JP2006261192A - シリコンウェーハの処理方法及び該方法を実施する装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸素を含むシリコンウェーハ4に波長が7μm以上25μm以下の赤外線を赤外線照射源3から照射しつつ,フラッシュランプからなる加熱源2に依って、室温以上に加熱することが基本になっている。
【選択図】 図1
Description
(A) DZ幅と酸素析出物密度の深さ方向制御
(B) DZ幅と酸素析出物密度の面内制御
(C) プロセスドウェーハに於けるDZ幅と酸素析出物密度の制御
の3項目について更に詳細に説明する。
これまではDZ幅と酸素析出物密度を個々に制御することは不可能であったが、本発明によれば、DZ幅と酸素析出物密度を個々に制御することができる。一般に、デバイスの品種とテクノロジーによって、必要とするデバイス活性層の特性、即ち、DZ幅とゲッタリング能力(酸素析出物密度)は様々であり、本発明では、デバイスに応じてDZ幅と酸素析出物密度を個々に制御可能であるから、デバイスの製造歩留まり、及び、信頼性は向上する。
通常、半導体装置を作製する際の加熱工程では、加熱によって生じる熱応力が原因となってスリップが発生するのを防ぐ為、加熱温度の均一性が要求される。これは、換言すると、加熱によって形成される酸素析出物の分布がウェーハ面内に亙って均一であることを示すものである。
一般に、鏡面研磨状態のウェーハを作り上げた後、ウェーハ表層の品質向上を目的として熱処理を施したウェーハのことをプロセスド(processed)ウェーハ、又は、アニールドウェーハと呼んでいる。
酸素を含むシリコンウェーハに波長が7μm以上25μm以下の赤外線を照射しつつ室温以上で加熱すること
を特徴とするシリコンウェーハの処理方法。
シリコンウェーハの照射面における赤外線の強度が100mW/cm2 以上であることを特徴とする(付記1)記載のシリコンウェーハの処理方法。
加熱時間が10秒以上であること
を特徴とする(付記1)或いは(付記2)記載のシリコンウェーハの処理方法。
シリコンウェーハは、赤外線照射前に1×105 個/cm3 以上の酸素析出物を含有すること
を特徴とする(付記1)乃至(付記3)の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法。
シリコンウェーハは、赤外線照射前に1×105 個/cm4 以上のボイド欠陥を含有すること
を特徴とする(付記1)乃至(付記4)の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法。
シリコンウェーハは、表面から深さ3μm以内に厚さが1nm以上の酸化層が形成されてなるものであること
を特徴とする(付記1)乃至(付記5)の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法。
シリコンウェーハの一部或いは全てに赤外線を照射すること
を特徴とする(付記1)乃至(付記6)の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法。
シリコンウェーハは、赤外線照射前にシリコン及び酸素と窒素の少なくとも何れかを含む薄膜が形成されたものであること
を特徴とする(付記1)乃至(付記3)の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法。
(付記1)乃至(付記3)の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法に於ける条件で赤外線を照射する機能をもつ装置部分と、
該装置部分に依る赤外線照射と同時に加熱処理を施す機能をもつ装置部分と
を備えてなることを特徴とするシリコンウェーハの処理装置。
照射される赤外線が炭酸ガスレーザーで発生させたものであること
を特徴とする(付記1)乃至(付記8)の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法。
2 フラッシュランプからなる加熱源
3 赤外レーザーからなる赤外線照射源
4 シリコンウェーハ
Claims (5)
- 酸素を含むシリコンウェーハに波長が7μm以上25μm以下の赤外線を照射しつつ室温以上で加熱すること
を特徴とするシリコンウェーハの処理方法。 - シリコンウェーハの照射面における赤外線の強度が100mW/cm2 以上であることを特徴とする(付記1)記載のシリコンウェーハの処理方法。
- 加熱時間が10秒以上であること
を特徴とする(付記1)或いは(付記2)記載のシリコンウェーハの処理方法。 - シリコンウェーハは、赤外線照射前にシリコンと酸素と窒素の少なくとも2種類以上からなる薄膜が形成されたものであること
を特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1記載のシリコンウェーハの処理方法に於ける条件で赤外線を照射する機能をもつ装置部分と、
該装置部分に依る赤外線照射と同時に加熱処理を施す機能をもつ装置部分と
を備えてなることを特徴とするシリコンウェーハの処理装置。
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JP2005072770A JP2006261192A (ja) | 2005-03-15 | 2005-03-15 | シリコンウェーハの処理方法及び該方法を実施する装置 |
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Country | Link |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5534416A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-11 | Hitachi Ltd | Method of manufacturing semiconductor device |
JPS5844726A (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ゲッタリング方法 |
JPH04144235A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Kawasaki Steel Corp | 半導体ウェーハおよびその製造方法 |
JP2004095613A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Fujitsu Ltd | 不純物拡散方法、半導体装置、および半導体装置の製造方法 |
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2005
- 2005-03-15 JP JP2005072770A patent/JP2006261192A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5534416A (en) * | 1978-09-01 | 1980-03-11 | Hitachi Ltd | Method of manufacturing semiconductor device |
JPS5844726A (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ゲッタリング方法 |
JPH04144235A (ja) * | 1990-10-05 | 1992-05-18 | Kawasaki Steel Corp | 半導体ウェーハおよびその製造方法 |
JP2004095613A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Fujitsu Ltd | 不純物拡散方法、半導体装置、および半導体装置の製造方法 |
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