JP2006234036A - 液体潤滑フォイル式動圧軸受 - Google Patents

液体潤滑フォイル式動圧軸受 Download PDF

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Abstract

【課題】 フォイル式動圧軸受を高い剛性及び減衰性を有するものとして様々な回転機械に対し適用できるようにする。
【解決手段】 内周面を支承面とする軸受ケース40の内側に、多重巻きしたフォイル41を収納して、該フォイル41自身の径方向外向きの弾性力により支承面の内側に圧接させて保持させる。フォイル41の最内層のフォイル41aの内側に、回転機械のジャーナル42を挿通位置させる。フォイル41が配されている軸受ケース40とジャーナル42との間の領域に、水43を満たして水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iを形成する。
ジャーナル42が回転するときに連れまわされる水43が、最内層のフォイル41aとジャーナル42の外周面との間の楔状の隙間に導かれるようにし、この隙間で圧力が高められる水43の膜によりジャーナル42の負荷を支承させる。
【選択図】図1

Description

本発明は回転機械の軸の回転により該軸と軸受ケースの支承面に配設したフォイルとの間の隙間へ連れ回される液体の膜圧により上記軸の負荷を支えて潤滑を行う液体潤滑フォイル式動圧軸受に関するものである。
近年、軸受としては、潤滑剤として気体を用いるようにしたすべり軸受であるガス軸受(気体軸受)が注目されている。この種のガス軸受の1つの形式としては、軸と軸受の相対向する面同士が相対的に移動できるようにし、且つ両者の隙間が移動の方向(軸の回転方向)に徐々に狭くなるような形状とさせることにより、軸の周囲の気体がその粘性により上記軸の回転に連れまわされて上記軸と軸受との隙間へ引きずり込まれることで圧力(動圧)を発生することができるようにし、この軸と軸受の隙間に存在する気体の膜の圧力によって軸の負荷を支えることで潤滑を行うようにした動圧型の気体軸受がある。
更に、上記動圧型の気体軸受の一つの形式として、軸受ケースの支承面に、支承すべき軸との間に該軸の回転方向下流側が絞られるような隙間を形成するためのフォイルを取り付け、該フォイルを介在させた状態で軸を支持させるようにしたフォイル式の動圧気体軸受がある。
かかるフォイル式の動圧気体軸受としては、たとえば、図6(イ)(ロ)及び図7(イ)(ロ)にそれぞれ示す如きフォイル式の動圧ジャーナル気体軸受や、図8(イ)(ロ)(ハ)に示す如きフォイル式の動圧スラスト気体軸受がある。
すなわち、図6(イ)(ロ)に示したフォイル式の動圧ジャーナル気体軸受は、内周面を支承面とするブッシュ状の軸受ケース1の内部に、図6(ロ)に示す如く、片面(裏面)の全長に亘り幅方向に延びる多数の線状突起3を複数本ごとにピッチをずらして設けた構成としてなるフォイル(弾性薄板)2を、図6(イ)に示す如く、各線状突起3が設けてある面が外周側となるように多重巻きにして収納し、該多重巻きしたフォイル2の内外の各層で線状突起3が互い違いに配されるようにして、フォイル2自身の径方向外方への弾力により最外層の線状突起3を軸受ケース1の支承面に圧接させて取り付けるようにしてあり、且つ他の層の内側に位置する各層では、それぞれ外周面側に設けられている線状突起3が、その外側の層における隣接する各線状突起3同士の間に形成される梁部4に接触させられるようにしてなる構成としてある。5はジャーナルである。
かかる構成としてあることにより、上記フォイル式の動圧ジャーナル気体軸受では、最内周の層(以下、トップフォイルという)2aの内側に所要の回転機械のジャーナル5を挿通位置させるようにすると、該ジャーナル5が回転するときには、ジャーナル5が多少偏心することによってジャーナル5の外周面と上記フォイル2におけるトップフォイル2aとの間に、ジャーナル5の回転方向下流側へ行くにしたがって徐々に絞られる楔状の隙間が形成されて、上記回転するジャーナル5の外周面に連れまわされる空気が上記楔状の隙間へ引きずり込まれて圧力が高められる(動圧が発生される)ようにし、このジャーナル5とトップフォイル2aとの間の空気の膜圧力によりジャーナル5の負荷が支えられるようにして、該ジャーナル5が、トップフォイル2aと非接触状態で回転される、すなわち、空気膜による潤滑を行わせることができるようにしてある(たとえば、特許文献1参照)。
又、図7(イ)(ロ)に示したフォイル式の動圧ジャーナル気体軸受は、内周面を支承面とするブッシュ状の軸受ケース1の内部に、図7(ロ)に示す如く、全長に亘り幅方向に延びる多数の溝7を複数本ごとに異なるピッチで設けた構成としてなるフォイル(弾性薄板)6を、図7(イ)に示す如く、各溝7を折目として屈曲させることにより多重巻きにして収納し、該多重巻きしたフォイル6の長手方向に交互に形成される梁部8と屈曲部9とにより内外の各層をそれぞれ多円弧形状となるようにして、フォイル6自身の径方向外方への弾力により最外層の屈曲部9を軸受ケース1の支承面に圧接させて取り付けるようにしてあり、且つ他の層の内側に位置する各層では、それぞれの屈曲部9が、その外側に位置する層の梁部8に接触させられて多円弧形状に保持されるようにしてなる構成としてある。
かかる構成としてあることにより、上記フォイル式の動圧ジャーナル気体軸受では、多円弧形状としてある最内周の層(以下、トップフォイルという)6aにおける梁部8の内側に所要の回転機械のジャーナル5を挿通位置させることにより、上記多円弧形状としてあるトップフォイル6aの梁部8とジャーナル5の外周面との間に、ジャーナル5の回転方向下流側へ行くにしたがって徐々に絞られる楔状の隙間が形成されるようにしてあり、この状態にて、ジャーナル5が回転するときには、該ジャーナル5の外周面に連れまわされる空気が、上記トップフォイル6aの梁部8とジャーナル5の外周面との間に形成されている楔状の隙間へ引きずりこまれて圧力が高められる(動圧が発生される)ようにし、このジャーナル5とトップフォイル6aとの間の空気の膜圧力によりジャーナル5の負荷が支えられるようにして、該ジャーナル5が、空気膜により潤滑されて、トップフォイル6aと非接触状態で回転することができるようにしてある(たとえば、特許文献2参照)。
上記図6(イ)(ロ)及び図7(イ)(ロ)に示した各フォイル式の動圧ジャーナル気体軸受は、いずれも、軸受ケース1の支承面に配してあるフォイル2,6、特に、トップフォイル2a,6aの外周側の各層のフォイル(バックフォイル)2b、6bが撓むことでジャーナル5の振れを許容できると共に、該フォイル2,6の有する弾性により調心性に優れた軸受とすることができるものとなっている。更に、軸受ケース1の支承面の構造が簡単であると共に、軸受ケース1の支承面とジャーナル5の外周面との隙間に多少誤差が生じていても、両者の間に介装するフォイル2,6の弾性により吸収させることができるため、あまり高い加工精度が要求されないことから、製作が容易という利点を有している。
図8(イ)(ロ)(ハ)に示したフォイル式の動圧スラスト気体軸受は、以下のような構成としてある。すなわち、回転軸19の軸端部を貫通させる孔11を有する軸受ケース10の支承面上に、中央部に上記回転軸19の軸端部を貫通させる孔を有する円板状の複数枚(図では3枚)のフォイル12,13,14を、孔の位置をそれぞれ一致させた状態で積層して組み付ける。且つ上記各フォイル12,13,14のうち、最上層のフォイル(以下、トップフォイルという)12は、図8(ロ)及び図8(ハ)に示す如く、軸受面となる表面(上面)に、外周端部より回転軸19の回転方向に沿って内周へ向かう対数螺旋の溝、所謂スパイラル溝15を、溝幅が外周側より内周側へ行くにしたがって徐々に狭くなるように設けてなる構成としてある。更に、他の下層の複数枚のフォイル13,14は、それぞれ柔構造とすると共に、それぞれのフォイル13及び14の裏面(下面)に、図8(ロ)に示す如く、半径方向に一定の間隔で周方向に平行に延びる突起16を、上下に重なるフォイル13と14で半径方向に交互に位置をずらして配設すると共に、該各フォイル13と14に、半径方向内側から各々最大半径位置の突起まで達するスリット17を半径方向に設けた構成とするか、あるいは、図8(ハ)に示す如く、それぞれのフォイル13及び14の裏面に、周方向所要間隔で放射方向に延びる突起18を、上下に重なるフォイル13と14で周方向に交互に位置をずらして配設してなる構成としてある。
かかる構成としてあることにより、上記フォイル式の動圧スラスト気体軸受では、支承させるべき回転軸19の軸端部を、上記各フォイル12,13,14の孔に貫通させてから、軸受ケース10の孔11に挿入させるようにすると共に、該回転軸19の軸端部に取り付けてあるスラストカラー20を、上記トップフォイル12の上面に載置させた構成とすると、上記回転軸19を回転させるときには、該回転軸19と一緒に回転するスラストカラー20の底面に連れまわされる空気が、上記トップフォイル12に設けてあるスパイラル溝15へ外周端部より引きずり込まれた後、該スパイラル溝15内を、溝幅が徐々に狭くなる内周方向へ導かれることで圧力が高められるようにしてある。これにより、トップフォイル12の表面と、回転軸19のスラストカラー20との間の空気の膜圧力により、スラストカラー20を介して回転軸19の負荷が支えられるようにして、該回転軸19が、空気膜により潤滑されて、トップフォイル12と非接触状態で回転することができるようにしてある(たとえば、特許文献3参照)。
上記フォイル式の動圧スラスト気体軸受においても、軸受ケース10の支承面に配設してあるフォイル12,13,14、特に、トップフォイル12の下層に配されている各フォイル(バックフォイル)13,14の層が撓むことで軸19の振れを許容できると共に、調心性に優れた軸受とすることができるものとなっている。更には、軸受ケース10の支承面の構造が簡単であることから、製作が容易という利点を有している。
一方、一般の各種回転機械にて回転する軸を支持するために用いられるすべり軸受型のジャーナル軸受(ラジアル軸受)やスラスト軸受としては、軸受面と、該軸受面にて受けられる軸の所要個所との間に、潤滑剤としての油を供給して、上記軸受面と軸との間に油膜を形成させることにより潤滑を行わせる油軸受が広く使用されている。
すなわち、回転機械として、たとえば、図9にその一例の概略を示す如き中間支持軸受方式のターボチャージャでは、タービン車室21とコンプレッサ車室22とを軸受車室23を介して一体構造とし、上記タービン車室21内のタービンホイール24とコンプレッサ車室22内のコンプレッサホイール25とを両端部にそれぞれ連結して該各ホイール24と25を一緒に回転させるようにするためのタービン軸26を、上記軸受車室23における円筒状に加工された軸受ハウジング27に、該軸受ハウジング27の軸方向両端部に嵌入させたジャーナル軸受28を介して回転自在に支持させるようにしてある。更に、上記軸受車室23には、外周部所要個所より径方向内向きに延びて先端が軸受ハウジング27のやや外周側位置に達する給油通路29aと、該径方向の給油通路29aの先端部に連通され且つ軸受ハウジング27の片側位置(図上上側位置)にて該軸受ハウジング27に沿って平行に延びる軸方向の給油通路29bと、該軸方向の給油通路29bの両端部よりそれぞれ径方向内向きに延びて上記軸受ハウジング27における各ジャーナル軸受28の背面部に達する径方向の給油通路29cと、ジャーナル軸受28の背面に沿うよう軸受ハウジング27の内周壁面に周方向の全周に亘り溝状に設けられた周方向の給油通路29dとが設けられており、外部の図示しない油供給部より各ジャーナル軸受28の背面部まで導かれた潤滑剤としての油30を、該各ジャーナル軸受28における周方向所要間隔位置に径方向に貫通するよう穿設してある給油孔31を通して該ジャーナル軸受28の内側、すなわち、該ジャーナル軸受28の軸受面とタービン軸26との間に供給して潤滑を行なわせるようにしてある。
かかる構成としてあることにより、エンジンの排気によって上記タービンホイール24が回転させられるときに、タービン軸26を、上記油30にて潤滑しながらジャーナル軸受28の内側で滑らかに回転させることにより、上記タービンホイール24の回転を、タービン軸26を介し上記コンプレッサホイール25へ伝えて、回転する該コンプレッサホイール25により給気を圧縮して図示しないエンジンへ供給できるようにしてある。
なお、上記ジャーナル軸受28の潤滑に供された油30は、その後、該各ジャーナル軸受28の軸受面とタービン軸26との間を通して軸受ハウジング27における軸方向の中央部へ集められた後、油排出通路32を経て、オイルパン等の図示しない油回収部へ回収するようにしてある(たとえば、特許文献4参照)。
更に、図10に示す如く、1つのモータにより駆動される第1圧縮部33と第2圧縮部34で気体を2段に圧縮するようにしてある2段圧縮装置において、長手方向中間部にモータロータ36を、又、長手方向両端部に第1圧縮部33の第1回転翼車37と第2圧縮部34の第2回転翼車38をそれぞれ取り付けてなる回転軸35を、第1圧縮部33側と第2圧縮部34側に、すべり軸受型のジャーナル軸受として、回転軸35と軸受面との間に、潤滑剤として水を供給するようにしてある水軸受39を介して回転自在に支持させることも従来提案されてきている(たとえば、特許文献5参照)。
特開昭63−47520号公報 実用新案登録第2565564号公報 実用新案登録第2553853号公報 特開2004−84591号公報 特開2004−332666号公報
ところが、特許文献1及び特許文献2に示されているフォイル式の動圧ジャーナル気体軸受や、特許文献3に示されているフォイル式の動圧スラスト気体軸受は、いずれも、ジャーナル5又は回転軸19の負荷を支える膜を形成させるために用いている空気が圧縮性を有する流体であるために、軸受剛性が比較的低く、負荷容量をあまり高めることができない。又、空気が圧縮性流体であることから、減衰性をあまり高めることができず、このため、安定性もあまり高めることができない。したがって、上記フォイル式の動圧ジャーナル気体軸受や動圧スラスト気体軸受は、いずれも適用可能な回転機械が、特殊環境下で用いる回転機械に限定されてしまうというのが実状である。更に、これらの動圧気体軸受は、負荷容量や剛性が低いために、安全サイドを取って軸受寸法を大きく取りがちであるため、サイズが大きくなってしまう。
更に、特許文献3に示された如きフォイル式の動圧スラスト軸受では、回転軸19の回転速度を高めると、スラストカラー20の周速は更に速められるようになるため、該スラストカラー20と空気との摩擦による発熱の各フォイル12,13,14に対する影響が大きくなり、このために、該各フォイル12,13,14に熱変形が生じると、トップフォイル12とスラストカラー20との接触による焼き付きが発生する虞も懸念される。
一方、特許文献4に示されたジャーナル軸受28の如き油軸受や、特許文献5に示された水軸受39によれば、軸受剛性や減衰性は高いものとすることができるが、これらの軸受28や39は、支持すべき軸26又は35と軸受面との隙間寸法には高い精度が要求されることから、軸受の加工、製作に手間及び時間を要するという問題がある。
なお、特許文献1及び特許文献3には、フォイル式の動圧軸受に関して、潤滑媒体として液体を用いるとの記載があるが、潤滑媒体として液体を用いることができるようにするための具体的な構成は何ら示されていない。又、潤滑媒体として使用する液体も具体的には全く明らかにされていない。
そこで、本発明は、寸法変化や調心性の狂いに対して適応性を有すると共に、高い剛性及び減衰性を有して様々な回転機械に対して適用でき、更には、あまり高い加工精度を要求されることなく製作を容易なものとすることができる液体潤滑フォイル式動圧軸受を提供しようとするものである。
本発明は、上記課題を解決するために、請求項1に係る発明に対応するように、軸受ケースの支承面に、支持すべき軸との間に該軸の回転方向下流側が絞られるよう隙間を形成するためのフォイルを取り付け、更に、上記軸受ケースと軸との間に、液体を満たしてなり、回転する軸に連れ回される液体を、上記軸とフォイルとの間の隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力により軸の負荷を支えるようにした構成とする。
更に、具体的には、内周面を支承面とする軸受ケースの内側に、多重巻きにした所要のフォイルを取り付けて、該フォイルの最内層と、その内側に挿通配置させる軸の外周面との間に、軸の回転方向下流側が絞られる楔状の隙間を形成できるようにし、更に、上記フォイルの配置された軸受ケースの内周面と軸の外周面との間に、液体を満たしてなり、回転する軸に連れ回される液体を、上記軸とフォイルとの間の楔状の隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力により軸の負荷を支えるようにした構成とする。
上記構成において、外周側の層のフォイルの有する弾性及び減衰能を、フォイルの最内層と軸の外周面との間に形成される楔状の隙間にて圧力が高められる液体の膜の有する弾性及び減衰能と対応するようにした構成とし、更に、上記構成における外周側の層のフォイルの有する弾性及び減衰能が、フォイルの最内層と軸の外周面との間に形成される楔状の隙間にて圧力が高められる液体の膜の有する弾性及び減衰能と対応するものとできるように外周側の層のフォイル厚さを最内層のフォイル厚さよりも厚くするか、又は、外周側の層のフォイルの屈曲部のピッチを短く設定するようにした構成とする。
又、請求項5に係る発明に対応するように、軸受ケースの支承面と、軸のスラストカラーとの間に、上記軸の回転方向下流側が絞られる隙間を形成するためのフォイルを取り付け、且つ上記フォイルが配置されている軸受ケースと軸のスラストカラーとの間に液体を満たすようにしてなり、軸と一緒に回転するスラストカラーに連れ回される液体を、該スラストカラーとフォイルとの隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力によりスラストカラーを介して軸の負荷を支えるようにした構成とする。
上記構成において、フォイルを、表面の周方向所要間隔位置に少なくとも外周側端部が閉じられた多数のスパイラル溝を設けてなるものとして、該フォイル表面のスパイラル溝により、支持すべき軸のスラストカラーとの間に上記軸の回転方向下流側が狭くなる所要の隙間を形成できるようにし、更に、上記各スパイラル溝の所要位置に、裏面へ連通する液体の供給孔を設けて、上記フォイル表面の各スパイラル溝内にて軸と一緒に回転するスラストカラーに連れ回される液体を、上記フォイルの裏面側から上記供給孔を通して各スパイラル溝内へ連続的に供給できるようにした構成とする。
本発明の液体潤滑フォイル式動圧軸受によれば、以下の如き優れた効果を発揮する。
(1)軸受ケースの支承面に、軸との間に該軸の回転方向下流側が絞られるよう隙間を形成するためのフォイルを取り付け、更に、上記軸受ケースと軸との間に、液体を満たしてなり、回転する軸に連れ回される液体を、上記軸とフォイルとの間の隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力により軸の負荷を支えるようにした構成としてあるので、回転する軸を非圧縮性である液体により潤滑させることができる。
(2)フォイルと支持される軸との間には、非圧縮性の液体が満たされているため、軸受剛性を、従来の動圧気体軸受に比して大幅に高めることができると共に、減衰性も高めることができて、軸受としての安定性を向上させることができる。これにより、高い軸受剛性、減衰性の要求される各種回転機械への適用が可能になる。
(3)軸受ケースの内側に、多重巻きにした所要のフォイルを取り付けて、該フォイルの最内層と、その内側の軸の外周面との間に、軸の回転方向下流側が絞られる楔状の隙間を形成できるようにし、更に、上記フォイルの配置された軸受ケースの内周面と軸の外周面との間に、液体を満たしてなり、回転する軸に連れ回される液体を、上記軸とフォイルとの間の楔状の隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力により軸の負荷を支えるようにした構成とすることにより、回転する軸を液体で潤滑できるジャーナル形式のフォイル式動圧軸受を構成することができる。
(4)更に、多少の寸法誤差や芯ずれが生じていたとしても、多重巻きされたフォイルが撓むことで吸収することができるため、寸法変化や調心性の狂いに対して優れた適応性を発揮することができる。このため、製造時には、従来の油軸受や水軸受に比して要求される加工精度を引き下げることが可能になり、製作を容易なものとすることが可能になる。
(5)更に又、負荷容量や軸受剛性を高めることができるため、軸受寸法を従来の動圧ジャーナル気体軸受のように大きく取る必要をなくすことができることから、サイズの小型化を図ることが可能になる。
(6)外周側の層のフォイルの有する弾性及び減衰能を、フォイルの最内層と軸の外周面との間に形成される楔状の隙間にて圧力が高められる液体の膜の有する弾性及び減衰能と対応するようにした構成、より具体的には、外周側の層のフォイルの有する弾性及び減衰能が、フォイルの最内層と軸の外周面との間に形成される楔状の隙間にて圧力が高められる液体の膜の有する弾性及び減衰能と対応するものとできるよう、外周側の層のフォイル厚さを最内層のフォイル厚さよりも厚くするか、又は、外周側の層のフォイルの屈曲部のピッチを短く設定するようにした構成とすることにより、フォイルの最内層と軸の外周面との間の液体の膜の剛性及び減衰性と、外周側のフォイルが撓むときの剛性及び減衰性が釣合うようになるため、軸の変位が生じるときに、非圧縮性の液体に押されて上記バックフォイルが容易に屈する虞を防止できるようにした状態で、軸の変位をバックフォイルの撓みにより円滑に吸収させることが可能になる。
(7)軸受ケースの支承面と、軸のスラストカラーとの間に、軸回転方向下流側が絞られる隙間を形成するためのフォイルを取り付け、且つ軸受ケースと軸のスラストカラーとの間に液体を満たすようにしてなり、軸と一緒に回転するスラストカラーに連れ回される液体を、該スラストカラーとフォイルとの隙間へ導くことにより圧力を高めて、この液体の膜圧力によりスラストカラーを介して軸の負荷を支えるようにした構成とすることにより、回転する軸を液体で潤滑できるスラスト形式のフォイル式動圧軸受を構成することができ、更に、上記(4)及び(5)と同様の効果を得ることができる。
(8)フォイルを、表面の周方向所要間隔位置に少なくとも外周側端部が閉じられた多数のスパイラル溝を設けてなるものとして、該スパイラル溝により、軸のスラストカラーとの間に軸回転方向下流側が狭くなる所要の隙間を形成できるようにし、更に、上記各スパイラル溝の所要位置に、裏面へ連通する液体の供給孔を設けて、上記フォイル表面の各スパイラル溝内にて軸と一緒に回転するスラストカラーに連れ回される液体を、上記フォイルの裏面側から上記供給孔を通して各スパイラル溝内へ連続的に供給できるようにした構成とすることにより、非圧縮性である液体が空気に比して比重が大きいことに起因して、スパイラル溝内にて回転するスラストカラーに連れ回されるときに遠心力が大きく作用する場合にも、液体を、上記供給孔を通して各スパイラル溝内へ供給することができて、各スパイラル溝内にて、内周側あるいは外周側へ送ることができる。
(9)潤滑用の液体として水を用いるようにすれば、通常、潤滑剤として多用されている油に比して取り扱いを容易なものとすることができ、したがって、メンテナンス時に要する作業の手間を削減することが可能になる。又、万一、外部への漏れが生じたとしても、機器に対して悪影響を及ぼしたり、環境負荷を悪化させる虞を低減させることが可能になる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
図1(イ)(ロ)(ハ)乃至図3は、本発明の液体潤滑フォイル式動圧軸受の実施の一形態として、ジャーナル軸受形式のものを示すもので、以下のような構成としてある。
すなわち、内周面を支承面とするブッシュ状の軸受ケース40の内側に、連続したフォイル(弾性薄板)41を多重巻きして収納させて、該フォイル41自身の伸展しようとする弾性力を径方向外向きに作用させることで、多重巻きのフォイル41を、上記軸受ケース40の支承面の内側に圧接させて保持できるようにする。更に、上記軸受ケース40内の多重巻きされたフォイル41の最内層のフォイル(トップフォイル)41aの内側に、回転機械の軸(ジャーナル)42を挿通位置させると共に、上記多重巻きされたフォイル41が配されている軸受ケース40とジャーナル42との間の領域に、非圧縮性流体である液体としての水43を満たして本発明の液体潤滑フォイル式動圧軸受としての水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iを構成する。
詳述すると、上記軸受ケース40は、円筒形状における軸心方向両端部の内周面に、径方向内向きに所要寸法突出するリング状の突部44を設けた構成としてあり、該軸受ケース40の内側に配置される多重巻きのフォイル41が、弾性力によって軸受ケース40の支承面に圧接されるときに、該フォイル41の最外層における軸受ケース40の支承面との接触個所の幅方向両端部を、上記軸受ケース40両端部の内周面に設けてあるリング状の突部44に係止させることで、上記フォイル41の軸心方向へのずれを防止することができるようにしてある。
上記フォイル41は、図1(ハ)又は図2(ロ)に示す如く、全長に亘り幅方向に延びる溝45を、複数本ずつ所要のピッチで刻設してあり、図1(イ)又は図2(イ)に示す如く、上記各溝45の部分で屈曲させながら多重巻きすることで、内外方向に形成される各層がそれぞれ梁部46と屈曲部47が交互に形成された多円弧形状となるようにしてある。なお、該多重巻きされたフォイル41における内外の各層のうち、外周側の層であるバックフォイル41bは、最内周の層であるトップフォイル41aとジャーナル42との間に形成される水43の膜の剛性及び減衰性に対応した剛性及び減衰性を得ることができるようにするために、図1(ロ)に示す如く、長手方向における溝45の間隔を図7(イ)(ロ)に示す従来方式に比較してより狭くして、屈曲部47のピッチが短くなるように設定することにより、梁部46の長さを短くするようにするか、あるいは、図2(イ)(ロ)に示す如く、フォイル41におけるバックフォイル41bのフォイル厚みを図7(イ)(ロ)に示すものに比して、より厚くするようにして、該バックフォイル41bにおける梁部46の曲げ剛性を比較的高く設定できるようにする。これにより、トップフォイル41aとジャーナル42との間の水43の膜の剛性及び減衰性と、バックフォイル41bが撓むときの剛性及び減衰性が釣合うようになるため、ジャーナル42の変位が生じるときに、非圧縮性の水43に押されて上記バックフォイル41bが容易に屈する虞を防止できて、ジャーナル42の位置の変位をバックフォイル41bの撓みにより円滑に吸収させることが可能になる。
本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iにて、多重巻きされたフォイル41が配されている軸受ケース40とジャーナル42との間の領域に、水43を満たすための具体的な構成としては、たとえば、図3に示す如く、上記本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iを、図9に示したと同様の構成としてあるターボチャージャにおけるタービン軸の軸受として採用する場合について説明すると、タービン車室21とコンプレッサ車室22とを連結している軸受車室23における円筒状に加工された軸受ハウジング27の軸方向両端部を、水循環フォイル式動圧ジャーナル軸受Iの軸受ケース40として、該軸受ケース40としての軸受ハウジング27の両端部に、上述したように軸受ケース40の内側に多重巻きされたフォイル41を保持させてなる構造体を嵌入させると共に、上記多重巻きされたフォイル41におけるトップフォイル41aの内側に、支持させるべきジャーナルとしてのタービン軸42aを位置させるようにする。更に、上記軸受車室23の外周部所要個所より径方向内向きに延びて先端が軸受ハウジング27のやや外周側位置に達する給水通路48aと、該径方向の給水通路48aの先端部に連通され且つ軸受ハウジング27の片側位置(図上上側位置)にて該軸受ハウジング27に沿って平行に延びる軸方向の給水通路48bと、該軸方向の給水通路48bの両端部よりそれぞれ径方向内向きに延びて上記軸受ハウジング27における各水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iの軸受ケース40の外周側位置に開口する径方向の給水通路48cとを設ける。
更に又、上記軸受ケース40の外周面における上記給水通路48cの開口部と対応する位置に、周方向の全周に亘る溝49を設け、これにより、該溝49と軸受ハウジング47の内周面との間に周方向の全周に亘る給水用の通路50を形成できるようにし、更に、上記軸受ケース40における周方向所要間隔位置に、径方向に貫通する給水孔51を設けるようにする。
かかる構成としてあることにより、上記各給水通路48a,48b,48cを経て外部の図示しない水供給部より導いた水43を、上記給水用通路50を通して各水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iの外周へ供給した後、各給水孔51を通して軸受ケース40の内側、すなわち、多重巻きされたフォイル41の配されている軸受ケース40の支承面と、タービン軸42aとの間の領域へ連続的に注入することによって、軸受ハウジング27内に水43を充満させて、本実施の形態の各水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iにおける軸受ケース40の支承面とタービン軸42aとの間の領域を水43で満たすようにしてある。上記各水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iにて潤滑に供された後の水43は、軸受ハウジング27における軸方向中央部に集められた後、水排出通路52を経て図示しない水回収部へ回収させるようにしてある。
なお、図1(イ)(ロ)(ハ)及び図2(イ)(ロ)における、多重巻きされたフォイル41の厚さや、該フォイル41における内外の層同士の間に形成される空間、該フォイル41の配置される軸受ケース40の支承面とジャーナル42の外周面との隙間等の寸法は、図示するための便宜上のサイズであり、実際の寸法を反映するものではない。図3における軸受ハウジング27の軸方向両端部は、図示しないシール装置によりタービン軸42aの外周側を水封するようにしてある。その他、図3において図9に示したと同一のものには同一符号が付してある。
上記構成として、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iを採用した回転機械としてのターボチャージャにて、排気によりタービンホイール24が回転させられると、該タービンホイール24の回転が、タービン軸42aを経てコンプレッサホイール25に伝えられて、該コンプレッサホイール25が回転駆動されることにより、図示しないエンジン等への給気の圧縮が行われるようになる。
この際、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iでは、回転するタービン軸42aと、該タービン軸42aを取り囲む多円弧形状のトップフォイル41aとの間に存在する水43が、その粘性によりタービン軸42aの回転に同伴されて、該タービン軸42aと多円弧形状のトップフォイル41aとの間に形成されているタービン軸42aの回転方向に徐々に絞られる楔状の隙間に引きずり込まれることで動圧が発生し、圧力が高められる。これにより、上記トップフォイル41aとタービン軸42aの外周面との間に存在して圧力の高められた水43の膜圧力によって上記タービン軸42aの負荷が支えられるようになるため、該タービン軸42aは、トップフォイル41aと非接触状態で水43の膜により潤滑された状態で回転することができるようになる。
このように、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iによれば、回転するタービン軸42a(ジャーナル42)を水43により潤滑させることができる。しかも、多少の寸法誤差や芯ずれが生じていたとしても、多重巻きされたフォイル41のバックフォイル41bが撓むことで吸収することができるため、寸法変化や調心性の狂いに対して優れた適応性を発揮することができる。このために、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iを製造するときには、従来の油軸受や水軸受に比して要求される加工精度を引き下げることが可能になり、製作を容易なものとすることが可能になる。
更に、上記トップフォイル41aと支持されるタービン軸42a(ジャーナル42)との間には、空気に比して粘性が高く、且つ非圧縮性である水43が満たされているため、軸受剛性を、従来の動圧ジャーナル気体軸受に比して大幅に高めることができると共に、減衰性も高めることができて、軸受としての安定性を向上させることができる。したがって、上記水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iは、高い軸受剛性、減衰性の要求される各種回転機械への適用が可能になる。又、負荷容量や軸受剛性を高めることができるため、軸受寸法を従来の動圧ジャーナル気体軸受のように大きく取る必要をなくすことができることから、サイズの小型化を図ることが可能になる。
更には、潤滑用の液体として水43を用いるようにしてあるため、通常、潤滑剤として多用されている油に比して取り扱いが容易であり、したがって、メンテナンス時に要する作業の手間を削減することが可能になる。又、一般に、内燃機関に装着されたターボチャージャでは、タービン軸の潤滑に用いる油としてエンジンオイルの一部を使用することが行われており、この場合には、上記ターボチャージャにおけるタービン軸を潤滑する油に、すす等の汚れが含まれるようになることから、このような汚れに起因したトラブルが発生する虞も懸念されるが、上記本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iを採用したターボチャージャでは、タービン軸42aの潤滑に用いる水43に、すす等のエンジン内部の汚れが混入される虞を解消できるため、このような汚れに起因するトラブルが発生する虞を防止することができる。
更に又、軸受車室23における軸受ハウジング27の軸方向両端部を水封しているシール装置に、万一、漏れが生じたとしても、タービン車室21やコンプレッサー車室22ヘ漏れ出て、タービン車室21を通過する排気ガス、あるいは、コンプレッサー車室22を通過する主流であるエンジンへの給気に混入されるのは、水43あるいは該水43に由来する蒸気であるため、該水43あるいは蒸気が外部へ漏れたとしても、環境負荷を悪化させる虞を低減させることが可能になる。
次に、図4(イ)(ロ)は本発明の実施の他の形態として、スラスト軸受形式のものを示すもので、以下のような構成としてある。
すなわち、スラストカラー54付きの回転軸53の軸端部を挿通配置させる挿通孔56を有する軸受ケース55の支承面に、中央に上記回転軸53の軸端部を貫通させる孔を有し且つ表面に支持すべき回転軸53のスラストカラー54との間に上記回転軸53の回転方向下流側が絞られる隙間を形成するためのフォイル57を取り付けて、上記軸受ケース55の支承面上に、上記フォイル57を介在させて回転軸53のスラストカラー54を載置できるようにし、且つ上記フォイル57の配されている軸受ケース55の支承面と回転軸53のスラストカラー54との間に、非圧縮性流体である液体としての水43を満たして本発明の液体潤滑フォイル式動圧軸受としての水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIを構成する。
詳述すると、上記フォイル57は、図4(ロ)に示す如く、中心部に回転軸53の軸端部を貫通させる孔を穿設してなる円板状(リング状)とすると共に、表面(上面)に、外周側及び内周側の両端部が共に閉じられた状態で外周部より上記孔の近傍の内周部まで延びる対数螺旋のスパイラル溝58を、周方向所要間隔で多数刻設して設け、更に、該各スパイラル溝58内における外周側端部に、表裏方向(厚み方向)に貫通する水供給孔59を穿設した構成としてある。
一方、上記軸受ケース55における軸挿通孔56の周縁部の上側には、図4(イ)に示す如く、中心部に上記回転軸53の軸端部を貫通させるための孔を備えたリング状のフォイル支持板60を取り付ける。
上記フォイル支持板60は、フォイル57を取り付けるための表面に、上記フォイル57の水供給孔59の周方向の配列と対応するよう所要径で周方向の全周に亘る給水用の溝61を設けるようにしてあり、更に、該給水用溝61における周方向所要位置に、給水通路となる貫通孔62を、表裏方向(厚み方向)に貫通するよう穿設した構成としてあり、該貫通孔62の裏面側開口部を、上記フォイル支持板60の貫通孔62と対応する位置に開口するように軸受ケース55に設けてある給水通路63の開口部63aに一致させるようにしてある。なお、64は、軸受ケース55の給水通路63の開口部63aとの接続部分の水密性を保持するためフォイル支持板60の貫通孔62の裏面側開口部の外周に取り付けたOリングである。
更に、上記軸受ケース55に取り付けてあるフォイル支持板60の上側には、上記構成としてあるフォイル57を、中心部の孔の位置を軸挿通孔56に一致するよう配置して、該フォイル57の外周縁部所要個所を、図示しないボルト等によりフォイル支持板60に取り付けるようにしてある。
これにより、外部の図示しない水供給部より軸受ケース55のケース壁内部の給水通路63とフォイル支持板60の貫通孔62及び給水用溝61を順に経て上記フォイル57の裏面側へ導かれる水43を、該フォイル57の水供給孔59を通して該フォイル57の表面側の各スパイラル溝58の内側へ供給することができるようにしてある。
上記構成としてある本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIを使用する場合は、軸端部を上記フォイル57とフォイル支持板60のそれぞれの中心部の孔を通して軸受ケース55の軸挿通孔56に挿通配置させる回転軸53のスラストカラー54を、フォイル57の上側に載置し、上述したように、外部の水供給部より導かれる水43を、給水用の各通路63と62と61と59を順に通して上記フォイル57の各スパイラル溝58内へ連続的に供給するようにしておく。
この状態にて、回転軸53を、図4(ロ)に矢印で示す如く時計方向へ回転させると、上記フォイル57のスパイラル溝58内の外周側端部へ水供給孔59を通して連続供給されている水43が、フォイル57の上側にて回転軸53と一緒に回転するスラストカラー54に引きまわされることにより、上記スパイラル溝58内にて外周側より内周方向へ向かう水43の流れが形成される。このスパイラル溝58内に沿い内周方向へ流れる水43は、上記スパイラル溝58の内周側端部が閉じられているため、該スパイラル溝58の内周側端部に達した後、該スパイラル溝58内よりフォイル57のランド部とスラストカラー54の下面との間の狭い隙間へ押し出されるようになる。このために、該フォイル57とスラストカラー54の間の水43の膜の圧力が高められて、この水43の膜圧力により、スラストカラー54を介して上記回転軸53の負荷が支えられるようになる。これにより、上記回転軸53は、スラストカラー54とフォイル57が非接触状態で水43の膜により潤滑された状態で回転することができるようになる。
このように、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIによれば、回転する回転軸53を水43により潤滑させることができる。しかも、多少の寸法誤差や芯ずれが生じていたとしても、フォイル57が撓むことで吸収することができるため、寸法変化や調心性の狂いに対して優れた適応性を発揮することができる。このために、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIを製造するときには、従来の油軸受や水軸受に比して要求される加工精度を引き下げることが可能になり、製作を容易なものとすることが可能になる。
更に、上記フォイル57と支持される回転軸53との間には、空気に比して粘性が高く、且つ非圧縮性である水43が満たされているため、軸受剛性を、従来の動圧スラスト気体軸受に比して大幅に高めることができると共に、減衰性も高めることができて、軸受としての安定性を向上させることができる。したがって、上記水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIは、高い軸受剛性、減衰性の要求される各種回転機械への適用が可能になる。又、負荷容量や軸受剛性を高めることができるため、軸受寸法を従来の動圧スラスト気体軸受のように大きく取る必要をなくすことができることから、サイズの小型化を図ることが可能になる。
更には、潤滑用の液体として水43を用いるようにしてあるため、通常、潤滑剤として多用されている油に比して取り扱いが容易であり、したがって、メンテナンス時に要する作業の手間を削減することが可能になる。又、上記潤滑に用いている水43が漏れたとしても、外部の環境負荷を悪化させる虞を低減させることが可能になる。
更に又、回転軸53の潤滑に用いられる水43は、空気に比して比重が非常に大きいため、スパイラル溝58内の水43が回転するスラストカラー54に連れ回されるときには、該水43に対して遠心力が大きく作用することになるが、上記本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIでは、各スパイラル溝58を外周側端部を閉じた構成としてあると共に、水43を、水供給孔59を通して上記各スパイラル溝58内へ供給するようにしてあることから、各スパイラル溝58内の水43を遠心力に抗して内周側へ送ることができる。
又、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIでは、潤滑剤として、空気に比して比熱容量が大幅に大きい水43を用いるようにしてあることから、回転軸53を高速回転することに伴ってスラストカラー54の周速が高められる場合であっても、該スラストカラー54と水43との摩擦で発生する熱を、連続的に供給される水43により速やかに除去することができることから、フォイル57を熱的に安定させることができて、該フォイル57に熱変形が生じる虞を未然に防止することが可能になる。
次いで、図5(イ)(ロ)は、図4(イ)(ロ)に示した水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIの応用例を示すもので、図4(イ)(ロ)に示したと同様の構成において、回転軸53と一緒に回転するスラストカラー54によって連れまわされる水43が、フォイル57の各スパイラル溝58内にて外周側より内周方向へ流れるようにする構成に代えて、上記回転するスラストカラー54に連れまわされる水43が、各スパイラル溝58内を内周側より外周方向へ流されるようにして、該スパイラル溝58の外周側端部に達した後、該スパイラル溝58内よりフォイル57のランド部とスラストカラー54の下面との間の狭い隙間へ水43が押し出されるようにすることにより、水43の膜の圧力を高めることができるようにするもので、以下のような構成としてある。
すなわち、フォイルを、図4(ロ)に示したフォイル57と同様の構成において、各スパイラル溝48の外周側端部に水供給孔59を設けることに代えて、各スパイラル溝58の内周側端部に裏面へ貫通する水供給孔59を穿設してなる構成のフォイル57aとする。
又、フォイル支持板60の表面に設ける給水用溝61の軸心からの径方向位置及び該給水用溝61の所要個所より厚み方向へ貫通するよう設ける貫通孔62の軸心からの径方向位置、並びに、軸受ケース55に設ける給水通路63が支承面に開口する開口部63aの軸挿通孔56中心からの径方向位置を、いずれも上記フォイル57aに設けた水供給孔59が周方向に配列される所要径位置に対応させるようにした構成としてある。
その他の構成は図4(イ)(ロ)に示したものと同様であり、同一のものには同一符号が付してある。
本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIを使用するときには、回転軸53を、図5(ロ)に矢印で示す如く反時計方向に回転させるようにする。これにより、スラストカラー54の回転に連れまわされる水43は、フォイル57aの各スパイラル溝58内にて、水供給孔59の設けてある内周側より外周方向へ向けて流されるようになる。したがって、上記スラストカラー54の回転に連れまわされることによって水43に作用する遠心力をも有効利用して各スパイラル溝58内にて水43に動圧を発生させることができるようになる。このために、本実施の形態の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受IIによれば、回転軸53のスラストカラー54とフォイル57aとの間における水43の膜の圧力をより効率よく高めることができて、回転軸53の潤滑を更に効率よく行わせることが可能となる。
なお、本発明は、上記実施の形態のみに限定されるものではなく、たとえば、図1(イ)(ロ)(ハ)乃至図3の実施の形態の水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受Iにおけるフォイル41は、軸受ケース40の支承面に多重巻きした状態で配設すると共に、最内層のトップフォイル41aとその内側に配置されて回転するジャーナル42の外周面との間に、該ジャーナル42の回転方向下流側が絞られる楔状の隙間を形成することができれば、図6(イ)(ロ)に示したフォイル2と同様に、片面の長手方向の全長に亘り、幅方向に延びる線状突起3を備えて、該線状突起3のある面を外周側に向けて多重巻きした構成のフォイルとしてもよいこと、又、図4(イ)(ロ)の実施の形態及び図5(イ)(ロ)の実施の形態においては、図8(イ)(ロ)(ハ)に示したように、フォイル支持板60とその上側に取り付けるフォイル57,57aとの間に、複数層のバックフォイルを介装させるようにしてもよく、又、フォイル支持板60を省略して、軸受ケース55の支承面上に、フォイル57,57aを直接取り付けるようにしてもよいこと、フォイル57,57aに設けるスパイラル溝58の径方向の配置や数は、該フォイル57,57a上に配置されるスラストカラー54のサイズに応じて自在に設定してよいこと、スパイラル溝58の流入角(接線方向に対する傾斜角)は、スパイラル溝58内にて内周方向又は外周方向のいずれか所望する方向ヘ水43の流れを形成させて、該スパイラル溝58の内周側端部又は外周側端部よりフォイル57,57aのランド部とスラストカラー54の下面との間に押し出して圧力を高めることができるように、支持すべき回転軸53の回転数や、該回転軸53と一緒に回転されるスラストカラー54に連れまわされる水43に作用することとなる遠心力を考慮して、図示した以外の角度に適宜設定するようにしてもよいこと、上記各実施の形態では、潤滑用の液体として水43を用いるものとして示したが、空調機の冷媒等、水43以外の液体を用いるようにしてもよいこと、又、上記のように潤滑用の液体として水43を用いる場合には、軸受ケース40,55や支持すべき軸42,53及びフォイル41,57,57aは、適宜防錆処理を施すようにすればよいこと、又、上記各フォイル41,57,57aにおける軸受面に、水43に対応した耐磨耗コーティングを適宜行うようにしてもよいこと、更に、本発明は、ターボチャージャに限られず、様々な回転機械に適用できること、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ること、等は勿論である。
本発明の液体潤滑フォイル式動圧軸受の実施の一形態を示すもので、(イ)は概略切断正面図、(ロ)は概略切断側面図、(ハ)は(イ)に示すフォイルの多重巻きする以前の展開状態を示す概略斜視図である。 図1の液体潤滑フォイル式動圧軸受のフォイルを別の形式のフォイルとしたものを示すもので、(イ)は概略切断正面図、(ロ)は(イ)に示すフォイルの多重巻きする以前の展開状態を示す概略斜視図である。 図1の液体潤滑フォイル式動圧軸受を採用したターボチャージャを示す概略切断側面図である。 本発明の実施の他の形態として、水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受を示すもので、(イ)は部分切断概略側面図、(ロ)は(イ)に示すフォイル表面の平面図である。 図4の水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受の応用例を示すもので、(イ)は部分切断概略側面図、(ロ)は(イ)に示すフォイル表面の平面図である。 従来のフォイル式動圧ジャーナル気体軸受の一例を示すもので、(イ)は概略切断正面図、(ロ)は多重巻きする以前の展開状態のフォイルを裏面側より示す概略斜視図である。 従来のフォイル式動圧ジャーナル気体軸受の他の例を示すもので、(イ)は概略切断正面図、(ロ)は多重巻きする以前の展開状態のフォイルを示す概略斜視図である。 従来のフォイル式動圧スラスト軸受を示すもので、(イ)は概略切断側面図、(ロ)及び(ハ)はいずれも積層するトップフォイルとバックフォイルの構成例を示す概要図である。 油軸受としてのジャーナル軸受を備えたターボチャージャを示す概略切断側面図である。 水軸受を備えた2段式圧縮装置を示す概略切断側面図である。
符号の説明
I 水潤滑フォイル式動圧ジャーナル軸受(液体潤滑フォイル式動圧軸受)
II 水潤滑フォイル式動圧スラスト軸受(液体潤滑フォイル式動圧軸受)
40 軸受ケース
41 フォイル
41a トップフォイル
41b バックフォイル
42 ジャーナル(軸)
42a タービン軸(軸)
43 水(液体)
53 回転軸(軸)
54 スラストカラー
55 軸受ケース
56 軸挿通孔
57,57a フォイル
58 スパイラル溝
59 水供給孔(供給孔)

Claims (6)

  1. 軸受ケースの支承面に、支持すべき軸との間に該軸の回転方向下流側が絞られるよう隙間を形成するためのフォイルを取り付け、更に、上記軸受ケースと軸との間に、液体を満たしてなり、回転する軸に連れ回される液体を、上記軸とフォイルとの間の隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力により軸の負荷を支えるようにしたことを特徴とする液体潤滑フォイル式動圧軸受。
  2. 内周面を支承面とする軸受ケースの内側に、多重巻きにした所要のフォイルを取り付けて、該フォイルの最内層と、その内側に挿通配置させる軸の外周面との間に、軸の回転方向下流側が絞られる楔状の隙間を形成できるようにし、更に、上記フォイルの配置された軸受ケースの内周面と軸の外周面との間に、液体を満たしてなり、回転する軸に連れ回される液体を、上記軸とフォイルとの間の楔状の隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力により軸の負荷を支えるようにしたことを特徴とする液体潤滑フォイル式動圧軸受。
  3. 外周側の層のフォイルの有する弾性及び減衰能を、フォイルの最内層と軸の外周面との間に形成される楔状の隙間にて圧力が高められる液体の膜の有する弾性及び減衰能と対応するようにした請求項2記載の液体潤滑フォイル式動圧軸受。
  4. 外周側の層のフォイルの有する弾性及び減衰能が、フォイルの最内層と軸の外周面との間に形成される楔状の隙間にて圧力が高められる液体の膜の有する弾性及び減衰能と対応するものとできるように外周側の層のフォイル厚さを最内層のフォイル厚さよりも厚くするか、又は、外周側の層のフォイルの屈曲部のピッチを短く設定するようにした請求項3記載の液体潤滑フォイル式動圧軸受。
  5. 軸受ケースの支承面と、軸のスラストカラーとの間に、上記軸の回転方向下流側が絞られる隙間を形成するためのフォイルを取り付け、且つ上記フォイルが配置されている軸受ケースと軸のスラストカラーとの間に液体を満たすようにしてなり、軸と一緒に回転するスラストカラーに連れ回される液体を、該スラストカラーとフォイルとの隙間へ導くことにより圧力を高めて、該隙間の液体の膜圧力によりスラストカラーを介して軸の負荷を支えるようにしたことを特徴とする液体潤滑フォイル式動圧軸受。
  6. フォイルを、表面の周方向所要間隔位置に少なくとも外周側端部が閉じられた多数のスパイラル溝を設けてなるものとして、該フォイル表面のスパイラル溝により、支持すべき軸のスラストカラーとの間に上記軸の回転方向下流側が狭くなる所要の隙間を形成できるようにし、更に、上記各スパイラル溝の所要位置に、裏面へ連通する液体の供給孔を設けて、上記フォイル表面の各スパイラル溝内にて軸と一緒に回転するスラストカラーに連れ回される液体を、上記フォイルの裏面側から上記供給孔を通して各スパイラル溝内へ連続的に供給できるようにした請求項5記載の液体潤滑フォイル式動圧軸受。
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