JP2006242664A - 3次元構造物分析システム - Google Patents
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- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 41
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 12
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 7
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2445—Photon detectors for X-rays, light, e.g. photomultipliers
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- H—ELECTRICITY
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/3174—Etching microareas
- H01J2237/31745—Etching microareas for preparing specimen to be viewed in microscopes or analyzed in microanalysers
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Abstract
【課題】 エネルギー分解能を大幅に向上させて、低エネルギー化を図ることができ、試料の表面の組成を精度良く把握することができる3次元構造物分析システムを提供する。
【解決手段】 試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を3次元的に加工するイオン銃と、イオンビームにより3次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃と、前記電子が照射された試料からのX線を検出するX線検出器と、該X線検出器での検出結果に基づいて前記試料の組成分析を行う組成分析装置と、を備える3次元構造物分析システムである。X線検出器は、エネルギー分散型の超伝導X線検出器からなる。
【選択図】 図3
【解決手段】 試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を3次元的に加工するイオン銃と、イオンビームにより3次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃と、前記電子が照射された試料からのX線を検出するX線検出器と、該X線検出器での検出結果に基づいて前記試料の組成分析を行う組成分析装置と、を備える3次元構造物分析システムである。X線検出器は、エネルギー分散型の超伝導X線検出器からなる。
【選択図】 図3
Description
本発明は、試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を3次元的に加工するイオン銃と、イオンビームにより3次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃とを備える3次元構造物分析システムに関するものである。
従来において、試料の一部にイオンビームを照射し、3次元的に試料を加工するイオン銃と、イオンビームで加工した3次元的な試料を観察するための電子銃とを備えたダブルビームシステムが検討されている。そして、イオンビームで加工した試料断面(加工断面)の元素分析を、シリコン検出器を利用したX線検出器が用いられている。
また、特許文献1には、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するマニピュレータをウェーハ資料台とを独立に駆動するマニピュレータ制御装置を備える技術が提案されている。
特開2002−151934号公報
また、特許文献1には、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するマニピュレータをウェーハ資料台とを独立に駆動するマニピュレータ制御装置を備える技術が提案されている。
しかしながら、シリコン検出器を利用したX線検出器においては、エネルギー分解能が130eV以上に留まっているため、低エネルギー領域(例えば、5kV以下)での組成分析ができない。この理由は、低エネルギー領域には、軽元素のK線と重い元素のL線、M線が混在し、これらのピーク分離を実現させるためには、X線検出器のエネルギー分解能を少なくとも30eV以下にすることが必要である。従来においては、X線検出器のエネルギー分解能を130eV以下にはできず、低エネルギー領域で混在したK線(L2’(K))やL線(L1’(L))を分離できなかった(図6参照)。このため、軽元素および重元素ともにK線(L1’(K)、(L2’(K)))で分析する必要があり、重元素のK線を発生させるには電子線の加速電圧を10kV以上に上げざるを得ない。
このように、従来においては、イオンビームで試料加工した後、得られた断面の元素分析をするために電子銃の加速電圧を10kV以上とする必要があるため、加速された電子のエネルギーにより試料の衝突個所が破壊されてしまうという問題がある。
また、試料が絶縁体や有機膜の場合、電子線の加速電圧が10kV以上となると、チャージアップが発生し像がぼやけてしまう。チャージアップの問題を回避するためには、分析対象面に導電性膜をコーティングする必要がある。すなわち、イオンビームで試料を加工した後、絶縁膜断面にコーティングし、さらに下層部を分析するためにイオンビームで加工し、新たに露出した断面に導電性膜をコーティングし分析するなどの処理が必要となり、非常に手間がかかってしまい、さらに、試料がコーティング膜でカバーされるために、組成分析のときに導電性膜の信号も同時に発生してしまい、分析が複雑になるという問題も生じる。
従って、本発明は、エネルギー分解能を大幅に向上させて、低エネルギー化を図ることができ、試料の表面の組成を精度良く把握することができる3次元構造物分析システムを提供することを目的とする。
本発明は、3次元構造物分析システムであって、試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を3次元的に加工するイオン銃と、イオンビームにより3次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃と、前記電子が照射された試料からのX線を検出するX線検出器と、該X線検出器での検出結果に基づいて前記試料の組成分析を行う組成分析装置と、を備える3次元構造物分析システムであって、前記X線検出器は、エネルギー分散型の超伝導X線検出器からなることを特徴とする。
この発明によれば、前記電子銃により3次元的に加工された試料に対して、前記電子銃から電子を照射して、前記試料で発生したX線を前記X線検出器により検出する。前記X線検出器は超伝導を利用した検出器であり、X線の吸収によりクーパー対を破壊し準粒子を発生させ、この準粒子数をカウントするSTJ(Superconducting Tunneling Junction)型と、常伝導から超伝導へと転移するとき発生する大きな抵抗変化を温度計として利用したカロリーメータ型がある。STJ型は従来の半導体検出器と比較し、あるエネルギーのフォトンを吸収したときに信号発生量が多いため、エネルギー分解能を従来に比して大幅に向上することができるので、前記電子銃から照射される電子の加速電圧を従来よりも大幅に低減できる。カロリーメータ型はあるエネルギーをもつフォトンを吸収したときに微小な温度上昇を内部に生じ、超伝導転移端に動作点を保持した場合に大きな抵抗変化が得られる。カロリーメータは定電圧下にあるとき、小さな温度変化に大きな電流信号を発生させることができる。またカロリーメータは動作温度を下げることによりノイズを低減させることができるため、超伝導転移温度をできるだけ低温にさせる。その結果S/N比(Signal to Noise Ratio)を大きくすることができ、エネルギー分解能を従来に比して大幅に向上することができるため、前記電子銃から照射される電子の加速電圧を従来よりも大幅に低減できる。従って、加速電圧を下げると特性X線の発生領域が試料断面の表面近傍に限定されるため、従来よりも表面に限定した組成分析が可能となる。さらに、超伝導X線検出器としてエネルギー分散型のものを用いることにより、広いエネルギー帯に亘って同時に複数の異なるX線を検出することができる。ここで、3次元的に加工するとは、単なる平面形状ではなく、試料表面の所定個所を掘削して凹凸形状とすることを意味する。3次元的に加工することにより、試料表面のみならず内部の組成についても検出・分析を行うことができる。
本発明は、上述の3次元構造物分析システムであって、前記電子銃から照射される電子の加速電圧が0.1〜5kVであることが好ましい。
この発明によれば、前記加速電圧を0.1kV〜5kVとすることで、軽い元素はK線を、重い元素はL、M線を、それぞれ励起することができるので、ほぼすべての元素を分析することができる。また、本エネルギー領域の電子線はエネルギーが十分低いため、試料へのダメージを十分低く抑えることができる。特に、本エネルギー領域は、特性X線の発生領域を数十nm〜数百nmに抑えることができ、試料表面近傍の組成分析が可能である。
この発明によれば、前記加速電圧を0.1kV〜5kVとすることで、軽い元素はK線を、重い元素はL、M線を、それぞれ励起することができるので、ほぼすべての元素を分析することができる。また、本エネルギー領域の電子線はエネルギーが十分低いため、試料へのダメージを十分低く抑えることができる。特に、本エネルギー領域は、特性X線の発生領域を数十nm〜数百nmに抑えることができ、試料表面近傍の組成分析が可能である。
本発明は、上述の3次元構造物分析システムであって、前記超伝導X線検出器のエネルギー分解能が30eV以下であることが好ましい。
この発明によれば、前記エネルギー分解能を上記のようにすることで、前記電子銃から照射される電子の加速電圧を5kV以内に抑えた場合であっても、すべての組成分析を行うことができる。例えば、半導体で重要な物質であるSiやWは、K線とM線とで分析可能である。
この発明によれば、前記エネルギー分解能を上記のようにすることで、前記電子銃から照射される電子の加速電圧を5kV以内に抑えた場合であっても、すべての組成分析を行うことができる。例えば、半導体で重要な物質であるSiやWは、K線とM線とで分析可能である。
本発明は、上述の3次元構造物分析システムであって、前記試料が、セラミック、有機膜、半導体に使用される絶縁膜等の、絶縁物を少なくとも含有していることが好ましい。
この発明によれば、前記電子銃から照射される電子の加速電圧を5kV以内に抑えることで、絶縁物のチャージアップを低減できる。これにより、イオンビームで加工した直後に何の操作も必要せずに組成分析を行うことができる。すなわち、従来のように電子の加速電圧が10kV以上のときには、絶縁物を加工した後にその加工断面を組成分析するときに、チャージアップを防ぐための導電膜のコーティングが必要であり、このコーティングに伴って上述のような様々な処理が必要であった。この発明によれば、導電膜のコーティングを不要にでき、それに伴う様々な処理を不要にでき作業負担を大幅に低減することができる。
この発明によれば、前記電子銃から照射される電子の加速電圧を5kV以内に抑えることで、絶縁物のチャージアップを低減できる。これにより、イオンビームで加工した直後に何の操作も必要せずに組成分析を行うことができる。すなわち、従来のように電子の加速電圧が10kV以上のときには、絶縁物を加工した後にその加工断面を組成分析するときに、チャージアップを防ぐための導電膜のコーティングが必要であり、このコーティングに伴って上述のような様々な処理が必要であった。この発明によれば、導電膜のコーティングを不要にでき、それに伴う様々な処理を不要にでき作業負担を大幅に低減することができる。
本発明は、上述の3次元構造物分析システムであって、前記超伝導X線検出器を、複数備えていることが好ましい。
この発明によれば、前記超伝導X線検出器を複数設けることにより、X線の検出面積を、設けた個数分倍加させることができる。また、これに伴いX線の計数率を向上させることができる。ここで、計数率とは、1秒あたりにカウント可能なX線の数である。
この発明によれば、前記超伝導X線検出器を複数設けることにより、X線の検出面積を、設けた個数分倍加させることができる。また、これに伴いX線の計数率を向上させることができる。ここで、計数率とは、1秒あたりにカウント可能なX線の数である。
本発明は、上述の3次元構造物分析システムであって、前記超伝導X線検出器はカロリーメータ型であり、少なくとも6個以上備えられていることが好ましい。
この発明によれば、現状において高分解能型である半導体検出器の計数率と同等の検出率を得ることができる。加えて、前記超伝導X線検出器は、前記半導体検出器に対してエネルギー分解率が10倍以上優れているため、同じ時間で測定した場合、検出感度が10倍向上する。具体的には、カロリーメータのパルス時定数は現状においては100μs程度であり、1検出器で可能な計数率は500cpsである。これを6個配置すると全計数率は3000cpsであり、高分解能型である半導体検出器の計数率と同等となる。
この発明によれば、現状において高分解能型である半導体検出器の計数率と同等の検出率を得ることができる。加えて、前記超伝導X線検出器は、前記半導体検出器に対してエネルギー分解率が10倍以上優れているため、同じ時間で測定した場合、検出感度が10倍向上する。具体的には、カロリーメータのパルス時定数は現状においては100μs程度であり、1検出器で可能な計数率は500cpsである。これを6個配置すると全計数率は3000cpsであり、高分解能型である半導体検出器の計数率と同等となる。
本発明によれば、エネルギー分解能を大幅に向上させて、低エネルギー化を図ることができ、試料の表面の組成を精度良く把握することができる。
以下、この発明の実施の形態における3次元構造物分析システムを図面と共に説明する。
図1は、本発明の実施の形態における3次元構造物分析システムの構成を示す要部断面図である。同図に示すように、3次元構造物分析システムは、試料7の少なくとも一部にイオンビームを照射して前記試料7を3次元的に加工するイオン照射装置20と、イオンビームにより3次元的に加工した試料7に対して電子を照射する電子照射装置30と、X線を検出する超伝導X線検出器40と、前記試料7の組成分析を行う組成分析装置であるコンピュータと、を備えている。
図1は、本発明の実施の形態における3次元構造物分析システムの構成を示す要部断面図である。同図に示すように、3次元構造物分析システムは、試料7の少なくとも一部にイオンビームを照射して前記試料7を3次元的に加工するイオン照射装置20と、イオンビームにより3次元的に加工した試料7に対して電子を照射する電子照射装置30と、X線を検出する超伝導X線検出器40と、前記試料7の組成分析を行う組成分析装置であるコンピュータと、を備えている。
イオン照射装置20は、イオン源1と、コンデンサレンズ2と、ビームブランキング3と、対物レンズ4と、XY偏向電極5とをそれぞれ備えて構成される。イオン照射装置20により細くしぼったイオンビームを試料7に照射して、試料7を三次元的に加工する。
一方、電子照射装置30は、電子銃8と、コンデンサレンズ9と、ビームブランキング10と、対物レンズ11と、XY偏向電極12とを備えている。電子照射装置30により電子を試料7に照射して、試料7からX線を発生させる。
一方、電子照射装置30は、電子銃8と、コンデンサレンズ9と、ビームブランキング10と、対物レンズ11と、XY偏向電極12とを備えている。電子照射装置30により電子を試料7に照射して、試料7からX線を発生させる。
また、本実施の形態における3次元構造物分析システムは、ビーム切換器13を用い、イオン照射系と電子照射系との切換を行う。このように制御することで、試料7から出る二次電子が、イオンビーム励起の時のものか、電子ビーム励起のものかを区別して、走査像を表示している。なお、制御用コンピュータの像表示用ディスプレイ14中には、超伝導X線検出装置40による検出結果が表示される。
この超伝導X線検出装置40の概略構成について、図5を用いて説明する。ここで示す超伝導X線検出装置はカロリーメータ型であり、STJ型を用いてもよい。以下はカロリーメータ型で話を進める。同図に示すように、超伝導X線検出器40は、X線を吸収するための吸収体42と、この吸収体42で発生する微小な温度変化を検出するための温度計41と、吸収体42と温度計41で発生する熱を熱浴44へ逃がすためのサーマルリンク43を備えて構成される。温度計41には定電圧状態にあり、温度計41で発生するジュール熱と温度計41から熱浴44へ逃げる熱とが熱的につりあい温度計41の温度は転移端中(図4の範囲A参照)に保持される。その熱的な関係式は、下式(1)で与えられる。
P=G(T−Tbath)…(1)
ここで、Pは温度計で発生するジュール熱を、Gはサーマルリンクの熱伝導度を、Tは転移温度を、Tbathは熱浴温度を表す。転移端中に動作点を保持すると、定電圧下にある温度計41の温度がX線吸収に伴い上昇すると、転移曲線に従い抵抗値は増加する。定電圧下にある温度計の抵抗変化に伴い、電流パルスδIが発生する。この電流パルスδIは、下式(2)で与えられる。
δI=δ(V/R)=−IδR/R=−IαδT/T…(2)
ここで、αは超伝導転移の急峻さを示す無次元のパラメータであり、従来使用されている半導体カロリーメータに対して、数十倍大きな値が得られる。その結果同じ温度変化δTに対して、超伝導体を利用したカロリーメータは大きなパルス信号を得ることができる。また超伝導転移温度を絶対零度に近づけることにより、温度計自身のノイズも低下させることができる。これにより、SN比を大きくすることができ、エネルギー分解能を従来に比して大幅に向上することができるため、前記電子銃8から照射される電子の加速電圧を従来よりも大幅に低減できる。
以上のような構成を備えた3次元構造物分析システムの動作について図2を用いて説明する。まず、試料7の所定領域に亘りイオンビームLIを照射して、試料7を所定深さまで掘削して内部を露出させる加工を行う(3次元加工)。ついで、電子照射装置30から試料7に対して電子ビームLEを照射して、照射された試料7からX線を発生させる。このとき、従来に比して加速電圧を下げることができるので、その分特性X線の発生領域が試料7断面の表面近傍に限定されるため、従来よりも表面に限定した組成分析が可能となる。この発生したX線LXを、超伝導X線検出器40により検出して、試料7の組成分析を行う。上述のように、超伝導X線検出器40を用いることで、エネルギー分解能を大幅に向上できるので、従来と異なり、低エネルギー領域で混在したK線(L2(K))やL線(L1(L))を分離することができる(図3参照)。
以上説明したように、本実施の形態における3次元構造物分析システムでは、エネルギー分解能を大幅に向上させて、低エネルギー化を図ることができ、試料の表面の組成を精度良く把握することができる。
以上、本発明の内容を実施の形態により説明したが、本発明の内容は実施の形態のみに限定されるものでないことはもちろんである。例えば、電子線またはイオンを試料に照射することにより発生する二次電子を検出する二次電子検出器をさらに備える構成としてもよく、また、試料から発生するイオンを検出する二次イオン検出器をさらに備える構成としてもよい。
また、前記加速電圧を本0.1kV〜5kVとすることで、試料へのダメージを十分低く抑えることができる。特に本エネルギー領域は特性X線の発生領域を数十nm〜数百nmに抑えることができ、試料表面近傍の組成分析が可能であり、かつ、電子線による試料ダメージを抑えることができる点で、従来の特性X線分析より好ましい。特に絶縁物や有機膜の組成分析への応用はサンプルダメージ低減の点から有効である。
また、前記加速電圧を本0.1kV〜5kVとすることで、試料へのダメージを十分低く抑えることができる。特に本エネルギー領域は特性X線の発生領域を数十nm〜数百nmに抑えることができ、試料表面近傍の組成分析が可能であり、かつ、電子線による試料ダメージを抑えることができる点で、従来の特性X線分析より好ましい。特に絶縁物や有機膜の組成分析への応用はサンプルダメージ低減の点から有効である。
また、前記超伝導X線検出器のエネルギー分解能が30eV以下であれば、前記電子銃から照射される電子の加速電圧を5kV以内に抑えた場合であっても、すべての組成分析を行うことができる点で好ましい。
また、本発明の3次元構造物加工システムは、前記試料が、セラミック、有機膜、半導体に使用される絶縁膜等の、絶縁物を少なくとも含有していても、イオンビームで加工した直後に導電性を確保するための操作を必要とせずに組成分析を行うことができる。
また、前記超伝導X線検出器を複数設けると、X線の検出面積を、設けた個数分倍加させることができ、これに伴いX線の計数率を向上させることができる点で好ましい。
また、前記超伝導X線検出器を複数設けると、X線の検出面積を、設けた個数分倍加させることができ、これに伴いX線の計数率を向上させることができる点で好ましい。
また、超伝導X線検出器がカロリーメータ型の場合、少なくとも6個以上備えることが好ましい。このようにすると、現状において高分解能型である半導体検出器の計数率と同等の検出率を得ることができる。加えて、前記超伝導X線検出器は、前記半導体検出器に対してエネルギー分解率が10倍以上優れているため、同じ時間で測定した場合、検出感度が10倍向上する。
1…イオン源
9…電子銃
20…イオン照射装置
30…電子照射装置
40…超伝導X線検出器
41…温度計
42…吸収体
43…サーマルリンク
44…熱浴
9…電子銃
20…イオン照射装置
30…電子照射装置
40…超伝導X線検出器
41…温度計
42…吸収体
43…サーマルリンク
44…熱浴
Claims (6)
- 試料の少なくとも一部にイオンビームを照射して、前記試料を3次元的に加工するイオン銃と、
イオンビームにより3次元的に加工した試料に対して電子を照射する電子銃と、
前記電子が照射された試料からのX線を検出するX線検出器と、
該X線検出器での検出結果に基づいて前記試料の組成分析を行う組成分析装置と、を備える3次元構造物分析システムであって、
前記X線検出器は、エネルギー分散型の超伝導X線検出器からなることを特徴とする3次元構造物分析システム。 - 前記電子銃から照射される電子の加速電圧が0.1〜5kVであることを特徴とする請求項1に記載の3次元構造物分析システム。
- 前記超伝導X線検出器のエネルギー分解能が30eV以下であることを特徴とする請求項2に記載の3次元構造物分析システム。下限についても記載。
- 前記試料が、セラミック、有機膜、半導体に使用される絶縁膜等の、絶縁物を少なくとも含有していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の3次元構造物分析システム。
- 前記超伝導X線検出器を、複数備えていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の3次元構造物分析システム。
- 前記超伝導X線検出器はカロリーメータ型であり、少なくとも6個以上備えられていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の3次元構造物分析システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005056842A JP2006242664A (ja) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 3次元構造物分析システム |
DE102006007039A DE102006007039A1 (de) | 2005-03-02 | 2006-02-15 | Dreidimensionales Strukturanalysesystem |
US11/362,608 US20060198494A1 (en) | 2005-03-02 | 2006-02-27 | Three-dimensional structure analyzing system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005056842A JP2006242664A (ja) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 3次元構造物分析システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006242664A true JP2006242664A (ja) | 2006-09-14 |
Family
ID=36914895
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005056842A Withdrawn JP2006242664A (ja) | 2005-03-02 | 2005-03-02 | 3次元構造物分析システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060198494A1 (ja) |
JP (1) | JP2006242664A (ja) |
DE (1) | DE102006007039A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011039053A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Fei Co | X線分光法用の微量熱量測定 |
JP2015090360A (ja) * | 2013-11-07 | 2015-05-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線応用装置及びそれを用いた欠陥分類方法 |
US10901100B2 (en) | 2018-07-26 | 2021-01-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Radiation detector and radiation detecting device |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4420976A (en) * | 1981-09-09 | 1983-12-20 | Mcdonnell Douglas Corporation | Multiplexed true mass gaging system |
US5634718A (en) * | 1994-07-27 | 1997-06-03 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Particle calorimeter with normal metal base layer |
JP4178741B2 (ja) * | 2000-11-02 | 2008-11-12 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置および試料作製装置 |
-
2005
- 2005-03-02 JP JP2005056842A patent/JP2006242664A/ja not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-02-15 DE DE102006007039A patent/DE102006007039A1/de not_active Withdrawn
- 2006-02-27 US US11/362,608 patent/US20060198494A1/en not_active Abandoned
Cited By (3)
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US10901100B2 (en) | 2018-07-26 | 2021-01-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Radiation detector and radiation detecting device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060198494A1 (en) | 2006-09-07 |
DE102006007039A1 (de) | 2006-09-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080212 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20081002 |