラーステージに移動させ、そこにおいて既に高さが揃えられ待機している第3チップを把持させる手段と、
第3チップを把持したチップコレットを移動させ、収納トレイに位置決め配置して収納させる手段と、
を含むことを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項1に記載のバンプ形成装置において、供給トレイから出発して収納トレイに至る搬送サイクルタイムよりも、1つのバンプステージ当たりのバンプ形成に要するサイクルタイム及び1つのレベラーステージ当たりのバンプの高さを揃えるサイクルタイムを短く制御することを特徴とするバンプ形成装置。
- 請求項1に記載のバンプ形成装置において、
チップコレット搬送部は、
バンプがまだ形成されていないバンプ無チップを把持する把持形状を有するバンプ無チップ用チップコレットと、
バンプが既に形成されているバンプ有チップを把持する把持形状を有するバンプ有チップ用チップコレットと、
を有し、
制御部は、バンプ無チップ及びバンプ有チップに応じて、チップコレット搬送部が使用するチップコレットを選択することを特徴とするバンプ形成装置。 - 請求項1に記載のバンプ形成装置において、
レベラー部は、
複数のレベラーステージが移動方向に配列されたスライド式のレベラー台であって、バンプを任意に設定された高さに押して揃える押し付け機構の作業領域にいずれか1つのレベラーステージを移動させるレベラー台を有することを特徴とするバンプ形成装置。
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