JP2006253254A - Membrane ring with bump and its manufacturing method, and contact board and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、バンプ付きメンブレンリング、コンタクトボード、バンプ付きメンブレンリングの製造方法、及びコンタクトボードの製造方法に関する。 The present invention relates to a membrane ring with bumps, a contact board, a method for manufacturing a membrane ring with bumps, and a method for manufacturing a contact board.
近年、ウェハ状態で各種検査を行う方法が提案されている。この場合、ウェハ製造工程で製造されたウェハは、プローブカード検査、バーンイン検査、及びファイナル検査を受け、ファイナル検査後、ウェハはカットされる。前述した検査のうち、プローブカード検査は、一般に、1チップから64チップマルチ測定までであったが、ウェハ一括プローブ検査用ボードを用いたウェハ全面一括検査も提案されている。また、バーンイン検査は、高温加速テストを行う検査であり、従来、バンプ付きメンブレンリングを用いたバーンインボードが知られている(例えば、特許文献1参照。)。このバーンインボードは、半導体ウェハ全面に一括コンタクトするためのプローブであり、配線基板、異方性導電性ゴムシート、及びバンプ付きメンブレンリングの3つの部材を重ね合わせた構造をしている。組み立て時には、配線基板上に異方性導電性ゴムシートを重ねて、更に異方性導電性ゴムシート上にバンプ付きメンブレンリングを重ねてこれらを一体化させる。
バーインボードを構成する各部材には、測定対象のウェハのパッドに対応する位置に電極又はパッドが設けられている。バーンインボードを組み立てる際には、各部材の電極又はパッド同士が接触・導通し、かつ隣接する電極又はパッドとはショートしないように、正確にアライメントして重ね合わせる必要がある。特に、異方性導電性ゴムシートと、バンプ付きメンブレンリングとの重ね合わせにおいては、異方性導電性ゴムシートの電極部と、バンプ付きメンブレンリングの孤立パッドとの重なり面積ができるだけ大きくなり、かつ電極部及び孤立パッドのお互いの中心ができるだけ近くなるようにする必要がある。 Each member constituting the burn-in board is provided with an electrode or a pad at a position corresponding to the pad of the wafer to be measured. When assembling the burn-in board, it is necessary to accurately align and superimpose so that the electrodes or pads of each member are in contact with each other and do not short-circuit with adjacent electrodes or pads. In particular, in the overlapping of the anisotropic conductive rubber sheet and the membrane ring with bumps, the overlapping area between the electrode part of the anisotropic conductive rubber sheet and the isolated pad of the membrane ring with bumps becomes as large as possible, In addition, it is necessary to make the centers of the electrode part and the isolated pad as close as possible.
しかしながら、異方性導電性ゴムシートの電極部、孤立パッド、及びバンプには、それぞれ位置精度ばらつきがある。そのため、それぞれの中心を完全に一致させるのは困難である。従って、組み立て時には、よりよい位置を探しながら、異方性導電性ゴムシートにバンプ付きメンブレンリングを重ねることになる。その際、異方性導電性ゴムシートの電極部から孤立パッド及びバンプがそれぞれどの程度ずれているかを確認できなければならない。 However, there is variation in positional accuracy between the electrode portion, the isolated pad, and the bump of the anisotropic conductive rubber sheet. Therefore, it is difficult to make each center completely coincide. Therefore, when assembling, the membrane ring with bumps is stacked on the anisotropic conductive rubber sheet while searching for a better position. At that time, it must be possible to confirm how much the isolated pad and the bump are displaced from the electrode portion of the anisotropic conductive rubber sheet.
従来、この重ね合わせにおいては、例えば、バンプ付きメンブレンリングのメンブレンを透過して見える異方性導電性ゴムシートの電極部に対して、孤立パッドそのものを合わせ込んでいた。しかし、このように位置合わせを行った場合、アライメント時の目線方向に対して、異方性導電性ゴムシートの電極部は、孤立パッドにより覆い隠されてしまう。そのため、従来、異方性導電性ゴムシートの電極部の位置確認が困難になる場合があった。また、バンプ付きメンブレンリングの構造上、バンプの裏面には必ず孤立パッドがあるため、バンプのズレ量を確認することはほとんどできない状態であった。 Conventionally, in this superposition, for example, the isolated pad itself is aligned with the electrode portion of the anisotropic conductive rubber sheet that is seen through the membrane of the membrane ring with bumps. However, when alignment is performed in this way, the electrode portion of the anisotropic conductive rubber sheet is covered with the isolated pad with respect to the direction of the line of sight at the time of alignment. Therefore, conventionally, it may be difficult to confirm the position of the electrode portion of the anisotropic conductive rubber sheet. Also, because of the structure of the membrane ring with bumps, there is always an isolated pad on the back side of the bumps, so it was almost impossible to confirm the amount of deviation of the bumps.
そこで、本発明は、上記の課題を解決できる、バンプ付きメンブレンリング、コンタクトボード、バンプ付きメンブレンリングの製造方法、及びコンタクトボードの製造方法を提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the membrane ring with a bump, contact board, the manufacturing method of a membrane ring with a bump, and the manufacturing method of a contact board which can solve said subject.
上記の課題を解決するために、本発明は、以下の構成を有する。
(構成1)ウエハ上に多数形成された半導体デバイスの電気的試験を行うために使用されるコンタクトボードにおけるコンタクト部分を受け持つバンプ付きメンブレンリングであって、バンプホールと、バンプホールに対する相対位置が既知のアライメント用ホールとが貫通して形成されたメンブレンと、主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と接触させるための孤立パッドであって、メンブレンの一方の面におけるバンプホールの位置に形成された孤立パッドと、メンブレンの一方の面において、アライメント用ホールを囲むように形成された、孤立パッドに対する相対位置が既知のアライメント用パッドと、バンプホールを介して孤立パッドと接続された状態で、メンブレンにおける孤立パッドと反対側の面に形成された、半導体デバイスに接触させるバンプとを備え、アライメント用ホール及びアライメント用パッドは、導電部材に形成されたアライメント部に対して位置合わせされる。コンタクトボードは、例えばウェハ一括コンタクトボードである。
In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration.
(Configuration 1) A membrane ring with bumps for handling a contact portion in a contact board used for conducting an electrical test of a large number of semiconductor devices formed on a wafer, and the relative positions of the bump holes and the bump holes are known. This is an isolated pad for contacting a membrane formed through the alignment hole and a conductive member having conductivity in a direction perpendicular to the main surface, at the position of the bump hole on one surface of the membrane. The isolated pad formed on one side of the membrane and surrounding the alignment hole, the alignment pad having a known relative position with respect to the isolated pad, and the state connected to the isolated pad via the bump hole The semiconductor formed on the opposite side of the membrane from the isolated pad And a bump is brought into contact with the device, the alignment holes and alignment pad is aligned to the alignment portion formed on the conductive member. The contact board is, for example, a wafer batch contact board.
このように構成すれば、アライメント用ホール及びアライメント用パッドの位置と、導電部材のアライメント部の位置とを合わせることにより、バンプ付きメンブレンシート上の孤立パッド及びバンプの位置と、導電部材の電極部の位置とを適切に合わせることができる。また、導電部材の電極部からバンプ付きメンブレンシート上の孤立パッド及びバンプがそれぞれどれくらいずれているかを同時に確認できる。そのため、導電部材と、バンプ付きメンブレンリングとを、高い精度で重ね合わせることができる。また、これにより、組み立て精度の向上と作業の効率化を実現できる。尚、バンプは、アライメント用ホールの位置には形成されない。アライメント用パッドは、他の導体と接触しないダミーのパッドであってよい。 If comprised in this way, the position of the isolation pad and bump on a membrane sheet with a bump, and the electrode part of an electroconductive member by matching the position of the alignment hole and the pad for alignment, and the position of the alignment part of an electroconductive member The position of can be adjusted appropriately. In addition, it is possible to simultaneously check how many isolated pads and bumps on the membrane sheet with bumps are present from the electrode portion of the conductive member. Therefore, the conductive member and the membrane ring with bumps can be superimposed with high accuracy. This also makes it possible to improve assembly accuracy and increase work efficiency. The bump is not formed at the position of the alignment hole. The alignment pad may be a dummy pad that does not contact other conductors.
(構成2)導電部材は、孤立パッドに接触させるための電極部であって、孤立パッドに対応する位置において、孤立パッドに向かって突出する電極部と、電極部に対する相対位置が既知のアライメント部とを備え、アライメント用ホールは、導電部材のアライメント部に対して、互いの中心が重なるように位置合わせされ、アライメント用パッドは、間に隙間を空けてアライメント用ホールを囲むように形成されており、アライメント用パッドのアライメント用ホール側の縁部は、導電部材のアライメント部の外縁に対して位置合わせされる。このように構成すれば、位置合わせのためにバンプ付きメンブレンリングと導電部材とを重ねた場合に、導電部材のアライメント部がアライメント用パッドにより覆い隠されるのを防ぐことができる。 (Configuration 2) The conductive member is an electrode portion for contacting the isolated pad, and an electrode portion protruding toward the isolated pad at a position corresponding to the isolated pad and an alignment portion whose relative position with respect to the electrode portion is known The alignment hole is aligned with the alignment portion of the conductive member so that the centers thereof overlap each other, and the alignment pad is formed so as to surround the alignment hole with a gap therebetween. The edge of the alignment pad on the alignment hole side is aligned with the outer edge of the alignment portion of the conductive member. If comprised in this way, when the membrane ring with a bump and a conductive member are piled up for position alignment, it can prevent that the alignment part of a conductive member is covered with the pad for alignment.
(構成3)ウエハ上に多数形成された半導体デバイスの電気的試験を行うために使用されるコンタクトボードであって、構成1から3のいずれかに記載のバンプ付きメンブレンリングと、バンプ付きメンブレンリングと重ねられた、主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と、導電部材を挟んでバンプ付きメンブレンリングと対向するように、導電部材と重ねられた配線基板とを備える。このように構成すれば、構成1と同様の効果を得ることができる。 (Configuration 3) A contact board used for conducting an electrical test of a plurality of semiconductor devices formed on a wafer, the bumped membrane ring according to any one of Configurations 1 to 3, and the bumped membrane ring A conductive member having conductivity in a direction perpendicular to the main surface, and a wiring substrate superimposed on the conductive member so as to face the membrane ring with bumps across the conductive member. If comprised in this way, the effect similar to the structure 1 can be acquired.
(構成4)ウエハ上に多数形成された半導体デバイスの電気的試験を行うために使用されるコンタクトボードにおけるコンタクト部分を受け持つバンプ付きメンブレンリングの製造方法であって、一方の面に金属層が形成されたメンブレンを準備し、バンプホールと、バンプホールを基準に位置設定されたアライメント用ホールとを、メンブレンを貫通させて形成し、メンブレンにおける金属層が形成されていない面のバンプホールの位置に、半導体デバイスに接触させるバンプを、バンプホールを介して金属層と接続するように形成し、金属層をパターニングすることにより、主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と接触させるための孤立パッドをバンプホールの位置に形成し、かつ孤立パッドを基準に位置設定されたアライメント用パッドをアライメント用ホールを囲む位置に形成する。このようにすれば、構成1と同様の効果を得ることができる。 (Configuration 4) A method of manufacturing a membrane ring with bumps that handles a contact portion of a contact board used for conducting an electrical test of a semiconductor device formed on a wafer, and a metal layer is formed on one surface The membrane is prepared, and a bump hole and an alignment hole positioned with reference to the bump hole are formed by penetrating the membrane. At the bump hole position on the surface of the membrane where the metal layer is not formed The bump for contacting the semiconductor device is formed so as to be connected to the metal layer through the bump hole, and the metal layer is patterned to contact the conductive member having conductivity in the direction perpendicular to the main surface. An isolated pad is formed at the position of the bump hole, and the alignment is set with reference to the isolated pad. Forming a pad on the position surrounding the alignment holes. In this way, the same effect as in Configuration 1 can be obtained.
(構成5)バンプホールとアライメント用ホールとを、同じ座標系を用いて設定した位置にそれぞれ形成し、孤立パッドとアライメント用パッドとを、同じ座標系を用いて設定した位置にそれぞれ形成する。このようにすれば、バンプホールに対するアライメント用ホールの相対位置、及び孤立パッドに対するアライメント用パッドの相対位置を適切に設定できる。 (Configuration 5) Bump holes and alignment holes are formed at positions set using the same coordinate system, and isolated pads and alignment pads are formed at positions set using the same coordinate system. In this way, the relative position of the alignment hole with respect to the bump hole and the relative position of the alignment pad with respect to the isolated pad can be appropriately set.
(構成6)ウエハ上に多数形成された半導体デバイスの電気的試験を行うために使用されるコンタクトボードの製造方法であって、位置合わせ用のアライメント部が形成された、主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と、配線基板とを準備し、構成4又は5に記載のバンプ付きメンブレンリングの製造方法により、バンプ付きメンブレンリングを製造し、導電部材を配線基板上に重ね、アライメント用ホール及びアライメント用パッドを導電部材のアライメント部に対して位置合わせして、導電部材上にバンプ付きメンブレンリングを更に重ねる。このようにすれば、構成4又は5と同様の効果を得ることができる。 (Configuration 6) A method of manufacturing a contact board used for conducting an electrical test of a plurality of semiconductor devices formed on a wafer, the direction perpendicular to the main surface in which an alignment portion for alignment is formed A conductive member having electrical conductivity and a wiring board are prepared, and a membrane ring with bumps is manufactured by the method for manufacturing a membrane ring with bumps according to Configuration 4 or 5, and the conductive members are stacked on the wiring board, and alignment is performed. The hole for alignment and the alignment pad are aligned with the alignment portion of the conductive member, and the membrane ring with bumps is further stacked on the conductive member. In this way, the same effects as those of Configuration 4 or 5 can be obtained.
本発明によれば、導電部材と、バンプ付きメンブレンリングとを、高い精度で重ね合わせることができる。 According to the present invention, the conductive member and the membrane ring with bumps can be overlapped with high accuracy.
以下、本発明に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るバーンインボード10の構成の一例を示す。図1(a)は、バーンインボード10の各部材の重なり方を示す断面図である。バーンインボード10は、ウエハ上に多数形成された半導体デバイスのバーンイン試験を一括して行うために使用されるウェハ検査用プローブであり、メンブレンリング(バンプ付きメンブレンリング)12、導電部材の一例である異方性導電ゴムシート14、及び配線基板16を備える。尚、バーンインボード10は、コンタクトボードの一例である。バーンイン試験は、電気的試験の一例である。
Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 shows an example of the configuration of a burn-in
メンブレンリング12は、バーンインボード10においてコンタクト部分を受け持つ部材であり、メンブレン20と、それぞれ複数のバンプ30、孤立パッド26、及びアライメント用パッド28とを有する。
The
メンブレン20は、裏側が透けて見える透光性の薄膜であり、ポリイミドフィルム等により形成されている。メンブレン20には、それぞれ複数のバンプホール22及びアライメント用ホール24が形成されている。バンプホール22は、バンプ30の形成に用いられる貫通孔であり、測定対象のウェハ上の半導体デバイスの各パッドに対応する位置に形成されている。アライメント用ホール24は、メンブレンリング12と異方性導電ゴムシート14との間の位置合わせの基準となる貫通孔であり、バンプホール22に対する相対位置が既知の所定位置に形成されている。
The
バンプ30は、半導体デバイスのパッドに接触させる端子であり、各バンプホール22の位置に形成されている。また、本例において、バンプ30は、バンプホール22を介して、メンブレン20の反対側に形成された孤立パッド26と接続している。
The
孤立パッド26は、異方性導電ゴムシート14と接触させるための端子であり、メンブレン20の異方性導電ゴムシート14側の面において、各バンプホール22の位置に形成されている。アライメント用パッド28は、メンブレンリング12と異方性導電ゴムシート14との間の位置合わせの基準となるダミーパッドであり、メンブレン20の異方性導電ゴムシート14側の面において、アライメント用ホール24を囲むように、孤立パッドに対する相対位置が既知の所定位置に形成される。
The
異方性導電ゴムシート14は、メンブレンリング12と配線基板16とを接続するためのシート状接続部品であり、それぞれ複数の電極部42及びアライメント部44を有する。異方性導電ゴムシート14は、主面と垂直な方向に導電性を有しており、例えば、電極部42に対応する部分に金属粒子が埋め込まれたシリコン樹脂により形成される。
The anisotropic
電極部42は、メンブレンリング12の孤立パッド26、及び配線基板16に接触させるための端子であり、各孤立パッド26に対応する位置に、孤立パッド26及び配線基板16に向かって上下に突出するように形成されている。尚、本例において、電極部42の接点部の面積は、孤立パッド26の接点部の面積より小さい。接点部とは、例えば、相手方のパッド又は電極部に対向する面である。このように構成すれば、金属等と比べて高抵抗の電極部42に対して、十分な接触面積を確保することができる。
The
アライメント部44は、メンブレンリング12と異方性導電ゴムシート14との間の位置合わせの基準となる凸状部分である。アライメント部44は、メンブレンリング12と異方性導電ゴムシート14とを重ねた場合にアライメント用ホール24及びアライメント用パッド28と対向するように、電極部42に対する相対位置が既知の所定位置に形成されている。
The
配線基板16は、異方性導電ゴムシート14を挟んでメンブレンリング12と対向する多層配線基板である。配線基板16には、異方性導電ゴムシート14の電極部42に対応する位置に、複数の基板電極46が形成されている。
The
ここで、バーンインボード10の組み立てにおいて、メンブレンリング12、異方性導電ゴムシート14、及び配線基板16は、例えば、バンプ30が上向きになる向きで重ね合わされる。この場合、組み立て作業者の目線方向は、図中の矢印のようになる。
Here, in assembling the burn-in
そのため、例えばバンプ30、孤立パッド26、及び電極部42の位置を直接に合わせようとすると、例えば電極部42が孤立パッド26により隠されてしまい、電極部42の位置の確認が困難になる。そのため、このような方法では、十分な精度で位置合わせができないおそれがある。
Therefore, for example, if the positions of the
これに対し、本例においては、アライメント用ホール24及びアライメント用パッド28を、異方性導電ゴムシート14のアライメント部44に対して位置合わせする。この場合、アライメント用ホール24にはバンプ30が形成されていないため、アライメント用ホール24を介して、アライメント部44の位置を適切に確認できる。また、アライメント用パッド28は、アライメント用ホール24を囲むように形成されており、アライメント用ホール24と重ならないため、アライメント部44を隠すこともない。そのため、本例によれば、メンブレンリング12と異方性導電ゴムシート14とを適切に位置合わせできる。
On the other hand, in this example, the
図1(b)は、アライメント用ホール24及びアライメント用パッド28を形成する位置の一例を示す。尚、本例において、メンブレン20は、円形のリング32に張り渡されている。
FIG. 1B shows an example of a position where the
アライメント用ホール24及びアライメント用パッド28は、例えば、リング32付近の外周部8箇所の位置102に形成される。異方性導電ゴムシート14におけるアライメント部44は、各位置102に対応する位置に形成される。このように構成すれば、位置合わせを適切に行うことができる。尚、組み立て作業者は、8箇所のうちの一部の位置102に形成されたアライメント用ホール24及びアライメント用パッド28を用いて、位置合わせをおこなってもよい。
The
図2は、アライメント用ホール24、アライメント用パッド28、及びアライメント部44の詳細な構成の一例を示す。尚、本例において、異方性導電ゴムシート14のアライメント部44は、円筒形であり、電極部42に対する位置ズレなく形成されている。電極部42及びアライメント部44は、例えば、同一の工程において、同時に形成される。
FIG. 2 shows an example of detailed configurations of the
アライメント用ホール24は、丸いレーザ穴であり、バンプホール22(図1参照)と同じ方法で形成される。本例において、バンプホール22及びアライメント用ホール24は、同じ座標系を用いて設定された位置にそれぞれ、同一の工程において一連の作業で形成される。この場合、バンプ30が形成されるバンプホール22と同時にアライメント用ホール24が加工されるため、アライメント用ホール24は、バンプ30に対する位置ズレなく形成される。
The
このように形成されたアライメント用ホール24は、異方性導電ゴムシート14のアライメント部44に対して、互いの中心が重なるように位置合わせされる。これにより、バンプ30と異方性導電ゴムシート14の電極部42(図1参照)とを適切に位置合わせできる。
The alignment holes 24 thus formed are aligned with the
アライメント用パッド28は、孤立パッド26(図1参照)と同じ金属層により形成されたダミーパッドである。本例において、アライメント用パッド28及び孤立パッド26は、例えばフォトリソグラフィプロセスで同時にパターニングされることにより、同じ座標系を用いて設定された位置にそれぞれ形成される。そのため、アライメント用パッド28は、孤立パッド26に対する位置ズレなく形成される。
The
また、本例においては、アライメント用ホール24は、複数のアライメント用パッド28により囲まれている。複数のアライメント用パッド28は、互いに離間しつつアライメント用ホール24の周囲に並ぶ。それぞれのアライメント用パッド28は、アライメント用ホール24を中心とする扇形から、アライメント部44と重なる部分を除いた形状をしており、アライメント部44に対応する隙間を間に空けて、アライメント用ホール24を囲んでいる。このように構成すれば、パターニングにおいて、アライメント用ホール24を覆う部分に金属層が残るのを防ぐことができる。そのため、アライメント用パッド28のパターニングを高い精度で行うことができる。
In this example, the
このように形成されたアライメント用パッド28は、アライメント用ホール24側の縁部をアライメント部44の外縁に合わせるようにして、アライメント部44に対して位置合わせされる。これにより、孤立パッド26と異方性導電ゴムシート14の電極部42とを適切に位置合わせできる。また、アライメント用パッド28によりアライメント部44が覆い隠されてしまうのを防ぐことができる。
The
以上のように、本例によれば、アライメント部44に対してアライメント用ホール24及びアライメント用パッド28を同時に合わせることができるため、電極部42に対してバンプ30及び孤立パッド26がそれぞれどれくらいずれているかを、同時に確認できる。そのため、メンブレンリング12と異方性導電ゴムシート14との位置あわせを高い精度で行うことができる。また、これにより、組み立て精度の向上と作業の効率化を実現できる。
As described above, according to this example, since the
尚、図2は、説明を簡単にするため、アライメント用ホール24、アライメント用パッド28、及びアライメント部44がきれいにそれっている場合を示している。しかし、実際の製品においては、それぞれの位置が多少ずれているのが普通であり、そのような場合にこそ、本発明が特に有効である。
FIG. 2 shows a case where the
以下、バーンインボード10の製造方法の一例を説明する。尚、以下に説明する以外の条件や工程の細部等は、公知のバーンインボードと同一又は同様であってよい。
Hereinafter, an example of a method for manufacturing the burn-in
本例においては、最初に、配線基板16及び異方性導電ゴムシート14を準備する。配線基板16は、例えば、公知の配線基板と同一又は同様の多層配線基板である。異方性導電ゴムシート14は、例えば、所定の位置にアライメント部44が形成されている以外は、公知の異方性導電ゴムシートと同一又は同様の構成を有する。アライメント部44は、電極部42と同時に、電極部42と同じ方法で形成される。尚、アライメント部44と電極部42の形状は、同一であってもよく、異なっていてもよい。
In this example, first, the
続いて、メンブレンリング12の製造を行う。メンブレンリング12の製造においては、最初に、一方の面に金属層が形成されたメンブレン20を準備する。メンブレン20は、例えば公知のメンブレンと同一又は同様の構成を有するポリイミドフィルム(例えば厚さ12〜50μm)であり、例えば直径8インチ程度の円形のSiCリングに張り渡されている。メンブレン20に形成された金属層は、例えば厚さ18μm銅箔である。
Subsequently, the
次に、エキシマレーザを用いて、例えば直径30μm程度のバンプホール22及びアライメント用ホール24を形成する。同じ工程でバンプホール22及びアライメント用ホール24を形成することにより、アライメント用ホール24は、バンプホール22を基準に位置設定される。
Next, using an excimer laser, for example, bump holes 22 and alignment holes 24 having a diameter of about 30 μm are formed. By forming the
次に、メンブレン20上の金属層に電極を接続して電気メッキを行うことにより、金属層が形成されていない面の各バンプホール22の位置にバンプ30を形成する。これにより、バンプ30は、バンプホール22を介して金属層と接続するように形成される。
Next, an electrode is connected to the metal layer on the
尚、この電気メッキは、例えばNiメッキである。この場合、バンプ30は、Niで形成される。電気メッキを行う間、アライメント用ホール24は、レジスト膜等の保護膜で覆われる。そのため、バンプ30は、アライメント用ホール24の位置には形成されない。また、メンブレン20上の金属層における電極との接続部以外の部分も、同様に、保護膜により覆われる。
The electroplating is Ni plating, for example. In this case, the
次に、メンブレン20上の金属層に対するフォトリソグラフィープロセスにより、孤立パッド26及びアライメント用パッド28を形成する。本例において、孤立パッド26は、各バンプホール22の位置に形成される。アライメント用パッド28は、アライメント用ホール24を囲む位置に形成される。孤立パッド26と同時にパターニングされることにより、アライメント用パッド28は、孤立パッド26を基準に位置設定される。
Next, the
続いて、メンブレンリング12、異方性導電ゴムシート14、及び配線基板16の組み立てを行う。組み立てにおいては、最初に、例えば公知の方法と同様にして、異方性導電ゴムシート14を配線基板16に重ねる。次に、メンブレンリング12におけるアライメント用ホール24及びアライメント用パッド28を、異方性導電ゴムシート14のアライメント部44に対して位置合わせして、異方性導電ゴムシート14上にメンブレンリング12を更に重ねる。このようにすれば、バーンインボード10を適切に製造することができる。
Subsequently, the
以上、本発明をバーンインボードの実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は、プローブ検査用ボード等の電気試験を行うコンタクトボードにも適用でき、上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 The present invention has been described using the embodiment of the burn-in board. Is not limited. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above embodiment. It is apparent from the description of the scope of claims that embodiments with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
10・・・バーンインボード、12・・・メンブレンリング、14・・・異方性導電ゴムシート、16・・・配線基板、20・・・メンブレン、22・・・バンプホール、24・・・アライメント用ホール、26・・・孤立パッド、28・・・アライメント用パッド、30・・・バンプ、32・・・リング、42・・・電極部、44・・・アライメント部、46・・・基板電極、102・・・位置
DESCRIPTION OF
Claims (6)
バンプホールと、前記バンプホールに対する相対位置が既知のアライメント用ホールとが貫通して形成されたメンブレンと、
主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と接触させるための孤立パッドであって、前記メンブレンの一方の面における前記バンプホールの位置に形成された孤立パッドと、
前記メンブレンの前記一方の面において、前記アライメント用ホールを囲むように形成された、前記孤立パッドに対する相対位置が既知のアライメント用パッドと、
前記バンプホールを介して前記孤立パッドと接続された状態で、前記メンブレンにおける前記孤立パッドと反対側の面に形成された、前記半導体デバイスに接触させるバンプと
を備え、
前記アライメント用ホール及び前記アライメント用パッドは、前記導電部材に形成されたアライメント部に対して位置合わせされることを特徴とするバンプ付きメンブレンリング。 A bumped membrane ring that handles a contact portion in a contact board used for electrical testing of a large number of semiconductor devices formed on a wafer,
A membrane formed by penetrating a bump hole and an alignment hole having a known relative position with respect to the bump hole;
An isolated pad for contacting a conductive member having conductivity in a direction perpendicular to the main surface, the isolated pad formed at the position of the bump hole on one surface of the membrane;
An alignment pad having a known relative position with respect to the isolated pad, which is formed so as to surround the alignment hole, on the one surface of the membrane;
A bump formed on the surface of the membrane opposite to the isolated pad in a state of being connected to the isolated pad through the bump hole, and contacting the semiconductor device;
The membrane ring with bumps, wherein the alignment hole and the alignment pad are aligned with an alignment portion formed on the conductive member.
前記孤立パッドに接触させるための電極部であって、前記孤立パッドに対応する位置において、前記孤立パッドに向かって突出する電極部と、
前記電極部に対する相対位置が既知の前記アライメント部と
を備え、
前記アライメント用ホールは、前記導電部材の前記アライメント部に対して、互いの中心が重なるように位置合わせされ、
前記アライメント用パッドは、間に隙間を空けて前記アライメント用ホールを囲むように形成されており、前記アライメント用パッドの前記アライメント用ホール側の縁部は、前記導電部材の前記アライメント部の外縁に対して位置合わせされることを特徴とする請求項1に記載のバンプ付きメンブレンリング。 The conductive member is
An electrode part for contacting the isolated pad, the electrode part protruding toward the isolated pad at a position corresponding to the isolated pad;
The relative position with respect to the electrode portion is known, and the alignment portion,
The alignment hole is aligned with the alignment portion of the conductive member such that the centers of the alignment holes overlap each other.
The alignment pad is formed so as to surround the alignment hole with a gap in between, and an edge of the alignment pad on the alignment hole side is formed on an outer edge of the alignment portion of the conductive member. The membrane ring with bumps according to claim 1, wherein the membrane ring is aligned with respect to the membrane ring.
請求項1又は2に記載のバンプ付きメンブレンリングと、
前記バンプ付きメンブレンリングと重ねられた、主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と、
前記導電部材を挟んで前記バンプ付きメンブレンリングと対向するように、前記導電部材と重ねられた配線基板と
を備えることを特徴とするコンタクトボード。 A contact board used for electrical testing of a large number of semiconductor devices formed on a wafer,
Bumped membrane ring according to claim 1 or 2,
A conductive member having conductivity in a direction perpendicular to the main surface, superimposed on the membrane ring with bumps,
A contact board comprising: a wiring board superimposed on the conductive member so as to face the membrane ring with bumps across the conductive member.
一方の面に金属層が形成されたメンブレンを準備し、
バンプホールと、前記バンプホールを基準に位置設定されたアライメント用ホールとを、前記メンブレンを貫通させて形成し、
前記メンブレンにおける前記金属層が形成されていない面の前記バンプホールの位置に、前記半導体デバイスに接触させるバンプを、前記バンプホールを介して前記金属層と接続するように形成し、
前記金属層をパターニングすることにより、主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と接触させるための孤立パッドを前記バンプホールの位置に形成し、かつ前記孤立パッドを基準に位置設定されたアライメント用パッドを前記アライメント用ホールを囲む位置に形成することを特徴とするバンプ付きメンブレンリングの製造方法。 A method for manufacturing a membrane ring with bumps that handles a contact portion in a contact board used for conducting an electrical test of a plurality of semiconductor devices formed on a wafer,
Prepare a membrane with a metal layer on one side,
A bump hole and an alignment hole positioned with reference to the bump hole are formed through the membrane,
Forming a bump in contact with the semiconductor device at the position of the bump hole on the surface of the membrane where the metal layer is not formed, so as to be connected to the metal layer via the bump hole,
By patterning the metal layer, an isolated pad for contacting a conductive member having conductivity in a direction perpendicular to the main surface is formed at the position of the bump hole, and the position is set with reference to the isolated pad. A method for producing a membrane ring with bumps, wherein an alignment pad is formed at a position surrounding the alignment hole.
前記孤立パッドと前記アライメント用パッドとを、同じ座標系を用いて設定した位置にそれぞれ形成することを特徴とする請求項4に記載のバンプ付きメンブレンリングの製造方法。 The bump hole and the alignment hole are respectively formed at positions set using the same coordinate system,
The method for manufacturing a membrane ring with bumps according to claim 4, wherein the isolated pad and the alignment pad are formed at positions set using the same coordinate system.
位置合わせ用のアライメント部が形成された、主面と垂直な方向に導電性を有する導電部材と、配線基板とを準備し、
請求項4又は5に記載のバンプ付きメンブレンリングの製造方法により、バンプ付きメンブレンリングを製造し、
前記導電部材を前記配線基板上に重ね、
前記アライメント用ホール及び前記アライメント用パッドを前記導電部材の前記アライメント部に対して位置合わせして、前記導電部材上に前記バンプ付きメンブレンリングを更に重ねることを特徴とするコンタクトボードの製造方法。 A method of manufacturing a contact board used for conducting an electrical test of a plurality of semiconductor devices formed on a wafer,
A conductive member having conductivity in a direction perpendicular to the main surface, on which an alignment portion for alignment is formed, and a wiring board are prepared,
A membrane ring with bumps is manufactured by the method for manufacturing a membrane ring with bumps according to claim 4 or 5,
The conductive member is overlaid on the wiring board,
The contact board manufacturing method, wherein the alignment hole and the alignment pad are aligned with the alignment portion of the conductive member, and the bumped membrane ring is further stacked on the conductive member.
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