JP2006236884A - 表示パネル - Google Patents
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Abstract
【課題】 電界放出表示装置の表示パネルにおいて、配線(走査線)の低抵抗化を図り、電圧降下を抑制する。
【解決手段】
走査線27の膜厚を、Agペーストのスクリーン印刷により、厚く形成する。さらに、電子源の電極13と、その電極13に給電する走査線27との間には、接続信頼性を向上させるために、接続補助電極28を設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】
走査線27の膜厚を、Agペーストのスクリーン印刷により、厚く形成する。さらに、電子源の電極13と、その電極13に給電する走査線27との間には、接続信頼性を向上させるために、接続補助電極28を設ける。
【選択図】 図1
Description
本発明は、表示装置の表示パネルに関し、特に、電界放出表示装置の表示パネルに関する。
特許文献1には、電界放出画像表示装置(Field Emission Display)に用いられる表示パネル(FEDパネル)が記載されている。このFEDパネルは、図27に示すように、信号線11と走査線27とが交差する部分において、基板10上に、信号線11、絶縁層14,15、走査線27、上部電極13とが、この順に積層した構造となっている。電子源は、上部電極13、絶縁層(電子加速層)12、下部電極(信号線)11とからなる、金属―絶縁体―金属を積層したMIM(Metal−Insulator−Metal)型電子源である。
ところで、FEDの大型化を達成するためには、走査線に生じる電圧降下を抑制して走査線に沿った輝度むらを低減する必要がある。すなわち、電圧効果を抑制するために、走査線の低抵抗化が望まれる。
本発明の目的は、基板上に複数の配線が形成された表示パネルにおいて、配線の低抵抗化を図る技術を提供することにある。
本発明のFEDパネルは、上部電極への給電配線である走査線の膜厚を厚くして、抵抗値を下げ、電圧降下を抑制する。
ただし、走査線の膜厚を厚くすると、図2の符号Pに示すように、走査線27と上部電極13との導通に不良が生じる場合がある。特に、走査線27をスクリーン印刷法により形成した場合、表面が粗くなるので、薄膜である上部電極13との接続に不良が生じ易くなる。
そこで、本発明の表示パネルは、電子源の電極と、前記電極に給電するための給電配線との間に、当該電極と給電配線との導通のための接続補助電極を備えている。
具体的には、本発明は、電界放出表示装置の表示パネルであって、
電子源の電極と、前記電極へ給電するための給電配線とを有し、
前記電極と、前記給電配線との間には、当該電極と給電配線との導通のための接続補助電極が設けられている。
電子源の電極と、前記電極へ給電するための給電配線とを有し、
前記電極と、前記給電配線との間には、当該電極と給電配線との導通のための接続補助電極が設けられている。
以下に、本発明が適用されたFED(Field Emission Display)パネル及びその製造方法について説明する。
<第1実施形態>
まず、本実施形態のFEDパネルについて図1、図16、図17を用いて説明する。
まず、本実施形態のFEDパネルについて図1、図16、図17を用いて説明する。
図17は、本実施形態のFEDパネルの平面図であり、駆動回路50,60を接続したところを示す図である。なお、図17は、表示側から見た平面図であるが、理解容易のため、一部省略して記載している。
図16(a)は、図17のFEDパネルにおけるA−A’方向断面図である。図16(b)は、図17のFEDパネルにおけるB−B’方向断面図である。ただし、図17は、6×6ドットのFEDパネルであるが、図16では、説明の都合上、3×3ドットのFEDパネルの断面図としている。
図1は、FEDパネルの電子源を中心とした拡大断面図である。図1は、図17のFEDパネルのB−B’方向における断面の一部に相当する。
図1、図16及び図17に示すように、本実施形態のFEDパネルは、カソード基板200とアノード基板100とが、枠スペーサ116及び内部スペーサ40を介して、対向して配置され構成されている。
カソード基板200には、図17に示すように、ガラス等の絶縁性の基板10上に、複数の信号線11及び複数の走査線27が交差して配置されている。
信号線11と走査線27とが交差する部分では、図1に示すように、基板10上に、信号線(下部電極)11、第1保護絶縁層14、第2保護絶縁層(層間絶縁膜)15、走査線(上部バス電極)27、接続補助層(接続補助電極)28、上部電極13とが、この順に積層した構造となっている。
信号線11は、AlやAl合金等で構成されている。ここでは、Ndを2原子量%ドープしたAl−Nd合金で構成されている。
第1保護絶縁層14は、電子放出部を制限し、下部電極エッジヘの電界集中を防止する役目を果たす。ここでは、第1保護絶縁層14は、Al酸化物で構成されている。
第2保護絶縁層15は、第1保護絶縁層14にピンホールがあった場合、その欠陥を埋め、信号線11と走査線27との絶縁を保つ役割を果たす。第2保護絶縁層15としては、SiN、SiON等が用いられる。
走査線27は、電子源(エミッタ)の電極である上部電極13に給電するための配線である。走査線27は、大型のFEDパネルの場合、低抵抗化のため、数μmの膜厚をもたせたAg、Cu、Niなどの層で構成されている。このような厚い膜を有する走査線27は、Agペースト等の金属ペーストを用いたスクリーン印刷法などで形成させることができる。
上部電極13は、例えば、スパッタ法により、Ir、Pt、Auをこの順に積層した、膜厚1〜10nmの積層膜である。
接続補助層28は、走査線27と上部電極13との両方に接触し、走査線27と上部電極13とを、確実に導通させる役目を果たす。接続補助層28は、AlまたはAl合金などをスパッタ法等により形成させたものである。
上述のように、走査線27は、その膜を厚くするため、スクリーン印刷法などで形成される。印刷により形成された走査線27の表面は、通常、凹凸があり、粗くなる。一方、上部電極13は、上述のように、極薄い膜である。したがって、走査線27に、直接、薄い上部電極13を積層させようとすると、図2の符号Pに示すように、上部電極13が一様に積層されずムラが生じる場合がある。かかる場合、走査線27と上部電極13との接続が達成できなくなる。そこで、本実施形態では、接続の信頼性の向上を図るため、走査線27と上部電極13との間に、両者の導通を確保する接続補助層28を設けることとした。
このような接続補助層28は、AlまたはAl合金等により、スパッタ法により形成することができる。また、膜厚は、通常、200〜1000nmの範囲である。
電子源(冷陰極電子源)は、信号線11と走査線27とが交差する位置ごとに設けられている。各電子源は、画像素子となる。冷陰極電子源は、スピント型電子源、表面伝導型電子源(Surface-conduction Electron-emitter)、カーボンナノチューブ型電子源等の電界放出型電子源と、金属―絶縁体―金属を積層したMIM(Metal−Insulator−Metal)型電子源、金属―絶縁体―半導体電極を積層したMIS(Metal−Insulator−Semiconductor)型電子源等のホットエレクトロン型電子源とに大別されるが、いずれの電子源を設けてもよい。MIM型電子源については、特開平10−153979号公報、特開2004−111053等に開示されている。
本実施形態のFEDパネルでは、下部電極(信号線)11と、絶縁膜(電子加速層)12と、上部電極13とからなるMIM型電子源を配置している。
MIM型電子源の動作を簡単に説明する。上部電極13と下部電極11との間に駆動電圧Vdを印加して、電子加速層12内の電界を1〜10MV/cm程度にすると、下部電極11中のフェルミ準位近傍の電子はトンネル現象により障壁を透過し、電子加速層12へ注入されホットエレクトロンとなる。これらのホットエレクトロンは電子加速層12中、上部電極13中で散乱されエネルギーを損失するが、上部電極13の仕事関数φ以上のエネルギーを有する一部のホットエレクトロンは、真空150中に放出される。
アノード基板100は、透明性のあるガラス板等で構成されている。アノード基板100の一方の面にはブラックマトリックス120、蛍光体111及びアノード電極114が形成されており、形成面がカソード基板200の配線形成面と向かい合うように配置されている。
枠スペーサ116とカソード基板200及びアノード基板100との間は、ガラスフリット等の接着剤115により、基板内部150の圧力が10−5Pa程度に維持できるように封止されている。
FEDパネルの動作時は、図17に示すように、信号線11の末端は、外部回路である信号線駆動回路50と接続される。走査線の末端は、外部回路である走査線駆動回路60と接続される。アノード電極(メタルバック)114には、3〜6kV程度の加速電圧70を常時印加する。FEDパネルは、例えば、線順次駆動方式により、表示装置として動作する。
(製造工程の説明)
次に、上記FEDパネルの製造工程を説明する。
次に、上記FEDパネルの製造工程を説明する。
図3〜図5は、カソード基板の製造工程を示す図である。図3の(a)〜(k)及び図4の(l)は、A−A’方向の断面の一部であり、図4の(l’)〜(s)及び図5の(t)〜(z)は、B−B’方向の断面の一部である。
また、図6〜図14は、各工程における基板の平面図(a)、A−A’方向断面図(b)、及びB−B’方向断面図(c)である。
まず、ガラス等の絶縁性の基板10を洗浄する(図3(a))。
次に、基板10上に、下部電極用の金属膜11を成膜する(図3(b)、図6)。下部電極材料としてはAlやAl合金等を用いることができる。AlやAl合金を用いると、後の陽極酸化により良質の絶縁膜を形成できる。ここでは、Ndを2原子量%ドープしたAl−Nd合金を用いた。成膜には例えば、スパッタリング法を用いる。膜厚は300nm程度である。
成膜後は、ホトリソグラフィ工程、エッチング工程によりストライプ形状の下部電極11を形成する(図3(c)〜(f)、図7)。なお、本実施形態では、下部電極11は信号線側電極となる。エッチング工程では、例えば燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液でのウエットエッチングを用いる。
次に、第1保護絶縁層14を形成する(図3(g)〜(i)、図8)。なお、第1保護絶縁層14は、電子放出部を制限し、下部電極エッジヘの電界集中を防止する役目を果たす。
ここでは、まず、下部電極11上の電子放出部となる部分をレジスト膜25でマスクし、その他の部分を選択的に厚く陽極酸化し、第1保護絶縁層14とする。例えば、化成電圧を100Vとすれば、厚さ約136nmの第1保護絶縁層14が形成される。
次に、電子加速層12を形成する(図3(j)〜(k)、図9)。すなわち、レジスト腹25を除去し、残りの下部電極11の表面を陽極酸化し、電子加速層12とする。例えば、化成電圧を6Vとすれば、下部電極11上に厚さ約10nmの電子加速層12が形成される。
次に、第2保護絶縁層15を、スパッタリング法等で成膜し形成する(図4(l)、(l’)、図10)。第2保護絶縁層15は、陽極酸化で形成する第1保護絶縁層14にピンホールがあった場合、その欠陥を埋め、下部電極11と上部バス電極(走査線)27間の絶縁を保つ役割を果たす。第2保護絶縁層15としては、SiN等が用いられる。膜厚は、40nmとしている。
次に、上部電極13の給電配線となる上部バス電極27を形成する(図4(m)〜(n)、図11)。
上部バス電極27は、走査線の役目を果たすので、低抵抗化のため、膜厚を厚くする。このような厚い膜の形成方法には、特に制限はないが、例えば、Agペースト等を用いたスクリーン印刷法により形成させることができる。
Agペーストは、電子源の耐熱温度以下で焼成可能なものを用いるのが好ましい。例えば、MIM電子源が設けられている場合は、MIM電子源の耐熱性が430℃程度であるので、430℃以下で焼成可能なAgペーストを用いるのが好ましい。
Ag配線の膜厚は、通常5〜30μmの範囲となるように形成させる。また、線幅は、通常100〜300μmの範囲となるように形成させる。
また、複数回スクリーン印刷を行うことで、膜厚を厚くしてもよい。
次に、接続信頼性向上のための層である接続補助層28を形成する(図4(o)〜(s)、図12)。接続補助層28は、スパッタ成膜法により成膜したのち、上部バス電極27上に配線が残るようにホトエッチング工程により加工して形成する。
接続補助層28の材料としてはAl−Nd合金を用いることができる。他に、Al、Cu、CrやCr合金等を用いることができる。接続補助層28の膜厚は、200〜1000nmである。
なお、エッチャントとしては、Al−Nd合金等に対しては、燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液等を用いることができる。
次に、第2保護絶縁層15のSiN等をドライエッチングし、電子放出部(電子加速層12の上部)を開口する(図5(t)〜(x)、図13)。
なお、必要に応じて、電子加速層12を再度陽極酸化し、ダメージを修復する(図5(w))。
次に、上部電極13の成膜および加工を行う(図5(y)〜(z)、図14)。
成膜法は、例えばスパッタ成膜法を用いる。上部電極13としては、例えばIr、Pt、Auをこの順に積層した積層膜を用いることができる。また、その膜厚は1〜10nmである。ここでは3nmとした。その後、上部電極13を、走査線の列ごとに、レーザにより分離する。成膜された薄い上部電極13は、接続補助層28を介して、上部バス電極から給電される構造となる。
こうして、基板10上に電子源(表示素子)が形成された基板(カソード基板)200が製造される。
次に、上記で作成されたカソード基板200を用いて、FEDパネル(表示パネル)を作成する工程について説明する。
まず、アノード基板(表示側基板)100を作成する。図15(a)はアノード基板100の平面図、図15(b)はC−C’方向断面図、図15(c)はD−D’方向断面図である。
面板110には、透光性のガラスなどを用いる。まず、面板110に、表示装置のコントラストを上げるためのブラックマトリクス120を形成する。具体的には、まず、PVA(ポリビニルアルコール)と重クロム酸ナトリウムとを混合した溶液を面板110に塗布し、ブラックマトリクス120を形成したい部分以外に紫外線を照射して感光させる。その後、未感光部分を除去し、そこに黒鉛粉末を溶かした溶液を塗布し、PVAをリフトオフする。
次に、赤色蛍光体111を形成する。具体的には、蛍光体粒子にPVA(ポリビニルアルコール)と重クロム酸アンモニウムとを混合した水溶液を、面板110上に塗布した後、蛍光体を形成する部分に紫外線を照射して感光させる。その後、未感光部分を流水で除去する。このようにして赤色蛍光体111をパターン化する。パターンは、図15に示したようなストライプ状にパターン化する。同様にして、緑色蛍光体112と青色蛍光体113を形成する。蛍光体としては、例えば赤色にY2O2S:Eu(P22−R)、緑色にZnS:Cu,Al(P22−G)、青色にZnS:Ag,Cl(P22−B)を用いればよい。なお、本実施例では、面板110と基板10間の距離は1〜3mm程度と長いので、メタルバック114に印加する加速電圧を3〜6kVと高電圧にできる。したがって、蛍光体には陰極線管(CRT)用の蛍光体を使用できる。
また、蛍光体のパターン形成には、スクリーン印刷法を用いて直接ドットパターンに形成することも出来る。この場合には、蛍光体粒子にエチルセルロースなどのバインダとBCA(ブチルカルビトールアセテート)などの溶剤を混合して形成したペーストを使用する。R(赤)、G(緑)およびB(青)のペーストをスクリーン印刷、乾燥を3回繰り返すことにより、同様の形状に蛍光体パターンを形成する。
次いで、ニトロセルロースなどの膜でフィルミングした後、面板110全体にAlを、膜厚75nm程度に蒸着して、メタルバック114とする。このメタルバック114が加速電極として働く。その後、面板110を大気中400℃程度に加熱してフィルミング膜やPVAなどの有機物を加熱分解する。
以上のようにして、アノード基板100が完成する。
次に、このようにして製作したアノード基板100とカソード基板200とを貼り合わせる。図16(a)は、貼り合わせたところを示す、FEDパネルのA−A’方向断面図であり、図16(b)は、B−B’方向断面図である。図示するように、アノード基板100とカソード基板200とを、周囲の枠スペーサ116を介してフリットガラス115を用いて封着する。
面板110と基板10との間の距離は、1〜3mm程度になるように、内部スペーサ40を配置し、高さを調整する。本図では、説明のため、R(赤)、G(緑)、B(青)に発光するドット毎に全て内部スペーサ40を立てているが、実際は機械強度に耐える範囲で、内部スペーサ40の枚数(密度)を減らしてもよい。例えば、大体1cmおきに立てればよい。
封着したパネルは、10−5Pa程度の真空に排気して、封じきる。封じ後、ゲッターを活性化し、パネル内の真空を維持する。例えば、Baを主成分とするゲッター材の場合、高周波誘導加熱等によりゲッター膜を形成できる。また、Zrを主成分とする非蒸発型ゲッターを用いてもよい。
このように製造されたFEDパネルは、図17に示すように、駆動回路50、60と接続され、表示装置として動作する。
以上、本実施形態のFEDパネルおよびその製造工程について説明した。
本実施形態によれば、膜厚が十分に厚い、低抵抗化された走査線を有するFEDパネルが提供される。したがって、電圧降下を抑制でき、輝度ムラが低減したFEDパネルとなる。
また、走査線を厚い膜にするために、印刷法等により、表面の粗い走査線を形成した場合でも、走査線と上部電極との間に、両者の導通のための接続補助層が設けられているので、走査線から上部電極に確実に給電できる構造となる。
<第2実施形態>
第2実施形態のFEDパネルは、上述の第1実施形態のFEDパネルと似た構成を有する。したがって、共通する構成については、説明を省略することがある。
第2実施形態のFEDパネルは、上述の第1実施形態のFEDパネルと似た構成を有する。したがって、共通する構成については、説明を省略することがある。
第2実施液体のFEDパネルは、第1実施形態のFEDパネルと比較して、カソード基板200の構成が異なる。
図18は、第2実施形態のFEDパネルの拡大断面図(上述のB−B’方向に相当する断面図)である。
図示するように、信号線11と走査線27とが交差する部分では、基板10上に、信号線(下部電極)11、第1保護絶縁層14、第2保護絶縁層15、接続補助層28、走査線(上部バス電極)27、上部電極13とが、この順に積層した構造となっている。
接続補助層28は、上部電極13と走査線27との両方に接触している。接続補助層28は、上述の第1実施形態の接続補助層28と同様に、上部電極13と走査線27とを、確実に導通させるために設けられている。
このようなカソード基板200の製造工程について、図19及び図20を用いて説明する。なお、途中までの工程は、図3の(a)〜(k)に示した工程と同じである。
図3の工程(k)の後、第2保護絶縁層15と接続補助層28とを、この順に、スパッタリング法等で成膜する(図19(l)、(l’))。
第2保護絶縁層15は、陽極酸化で形成する第1保護絶縁層14にピンホールがあった場合、その欠陥を埋め、下部電極11と上部バス電極(走査線)27間の絶縁を保つ役割を果たす。第2保護絶縁層15としては、SiN等が用いられる。膜厚は、200nmとしている。
接続補助層28の材料としてはAl−Nd合金を用いることができる。他に、Al、Cu、CrやCr合金等を用いることができる。接続補助層28の膜厚は、200〜1000nmである。
次に、補助接続層28を、後の工程で形成する走査線27の形状と同様に、信号線11に直交するストライプ上に、ホトエッチング工程により加工して形成する(図19(m)〜(p))。なお、エッチャントとしては、Al−Nd合金等に対しては、燐酸、酢酸、硝酸の混合水溶液等を用いることができる。
次に、第2保護絶縁層15のSiN等をドライエッチングし、電子放出部(電子加速層12の上部)を開口する(図19(p)〜(s)、図20(t))。
なお、必要に応じて、電子加速層12を再度陽極酸化し、ダメージを修復する。
次に、上部電極13の給電配線となる上部バス電極27を形成する(図19(u)〜(v))。
このとき、上部電極27によって接続補助層28を完全に覆わないようにする。これは、接続補助層28が、後の工程で形成される上部電極13と接触可能とするためである。
上部バス電極27は、走査線の役目を果たすので、低抵抗化のため、膜厚を厚くする。このような厚い膜の形成方法には、特に制限はないが、例えば、Agペースト等を用いたスクリーン印刷法により形成させることができる。
Agペーストは、電子源の耐熱温度以下で焼成可能なものを用いるのが好ましい。例えば、MIM電子源が設けられている場合は、MIM電子源の耐熱性が430℃程度であるので、430℃以下で焼成可能なAgペーストを用いるのが好ましい。
Ag配線の膜厚は、通常5〜30μmの範囲となるように形成させる。また、線幅は、通常100〜300μmの範囲となるように形成させる。
また、複数回スクリーン印刷を行うことで、膜厚を厚くしてもよい。
次に、上部電極13の成膜および加工を行う(図19(w)〜(x))。
成膜法は、例えばスパッタ成膜法を用いる。上部電極13としては、例えばIr、Pt、Auをこの順に積層した積層膜を用いることができる。また、その膜厚は1〜10nmである。ここでは3nmとした。その後、上部電極13を、走査線の列ごとに、レーザにより分離する。成膜された薄い上部電極13は、上部バス電極27から給電される構造となる。また、たとえ、上部電極13と上部バス電極27との接触が十分でなくても、接続補助層28を介して、上部バス電極から確実に給電される構造となる。
こうして製造されたカソード基板200は、上述の第1実施形態と同様に、アノード基板100と組み合わされ、封止される。そして、FEDパネルが完成する。
以上、第2実施形態のFEDパネルおよびその製造工程について説明した。
本実施形態によれば、膜厚が十分に厚い、低抵抗化された走査線を有するFEDパネルが提供される。したがって、電圧降下を抑制でき、輝度ムラが低減したFEDパネルとなる。
また、走査線を厚い膜にするために、印刷法等により、表面の粗い走査線を形成した場合でも、走査線と上部電極との間に、両者の導通のための接続補助層が設けられているので、走査線から上部電極に確実に給電できる構造となる。
<第3実施形態>
第3実施形態のFEDパネルは、上述の第1実施形態のFEDパネルと似た構成を有する。したがって、共通する構成については、説明を省略することがある。
第3実施形態のFEDパネルは、上述の第1実施形態のFEDパネルと似た構成を有する。したがって、共通する構成については、説明を省略することがある。
第3実施液体のFEDパネルは、第1実施形態のFEDパネルと比較して、カソード基板200の構成が異なる。
図21(a)は、第3実施形態のカソード基板200の平面図である。図21(b)は、(a)のA−A’方向断面図であり、(c)は、(a)のB−B’方向断面図である。
図示するように、本実施形態のカソード基板200では、上部電極13に給電する走査線27が、信号線11より下層に存在する。
図22は、信号線11と走査線27とが交差する部分の拡大断面図であり、図22(a)は、図21のB−B’方向の断面の一部、図22(b)は、図21のA−A’方向の断面の一部である。
図示するように、カソード基板200の電子源の位置する部分は、基板10上に、走査線27と、絶縁層16と、信号線11と、電子加速層12と、上部電極13とが、この順に積層した構造となっている。絶縁層16は、例えば、誘電体ガラスペーストを焼成して形成したものである。
また、図22(b)に示すように、走査線27と上部電極13との間には、接続補助層28が設けられている。言い換えれば、走査線27と接続補助層28と上部電極とがこの順に積増した構造が存在する。
仮に、接続補助層28を設けず、走査線27上に、直接、極薄い膜である上部電極11を積増させたとすると、走査線27の表面が粗い場合、一様に積層されずムラができる場合がある。かかる場合、走査線27と上部電極11との導通に不良が生じる。本実施形態では、接続補助層28を設けるので、走査線27と上部電極11との接続が確実となる。
走査線27は、上記第1実施形態と同様に、例えば、Agペーストなどの金属ペーストを用いてスクリーン印刷法により形成したものである。金属ペーストの焼成には、高温にする工程が必要であるが、構造上、この工程は、Al薄膜層などで構成される信号線11や電子加速層12を形成する前に行うことができる。したがって、これらの層が、高温によるヒロックスやボイドにより、損傷するのを防止できる。
接続補助層28は、例えば、AlやAl合金をスパッタ法により、膜厚200〜1000nm
となるように、形成させたものである。
となるように、形成させたものである。
上部電極11は、例えばIr、Pt、Auをこの順に積層した、膜厚1〜10nmの積層膜である。
このようなカソード基板200の製造工程について、図23及び図24を用いて説明する。
図23の(a)〜(d)、及び図24の(s)、(t)は、A−A’方向の断面の一部である。図23の(d’)〜(l)及び図25の(m)〜(r)は、B−B’方向の断面の一部である。
まず、ガラス等の絶縁性の基板10を洗浄する(図23(a))。
次に、スクリーン印刷機で誘電体ガラスペースト16pを走査線に平行してストライプ形状に形成し、乾燥させる(図23(b))。
次に、スクリーン印刷機でAgペースト27pを誘電体ペーストの間に充填し、乾燥した後、焼成し、走査線27を形成する(図23(c)〜(d))。なお、このとき、後の工程で上層に設けられる層が適切に形成されるように、表面を研磨して平滑化しておくとよい。
次に、スクリーン印刷機で誘電体ガラスペースト16pを走査線に対して直交方向にストライプ状に形成し、乾燥した後、焼成し、絶縁層16を形成する(図23(f))。
次に、下部電極用の金属膜11を成膜する(図23(g))。下部電極材料としてはAlやAl合金等を用いることができる。AlやAl合金を用いると、後の陽極酸化により良質の絶縁膜を形成できる。ここでは、Ndを2原子量%ドープしたAl−Nd合金を用いた。成膜には例えば、スパッタリング法を用いる。膜厚は300nm程度である。
成膜後は、ホトリソグラフィ工程、エッチング工程によりストライプ形状の下部電極11を形成する(図23(h)〜(k))。なお、本実施形態では、下部電極11は信号線側電極となる。また、金属膜11から分離された、走査線27と接触している部分は、接続補助層28となる。
次に、第1保護絶縁層14を形成する(図23(l)、図24(m)〜(o))。なお、第1保護絶縁層14は、電子放出部を制限し、下部電極エッジヘの電界集中を防止する役目を果たす。
ここでは、まず、下部電極11上の電子放出部となる部分をレジスト膜25でマスクし、その他の部分を選択的に厚く陽極酸化し、第1保護絶縁層14とする。例えば、化成電圧を100Vとすれば、厚さ約136nmの第1保護絶縁層14が形成される。
次に、電子加速層12を形成する(図24(p))。すなわち、レジスト腹25を除去し、残りの下部電極11の表面を陽極酸化し、電子加速層12とする。例えば、化成電圧を6Vとすれば、下部電極11上に厚さ約10nmの電子加速層12が形成される。
次に、第2保護絶縁層15の成膜および加工を行う(図24(q)。すなわち、第2保護絶縁膜15を、スパッタリング法等で成膜した後、電子放出部(電子加速層12の上部)上と、接続補助層28上の第2保護絶縁層を、ドライエッチングにより除去する。
第2保護絶縁層15は、陽極酸化で形成する第1保護絶縁層14にピンホールがあった場合、その欠陥を埋め、下部電極11と上部バス電極(走査線)27間の絶縁を保つ役割を果たす。第2保護絶縁層15としては、SiN等が用いられる。膜厚は、40nmとしている。
なお、必要に応じて、電子加速層12を再度陽極酸化し、ダメージを修復する。
次に、上部電極13の成膜および加工を行う(図24(r)〜(t))。
成膜法は、例えばスパッタ成膜法を用いる。上部電極13としては、例えばIr、Pt、Auをこの順に積層した積層膜を用いることができる。また、その膜厚は1〜10nmである。ここでは3nmとした。その後、上部電極13を、走査線の列ごとに、レーザにより分離する。成膜された薄い上部電極13は、接続補助層28を介して、走査線27から給電される構造となる。
こうして製造されたカソード基板200は、上述の第1実施形態と同様に、アノード基板100と組み合わされ、封止される。そして、FEDパネルが完成する。
以上、第3実施形態のFEDパネルおよびその製造方法について説明した。
本実施形態によれば、膜厚が十分に厚い、低抵抗化された走査線を有するFEDパネルが提供される。したがって、電圧降下を抑制でき、輝度ムラが低減したFEDパネルとなる。
また、走査線を厚い膜にするために、印刷法等により、表面の粗い走査線を形成した場合でも、走査線と上部電極との間に、両者の導通のための接続補助層が設けられているので、走査線から上部電極に確実に給電できる構造となる。
また、走査線は、信号線や電子加速層の下層に位置する。すなわち、金属ペーストを高温で焼成して走査線を形成する工程を、信号線や電子加速層を形成する工程の前に行うことができる。これにより、信号線の層のヒロックスやボイドを抑制し、また、電子加速層の損傷を防止できる。
<第4実施形態>
第4実施形態のFEDパネルは、上述の第3実施形態のFEDパネルと似た構成を有する。したがって、共通する構成については、説明を省略することがある。
第4実施形態のFEDパネルは、上述の第3実施形態のFEDパネルと似た構成を有する。したがって、共通する構成については、説明を省略することがある。
第4実施液体のFEDパネルは、第3実施形態のFEDパネルと比較して、カソード基板200の構成が異なる。
第3実施形態では、図23(b)〜(d)に示したように、基板10上に、誘電体ペースト16pを、ストライプ形状に形成したのち、走査線27のためのペースト27pを誘電体ペースト16pの間に充填して焼成し、走査線27を形成させた。これに対して、本実施形態では、図25(a)〜(d)に示すように、基板10をブラスト加工し、溝を形成し、この溝に走査線27用のペースト27pを充填して焼成し、走査線27を形成する。
以下に、このようなカソード基板200の製造工程について、図25及び図26を用いて説明する。
図25の(a)〜(d)、及び図24の(s)〜(t)は、A−A’方向の断面の一部である。図25の(d’)〜(l)及び図25の(m)〜(r)は、B−B’方向の断面の一部である。
まず、ガラス等の絶縁性の基板10を洗浄する(図25(a))。
次に、スクリーン印刷機で耐ブラスト性レジスト25を塗布し乾燥させた後、エッチングにより、ストライプ形状に加工する(図25(c1)。耐ブラスト性レジストの厚さは、約10μmである。
次に、サンドブラスト装置で、基板10を削り、掘り込んだ後、レジストを除去する(25図(c2)〜(c3))。掘り込み部の深さは、約25μmである。
次に、スクリーン印刷機でAgペースト27pをストライプ形状の掘り込み部に充填し、乾燥した後、焼成し、走査線27を形成する(図25(c4)〜(d))。なお、このとき、後の工程で上層に設けられる層が適切に形成されるように、表面を研磨して平滑化しておくとよい。
これ以降の工程(図25(e)〜(l)、図26(m)〜(t))は、第3実施形態の工程(図23(e)〜(l)、図24(m)〜(t))と同じなので説明を省略する。
こうして製造されたカソード基板200は、上述の第1実施形態と同様に、アノード基板100と組み合わされ、封止される。そして、FEDパネルが完成する。
本実施形態によれば、膜厚が十分に厚い、低抵抗化された走査線を有するFEDパネルが提供される。したがって、電圧降下を抑制でき、輝度ムラが低減したFEDパネルとなる。
また、走査線を厚い膜にするために、印刷法等により、表面の粗い走査線を形成した場合でも、走査線と上部電極との間に、両者の導通のための接続補助層が設けられているので、走査線から上部電極に確実に給電できる構造となる。
また、走査線は、信号線や電子加速層の下層に位置する。すなわち、金属ペーストを高温で焼成して走査線を形成する工程を、信号線や電子加速層を形成する工程の前に行うことができる。これにより、信号線の層のヒロックスやボイドを抑制し、また、電子加速層の損傷を防止できる。
また、基板に掘った溝に走査線を設けるので、カソード基板全体を薄くすることができる。
以上、いくつかの実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に制限されず、発明の要旨の範囲内で、さまざまな変形が可能である。
例えば、ガラス等で構成される基板10からのNaイオンや、Kイオンの拡散防止のため、基板10上に、SiO2コーティングなどにより、拡散防止層を設けてもよい。
例えば、第1実施形態または第2実施形態では、基板10と信号線11との間に拡散防止層を設ける。第3実施形態または第4実施形態では、基板10と走査線27との間に拡散防止層を設ける。
また、上記実施形態では、電子源がMIM型の場合を例にとり説明したが、上記実施形態は、他の方式の電子源を用いるFEDパネルにも適用できる。
10…基板、11…下部電極(信号線)、12…電子加速層、13…上部電極、14…第1保護絶縁層、15…第2保護絶縁層、27…上部バス電極(走査線)、28…接続補助層、
100…ノード基板、110…面板、111…蛍光体、114…メタルバック、40、116…スペーサ、120…ブラックマトリックス、
200…カソード基板
100…ノード基板、110…面板、111…蛍光体、114…メタルバック、40、116…スペーサ、120…ブラックマトリックス、
200…カソード基板
Claims (6)
- 基板上に複数の電子源を備えた電界放出表示装置の表示パネルであって、
前記電子源の電極へ給電するための給電配線を有し、
前記電子源の電極と、前記給電配線との間には、当該電極と給電配線との導通のための接続補助電極が設けられている
ことを特徴とする電界放出表示装置の表示パネル。 - 基板上に複数の電子源を備えた電界放出表示装置の表示パネルであって、
前記基板上に信号線と絶縁層と走査線と接続補助電極とがこの順に積層した構造を有し、
前記接続補助電極は、前記電子源の電極に接触している
ことを特徴とする電界放出表示装置の表示パネル。 - 基板上に複数の電子源を備えた電界放出表示装置の表示パネルであって、
前記基板上に信号線と絶縁層と接続補助電極と走査線とがこの順に積層した構造を有し、
前記接続補助電極は、前記電子源の電極に接触している
ことを特徴とする電界放出表示装置の表示パネル。 - 基板上に複数の電子源を備えた電界放出表示装置の表示パネルであって、
前記基板上に走査線と絶縁層と信号線とがこの順に積層した部分と、
前記基板上に前記走査線と接続補助電極とがこの順に積層した部分とを有する構造を有し、
前記接続補助電極は、前記電子源の電極に接触している
ことを特徴とする電界放出表示装置の表示パネル。 - 請求項4において、
前記走査線は、前記基板を掘り込んだ部分に形成されている
ことを特徴とする電界放出表示装置の表示パネル。 - 請求項1において、
前記給電配線は、金属ペーストを用いてスクリーン印刷法により形成された層であり、
前記接続補助電極はスパッタ法により形成された層である
ことを特徴とする電界放出表示装置の表示パネル。
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