JP2006252229A - 異常検出システムおよび異常検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 異常検出システム1は、測定部10、判定部20、報知部30、および記憶部40,50を備えており、同一の製造ラインにおいて複数製造される製品の管理特性値の異常を検出するものである。判定部20は、記憶部40に記憶された膜厚を入力し、その値に基づいて異常の有無を判定する判定手段である。具体的には、判定部20は、製造される順番が連続するm(mは自然数)個の上記半導体製品について、当該各半導体製品の膜厚がその直前に製造される半導体製品の膜厚に対して増加し、且つ当該m個の半導体製品の膜厚のうち少なくとも1個が所定の無判定領域の外にある場合に、異常を判定する。
【選択図】 図1
Description
(i)製造される順番が連続するm(mは自然数)個の上記製品について、当該各製品の上記管理特性値がその直前に製造される上記製品の上記管理特性値に対して増加している
(ii)当該m個の製品の上記管理特性値のうち少なくとも1個が所定の無判定領域の外にある
上記条件(i)および(ii)が満たされるとき、上記管理特性値が異常であると判定する判定手段と、を備えることを特徴とする。また、条件(i)は、言い換えると、m個の製品の管理特性値が連続的に増加している場合が該当する。
(i)製造される順番が連続するm(mは自然数)個の上記製品について、当該各製品の上記管理特性値がその直前に製造される上記製品の上記管理特性値に対して増加している
(ii)当該m個の製品の上記管理特性値のうち少なくとも1個が所定の無判定領域の外にある
上記条件(i)および(ii)が満たされるとき、上記管理特性値が異常であると判定する判定ステップと、を備えることを特徴とする。また、条件(i)は、言い換えると、m個の製品の管理特性値が連続的に増加している場合が該当する。
(iii)製造される順番が連続するm(mは自然数)個の上記製品について、当該各製品の上記管理特性値がその直前に製造される上記製品の上記管理特性値に対して減少している
このとき、上記条件(ii)および(iii)が満たされるときに、上記管理特性値が異常であると判定される。また、上記条件(i)および(iii)を共に採用してもよい。このとき、上記条件(i)および(ii)が満たされるとき、または上記条件(ii)および(iii)が満たされるときに、上記管理特性値が異常であると判定される。
10 測定部
20 判定部
30 報知部
40,50 記憶部
Claims (6)
- 同一の製造ラインにおいて複数製造される製品の管理特性値の異常を検出するシステムであって、
前記製品について測定された前記管理特性値を記憶する記憶手段と、
前記管理特性値を前記記憶手段から取得し、下記条件(i)および(ii)が満たされるかどうかを判断し、
(i)製造される順番が連続するm(mは自然数)個の前記製品について、当該各製品の前記管理特性値がその直前に製造される前記製品の前記管理特性値に対して増加している
(ii)当該m個の製品の前記管理特性値のうち少なくとも1個が所定の無判定領域の外にある
前記条件(i)および(ii)が満たされるとき、前記管理特性値が異常であると判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする異常検出システム。 - 請求項1に記載の異常検出システムにおいて、
前記無判定領域の上限値は、前記管理特性値の許容範囲の中心値よりも大きく、且つ前記許容範囲の上限値よりも小さな値であり、
前記無判定領域の下限値は、前記中心値以下で、且つ前記許容範囲の下限値よりも大きな値である異常検出システム。 - 同一の製造ラインにおいて複数製造される製品の管理特性値の異常を検出するシステムであって、
前記製品について測定された前記管理特性値を記憶する記憶手段と、
前記管理特性値を前記記憶手段から取得し、下記条件(i)および(ii)が満たされるかどうかを判断し、
(i)製造される順番が連続するm(mは自然数)個の前記製品について、当該各製品の前記管理特性値がその直前に製造される前記製品の前記管理特性値に対して減少している
(ii)当該m個の製品の前記管理特性値のうち少なくとも1個が所定の無判定領域の外にある
前記条件(i)および(ii)が満たされるとき、前記管理特性値が異常であると判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする異常検出システム。 - 請求項3に記載の異常検出システムにおいて、
前記無判定領域の上限値は、前記管理特性値の許容範囲の中心値以上で、且つ前記許容範囲の上限値よりも小さな値であり、
前記無判定領域の下限値は、前記中心値よりも小さく、且つ前記許容範囲の下限値よりも大きな値である異常検出システム。 - 同一の製造ラインにおいて複数製造される製品の管理特性値の異常を検出する方法であって、
前記製品について測定された前記管理特性値を記憶手段に記憶する記憶ステップと、
前記管理特性値を前記記憶手段から取得し、下記条件(i)および(ii)が満たされるかどうかを判断し、
(i)製造される順番が連続するm(mは自然数)個の前記製品について、当該各製品の前記管理特性値がその直前に製造される前記製品の前記管理特性値に対して増加している
(ii)当該m個の製品の前記管理特性値のうち少なくとも1個が所定の無判定領域の外にある
前記条件(i)および(ii)が満たされるとき、前記管理特性値が異常であると判定する判定ステップと、
を備えることを特徴とする異常検出方法。 - 同一の製造ラインにおいて複数製造される製品の管理特性値の異常を検出する方法であって、
前記製品について測定された前記管理特性値を記憶手段に記憶する記憶ステップと、
前記管理特性値を前記記憶手段から取得し、下記条件(i)および(ii)が満たされるかどうかを判断し、
(i)製造される順番が連続するm(mは自然数)個の前記製品について、当該各製品の前記管理特性値がその直前に製造される前記製品の前記管理特性値に対して減少している
(ii)当該m個の製品の前記管理特性値のうち少なくとも1個が所定の無判定領域の外にある
前記条件(i)および(ii)が満たされるとき、前記管理特性値が異常であると判定する判定ステップと、
を備えることを特徴とする異常検出方法。
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