JP2006245440A - 基板の保管方法及びコイル部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 コイル付き基板5を保管するときは、まず容器6内に保管用水Wを入れる。保管用水Wとしては、比抵抗が17MΩ・cm以上であり且つ溶存酸素濃度が50μg/リットル以下の超純水を使用する。続いて、保管用水Wに藻が発生することを防止すべく、保管用水Wに紫外線を照射する。続いて、コイル付き基板5を保管用水Wに浸漬させる。そして、容器6の上部にOリング9を介して蓋10を取り付けることにより、容器6の内部を密封状態にした状態で、コイル付き基板5を保管用水W中にしばらくの間保管する。
【選択図】 図5
Description
Claims (4)
- 表面に金属膜が形成された基板の保管方法であって、
比抵抗が17MΩ・cm以上であり且つ溶存酸素濃度が50μg/リットル以下の保管用水を用意し、前記金属膜が形成された基板を前記保管用水に浸漬させて保管することを特徴とする基板の保管方法。 - 前記保管用水を容器内に入れた状態で、前記保管用水に紫外線を照射し、その後で前記金属膜が形成された基板を前記保管用水に浸漬させることを特徴とする請求項1記載の基板の保管方法。
- 前記容器として、鏡面加工が施された内壁面を有するものを使用することを特徴とする請求項2記載の基板の保管方法。
- 基板の表面に形成された金属製のコイルを有するコイル部品の製造方法であって、
前記基板の表面に導電層を介して前記コイルを形成する工程と、
比抵抗が17MΩ・cm以上であり且つ溶存酸素濃度が50μg/リットル以下の保管用水を用意し、前記コイルが形成された基板を前記保管用水に浸漬させて保管する工程と、
前記コイルが形成された基板を所定の時間だけ保管した後、前記導電層の一部をエッチングする工程とを含むことを特徴とするコイル部品の製造方法。
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