JP2006258822A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】使用中にＸ線ラインセンサが使用に耐えない状態になることが抑えられるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線を使用して物品の検査を行うＸ線検査装置１０であって、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、制御コンピュータ２０とを備える。Ｘ線照射器１３は、Ｘ線を照射する。Ｘ線ラインセンサ１４は、Ｘ線照射器１３からのＸ線を検知する。制御コンピュータ２０は、Ｘ線ラインセンサ１４の検出レベルに基づきＸ線ラインセンサ１４の使用が不可であると判断した場合に、Ｘ線ラインセンサ１４の使用が不可である旨を報知する。
【選択図】図５

Description

本発明は、Ｘ線検査装置、特に、Ｘ線源及びＸ線ラインセンサを使用して物品の検査を行うＸ線検査装置に関する。

食品などの商品の生産ラインにおいては、商品への異物混入や商品の割れ欠けがある場合にそのような商品を出荷しないために、Ｘ線検査装置により検査が為されることがある。このＸ線検査装置では、連続搬送されてくる各被検査物品に対してＸ線を照射し、そのＸ線の透過状態をＸ線ラインセンサで検出して、物品中に異物が混入していないか、あるいは物品に割れ欠けが生じていたり物品内の単位物（単品）の数量が不足していたりしないかを判別する。また、Ｘ線検査装置によって、物品内の単位物の数量を数える検査が行われることもある。

Ｘ線検査装置において不良と判断された物品は、後段の振分装置によって不良品として振り分けられる。物品に異物が混入していたといった危機的な不良が見つかった場合には、生産ラインを止めて上流の装置等の点検を行い、原因が究明される。一方、割れ欠けや数量不足といった不良の場合には、取り替えや数量合わせを行って再び生産ラインに戻されることが多い。また、Ｘ線検査装置によって単位物の数量を数える場合には、後工程にてその数が印刷されたラベルを貼り付けるようなことが行なわれている。

上記のようなＸ線検査装置では、Ｘ線を物品に向けて照射するＸ線源と、そのＸ線の透過状態を検出するＸ線ラインセンサとが用いられる。Ｘ線ラインセンサは高価な消耗品であり、従来においては、メーカーの推奨する所定の交換時間、例えば２００００時間といった交換時間が経過したときに交換することが行われている。

しかし、メーカーの推奨する交換時間は目安であり、実際に交換が必要な時期は、使用状態、検査対象の物品のＸ線透過度、周囲の雰囲気の状態などに左右される。したがって、メーカー推奨の交換時間がくる前にＸ線ラインセンサの寿命がなくなることがある。

本発明の課題は、使用中にＸ線ラインセンサが使用に耐えない状態になることが抑えられるＸ線検査装置を提供することにある。

請求項１に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を使用して物品の検査を行うＸ線検査装置であって、Ｘ線源と、Ｘ線ラインセンサと、制御部とを備える。Ｘ線源は、Ｘ線を照射する。Ｘ線ラインセンサは、Ｘ線源からのＸ線を検知する。制御部は、第１検出レベルに基づきＸ線ラインセンサの使用が不可であると判断した場合に、Ｘ線ラインセンサの使用が不可である旨の報知を行う。第１検出レベルは、Ｘ線源からＸ線ラインセンサにＸ線を照射していない状態におけるＸ線ラインセンサの検出レベルである。

請求項２に係るＸ線検査装置は、請求項１に記載のＸ線検査装置であって、制御部は、第１検出レベルと、第２検出レベルとの差に基づきＸ線ラインセンサの使用が不可であると判断した場合に、上記報知を行う。第２検出レベルは、Ｘ線源からＸ線ラインセンサにＸ線を照射している状態におけるＸ線ラインセンサの検出レベルである。

請求項３に係るＸ線検査装置は、請求項２に記載のＸ線検査装置であって、第２検出レベルは、物品がＸ線源とＸ線ラインセンサとの間に存在していない状態におけるＸ線ラインセンサの検出レベルである。

請求項４に係るＸ線検査装置は、請求項１から請求項３のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、蓄積部をさらに備える。蓄積部は、検出レベルを蓄積する。制御部は、蓄積部に蓄積された検出レベルに基づいて、Ｘ線ラインセンサの使用が不可であるか否かを判断する。

本発明では、制御部が、Ｘ線ラインセンサの検出レベルに基づきＸ線ラインセンサの使用が不可であると判断した場合に、Ｘ線ラインセンサの使用が不可である旨を報知する。したがって、Ｘ線検査装置の使用中にＸ線ラインセンサが使用に耐えない状態になることを抑えることができる。

本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の外観を、図１に示す。このＸ線検査装置１０は、食品等の商品の生産ラインにおいて品質検査を行う装置の１つであって、連続的に搬送されてくる商品に対してＸ線を照射して、商品を透過したＸ線量を基に商品の不良判断を行う装置である。

Ｘ線検査装置１０の被検査物品である商品Ｇは、図４に示すように、前段コンベア６０によりＸ線検査装置１０に運ばれてくる。商品Ｇは、Ｘ線検査装置１０において異物混入の有無が判断される。このＸ線検査装置１０での判断結果は、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置される振分機構７０に送られる。振分機構７０は、商品ＧがＸ線検査装置１０において良品と判断された場合には商品Ｇを正規のラインコンベア８０へと送り、商品ＧがＸ線検査装置１０において不良品と判断された場合には商品Ｇを不良品貯留コンベア９０へと振り分ける。

＜Ｘ線検査装置の構成＞
Ｘ線検査装置１０は、図１及び図２に示すように、主として、シールドボックス１１と、コンベア１２と、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、タッチパネル機能付きのＬＣＤモニタ３０と、Ｘ線漏洩量センサ４０と、制御コンピュータ２０（図５参照）とから構成されている。

〔シールドボックス〕
シールドボックス１１は、両側面に、商品を搬出入するための開口１１ａを有している。このシールドボックス１１の中に、コンベア１２、Ｘ線照射器１３、Ｘ線ラインセンサ１４、制御コンピュータ２０などが収容されている。

なお、図１には図示していないが、開口１１ａは、シールドボックス１１の外部へのＸ線の漏洩を抑えるための遮蔽ノレンにより塞がれている。この遮蔽ノレンは、鉛を含むゴムから成形されるもので、商品が搬出入されるときには商品により押しのけられる。

また、シールドボックス１１の正面上部には、ＬＣＤモニタ３０の他、キーの差し込み口や電源スイッチが配置されている。

〔コンベア〕
コンベア１２は、シールドボックス１１内において被検査物品を搬送するものであり、図５に示すコンベアモータ１２ａにより駆動する。コンベア１２による搬送速度は、使用者が入力した設定速度になるように、制御コンピュータ２０によるコンベアモータ１２ａのインバータ制御によって細かく制御される。

〔Ｘ線照射器〕
Ｘ線照射器１３は、図２に示すように、コンベア１２の上方に配置されており、下方のＸ線ラインセンサに向けて扇状のＸ線（図２の斜線範囲Ｘを参照）を照射する。

〔Ｘ線ラインセンサ〕
Ｘ線ラインセンサ１４は、コンベア１２の下方に配置されており、商品Ｇやコンベア１２を透過してくるＸ線を検出する。このＸ線ラインセンサ１４は、図３に示すように、１列に並べられた８つのユニットから構成されている。各ユニットは、コンベア１２による搬送方向に直交する向きに一直線に配置された多くの画素１４ａを有している。

〔ＬＣＤモニタ〕
ＬＣＤモニタ３０は、フルドット表示の液晶ディスプレイである。また、ＬＣＤモニタ３０は、タッチパネル機能を有しており、初期設定や不良判断に関するパラメータ入力などを促す画面の表示も行う。

〔Ｘ線漏洩量センサ〕
Ｘ線漏洩量センサ４０は、線量当量率を常時表示するものであり、図１及び図４に示すように、シールドボックス１１の両開口１１ａの近傍に取り付けられている。このＸ線漏洩量センサ４０が常にＸ線の漏洩量を表示するため、Ｘ線検査装置１０の近くで作業する者が心理的に安心を得ることができる。

〔制御コンピュータ〕
制御コンピュータ２０は、図５に示すように、ＣＰＵ２１を搭載するとともに、このＣＰＵ２１が制御する主記憶部としてＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３、及びＨＤＤ（ハードディスク）２５を搭載している。また、制御コンピュータ２０は、フロッピー（登録商標）ディスクとの入出力を行うＦＤＤ（フロッピー（登録商標）ディスクドライブ）２４も有している。

さらに、制御コンピュータ２０は、ＬＣＤモニタ３０に対するデータ表示を制御する表示制御回路、ＬＣＤモニタ３０のタッチパネルからのキー入力データを取り込むキー入力回路、図示しないプリンタにおけるデータ印字の制御等を行うためのＩ／Ｏポート等を備えている。

そして、ＣＰＵ２１、ＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３、ＦＤＤ２４、ＨＤＤ２５などは、アドレスバス，データバス等のバスラインを介して相互に接続されている。

また、制御コンピュータ２０は、コンベアモータ１２ａ、ロータリエンコーダ１２ｂ、光電センサ１５、Ｘ線照射器１３、Ｘ線ラインセンサ１４、Ｘ線漏洩量センサ４０等と接続されている。

ロータリエンコーダ１２ｂは、コンベアモータ１２ａに装着され、コンベア１２の搬送速度を検知して制御コンピュータ２０に送る。この搬送速度のデータは、所定の時間間隔毎に、ＨＤＤ２５内の搬送速度ファイル２５ｃに記憶・蓄積される。

光電センサ１５は、被検査物品である商品ＧがＸ線ラインセンサ１４の位置にくるタイミングを検知するための同期センサであり、コンベアを挟んで配置される一対の投光器及び受光器から構成されている。

Ｘ線漏洩量センサ４０により検出されるＸ線漏洩量のデータは、制御コンピュータ２０が所定の時間間隔で取得し、ＨＤＤ２５内のＸ線漏洩量ファイル２５ｂに記憶・蓄積される。

＜制御コンピュータによる物品不良の判断＞
〔Ｘ線画像作成〕
制御コンピュータ２０は、光電センサ１５からの信号を受けて、商品Ｇが扇状のＸ線照射部（図２参照）を通過するときに、Ｘ線ラインセンサ１４によるＸ線透視像信号（図３参照）を細かい時間間隔で取得して、それらのＸ線透視像信号を基にして商品ＧのＸ線画像を作成する。

〔物品不良判断〕
そして、制御コンピュータ２０は、得られたＸ線画像から、複数の判断方式によって物品の良・不良を判断する。判断方式には、例えば、トレース検出方式、２値化検出方式、マスク２値化検出方式などがある。これらの判断方式で判断した結果、１つでも不良と判断するものがあれば、その商品Ｇは不良品と判断される。

トレース検出方式及び２値化検出方式は、画像のマスクされていない領域に対して判断を行う。一方、マスク２値化方式は、画像のマスクされている領域に対して判断を行う。マスクは、商品Ｇの容器部分などに対して設定される。

トレース検出方式は、被検出物の大まかな厚さに沿って基準レベル（しきい値）を設定し、像がそれよりも暗くなったときに商品Ｇ内に異物が混入していると判断する方式である。この方式では、比較的小さな異物を検出することができる。

２値化検出方式及びマスク２値化方式は、一定の明るさに基準レベルを設定し、像がそれよりも暗くなったときに商品Ｇ内に異物が混入していると判断する方式である。この２値化検出方式は、比較的大きい異物を検出するために設定されている。

各判断方式における基準レベルやマスク領域については、ＬＣＤモニタ３０のタッチパネル機能を使った使用者からの入力によって、設定及び変更が為される。

〔表示制御〕
制御コンピュータ２０は、通常の検査中においては、得られた商品ＧのＸ線画像及び各判断方式による判断に関する情報をＬＣＤモニタ３０に表示させる。

＜制御コンピュータによる検出レベルの診断＞
次に、Ｘ線照射器１３及びＸ線ラインセンサ１４の交換時期を推定するＸ線検出レベルの診断機能について説明する。

〔データ蓄積〕
Ｘ線検査装置１０の電源投入時、あるいはＸ線検出レベル診断モードの選択時には、制御コンピュータ２０がＸ線の検出レベルの診断テストを行う。この診断テストでは、Ｘ線照射器１３からＸ線を照射していない状態においてＸ線ラインセンサ１４の検出レベル（ダークレベル）を測定するダークレベル測定と、コンベア１２に何も載せない状態でＸ線照射器１３からＸ線を照射してＸ線ラインセンサ１４の検出レベル（ブライトレベル）を測定するブライトレベル測定とが行われ、各データがＨＤＤ２５内の検出レベルファイル２５ａに記憶・蓄積される。また、ブライトレベルとダークレベルとの差（以下、検知レベルという。）のデータも、検出レベルファイル２５ａに記憶・蓄積される。すなわち、検出レベルファイル２５ａには、ブライトレベル、ダークレベル、及び検知レベルの経時変化が記憶される。

これらの各レベルのデータは、Ｘ線ラインセンサ１４の各ユニット５１〜５８に対してそれぞれ記憶されていく。

なお、通常は少なくとも数日に１度はＸ線検査装置１０の電源投入が為され、上記診断テストが長い間行われないという事態は発生しないと思われるが、それを防止するために、例えば、２４時間毎に自動的にＸ線検出レベル診断モードへの移行を促すようなメッセージをＬＣＤモニタ３０に表示するようにしてもよい。

制御コンピュータ２０は、上記診断テストを終えた後、図６に示す画面をＬＣＤモニタ３０に表示する。ここには、現在の各レベルの数値以外に、各レベルの経時変化を表すグラフや、残使用可能時間が表示される。残使用可能時間は、検知レベルが所定の下限値を下回ると予想される時までの時間であって、検知レベルの過去の経時変化を基に制御コンピュータ２０により演算される。

〔警告制御〕
診断テスト後の制御コンピュータ２０による残使用可能時間の演算において現在の検知レベルが所定の下限値を下回っていると判断された場合には、制御コンピュータ２０は、ＬＣＤモニタ３０を使って警告表示を行う（図７参照）。ここでは、「警告 Ｘ線検査不可」という大きな文字表示を行い、Ｘ線照射器１３あるいはＸ線ラインセンサ１４を交換しなければＸ線検査装置１０が使えないことを使用者に知らしめる。

また、図示しないが、残使用可能時間が管理上の下限値（例えば、２０時間）を下回るようになったときには、Ｘ線照射器１３あるいはＸ線ラインセンサ１４の交換を促す画面表示を行う。

なお、図６や図７に示す診断結果及び警告画面に表されているものは、８つのユニット５１〜５８の最も悪いものの結果である。それぞれのユニットの結果については、初期設定で設定することで、順番にＬＣＤモニタ３０に表示させることも可能である。

＜制御コンピュータによるコンベアの故障発見＞
次に、コンベア１２の故障を発見するための制御について説明する。

〔データ蓄積〕
上記のように、コンベアモータ１２ａに装着されているロータリエンコーダ１２ｂから送られるコンベア１２の搬送速度のデータは、所定の時間間隔毎に、ＨＤＤ２５内の搬送速度ファイル２５ｃに記憶・蓄積される。具体的には、実際のコンベア１２の搬送速度のデータが、使用者により設定されている搬送速度とともに記憶される。

〔警告制御〕
制御コンピュータ２０は、実際の搬送速度と設定されている搬送速度との差の絶対値あるいは偏差値を監視して、その差が所定のしきい値よりも大きくなったときにＬＣＤモニタ３０により警告表示を行う。また、メンテナンスモードなどにおいて使用者が搬送速度関係のデータの表示を要求したときには、制御コンピュータ２０は、各データの経時変化をグラフ表示したものをＬＣＤモニタ３０に表示する。

また、制御コンピュータ２０は、実際の搬送速度と設定されている搬送速度との差が次第に大きくなってきているときには、その旨をＬＣＤモニタ３０に表示して注意を促す。

これにより、使用者は、コンベア１２やコンベアモータ１２ａが故障したり制御通りに動かなくなったりしたときに、その不具合をいち早く認識することができるようになっている。

＜制御コンピュータによるＸ線漏洩量の表示＞
次に、Ｘ線検査装置１０のシールドボックス１１の開口１１ａから漏洩するＸ線量の表示制御について説明する。

〔データ蓄積〕
上記のように、制御コンピュータ２０は、Ｘ線漏洩量センサ４０により検出されるＸ線漏洩量のデータを、所定の時間間隔で取得してＨＤＤ２５内のＸ線漏洩量ファイル２５ｂに記憶・蓄積する。

〔警告制御〕
制御コンピュータ２０は、Ｘ線漏洩量ファイル２５ｂに蓄積されていくＸ線漏洩量のデータを基に、漏洩したＸ線の積算量を演算する。そして、この積算量が所定量を超えたときに、いつからの積算値がどのような数値を超えたのかに関する情報をＬＣＤモニタ３０に表示する。

＜Ｘ線検査装置の主な特徴＞
（１）
Ｘ線ラインセンサ１４の検出レベルは、通常、Ｘ線照射器１３の消耗やＸ線ラインセンサ１４の消耗によって、だんだんと低下していく。本実施形態のＸ線検査装置１０では、その低下の経時変化を監視しうるように、Ｘ線ラインセンサ１４の検出レベルの経時変化を、ＨＤＤ２５の検出レベルファイル２５ａに記憶・蓄積させている。

このため、Ｘ線検査装置１０の使用者は、図６に示すような画面表示によってＸ線ラインセンサ１４の検出レベルの経時変化を知ることができるようになり、Ｘ線照射器１３やＸ線ラインセンサ１４が使用に耐えない状態になる前にこれらを交換するようになることが期待できる。したがって、メーカー推奨の交換時間がくる前にＸ線照射器１３やＸ線ラインセンサ１４の寿命がなくなり、使用中に突然Ｘ線検査装置１０の使用ができなくなるといったトラブルが少なくなる。

例えば、図７に示す警告画面を見た使用者は、同時に使用し始めたＸ線照射器１３とＸ線ラインセンサ１４との使用時間が９２１１時間に達しており、少なくとも一方を交換しなければならないことを認識する。そして、通常、Ｘ線照射器１３のほうがＸ線ラインセンサ１４よりも寿命が短く、メーカーの取扱説明書にも推奨する交換時間の目安が記載されていることから、使用者は、まずＸ線照射器１３を交換することになる。交換したときには、ＬＣＤモニタ３０のタッチパネル機能を用いてＸ線照射器１３の使用時間をリセットして０に戻す。このようにしておけば、使用者は、次回の交換の際にも、Ｘ線照射器１３及びＸ線ラインセンサ１４の累計使用時間をチェックしつつ、どちらを交換すればよいかを判断することができるようになる。

（２）
本実施形態のＸ線検査装置１０では、複数のユニット５１〜５８からＸ線ラインセンサ１４が構成されている。これらのユニット５１〜５８は、図２や図３に示すように検査対象である商品Ｇにより遮られるＸ線量がそれぞれ異なり、また、Ｘ線照射器１３からの距離も異なる。このため、ユニット５１〜５８は、それぞれ寿命が異なることになる。

これに鑑み、ここでは、ユニット５１〜５８それぞれに対して、検出レベルの経時変化を検出レベルファイル２５ａに記憶させている。そして、それぞれのユニット５１〜５８のＸ線の検出レベルの診断結果については、それぞれＬＣＤモニタ３０に表示させることができるように構成している。

このため、各ユニット５１〜５８それぞれの寿命の推測も可能であり、ユニット５１〜５８単位で適切な交換時期に交換を行うことも可能となっている。これにより、交換が必要なユニットだけを順番に交換していくことができ、高価な消耗品（Ｘ線ラインセンサ１４）の交換に対して経済的なメリットを享受することができる。

［他の実施形態］
（Ａ）
上記実施形態では、現在の検知レベルが所定の下限値を下回っていると判断された場合に、ＬＣＤモニタ３０を使って警告表示を行っているが、これに加えて、ブザー等による警報の発令を行うことも有効である。

（Ｂ）
上記実施形態では、主として異物混入という不良を検出するＸ線検査装置１０について説明しているが、割れ欠けといった不良を検出するＸ線検査装置や、商品内に単品が平面的に複数配置された単品の数量を計数することのできるＸ線検査装置などに対しても、本発明の適用が可能である。

（Ｃ）
上記実施形態では、ＬＣＤモニタ３０にユニット５１〜５８のうち、最も悪いものを表示させていたが、ＬＣＤモニタ３０にユニット５１〜５８の全てや、コンベア１２の搬送速度データ、Ｘ線漏洩量を同時に表示させても良い。また、警告対象のデータのみを選択して表示させても良いし、警告対象のデータのみを色を変えて表示させても良い。ユニット５１〜５８の全てを表示させる場合には、各ユニット間での経時変化の具合が比較でき、消耗の激しいユニットを特定しやくなる。

（Ｄ）
現状ではＸ線照射器１３の消耗度合いとＸ線ラインセンサ１４の消耗度合いとを別々に判断することは難しいが、それが将来的に可能になれば、ブライトレベルやダークレベルの経時変化からそれぞれの消耗度合いを判断して、Ｘ線照射器１３及びＸ線ラインセンサ１４それぞれの適切な交換時期を使用者に提示することもできるようになる。

（Ｅ）
上記実施形態のＸ線検査装置１０をＷＷＷサーバに接続させ、Ｘ線検査装置１０から離れた場所の情報端末上のＷＷＷブラウザに情報を発信させるようにすることも可能である。例えば、図７のような警告画面を表示させるときに、同時にＷＷＷサーバを介して外部の情報端末機器に警告のメールを発することが考えられる。また、そのＸ線検査装置１０のＸ線照射器１３やＸ線ラインセンサ１４の発注を可能にする情報（品番等）をメールの内容に含ませるようにすることも有効であると考えられる。

このようにすれば、情報端末機器とＸ線検査装置１０とを専用通信回線で接続することなくインターネットを介して結ぶことができ、離れた場所からでもＸ線検査装置１０を比較的容易に管理することができるようになる。

本発明は、Ｘ線検査装置の使用中にＸ線ラインセンサが使用に耐えない状態になることを抑えることができるという効果を有し、Ｘ線を使用して物品の検査を行うＸ線検査装置として有用である。

本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の外観斜視図。 Ｘ線検査装置のシールドボックス内部の簡易構成図。 Ｘ線検査の原理を示す模式図。 Ｘ線検査装置の前後の構成を示す図。 制御コンピュータのブロック構成図。 ＬＣＤモニタの一表示画面図。 ＬＣＤモニタの一表示画面図。

符号の説明

１０ Ｘ線検査装置
１１ シールドボックス（ケーシング）
１１ａ 開口
１２ コンベア（搬送機構）
１２ａ コンベアモータ（搬送機構）
１３ Ｘ線照射器（Ｘ線源）
１４ Ｘ線ラインセンサ
２０ 制御コンピュータ（警告制御手段）
２５ ＨＤＤ
２５ａ 検出レベルファイル
２５ｂ Ｘ線漏洩量ファイル
２５ｃ 搬送速度ファイル
３０ ＬＣＤモニタ（表示部）
４０ Ｘ線漏洩量センサ
５１〜５８ ユニット
Ｇ 商品（物品）

Claims (5)

1. Ｘ線を使用して物品の検査を行うＸ線検査装置であって、
   Ｘ線を照射するＸ線源と、
   前記Ｘ線源からのＸ線を検知するＸ線ラインセンサと、
   前記Ｘ線ラインセンサの検出レベルに基づき前記Ｘ線ラインセンサの使用が不可であると判断した場合に、前記Ｘ線ラインセンサの使用が不可である旨を報知する制御部と、
   を備えたＸ線検査装置。
2. 前記Ｘ線ラインセンサは、多数の画素から成るユニットであり、
   前記制御部は、前記ユニットの検出レベルに基づいて、前記Ｘ線ラインセンサの使用が不可であるか否かを判断する、
   請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記制御部は、前記ユニットの検出レベルを記憶部に記憶し、前記記憶部に記憶された前記検出レベルに基づいて、前記Ｘ線ラインセンサの使用が不可であるか否かを判断する、
   請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記制御部は、前記検出レベルが下限値を下回るときに、前記Ｘ線ラインセンサの使用が不可であるか否かを判断する、
   請求項１から３のいずれかに記載のＸ線検査装置。
5. 前記Ｘ線ラインセンサの検出レベルは、前記Ｘ線源から前記Ｘ線ラインセンサにＸ線を照射していない状態における前記Ｘ線ラインセンサの第１検出レベル、前記Ｘ線源から前記Ｘ線ラインセンサにＸ線を照射している状態における前記Ｘ線ラインセンサの第２検出レベル、および前記第１検出レベルと前記第２検出レベルとの差の、少なくとも１つである、
   請求項１から４のいずれかに記載のＸ線検査装置。

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