JP2006243407A - 反射防止膜用組成物、それを用いた固体撮像素子用反射防止膜、及び固体撮像素子。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 樹脂成分中に平均一次粒子径30nm以下の黒色着色剤が分散されてなることを特徴とする反射防止膜用組成物、及びそれを用いて形成された固体撮像素子用反射防止膜、並びに該反射防止膜を有する固体撮像素子。
【選択図】 なし
Description
近年、固体撮像素子の画素密度が高くなり、画素単位の微小化に伴い、上記の金属遮光膜のハレーションの問題は大きな問題となってきた。
従来からこれらの問題を軽減するために、アルミ遮光膜・配線上に光を吸収する黒色のパターンを形成することが行われている。
このような技術として、遮光膜上に黒フィルターを形成する方法が開示されている。(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、染色法・顔料分散型の黒フィルタとの記載はあるが、染色法が主であるため、薄膜で高い光学濃度の実現は困難であり、また、染料を使用することにより耐熱性、耐光性の面で高い性能の実現は困難であると考えられる。
また、パターンを形成後、黒色染料で染色し反射防止膜とする染色法が開示されいている(例えば、特許文献2参照。)。
しかし、この方法では薄膜化することが難しく、画素の開口率を低下させる。また、染料を用いることにより、耐熱性・耐光性が劣る。
また、アルミ遮光膜上に反射率の低い窒化膜を形成する方法がある(例えば、特許文献3参照。)。
しかしながら、窒化膜は吸収する波長が限られる為、可視光から赤外領域までの光の吸収が小さく、一部の波長帯の光に対しては反射防止の性能は持たなかった。そのため、後から形成するカラーフィルタやマイクロレンズを形成する際のハレーションを防止し、パターン形状を矩形にするためには使用できるが、偽信号の発生を防止するためには、使用することができなかった。
しかも、窒化膜を形成し、パターンニングする工程は極めて煩雑であり、特に層間膜を挟まずに窒化膜を形成した場合、エッチング時にアルミ・窒化膜間で局部電池となり、アルミを腐食するためアルミのエッジ形状の悪化や、欠けを生じるため欠陥の原因となっていた。
即ち、本発明は下記の手段により達成されるものである。
<2> 前記黒色着色剤がカーボンブラック、チタンブラックから選択された少なくとも1種であることを特徴とする上記<1>に記載の反射防止膜用組成物。
<4> 上記<1>〜<3>のいずれか1項に記載の反射防止膜用組成物を用いて形成されたことを特徴とする固体撮像素子用反射防止膜。
<6> 前記形成される反射防止膜の膜厚が1μm以下であることを特徴とする上記<4>又は<5>に記載の固体撮像素子用反射防止膜。
<8> 前記画素の最大径が5μm以下であることを特徴とする上記<7>に記載の固体撮像素子。
また、本発明によれば、耐候性に優れ、膜のエッジの直線性が良好となる反射防止膜を提供できる。
更に、本発明によれば、前記反射防止膜を有する固体撮像素子を提供できる。
さらに、また、本発明の反射防止膜用組成物を使用すれば、反射防止膜製造工程が簡略にでき、固体撮像素子の製造コストを低減できる。
前記均一に分散された平均一次粒子径30nm以下の黒色着色剤を含有することにより、得られる反射防止膜の耐候性及びエッジの直線性が良好となる反射防止膜用組成物を得ることができる。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の反射防止膜用組成物は黒色着色剤を含有する組成物である。さらに、黒色着色剤が光硬化性樹脂成分中に均一に分散されている組成物である。また、一般的には、溶剤を用い、必要に応じて他の成分を添加することができる。
本発明に用いることができる黒色着色剤は、各種公知の黒色顔料や黒色染料を用いることが出来るが、特に、少量で高い光学濃度を実現できる観点から、
カーボンブラック、チタンブラック、酸化チタン、酸化鉄、酸化マンガン、グラファイト等が好ましく、中でも、カーボンブラック、チタンブラックのうちの少なくとも1種を含むことが好ましく、特にカーボンブラックが好ましい。
該黒色着色剤は、一種単独で用いても二種以上混合して用いてもよい。
本発明の反射防止膜用組成物の全固形分中の該黒色着色剤の含有率は、特に限定されるものではないが、薄膜で高い光学濃度を得るためにはできるだけ高い方が好ましく、1〜90質量%が好ましく、3〜70質量%が更に好ましく、5〜50質量%が特に好ましい。
黒色着色剤が少なすぎると高光学濃度を得るために膜厚を厚くする必要があり、黒色着色剤が多すぎると光硬化が充分に進まず膜としての強度が低下したり、アルカリ現像の際に現像ラチチュードが狭くなる傾向がある。
本発明の反射防止膜用組成物は、反射防止膜のパターンがパターン露光ができること、露光により形成されたパターン状の反射防止膜が光で硬化できる点で、光硬化性樹脂成分を含有することが好ましい。
該光硬化性樹脂成分としては、特に限定されるものではないが、樹脂成分、感光性重合成分、及び光重合開始剤を少なくとも含有する組成物であることが好ましい。
以下、光硬化性樹脂成分の代表される成分について説明する。
本発明に用いる樹脂成分としては、特に限定されるものではないが、アルカリ可溶性樹脂が好ましい。
このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号各公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたものなども有用である。
次に、本発明の組成物において用いられる感光性重合成分について説明する。
上記感光性重合成分としては、一般的な重合性モノマーを用いることができる。
該重合性モノマーとしては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有する。常圧下で100℃以上の沸点を持つエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましく、中でも、4官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。
反射防止膜用組成物中における感光性重合成分の含有量は、該組成物の全固形分100に対し、好ましくは0.1〜80質量%、より好ましくは1〜60質量%、特に好ましくは5〜50質量%である。感光性重合成分の使用量が上記範囲より少なすぎても、また、多すぎても硬化が不充分となるので好ましくない。
本発明における光重合開始剤としては、前記感光性重合成分及び樹脂成分を重合させられるものであれば、特に限定されるものではない。従来公知の光重合開始剤を用いることができる。
一般式IVの具体的な化合物としては、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。
R’は、下記一般式VIAで示され基を表す。
R10、R11はそれぞれ水素原子、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のハロアルキル基(例えばクロロメチル基、フロロメチル基、トリフロロメチル基など)、炭素数1〜8のアルコキシ基(例えばメトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基)、置換されてもよい炭素数6〜10のアリール基(例えばフェニル基)、アミノ基、−N(R16)(R17)、ハロゲン原子(例えばCl、Br,F)を表す。好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、メトキシ基、フェニル基、−N(R16)(R17)、Clである。
R12は、置換されてもよい炭素数6〜16のアリール基(例えばフェニル基、ナフチル基、トリル基、クミル基)を表す。置換基としてはアミノ基、−N(R16)(R17)、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のハロアルキル基(例えばクロロメチル基、フロロメチル基、トリフロロメチル基など)、炭素数1〜8のアルコキシ基(例えばメトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基)、ヒドロキシ基、シアノ基、ハロゲン原子(例えばCl、Br,F)が挙げられる。
R13、R14、R16、R17は、同一または異なって、それぞれ水素原子、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)を表す。R13とR14及びR16とR17は、互いに結合し窒素原子とともに複素環(例えばピペリジン環、ピペラジン環、モルホリン環、ピラゾール環、ジアゾール環、トリアゾール環、ベンゾトリアゾール環等)を形成してもよい。
R15は、水素原子、炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のアルコキシ基(例えばメトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基)、置換されてもよい炭素数6〜10のアリール基(例えばフェニル基)、アミノ基、N(R16)(R17)、ハロゲン原子(例えばCl、Br,F)を表す。Zbは=O、=Sあるいは=C(R18)(R19)を表す。好ましくは=O、=S、=C(CN)2であり、特に好ましくは=Oである。R18、R19は、同一または異なって、シアノ基、−COOR20、−COR21を表す。R20、R21はそれぞれ炭素数1〜8のアルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、オクチル基)、炭素数1〜8のハロアルキル基(例えばクロロメチル基、フロロメチル基、トリフロロメチル基など)、置換されてもよい炭素数6〜10のアリール基(例えばフェニル基)を表す。
例えば、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等が挙げられる。
また、旭電化(株)製アデカオプトマーSP−150、同151、同170、同171、同N−1717、同N1414等も重合開始剤として使用できる。
本発明の組成物において必要に応じて使用される溶剤としては、組成物の溶解性、塗布性、安全性に応じて適宜選択される。
本発明の組成物を調製する際に使用する溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類;3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等;ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレシ等が挙げられる。
本発明の組成物には、着色剤の分散性を向上させる目的で、或いは必要に応じて従来公知の各種添加物、例えば充填剤、上記アルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、上記以外の界面活性剤、顔料分散剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;
2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;
およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
本発明の反射防止膜用組成物は、前記黒色着色剤(以下、単に「着色剤」ともいう)、及び前記光硬化性樹脂成分、さらに必要に応じて用いられる前記その他の成分を前記溶剤と混合し各種の混合機、分散機を使用して混合分散することによって調製することができる。
尚、混合分散工程は、混練分散とそれに続けて行う微分散処理からなるのが好ましいが、混練分散を省略することも可能である。
微分散工程では、ガラスやセラミックの微粒の分散用メディアと共に混合攪拌することにより、着色剤粒子を一次粒子に近い微小な状態にまで分散する。
従って、混練分散工程では着色剤粒子表面が形成する界面を空気から溶液に変換する必要があるので、強い剪断力、圧縮力が必要となり、それにふさわしい混練機、被混練物は高粘度のものが望ましい。
一方、微分散工程では粒子を微小な状態にまで均一に安定に分布させることが必要となり、凝集している着色剤粒子に衝撃力と剪断力を付与するような分散機と、被分散物は比較的低粘度であることが望ましい。
前記均一に安定に分散させるとは、基板上に形成される固体撮像素子用反射防止膜パターンに突起を発生させないように反射防止の効果にむらがないように均一に分散させることであり、そのためには、前記反射防止膜用組成物中の黒色着色剤の平均一次粒子径(粒子サイズ)は前述の範囲とすることが好ましい。
該平均一次粒子径は、電子顕微鏡法を用いて測定することができる。
次いで、溶剤及びアルカリ可溶性樹脂(混練工程で使用した残部)を加えて、主として縦型若しくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を使用し、0.1〜1mmの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散する。
尚、この混練工程を省くことも可能である。その場合には、顔料と分散剤若しくは表面処理剤、アルカリ可溶性樹脂及び溶剤でビーズ分散を行う。この場合には混練工程での残りのアルカリ可溶性樹脂は分散の途中で添加することが好ましい。
尚、混練、分散についての詳細はT.C. Patton著”Paint Flow
and Pigment Dispersion”(1964年 John Wiley
and Sons社刊)等にも記載されている。
本発明の反射防止膜は、基板上に、電極及び電荷転送回路を有する固体撮像素子の該電極及び/又は電荷転送回路上に設けられた遮光膜の直上に、直接又は他の層を介して形成された固体撮像素子用の反射防止膜であることを特徴とする。
本発明の該固体撮像素子用反射防止膜は、前記反射防止膜用組成物を用いて形成する。
詳しくは、前記反射防止膜用組成物を基板上に塗布して形成した反射防止膜を乾燥(プリベーク)した後、パターン露光、アルカリ現像処理の工程を経て得ることができる。
更に詳細には、例えば、前記反射防止膜形成用組成物を、直接または他の層を介して、基板上に、電極及び電荷転送回路を有する固体撮像素子の該電極及び/又は電荷転送回路上に設けられた遮光膜の直上に、回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して形成した光硬化性塗膜を乾燥(プリベーク)した後、所定のフォトマスクを介してパターン露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ、現像液で現像することによって、遮光膜の上に黒色のパターン状に皮膜を形成して、反射防止膜を製造することができる。本発明において反射防止膜は、前記パターン状としない皮膜も含む。
該光照射に使用される放射線としては、特に限定されず用いることができるが、用いる光重合開始剤に基づき波長を適宜選定する。前記遮光膜は特に限定されないが、アルミ遮光膜であることが好ましい。
また、前記絶縁膜としては、特に限定されないが、例えば、SiN薄膜などが使用できる。
該放射線としては、g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)及びj線(310nm)等に輝線スペクトルを有する放射線の利用が可能である。
本発明の反射防止膜の固体撮像素子における形成位置としては、(1)シリコン基板上の平坦化膜上、(2)カラーフィルタのRGB画素間、(3)遮光膜上、(4)遮光膜とカラーフィルタ画素間で平坦化膜を遮断する位置、(5)遮光膜を覆う位置等あるが、本発明の効果を損なわない範囲で、これ以外に形成してもよい。
該形成位置については、後述の固体撮像素子の項にて説明する。
前記余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後に、50℃〜240℃の温度で加熱処理(ポストベーク)を行うことができる。このように光硬化皮膜を製造することができる。これにより遮光膜が得られる。
前記反射防止膜用組成物はフィラー効果を発現する黒色着色物を含んでいるため、本発明の反射防止膜は膜形成後の加熱処理よって変形することがなく加工性に優れ、カーボンブラックを用いたとき、特に顕著となる。
有機溶剤としては、本発明の組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。現像温度としては、通常20℃〜50℃であり、現像時間としては20〜90秒である。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
また、上記ポストベーク処理と併せて、加熱しながら高圧水銀灯などで紫外線を照射することにより、塗布膜の硬化を行ってもよい(ポストキュア処理)。
本発明の固体撮像素子は、前記本発明の反射防止膜を有することを特徴とする。その他の構成は、特に限定されるものではなく、従来公知の構成を採用することができる。
以下に、本発明の固体撮像素子について図1〜6を用いて説明するが、これに限定されるものではない。
また、該受光センサ部2に隣接して、前記受光センサ部2で形成された電荷を転送するためのCCD構造の垂直転送レジスタ3が設けられ、更に該垂直転送レジスタ3の一端には水平転送レジスタ4が設けられている。
該水平転送レジスタ4終段に信号検出部と出力アンプが形成され、更に周辺部には駆動回路等の周辺回路部Aを形成される。CCD構造の垂直転送レジスタ3・水平転送レジスタ4上には層間膜を介して、周辺回路用遮光膜(図示せず、図2の6参照。)がスパッタ装置で形成されている。
さらに、該遮光膜6が形成されたシリコン基板全体には、必要に応じて平坦化膜7が設けられている。平坦化膜7とシリコン基板1との間には、通常、絶縁膜13が形成される。
前記反射防止膜8は、遮光膜6の直上(真上)に、前記平坦化膜7を介して設けることも、また、該平坦化膜7を介さずに直接設けることも好ましい。
該カラーフィルタ9の各色用矩形単位画素の最大辺は、一般的には、1.5〜20μm以下であるが、中でも、シリコンウェハ等の基板の有効利用、固体撮像素子を使ったデバイスの小型化、固体撮像素子の高速作動の観点から5μm以下が好ましく、4μm以下が更に好ましく、3μm以下が特に好ましい。
図3は、本発明の反射防止膜8をカラーフィルタのRGB画素間に形成した固体撮像素子の別の一形態の断面図であり、カラーフィルタを構成する各画素のパターンプロファイルを矩形にできるので好ましい。図4は、本発明の反射防止膜8を遮光膜6上に形成した場合の固体撮像素子の更に別の一形態の断面図であり、遮光膜6への入射光とそれらの反射を効果的に防止できるので好ましい。図5は、遮光膜6とカラーフィルタ間に平坦化膜7を遮断するように形成した場合の固体撮像素子の更に別の一形態の断面図であり、反射光が発生しにくくなり、また、受光センサ部2への入射光を確実に防止する点で好ましい。また、図6は、遮光膜6の側面まで覆うように形成した場合の固体撮像素子の更に別の一形態の断面図であり、反射光の発生をより一層確実に防止できる点で好ましい。
受光センサ部2、転送電極(図示なし)、信号検出部、出力アンプ、駆動回路等の周辺回路部をシリコン基板1の表層部に有する基板を作成する。該基板は従来公知の方法で作成することできる。
前記基板上に平坦化膜用組成物を均一塗布後、基板をホットプレートにて加熱し、平坦化膜7を形成する。
前記遮光膜6を形成したシリコン基板上に、反射防止膜用組成物を均一に塗布する。
例えば、スピンコートを用いた場合、塗布回転数を塗布後に表面温度90℃で120秒間ホットプレートでの加熱処理後の遮光膜6正面からの膜厚が0.5μmになるように調整することにより膜厚を調整することができる。また、反射防止膜用組成物を塗布する前に、密着性向上のため遮光膜6に陽極酸化処理やベーマイト処理等の酸化皮膜を形成する処理を行うことも可能である。
次に、反射防止膜用組成物が塗布された基板を、加熱処理(例えば、90℃で120秒間ホットプレート)し、乾燥塗布膜を形成する。
次に、遮光膜6上に反射防止膜8のパターンを形成するマスクを介して、放射線(例えば、i線ステッパー、キヤノン(株)製FPA−3000i5+)露光し、現像(例えば、23℃、60秒間、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3%水溶液)して、その後純水を用いて、リンス(例えば、20秒スピンシャワー)、水洗を行い、乾燥後、反射防止膜8の画像パターンを得る。
塗布後は、例えば、ホットプレートで表面温度100℃で120秒間加熱処理する。
一辺が2μmの正方ピクセルが配列されたパターンを有するマスクを介して、放射線露光(例えば、i線ステッパー、キヤノン(株)製FPA−3000i5+)し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3%水溶液を用いて、23℃にて60秒間パドル現像を行い、その後純水を用いて20秒間スピンシャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗を行う。
その後、付着した水滴をエアーを吹き付けて除去し、基板を自然乾燥させ、Blueのカラーフィルタパターン9Bを得る。このとき、前記反射防止膜8の上に重なるように、隣り合ったカラーフィルタの画素パターンの2辺の一部が反射防止膜8上に重なるようにすることが好ましい。
Green(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SG−4000L使用)とRed(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SR−4000L使用)についても同様の工程を繰り返し、基板上の受光センサ部2上部にカラーフィルタ9G、9Rを得る。
[反射防止膜用組成物の調製]
(カーボンブラック分散液の調製)
下記カーボンブラック分散液の組成1を二本ロールにて高粘度分散処理を施し、分散物を得た。この際の分散物の粘度は70000mPa・sであった。
該分散物に下記カーボンブラック分散液の組成2を添加し、3000rpmの条件でホモジナイザーを用いて3時間攪拌した。得られた混合溶液を、0.3mmジルコニアビーズを用いた分散機(商品名:ディスパーマット GETZMANN社製)にて4時間微分散処理を施して、カーボンブラック分散液を調製した。この際の、混合溶液の粘度は37mPa・sであった。
平均一次粒径15nmカーボンブラック(PigmentBlack7) 23部
ベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45%溶液(BzMA/MAA=70/30 Mw:30000) 22部
ソルスパース5000(ゼネカ社製) 1.2部
ベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート45%溶液(BzMA/MAA=70/30 Mw:30000) 22部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 200部
下記成分を攪拌機で混合して反射防止膜用組成物を調製した。
(反射防止膜用組成物の組成)
サイクロマーP(ダイセル化学工業(株)製)(アルカリ可溶樹脂:アクリル酸共重合体溶液、酸価30、重量平均分子量:20000、不揮発分50%) 16部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 2.3部
エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート 0.8部
上記平均一次粒径15nmカーボン分散液 12.5部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 17部
エチル−3−エトキシプロピオネート 11部
トリアジン系開始剤(下記(VI)) 1.1部
実施例1の「カーボンブラック分散液の調製」において、カーボンブラック平均一次粒径15nmに代えて、カーボンブラック一次粒径25nm,35nmをそれぞれ用いた以外は、実施例1と同様に行ってそれぞれの反射防止膜用組成物を調製した。
<反射防止膜の作成>
ガラス基板上に、実施例1で調製した反射防止膜用組成物をスピンコートの塗布回転数を、塗布後に、表面温度90℃で120秒間ホットプレートでの加熱処理後の膜厚が0.5μmになるように調整し、均一に塗布した。
次に、反射防止膜用組成物が塗布された基板を90℃で120秒間ホットプレートで加熱処理し、乾燥塗布膜(反射防止膜)を形成した。
<反射防止膜(窒化膜)の作成>
ガラス基板上に、スパッタリング装置isputter((株)アルバック製)を用い、窒化チタン(TiN)をスパッタ製膜して0.1μmの反射防止膜(窒化膜)を形成した。
<固体撮像素子(平坦化膜上に反射防止膜を形成する場合:図2)の作成>
[回路部の形成]
図2に示すように、シリコン基板1からなる基板の表層部に光電変換をなす複数の受光センサ部2を形成し、該受光センサ部2に隣接して、この受光センサ部2で形成された電荷を転送するためのCCD構造の垂直転送レジスタ3(図1参照)を形成し、垂直転送レジスタ列の一端には水平方向に転送する水平転送レジスタ4(図1参照)を形成し、水平転送レジスタ終段に信号検出部(図示無し)と出力アンプ(図示無し)を形成し、周辺部には駆動回路等の周辺回路部A(図1参照)を形成した。
周辺回路部A等を形成した基板全面に層間膜(絶縁層13)を介してアルミ遮光膜6をスパッタ装置で形成した。
さらに、ポジ型レジストを全面に塗布後、マスクを介して露光・現像を行い、後のエッチング工程で除去するアルミ遮光膜6を露出させた。さらに、ドライエッチャーでエッチングを行ったのち、残ったレジストを剥離してアルミ遮光膜6を露出させ、回路部を有する基板を得た。
前記回路部を形成したシリコン基板上に、平坦化膜組成物(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製 COLOR MOSAIC CT−3100L)を基板上に均一塗布後、基板をホットプレートにて220℃で4分間加熱し、膜厚1μmの平坦化膜7を形成した。
実施例1において作成された反射防止膜用組成物をスピンコートの塗布回転数が、塗布後に表面温度90℃で120秒間ホットプレートでの加熱処理後の膜厚が0.5μmになるように調整し、前記平坦化膜を形成した基板上に均一に塗布した。
次に、反射防止膜用組成物が塗布された基板を90℃で120秒間ホットプレートで加熱処理し、乾燥塗布膜を形成した。
次に、アルミ遮光膜6上に線幅0.6μmのストライプ状のパターンを形成するマスクを介して、i線ステッパー、キヤノン(株)製FPA−3000i5+にて露光し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3%水溶液を用いて、23℃にて60秒間パドル現像を行い、その後純水を用いて20秒スピンシャワーにて、リンスを行い、さらに純水にて水洗を行った。その後、付着した水滴をエアーを吹き付けて除去し、基板を自然乾燥させ、反射防止膜8の画像パターンを得た。
前記反射防止膜8を形成した基板に、Blueのカラーレジスト(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SB−4000L)を、スピンコート時の塗布回転数が、塗布後に表面温度100℃で120秒間ホットプレートでの加熱処理後の平坦化膜7からの膜厚が1.1μmになるように調整し、均一に塗布した。
一辺が2μmの正方ピクセルが配列されたパターンを有するマスクを介して、i線ステッパー、キヤノン(株)製FPA−3000i5+にて露光し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3%水溶液を用いて、23℃にて60秒間パドル現像を行い、その後純水を用いて20秒間スピンシャワーにてリンスを行い、更に純水にて水洗を行った。その後、付着した水滴をエアーを吹き付けて除去し、基板を自然乾燥させ、Blueのカラーフィルタパターン9Bを得た。このとき、前記反射防止膜8の上に重なるように、カラーフィルタパターンの2辺のそれぞれ0.3μm分が反射防止膜8上に重なるようにした。
Green(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SG−4000L使用)とRed(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SR−4000L使用)についても同様の工程を繰り返し、基板上の受光センサ部2上部にカラーフィルタ9G、9Rを得た。
前記カラーフィルタ9を形成したシリコン基板上に、平坦化膜組成物(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC CT−3100L)を均一塗布後、基板をホットプレートにて220℃で4分間加熱し、平坦化膜10を形成した。さらに、その上にマイクロレンズ11を形成した。
得られたシリコン基板にダイシング・パッケージングを施し、固体撮像素子を得た。
<固体撮像素子(反射防止膜をアルミ遮光膜上に形成する場合:図4)の作成>
[回路部の形成]
図4に示すように、実施例4と同様にシリコン基板1上に、受光センサ部2、垂直転送レジスタ部(図示無し)、水平転送レジスタ(図示無し)、信号検出部、出力アンプ、周辺回路部A、及びアルミ遮光膜6等を有する回路部を形成した。
前記アルミ遮光膜6を形成したシリコン基板上に、実施例1で調製された反射防止膜用感光性組成物をスピンコートの塗布回転数が、塗布後に表面温度90℃で120秒間ホットプレートでの加熱処理後のアルミ遮光膜正面からの膜厚が0.5μmになるように調整し、均一に塗布した。
次に、前記反射防止膜用組成物が塗布された基板を90℃で120秒間ホットプレートで加熱処理し、乾燥塗布膜を形成した。
前記反射防止膜用組成物を塗布する前に、密着性向上のためアルミ遮光膜6に陽極酸化処理やベーマイト処理等の酸化皮膜を形成する処理を行うことも可能である。
次に、アルミ遮光膜6上に反射防止膜8のパターンを形成するマスクを介して、i線ステッパー、キヤノン(株)製FPA−3000i5+にて露光し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3%水溶液を用いて、23℃にて60秒間パドル現像を行い、その後純水を用いて20秒スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗を行った。その後、付着した水滴をエアーを吹き付けて除去し、基板を自然乾燥させ、反射防止膜8の画像パターンを得た。
前記アルミ遮光膜6上に反射防止膜8を形成したシリコン基板上に、平坦化膜組成物(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS CT−3100L)を用いて、スピンコート時の塗布回転数が、塗布後に表面温度220℃で240秒間ホットプレートでの加熱処理後の膜厚が1.0μmになるように調整し、塗布した。
さらに、220℃で240秒間加熱し、平坦化膜7を得た。
前記平坦化膜7を形成したシリコン基板上に、Blueのカラーレジスト(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SB−4000L)を用いて、スピンコート時の塗布回転数が、塗布後に表面温度100℃で120秒間ホットプレートでの加熱処理後の膜厚が1.1μmになるように調整し、均一に塗布した。
一辺が2μmの正方ピクセルが配列されたマスクをパターンを介して、i線ステッパー、キヤノン(株)製FPA−3000i5+にて露光し、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)0.3%水溶液で現像し、Blueのカラーフィルタパターン9Bを得た。
Green(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SG−4000L使用)とRed(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC−EXIS SR−4000L使用)についても同様の工程を繰り返し、基板上の受光センサ部2上部にカラーフィルタ9R・9Gを形成した。
前記カラーフィルタ9を形成したシリコン基板上に、平坦化膜組成物(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製COLOR MOSAIC CT−3100L)を均一塗布後、基板をホットプレートにて220℃で4分間加熱し、平坦化膜10を形成した。さらに、その上にマイクロレンズ11を形成した。
得られたシリコン基板にダイシング・パッケージングを施し、固体撮像素子を得た。
実施例4において、図6のようにアルミ遮光膜6の側面まで覆うように比較例2と同一のスパッタ製膜条件で厚さ0.1μmの窒化膜を形成した以外は、実施例4と同様に行って、固体撮像素子を得た。
上記実施例及び比較例より得られた反射防止膜用組成物を用いて得られたLine&Spaceパターンの直線性、反射防止膜における5°の反射率、及び固体撮像素子におけるCFパターンの形状について下記の方法で評価した。
上記実施例1、2及び比較例1で得られた反射防止膜用組成物を用いて、実施例3と同一の条件でガラス基板上に反射防止膜を形成し、そのLine&SpaceパターンをSEM(走査型電子顕微鏡)S−4800で観察評価した。その結果を図7を示す。
実施例3及び比較例2から得られた反射防止膜を分光光度計MPC2200(島津製作所製)を用いて、5°の反射率を測定した。
反射率が低いとカラーフィルタやマイクロレンズを形成する際のハレーションを防止し、偽信号の発生を防止する性能が高いことを示す。その結果を図8、図9示した。
実施例4、5及び比較例3で得られた固体撮像素子におけるCFパターンの形状について、SEM(走査型電子顕微鏡)S−4800を用いて観察比較した。
2 受光センサ部(PD)
3 垂直転送レジスタ(CCD)
4 水平転送レジスタ(CCD)
5 転送電極
6 遮光膜
7 平坦化膜(シリコン基板上)
8 反射防止膜
9 カラーフィルタ(R,G,B)
10 カラーフィルタ上平坦化膜
11 マイクロレンズ
12 電荷転送部
13 絶縁膜
A 駆動回路等の周辺回路部
Claims (8)
- 樹脂成分中に平均一次粒子径30nm以下の黒色着色剤が分散されてなることを特徴とする反射防止膜用組成物。
- 前記黒色着色剤がカーボンブラック、チタンブラックから選択された少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載の反射防止膜用組成物。
- 前記黒色着色剤が光硬化性樹脂成分中に均一に分散されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の反射防止膜用組成物。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の反射防止膜用組成物を用いて形成されたことを特徴とする固体撮像素子用反射防止膜。
- 基板上に、電極及び電荷転送回路を有する固体撮像素子の該電極及び/又は電荷転送回路上に設けられた遮光膜の直上に、直接又は他の層を介して形成されたことを特徴とする請求項4に記載の固体撮像素子用反射防止膜。
- 前記形成される反射防止膜の膜厚が1μm以下であることを特徴とする請求項4又は5に記載の固体撮像素子用反射防止膜。
- 請求項4〜6のいずれか一項に記載の固体撮像素子用反射防止膜を有することを特徴とする固体撮像素子。
- 前記画素の最大径が5μm以下であることを特徴とする請求項7に記載の固体撮像素子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008085160A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Fujifilm Corp | 撮像素子 |
JP2010085756A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像装置 |
JP2010134352A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
WO2020138466A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7119557B2 (ja) * | 2018-05-15 | 2022-08-17 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04103166A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-06 | Sharp Corp | カラー固体撮像装置およびその製造方法 |
JPH0786545A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-31 | Sony Corp | 固体撮像装置の反射防止膜の形成方法 |
JPH1062986A (ja) * | 1996-08-21 | 1998-03-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感放射線性着色組成物 |
JPH10114836A (ja) * | 1996-10-11 | 1998-05-06 | Nippon Kayaku Co Ltd | 黒色顔料組成物、黒色感放射線性樹脂組成物及び黒色硬化膜 |
JPH11174671A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-07-02 | Mitsubishi Chemical Corp | 遮光性感光性組成物及びカラーフィルター |
JP2000275429A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Fuji Xerox Co Ltd | フィルターの製造方法 |
JP2001139890A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-22 | Fuji Xerox Co Ltd | 電着液、電着硬化膜およびその製造方法、ならびに電子デバイス |
JP2002118245A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2003043685A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-13 | Showa Denko Kk | 着色組成物及びカラーフィルター用感光性着色組成物 |
JP2005010604A (ja) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 感光性黒色組成物、それを用いたブラックマトリックス基板およびカラーフィルタ |
JP2005331938A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-12-02 | Showa Denko Kk | ブラックマトリックス用感光性組成物 |
-
2005
- 2005-03-03 JP JP2005059704A patent/JP5489386B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04103166A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-06 | Sharp Corp | カラー固体撮像装置およびその製造方法 |
JPH0786545A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-31 | Sony Corp | 固体撮像装置の反射防止膜の形成方法 |
JPH1062986A (ja) * | 1996-08-21 | 1998-03-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感放射線性着色組成物 |
JPH10114836A (ja) * | 1996-10-11 | 1998-05-06 | Nippon Kayaku Co Ltd | 黒色顔料組成物、黒色感放射線性樹脂組成物及び黒色硬化膜 |
JPH11174671A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-07-02 | Mitsubishi Chemical Corp | 遮光性感光性組成物及びカラーフィルター |
JP2000275429A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Fuji Xerox Co Ltd | フィルターの製造方法 |
JP2001139890A (ja) * | 1999-11-15 | 2001-05-22 | Fuji Xerox Co Ltd | 電着液、電着硬化膜およびその製造方法、ならびに電子デバイス |
JP2002118245A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2003043685A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-13 | Showa Denko Kk | 着色組成物及びカラーフィルター用感光性着色組成物 |
JP2005010604A (ja) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 感光性黒色組成物、それを用いたブラックマトリックス基板およびカラーフィルタ |
JP2005331938A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-12-02 | Showa Denko Kk | ブラックマトリックス用感光性組成物 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008085160A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Fujifilm Corp | 撮像素子 |
JP2010085756A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像装置 |
JP2010134352A (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Fujifilm Corp | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
WO2020138466A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
WO2020137259A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
JPWO2020138466A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2021-11-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
US20220102407A1 (en) * | 2018-12-28 | 2022-03-31 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
US20220139976A1 (en) * | 2018-12-28 | 2022-05-05 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
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