JP2006243261A - 液晶パネル、画像表示装置及び投射型画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マトリクス状に配列された画素電極39と画素電極を駆動する駆動回路が形成された駆動基板と対向基板が対向し、この間隙に充填された液晶を有して構成されており、駆動基板4に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1遮光パターン35と、第1平坦化層と、第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2遮光パターン37とを含む遮光膜が形成されている構成とする。
【選択図】図2
Description
液晶パネルは、マトリクス状に配置された画素2と、画素2を駆動する画素駆動回路3を有するTFT基板4と、TFT基板4と対向する対向基板5と、TFT基板4と対向基板5との間隙に充填、挟持された液晶6とを備える。
さらに、液晶パネル1の入射側及び出射側にはそれぞれ偏光板が別置きされるか、あるいは液晶パネル1の入射面及び出射面に直接貼り付けられる。
画素駆動回路は、ゲート線51、信号線53、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor :TFT)50a、電圧保持コンデンサー(Cs)50b、画素電極59、Vゲートドライバ51a、Hドライバ53aを有する。
ゲート線51と信号線53とで囲まれる領域がそれぞれ画素に相当し、スイッチング素子としてTFT50aが画素ごとに設けられており、各TFT50aのゲートGはゲート線51に共通接続され、各TFT50aのソースSは信号線53に共通接続されている。
また、各ゲート線51と平行して、画素駆動電圧を一定時間保持するためのコンデンサー素子としてCs50bが設けられており、各TFT50aのドレインDに各々接続されている。
上記のようにして、ゲート線51と信号線53で囲まれる領域を覆うように画素電極59が水平方向及び垂直方向にマトリクス状に配置されている。各画素電極59はITO等の透明電極からなり、各TFT50aのドレインDに各々接続されている。
また、垂直方向にストライプ状に配列された各ゲート線51は、Vゲートドライバ51aに接続されている。ゲート線51は、Vゲートドライバ51aにより上から、1水平期間が終了する度に順次1本ずつ選択され、ゲート電圧が掛けられる。
Vゲートドライバ51aとHドライバ53aにより、左上の画素から右下の画素に至るまで、順次選択された画素にデータ信号が供給され、光の透過、半透過、遮断がおこり、1フレームの画像が形成される。
Cs50bは、あるフレームから次のフレームまでの期間、各画素電極59に供給されるデータ信号を一定保存する役割を担う。
このとき、液晶パネル1内のTFT基板4上に形成されたTFT50aやCs50bにも非常に大きな光エネルギーが入射する。
TFT50aやCs50bに非常に大きな光エネルギーが入射すると、一般に光電効果と呼ばれる現象により、ポテンシャルの障壁以上の仕事関数を得た電子が外部へリークしてしまい、TFT50aやCs50bが本来持っている電気特性から逸脱して、画質に大きな影響を及ぼして劣化させてしまう結果となる。
Domain Method)によりシミュレーションした結果である。
このように、本来Y方向の偏光成分Eyしかもたない直線偏光が、矩形の開口形状を通過した際のコーナー部分での回折や散乱の影響により、直行するX方向偏光成分Exが発生してしまっていることがわかる。
X方向の偏光成分は出射側偏光板を透過する偏光成分であるため、黒表示時においても光が漏れ、黒浮き、即ち黒照度の増大を招く恐れがある。
従って、従来は配向性のみが注目されていたが、TFT基板4上の遮光パターン55や対向基板5上の対向側遮光パターン71のコーナー部分における回折及び散乱現象に対する対策も必要である。
特に今後、画像の高精細化に伴い画素ピッチの微細化が進むことが予想され、画素ピッチの微細化とともに回折の影響は顕著になり、対策を講じる必要性がますます増加する。
図1は、本実施形態に係る液晶プロジェクタ用途の液晶パネルの構成を示す模式図である。
液晶パネルは、マトリクス状に配置された画素2と、画素2を駆動する画素駆動回路3を有するTFT基板(駆動基板)4と、TFT基板4と対向する対向基板5と、TFT基板4と対向基板5との間隙に充填、挟持された液晶6とを備える。
さらに、液晶パネル1の入射側及び出射側にはそれぞれ偏光板が別置きされるか、あるいは液晶パネル1の入射面及び出射面に直接貼り付けられる。
画素駆動回路は、ゲート線31、信号線33、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor :TFT)30a、電圧保持コンデンサー(Cs)30b、画素電極39、Vゲートドライバ31a、Hドライバ33aを有する。
ゲート線31と信号線33とで囲まれる領域がそれぞれ画素に相当し、スイッチング素子としてTFT30aが画素ごとに設けられており、各TFT30aのゲートGはゲート線31に共通接続され、各TFT30aのソースSは信号線33に共通接続されている。
また、各ゲート線31と平行して、画素駆動電圧を一定時間保持するためのコンデンサー素子としてCs30bが設けられており、各TFT30aのドレインDに各々接続されている。
上記のようにして、ゲート線31と信号線33で囲まれる領域を覆うように画素電極39が水平方向及び垂直方向にマトリクス状に配置されている。各画素電極39はITO等の透明電極からなり、各TFT30aのドレインDに各々接続されている。
また、垂直方向にストライプ状に配列された各ゲート線31は、Vゲートドライバ31aに接続されている。Hドライバ33aにより1番左の信号線33が選択されてから1番右の信号線が選択されるまでの1水平期間が終了する度に、ゲート線31はVゲートドライバ31aにより上から順次1本ずつ選択され、ゲート電圧が掛けられる。
Vゲートドライバ31aとHドライバ33aにより、左上の画素から右下の画素に至るまで、順次選択された画素にデータ信号が供給され、光の透過、半透過、遮断がおこり、1フレームの画像が形成される。
Cs30bは、あるフレームから次のフレームまでの期間、各画素電極39に供給されるデータ信号を一定保存する役割を担う。
例えば、上記のような構成の駆動回路が形成されたTFT基板に対して、第1遮光パターン35が各ゲート線31に対応するように形成され、第2遮光パターン37が各信号線33に対応するように形成されている。
上記のTFTやCsが画素ごとに形成されたTFT基板4において、垂直方向である第1の方向に延伸するようにゲート線31が形成されており、この上層に第1絶縁膜32を介して水平方向である第2の方向に延伸するように信号線33が形成されており、この上層に第2絶縁膜34が形成されている。
また、第2絶縁膜34の上層に、ゲート線31に対応するように、第1の方向(垂直方向)に延伸するストライプ形状の第1遮光パターン35が形成されており、その上層に第1平坦化層36が形成されている。さらにその上層に、信号線33に対応するように、第2の方向(水平方向)に延伸するストライプ形状の第2遮光パターン37が形成されており、その上層に第2平坦化層38が形成されている。さらにその上層に、TFTのドレインとCsに接続するコンタクトに接続して画素電極39が形成されており、画素電極39を被覆して図示しない配向膜が一面に塗布されている。
また、第1平坦化層36及び第2平坦化層38は、酸化シリコンなどの単一の誘電体膜または複数の誘電体を用いた多層膜からなる。
従って、第1遮光パターン35の総膜厚hAは、100nm≦hA≦1000nmであることが好ましい。
第2遮光パターン37の総膜厚hBについても同様に、100nm≦hB≦1000nmであることが好ましい。
例えば、第1遮光パターン35及び第2遮光パターン37は、500nmとする。
従って、第1平坦化層36の総膜厚tAは、hA+50nm≦tA≦hA+300nmであることが好ましい。
例えば、第1平坦化層36は酸化シリコン単層であり、膜厚tAは700nmとする。
従って、第2平坦化層38の総膜厚tBは、hB+400nm≦tB≦hB+1200nmであることが好ましい。
例えば、第2平坦化層38は酸化シリコン単層であり、膜厚tBは1300nmとする。
即ち、金属膜の成膜、レジスト塗布、マスク露光(原版パターンの転写)、現像、ドライまたはウェットエッチングによるレジスト及び不要金属膜の除去という工程を経て、所望のパターンが形成される。
また、第1平坦化層36、第2平坦化層38は、各平坦化膜の成膜後、好ましくは化学機械研磨(CMP : Chemical Mechanical Polishing)法により、平坦化処理が施される。
本実施形態に係る液晶パネルにおいては、TFT基板4と同様に、対向基板5に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターン41と、第1対向側平坦化層と、第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2対向側遮光パターン43とを含む対向側遮光膜が形成されている。
例えば、対向基板5に対して、第1対向側遮光パターン41がTFT基板4の各ゲート線31に対応するように形成され、第2対向側遮光パターン43がTFT基板4の各信号線33に対応するように形成されている。
対向基板5上に、TFT基板4のゲート線31に対応するように、第1の方向(垂直方向)に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターン41が形成されており、その上層に第1対向側平坦化層42が形成されている。さらにその上層に、TFT基板4の信号線33に対応するように、第2の方向(水平方向)に延伸するストライプ形状の第2対向側遮光パターン43が形成されており、その上層に第2対向側平坦化層44が形成されている。さらにその上層に、対向基板5の全面に、ITOなどの透明電極からなり所定の電圧が印加される共通電極45が設けられており、共通電極45を被覆して図示しない配向膜が一面に塗布されている。
また、第1対向側平坦化層42及び第2対向側平坦化層44は、酸化シリコンなどの単一の誘電体膜または複数の誘電体を用いた多層膜からなる。
第2対向側遮光パターン43の総膜厚hDについても同様に、20nm≦hD≦300nmであることが好ましい。
例えば、第1対向側遮光パターン41及び第2対向側遮光パターン43は、50nmとする。
従って、第1対向側平坦化層42の総膜厚tCは、hC+50nm≦tC≦hC+300nmであることが好ましい。
例えば、第1対向側平坦化層42は酸化シリコン単層であり、膜厚tCは250nmとする。
従って、第2対向側平坦化層44の総膜厚tDは、hD+400nm≦tD≦hD+1200nmであることが好ましい。
例えば、第2対向側平坦化層44は酸化シリコン単層であり、膜厚tDは800nmとする。
即ち、金属膜の成膜、レジスト塗布、マスク露光(原版パターンの転写)、現像、ドライまたはウェットエッチングによるレジスト及び不要金属膜の除去という工程を経て、所望のパターンが形成される。
また、第1対向側平坦化層42、第2対向側平坦化層44は、各平坦化膜の成膜後、好ましくはCMP法により、平坦化処理が施される。
本実施形態においてはTFT基板と対向基板のどちらの遮光パターンも互いに直行するストライプ形状の遮光パターンが平坦化膜を介して積層した構成としているが、生産性や製造コスト等を考慮して、いずれか一方の基板の遮光パターンについて上記の構成とすることでも、一定の効果を享受することができる。
ただし一般的には、ゲート線31上にTFT30aやCs30bが形成される場合が多いため、TFT30aやCs30bに対する遮光性を確保するために、本実施形態のように第1遮光パターン35とゲート線31とを近付けた構成がより好ましい。
ただし前述のとおり、本実施形態のように第2対向側遮光パターン43をゲート線31に近付けた構成がより好ましい。
対向基板5上にマイクロレンズが搭載されている場合、マイクロレンズ層の上層に平坦化層を設け、その上層に本実施形態に示す対向側遮光膜の構成を形成することができる。
本実施形態に係る2重のストライプ構造では、各ストライプ形状の遮光パターンにコーナーが存在せず、回折や散乱現象が起こらないため、矩形開口通過後のX方向偏光成分Exの相対的な光強度はほとんど強度も持たず、画質の劣化を抑制できる。
図7は、上記の液晶パネルを用いて構成された投射型画像表示装置の構成図である。
図7に示す投射型画像表示装置は、透過型の液晶パネルを3枚用いてカラー画像表示を行ういわゆる3板方式のものである。
上記の実施形態では透過型の液晶パネルと画像表示装置について説明しているが、反射型の液晶パネル及びそれを用いた画像表示装置にも適用可能である。
上記の実施形態では投射型の画像表示装置について説明したが、それ以外のタイプの画像表示装置としても適用可能である。
駆動(TFT)基板上の遮光膜と対向基板上の対向側遮光膜は、それぞれ2層以上の遮光パターンからなる構成としてもよい。
上記の実施形態においてはVゲートドライバの選択順を上からとしたが、一般的には下から行ってもよく、またHドライバの選択順を左からとしたが、一般的には右から行ってもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (19)
- マトリクス状に配列された画素電極と前記画素電極を駆動する駆動回路が形成された駆動基板と、
前記駆動基板に対向する対向基板と、
前記駆動基板と前記対向基板との間隙に充填された液晶とを有し、
前記駆動基板に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1遮光パターンと、前記第1遮光パターン上に形成された第1平坦化層と、前記第1平坦化層上に形成され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2遮光パターンとを含む遮光膜が形成されている
液晶パネル。 - 前記駆動回路として、
水平方向にストライプ状に配列された信号線と、
垂直方向にストライプ状に配列されたゲート線と、
前記各画素電極と前記各信号線と前記各ゲート線にそれぞれ接続されたスイッチング素子と、
前記各スイッチング素子にそれぞれ接続されたコンデンサー素子と
が形成されており、
前記第1遮光パターンが前記各ゲート線に対応するように形成され、
前記第2遮光パターンが前記各信号線に対応するように形成されている
請求項1に記載の液晶パネル。 - 前記第1遮光パターン及び前記第2遮光パターンは、単一の金属からなる単層膜または複数の金属を用いた多層膜からなり、
前記第1遮光パターンの総膜厚hA及び前記第2遮光パターンの総膜厚hBは、それぞれ100nm≦hA≦1000nm、100nm≦hB≦1000nmを満たす
請求項1に記載の液晶パネル。 - 前記第1平坦化層は単一の誘電体膜または複数の誘電体を用いた多層膜からなり、
前記第1平坦化層の総膜厚tAはhA+50nm≦tA≦hA+300nmを満たす
請求項3に記載の液晶パネル。 - 前記第2遮光パターンを被覆して、単一の誘電体膜または複数の誘電体を用いた多層膜からなる第2平坦化層が形成されており、
前記第2平坦化層の総膜厚tBはhB+400nm≦tB≦hB+1200nmを満たす
請求項3に記載の液晶パネル。 - 前記第1遮光パターンと前記第2遮光パターンは同電位となるよう電気的に接続されている
請求項1に記載の液晶パネル。 - 前記対向基板に、前記第1の方向に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターンと、前記第1対向側遮光パターン上に形成された第1対向側平坦化層と、前記第1対向側平坦化層上に形成され、前記第2の方向に延伸する第2対向側遮光パターンとを含む対向側遮光膜が形成されている
請求項1に記載の液晶パネル。 - マトリクス状に配列された画素電極と前記画素電極を駆動する駆動回路が形成された駆動基板と、
前記駆動基板に対向する対向基板と、
前記駆動基板と前記対向基板との間隙に充填された液晶とを有し、
前記対向基板に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターンと、前記第1対向側遮光パターン上に形成された第1対向側平坦化層と、前記第1対向側平坦化層上に形成され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2対向側遮光パターンとを含む対向側遮光膜が形成されている
液晶パネル。 - 前記駆動回路として、
水平方向にストライプ状に配列された信号線と、
垂直方向にストライプ状に配列されたゲート線と、
前記各画素電極と前記各信号線と前記各ゲート線にそれぞれ接続されたスイッチング素子と、
前記各スイッチング素子にそれぞれ接続されたコンデンサー素子と
が形成されており、
前記第1対向側遮光パターンが前記各ゲート線に対応するように形成され、
前記第2対向側遮光パターンが前記各信号線に対応するように形成されている
請求項8に記載の液晶パネル。 - 前記第1対向側遮光パターン及び前記第2対向側遮光パターンは、単一の金属からなる単層膜または複数の金属を用いた多層膜からなり、
前記第1対向側遮光パターンの総膜厚hC及び前記第2対向側遮光パターンの総膜厚hDは、それぞれ20nm≦hC≦300nm、20nm≦hD≦300nmを満たす
請求項8に記載の液晶パネル。 - 前記第1対向側平坦化層は単一の誘電体膜または複数の誘電体を用いた多層膜からなり、
前記第1対向側平坦化層の総膜厚tCはhC+50nm≦tC≦hC+300nmを満たす
請求項10に記載の液晶パネル。 - 前記第2対向側遮光パターンを被覆して、単一の誘電体膜または複数の誘電体を用いた多層膜からなる第2対向側平坦化層が形成されており、
前記第2対向側平坦化層の総膜厚tDはhD+400nm≦tD≦hD+1200nmを満たす
請求項10に記載の液晶パネル。 - 前記第1対向側遮光パターンと前記第2対向側遮光パターンは同電位となるよう電気的に接続されている
請求項8に記載の液晶パネル。 - 光源と、
前記光源から出射された光の偏光方向を規制する偏光子と、
前記偏光子を透過した偏光を変調する液晶パネルと
を有し、
前記液晶パネルが、
マトリクス状に配列された画素電極と前記画素電極を駆動する駆動回路が形成された駆動基板と、
前記駆動基板に対向する対向基板と、
前記駆動基板と前記対向基板との間隙に充填された液晶とを有し、
前記駆動基板に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1遮光パターンと、前記第1遮光パターン上に形成された第1平坦化層と、前記第1平坦化層上に形成され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2遮光パターンとを含む遮光膜が形成されている
画像表示装置。 - 前記液晶パネルの前記対向基板に、前記第1の方向に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターンと、前記第1対向側遮光パターン上に形成された第1対向側平坦化層と、前記第1対向側平坦化層上に形成され、前記第2の方向に延伸する第2対向側遮光パターンとを含む対向側遮光膜が形成されている
請求項14に記載の画像表示装置。 - 光源と、
前記光源から出射された光の偏光方向を規制する偏光子と、
前記偏光子を透過した偏光を変調する液晶パネルと
を有し、
前記液晶パネルが、
マトリクス状に配列された画素電極と前記画素電極を駆動する駆動回路が形成された駆動基板と、
前記駆動基板に対向する対向基板と、
前記駆動基板と前記対向基板との間隙に充填された液晶とを有し、
前記対向基板に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターンと、前記第1対向側遮光パターン上に形成された第1対向側平坦化層と、前記第1対向側平坦化層上に形成され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2対向側遮光パターンとを含む対向側遮光膜が形成されている
画像表示装置。 - 光源と、
前記光源から出射された光の偏光方向を規制する偏光子と、
前記偏光子を透過した偏光を変調する液晶パネルと、
前記液晶パネルにより変調された光を投射する投射手段と
を有し、
前記液晶パネルが、
マトリクス状に配列された画素電極と前記画素電極を駆動する駆動回路が形成された駆動基板と、
前記駆動基板に対向する対向基板と、
前記駆動基板と前記対向基板との間隙に充填された液晶とを有し、
前記駆動基板に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1遮光パターンと、前記第1遮光パターン上に形成された第1平坦化層と、前記第1平坦化層上に形成され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2遮光パターンとを含む遮光膜が形成されている
投射型画像表示装置。 - 前記液晶パネルの前記対向基板に、前記第1の方向に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターンと、前記第1対向側遮光パターン上に形成された第1対向側平坦化層と、前記第1対向側平坦化層上に形成され、前記第2の方向に延伸する第2対向側遮光パターンとを含む対向側遮光膜が形成されている
請求項17に記載の投射型画像表示装置。 - 光源と、
前記光源から出射された光の偏光方向を規制する偏光子と、
前記偏光子を透過した偏光を変調する液晶パネルと、
前記液晶パネルにより変調された光を投射する投射手段と
を有し、
前記液晶パネルが、
マトリクス状に配列された画素電極と前記画素電極を駆動する駆動回路が形成された駆動基板と、
前記駆動基板に対向する対向基板と、
前記駆動基板と前記対向基板との間隙に充填された液晶とを有し、
前記対向基板に、第1の方向に延伸するストライプ形状の第1対向側遮光パターンと、前記第1対向側遮光パターン上に形成された第1対向側平坦化層と、前記第1対向側平坦化層上に形成され、前記第1の方向と直交する第2の方向に延伸するストライプ形状の第2対向側遮光パターンとを含む対向側遮光膜が形成されている
投射型画像表示装置。
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