JP2006234679A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005051612A JP4592445B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 薄板の表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005051612A JP4592445B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 薄板の表面形状測定装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008158981A Division JP2008256715A (ja) | 2008-06-18 | 2008-06-18 | 薄板の表面形状測定装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006234679A JP2006234679A (ja) | 2006-09-07 |
| JP2006234679A5 true JP2006234679A5 (US20080242721A1-20081002-C00053.png) | 2010-03-11 |
| JP4592445B2 JP4592445B2 (ja) | 2010-12-01 |
Family
ID=37042480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005051612A Active JP4592445B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 薄板の表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4592445B2 (US20080242721A1-20081002-C00053.png) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4636928B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2011-02-23 | 黒田精工株式会社 | 測定部支持機構およびそれを備えた薄板の表面形状測定装置 |
| JP2007046946A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Toshiba Mach Co Ltd | 基板の両面形状測定装置及び基板の両面形状測定方法 |
| JP2007057502A (ja) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Toshiba Mach Co Ltd | 基板の両面形状測定システム |
| JP2008256715A (ja) * | 2008-06-18 | 2008-10-23 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定装置 |
| ITFI20130160A1 (it) * | 2013-07-03 | 2013-10-02 | Gabbrielli Technology S R L | Strumento innovativo per la verifica dimensionale e superficiale di piastrelle e simili. |
| CN106382900B (zh) * | 2016-08-19 | 2019-05-31 | 江苏科技大学 | 回转体零件直径与径向跳动的在线检测装置及测量方法 |
| CN111912316B (zh) * | 2020-07-09 | 2022-05-10 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 | 精密定位平台Roll值的测量系统及方法 |
| CN111911782B (zh) * | 2020-08-07 | 2022-03-25 | 刘正波 | 一种可检测不同墙面平整性的建筑用测量设备 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6443711A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-16 | Fujitec Kk | Surface strain measuring instrument |
| JPH04355315A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-09 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 電解用アノードまたはカソードの平坦度および厚み連続測定装置 |
| JPH0545504U (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-18 | 株式会社東京精密 | 測定機 |
| JPH05322507A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定機のコラム駆動装置 |
| JP3524377B2 (ja) * | 1998-04-21 | 2004-05-10 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置および形状測定方法 |
| JPH11351857A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Kuroda Precision Ind Ltd | 薄板の表面形状測定方法および薄板の表面形状測定装置 |
| JP3468352B2 (ja) * | 1998-08-10 | 2003-11-17 | 東芝セラミックス株式会社 | 石英ガラス製基板表面の平坦度測定装置 |
| JP3404318B2 (ja) * | 1999-04-02 | 2003-05-06 | 黒田精工株式会社 | 表面形状測定方法 |
| JP3753108B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2006-03-08 | レーザーテック株式会社 | 直線案内装置及びそれを用いたマスク検査装置 |
| JP4417130B2 (ja) * | 2004-02-17 | 2010-02-17 | 黒田精工株式会社 | ガラス基板の垂直保持装置 |
| JP2006105878A (ja) * | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 基板の平坦度測定装置および形状寸法測定装置 |
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- 2005-02-25 JP JP2005051612A patent/JP4592445B2/ja active Active
