JP2006220535A - 空間照度測定装置及び空間照度の校正方法 - Google Patents

空間照度測定装置及び空間照度の校正方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 空間照度の絶対値を測定できる空間照度測定装置を提供する。
【解決手段】 紫外線透過性を有する筒状の容器5に、受光した紫外線を可視光に変換する波長変換材料3aを充填して形成した受光部3と、受光部3からの可視光に基づいて紫外線の照度又は照度に対応する値を検出する検出部と、波長変換材料3aと光学的に接続されて波長変換材料3aからの可視光を検出部に伝達する光ファイバー7とを備え、容器5は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、光ファイバー7の一方の端部に取り付けられて容器5の開口された端部を閉塞する閉塞部材9に脱着可能に取り付けられている構成とする。このような構成とすることにより、容器5に代えて、光感受性化合物を予め設定した量入れた容器を取り付け、紫外線を照射したときの光感受性化合物の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となり、空間照度の絶対値を測定できる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、空間照度測定装置及び空間照度の校正方法に関する。
照度を測定するとき、受光素子としてシリコンフォトダイオードや光電管などを備えた照度測定装置を用いるのが一般的であった。しかし、受光素子としてシリコンフォトダイオードや光電管などを用いた照度測定装置よりも、紫外線波長域の光の照度を精度高く測定できる照度測定装置として、板状に形成した蛍光材料を含む波長変換素子を用い、この波長変換素子の平板面を紫外線の受光面として紫外線を可視光に変換して照度を測定する照度測定装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。しかし、このような照度測定装置では、平面に入射する光束、つまり、平面照度E=dΦ/dAを計測するものである。ここで、dΦは平面dAに入射する光束を計測するものである。このため、光度標準光源を用いて校正できる利点があるが、空間照度を測定することはできない。
これに対して、空間照度を測定できる空間照度測定装置として、蛍光材料を含む波長変換素子を棒状やU字形状した空間照度測定装置が提案されている(例えば、特許文献2、3参照)。
特開平6−317463号公報(第2−3頁、第1図) 実開平5−93932号公報(第3−4頁、第1図) 特開2001−21413号公報(第2−4頁、第1図)
しかし、波長変換素子を棒状やU字形状した空間照度測定装置では、空間照度の相対値を測定することは可能であるが、空間照度の校正方法が無いため、空間照度の絶対値を測定することができないという問題がある。このため、空間照度の絶対値を測定できる空間照度測定装置が求められている。
本発明の課題は、空間照度の絶対値を測定することにある。
本発明の空間照度測定装置は、紫外線透過性を有する筒状の容器に、受光した紫外線を可視光に変換する波長変換材料を充填して形成した受光部と、この受光部からの可視光に基づいて紫外線の照度又は照度に対応する値を検出する検出部と、波長変換材料と光学的に接続されて波長変換材料からの可視光を検出部に伝達する光ファイバーとを備え、容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、この容器の開口された端部を閉塞する光ファイバーの一方の端部に取り付けられた閉塞部材に脱着可能に取り付けられている構成とすることにより上記課題を解決する。
このような構成とすることにより、波長変換材料を充填した容器に代えて、波長変換材料を充填していない容器内に光感受性化合物を予め設定した量入れて閉塞部材に取り付け、紫外線を照射したときの、この光感受性化合物の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となる。したがって、空間照度の絶対値を測定できる。
また、容器の開口された端部には、この端部の内側に対応する太さの柱状の可視光伝達部材が挿入されており、この可視光伝達部材は、波長変換材料からの可視光を光ファイバーに伝達するとともに、波長変換材料を容器内に封入する栓となる構成とする。このような構成とすることにより、可視光伝達部材により波長変換材料を容器内に充填した状態に確実に固定でき、かつ、波長変換材料で生じた可視光を確実に光ファイバーに伝達できるため、構成を簡素化しながら空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。加えて、可視光伝達部材は、容器を形成した材料よりも光の屈折率が大きい材料を用いた構成とする。これにより、可視光伝達部材によって伝達される可視光が容器の内壁面で全反射し、可視光の伝達効率を向上できる。
さらに、容器が、紫外線透過性を有し、照度を測定する紫外線ランプを挿入した管に対応する形状の管に挿入されている構成とする。これにより、紫外線ランプを挿入した管の表面に付着した汚れを除去するワイパー機構を利用して、容器が挿入された管の表面に付着した汚れを除去できる。したがって、容器の外表面に汚れが付着することにより、空間照度の絶対値の測定精度が低下するのを抑制できる。
また、空気より屈折率の大きい媒質が、容器が挿入された管内に充填された構成とする。紫外線は、より密な媒質である容器や管の壁からより粗な媒質である管内の空気に進むとき、管の壁の面に対する入射角が所定の角度以上となる紫外線は、管の壁内で全反射するため、管内に進入しない。このため、波長変換素子に全ての紫外線が入射し難くいため、必要な測定精度が得られない場合がある。しかし、容器が紫外線透過性を有する管に挿入されている場合、この管内に、空気より屈折率の大きい媒質が充填されていれば、全反射を抑制できるため、ほとんどの紫外線を容器内に進入させることができ、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。
さらに、本発明の紫外線処理装置は、複数の紫外線ランプと、これら複数の紫外線ランプに囲まれた位置に設置された空間照度測定装置とを備え、この空間照度測定装置として上記のいずれかの空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置。このような構成の紫外線処理装置とすれば、空間照度の絶対値を測定できることにより、紫外線処理装置の紫外線の照射処理の精度を向上できる。
また、本発明の空間照度の校正方法は、上記のような構成の空間照度測定装置を囲んだ状態で複数の校正用の紫外線ランプを設置して、これら複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する照度又は照度に対応する数値を検出部で検出し、さらに、波長変換材料を充填した容器に代えて、この容器と同一の形状及び材質で、光感受性化合物を予め設定した量入れた容器を閉塞部材に取り付け、複数の校正用の紫外線ランプを前記予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する紫外線吸収による光感受性化合物の壊変量に基づいて各電力に対応する照度の絶対値を検出し、検出部で検出した数値と光感受性化合物の壊変量に基づいて検出した照度の絶対値との関係を求める校正方法とする。これにより、空間照度の校正が可能となるため、空間照度の絶対値を測定できる。
本発明によれば、空間照度の絶対値を測定できる。
以下、本発明を適用してなる空間照度測定装置及び空間照度の校正方法の一実施形態について図1乃至図8を参照して説明する。図1は、本発明を適用してなる空間照度測定装置の受光部側の部分の概略構成を示す断面図である。図2は、本発明を適用してなる空間照度測定装置の検出部側の部分の概略構成を示す断面図である。図3は、本発明を適用してなる空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置の概略構成を示す断面図である。図4は、本発明を適用してなる紫外線処理装置の概略構成を示す上面図である。図5は、本発明を適用してなる紫外線処理装置のワイパー機構の、保護管を払拭するワイパー部分の概略構成を示す断面図である。図6は、本発明を適用してなる空間照度測定装置において、校正時に、光感受性化合物を入れた容器を閉塞部材に取り付けた状態を示す断面図である。図7は、図6のVII−VII線からの矢視断面図である。図8は、本発明を適用してなる空間照度の校正方法における光感受性化合物によって測定した空間照度と光電変換アンプ電圧の測定値との関係の一例を示す図である。
本実施形態の空間照度測定装置1は、図1に示すように、紫外線を可視光に変換する受光部3、受光部3を形成するために波長変換材料3aが充填される容器5、受光部3の波長変換材料3aからの可視光を伝達するための光ファイバー7、光ファイバー7の受光部3の波長変換材料3aと光学的に接続される側の端部に取り付けられた閉塞部材9などを備えている。さらに、本実施形態の空間照度測定装置1は、波長変換材料3aで生じた可視光を光ファイバー7に伝達するための可視光伝達部材10が設けられている。
また、本実施形態の空間照度測定装置1は、図2に示すように、光ファイバー7の波長変換材料3aと光学的に接続される側の端部とは反対側の端部が接続され、光ファイバー7で伝達されてきた可視光を、この可視光の強度に対応する電圧値、つまり、紫外線の照度に対応する電圧値に変換する光電変換アンプ11などを備えている。この光電変換アンプ11が、本実施形態における紫外線の照度又は照度に対応する値を検出する検出部となる。加えて、本実施形態の空間照度測定装置1は、図2及び図3に示すように、波長変換材料3a、容器5、閉塞部材9、そして、可視光伝達部材10などからなる紫外線センサー12や、光ファイバー7などを挿入した状態で設置される保護管13なども備えている。
受光部3を形成する波長変換材料3aは、図1に示すように、容器5の閉塞された端部側に充填された粉末状の波長変換ガラスである。本実施形態の波長変換材料3aとなる波長変換ガラスは、1種又は複数の蛍光材料を石英ガラスなどに混合した蛍光ガラスを主材料としたものである。波長変換材料3aとなる蛍光材料は、紫外線ランプからの紫外線を可視光に変換する、例えば遷移金属蛍光体、希土類蛍光体、芳香族化合物、タングステン酸塩など、具体的には、例えばナフタレン、アントラセン、タングステン酸マグネシウム、硫化亜鉛、イットリウム化合物などの種々の蛍光材料から適宜選択することができる。
このように、容器5の波長変換材料3aが充填された部分が紫外線を受光する受光部3となる。なお、本実施形態の空間照度測定装置1は、波長変換材料3aとなる粉末状の波長変換ガラスを容器5に充填した状態で用いる。しかし、容器5に波長変換材料3aとなる粉末状の波長変換ガラスを充填した後、加熱処理を行い、粉末状の波長変換ガラスを溶融して固化させて用いることもできる。また、波長変換材料は、蛍光材料をアクリルやポリカーボネートなどの合成樹脂などを混合して形成することもできる。
容器5は、一方の端部が開口し、他方の端部が閉塞された円筒状の容器であり、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン(登録商標)樹脂などで形成されている。本実施形態の容器5では、閉塞された側の端部は半球状に形成されている。そして、容器5には半球状の閉塞された端部側に波長変換材料3aが充填された状態となっている。一方、容器5の開口された端部側には、容器5の内径と同じ径の円柱状の可視光伝達部材10が挿入されている。本実施形態では、可視光伝達部材10は、容器5内の波長変換材料3aが充填された部分以外の空間を埋めるような長さに形成されている。そして、可視光伝達部材10の波長変換材料3aと接触する側と反対側の端部、つまり、容器5の開口側に位置する端部が光ファイバー7の端部と光学的に接続されている。なお、本実施形態の可視光伝達部材10は、容器5を形成した材料よりも光の屈折率が大きい光透過性の材料、例えば容器5が石英ガラスの場合、ゲルマニウムやリンなどを混ぜて屈折率を高めたガラスなどで形成されている。
光ファイバー7は、透明なガラス製又は合成樹脂製であり、光ファイバー7を保護する保護チューブ15で覆われて光ファイバーコード16となっている。保護チューブ15の一方の端部つまり光ファイバー7の一方の端部には閉塞部材9が、保護チューブ15の他方の端部つまり光ファイバー7の他方の端部には、図2に示すように、光電変換アンプ11に光学的に接続するための入射フェルール17が、各々取り付けられている。本実施形態の保護チューブ15は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレス製である。しかし、光ファイバーコード16を形成するための保護チューブは、光ファイバー7を保護すると共に紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属製チューブ又は合成樹脂製チューブなどを用いることができる。
閉塞部材9は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、円柱状の部分の一方の面の中央部分に2段階に細い径となる円柱状の突起9a、9bが、他方の面に容器5の開口された端部側を挿入可能な円形の有底穴9cとが、各々円柱状の部分の各面と同軸で形成されている。また、閉塞部材9の突起9bの端面にも、この端面の中央部分に、有底穴9cの底面で開口する円形の貫通穴9dが円柱状の部分の面と同軸で形成されている。さらに、閉塞部材9の有底穴9cは、開口側の部分よりも底側の部分の方が、径が小さくなっており、開口側の部分よりも底側の部分との間に段部9eが形成されている。また、閉塞部材9の有底穴9cの開口側の部分の内周面及び貫通穴9dの内周面、さらに、突起9bの外周面には、各々、ねじが切られている。
容器5の開口側の端部には、この開口側の端部の外周面を覆う略筒状のシールグラウンド19が、この外周面に密着した状態で取り付けられている。シールグラウンド19は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、容器5の開口側と反対側に位置する端部が鍔状に張り出した形状になっている。容器5の開口側の端部の端面は、シールグラウンド19から突出した状態になっている。そして、閉塞部材9に形成された容器5の開口された端部に対応する形状の有底穴9cは、容器5の開口された端部とシールグラウンド19を嵌合可能な形状、大きさに形成されている。さらに、シールグラウンド19の外周面には、閉塞部材9の有底穴9cの開口側の部分の内周面に切られたねじに対応するねじが切られている。
そして、容器5は、容器5の開口された端部のシールグラウンド19から突出した部分の大きさに対応するOリング21をこの部分の外周面に装着した状態で、シールグラウンド19の外周面のねじと閉塞部材9の有底穴9cの開口側の部分の内周面のねじとを螺合させることにより、容器5の開口された端部とシールグラウンド19が閉塞部材9の有底穴9cの開口側の部分に嵌合され、閉塞部材9に着脱可能に取り付けられる。このとき、シールグラウンド19の容器5の開口側の端面と閉塞部材9の有底穴9cの段部9eとの間にOリング21が挟み込まれた状態となる。
光ファイバーコード16の閉塞部材9側の端部、つまり、光ファイバー7の閉塞部材9側の端部には、保護チューブ15を覆った状態で外周面にねじが切られた筒状のねじ部23が設けられている。ねじ部23には、閉塞部材9の貫通穴9dの内周面に切られたねじに対応するねじが切られている。そして、保護チューブ15で覆われた光ファイバー7の閉塞部材9側の端部の端面は、ねじ部23から突出した状態になっている。本実施形態のねじ部23は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂製である。しかし、光ファイバーコード16のねじ部は、外周面にねじを切ることができ、紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属又は合成樹脂などを用いて形成することができる。
そして、閉塞部材9の貫通穴9dに光ファイバーコード16のねじ部23を螺合させることで、光ファイバーコード16の端部つまり光ファイバー7の端部に閉塞部材9を取り付けることができる。このとき、光ファイバーコード16のねじ部23のねじが切られた外周面にシール材を塗布して閉塞部材9の貫通穴9dに螺合する。これにより、容器5内へ湿気が侵入しないようシールした状態で光ファイバーコード16の端部に閉塞部材9を取り付けることができる。なお、シール材を塗布する代わりにシールテープなどを巻くことなどもできる。
このように、光ファイバーコード16の端部に取り付けられた状態の閉塞部材9と容器5を連結すると、シールグラウンド19の容器5の開口側の端面と閉塞部材9の有底穴9cの段部9eとの間にOリング21が挟み込まれるため、容器5は、閉塞部材9に気密に取り付けられた状態となる。このため、容器5内へ湿気が侵入するのを防ぐことができ、容器5内への湿気の侵入による照度の測定精度の低下を抑制している。なお、本実施形態では、容器5の内部には、乾燥空気又は窒素ガスが満たされた状態になっている。また、このとき、光ファイバー7は、閉塞部材9の中心軸に沿って延在し、光ファイバー7の端面は、容器5の開口された端部に挿入されている可視光伝達部材10の端面に当接し、光ファイバー7と可視光伝達部材10とが光学的に接続された状態となる。
閉塞部材9は、閉塞部材9の突起9bの外周面に切られたねじに対応するねじが一方の端部の内周面に切られた直管状の閉塞部材支持ロッド25の一方の端部に取り付けられている。つまり、閉塞部材支持ロッド25の内径は、閉塞部材9の突起9bの外径に対応する径になっており、閉塞部材支持ロッド25の内周面のねじに閉塞部材9の突起9bの外周面のねじを螺合させることで、閉塞部材9は、閉塞部材支持ロッド25の一方の端部に取り付けられている。閉塞部材支持ロッド25は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、閉塞部材9が取り付けられたとき、閉塞部材支持ロッド25の環状の一方の端部の端面は、閉塞部材9の突起9aの、突起9bの周囲の端面に当接する。なお、光ファイバーコード16は、直管状の閉塞部材支持ロッド25内に挿通されている。
ところで、本実施形態の空間照度測定装置1は、図2及び図3に示すように、光ファイバーコード16の光ファイバー7で伝達されてきた可視光を対応する電圧値に変換する光電変換アンプ11や、紫外線センサー12、光ファイバーコード16、そして、閉塞部材支持ロッド25などを挿入した状態で設置される保護管13なども備えている。波長変換材料3a、容器5、閉塞部材9、そして、可視光伝達部材10などからなる紫外線センサー12は、直管状の保護管13のほぼ中央部に位置しており、光ファイバーコード16や閉塞部材支持ロッド25などは、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部に向かって延在している。そして、閉塞部材支持ロッド25は、保護管13に同軸に挿入されている。保護管13は、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン(登録商標)樹脂などで形成されている。なお、本実施形態の保護管13は、空間照度測定装置1を設置する紫外線処理装置に設けられた紫外線ランプを挿入する保護管と同じ形状、大きさのものが用いられている。
閉塞部材支持ロッド25の他方の端部は、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部に設けられた閉塞部材支持ロッド固定座27に固定されている。閉塞部材支持ロッド固定座27は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、片方の端部が閉塞された断面が凹形状の円筒状の部材である。閉塞部材支持ロッド固定座27は、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部に取り付けられた略筒状の保護管スリーブシールナット29の端部に被せた状態で設置されている。
保護管スリーブシールナット29は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、保護管13の光電変換アンプ11が設置された側の端部の外周面を覆い、この保護管13の端部の端面よりも突出した状態で保護管13の端部に取り付けられている。そして、閉塞部材支持ロッド固定座27は、保護管スリーブシールナット29の保護管13の端面よりも突出した側の端部に被せた状態で設置されている。閉塞部材支持ロッド25は、閉塞部材支持ロッド25の端部が、このような保護管スリーブシールナット29を介して保護管13に取り付けられた閉塞部材支持ロッド固定座27の端部を閉塞する円形の壁の面の中心部に形成された貫通穴に挿入され、この円形の壁の面に対して垂直に延在する状態で固定されている。これにより、閉塞部材支持ロッド固定座27に閉塞部材支持ロッド25を介して固定された紫外線センサー12は、この紫外線センサー12の保護管13への着脱を繰り返しても、容器5に充填した波長変換材料3aからなる受光部3に入射する光量が一定になるようになっている。
本実施形態の検出部となる光電変換アンプ11は、閉塞部材支持ロッド固定座27の円形の壁の外面側に固定リブ31を介して固定されている。光ファイバーコード16の紫外線センサー12と反対側の端部には、光ファイバー7を光電変換アンプ11に光学的に接続するための入射フェルール17が設けられている。入射フェルール17は、閉塞部材支持ロッド25の紫外線センサー12と反対側の端部の開口を閉塞する栓33に挿通された状態で閉塞部材支持ロッド25内から外に突出し、光電変換アンプ11に接続され、光電変換アンプ11内に設置されている図示していない可視光受光素子、例えば可視光用シリコンフォトダイオードや光電管などと光学的に接続されている。
光電変換アンプ11は、前述のように、図示していない可視光受光素子や、この可視光受光素子で発生した電気信号を増幅する図示していない増幅回路、光電変換アンプ11に電力を供給するための電源ケーブルや紫外線ランプの照度又は紫外線ランプの照度に対応する電圧値などを表示するための図示していない表示器などに電気信号を出力するための出力ケーブルなどをまとめたケーブル35などを有している。
ここで、空間照度測定装置1の設置例として、水中の微生物の殺滅や有機物質の酸化処理を行なう紫外線処理装置37に設置した場合について説明する。紫外線処理装置37は、図3及び図4に示すように、被処理水が通流する縦型の処理槽39中に、処理槽39の延在方向に沿ってつまり縦方向に直管状のランプ保護管41内に挿入された状態の紫外線ランプ43が複数設置されている。ランプ保護管41は、保護管13と同様に、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン(登録商標)樹脂などで形成されており、ランプ保護管41と保護管13とは、同じ形状及び大きさのものである。処理槽39は、防食性の材料、例えばステンレスやアルミニウムなどの金属などで形成され、両端部にフランジを有する略円筒状の胴部39aの上部開口及び底部開口を円盤状の天板39b及び底板39cをフランジにボルト45などによって固定することで、略円筒状の胴部39aの両端部の開口を閉塞した構造になっている。
天板39b及び底板39cには、各々の対応する位置に、天板39b及び底板39cの中心軸を囲む2重の同心円を描く位置に等間隔で複数の円筒状のニップル47が、天板39b及び底板39cを貫通し、天板39b及び底板39cから外側に突出した状態で設置されている。天板39b及び底板39cの対応する位置にある各々のニップル47内にランプ保護管41の端部が挿入され、ニップル47及びランプ保護管41の端部の面にOリング49を押しつけた状態で、ニップル47の天板39b及び底板39cから外側に突出した端部に、断面が凹字形状のシールナット51が被せてある。これにより、ランプ保護管41内は、湿気などの進入を防ぐように気密に密閉された状態になっている。なお、ランプ保護管41に挿入された紫外線ランプ43は、シールナット51内の空間に設置された図示していないソケットなどに口金が接続されることで、ランプ保護管41内に支持されている。
一方、天板39b及び底板39cの中心軸の位置にも、図2及び図3に示すように、各々、円筒状のニップル47が、天板39b及び底板39cを貫通し、天板39b及び底板39cから外側に突出した状態で設置されている。この天板39b及び底板39cの中心軸の位置に設置されたニップル47内には、空間照度測定装置1の保護管13の端部が挿入されている。天板39bに設けられたニップル47では、ニップル47の端面及び保護管13のニップル47から突出した端部の部分の外周面にOリング49を押しつけた状態で、このニップル47の天板39bから外側に突出した端部に、円筒状の保護管スリーブシールナット29が取り付けられ、保護管スリーブシールナット29に閉塞部材支持ロッド固定座27が被せてある。底板39cに設けられたニップル47では、ランプ保護管41の場合と同様に、Oリング49を押しつけた状態でシールナット51が被せてある。
このように、紫外線処理装置37には、図3に示すように、上下方向に延在する複数本の紫外線ランプ43に囲まれた状態で、空間照度測定装置1が設置されている。また、紫外線処理装置37は、処理槽39の下端部側と上端部側に、各々、被処理水を処理槽39に流入させるための流入口部39d、被処理水を処理槽39から流出させるための流出口部39eを有し、さらに、天板39bの外面側を覆うカバー39f、処理槽39を支持する台座部53、図示していない紫外線ランプ43の点灯の制御部などを有している。また、本実施形態の紫外線処理装置37は、図3及び図5に示すように、ランプ保護管41及び空間照度測定装置1の保護管13の外表面に汚れなどが付くことにより紫外線の照射能力や照度の測定精度が低下するのを防ぐため、図示していない駆動部により、処理槽39内を上下動してランプ保護管41及び空間照度測定装置1の保護管13の外表面の汚れを払拭するワイパー55を有するワイパー機構を備えている。
ワイパー機構のワイパー55は、弾性を有すると共に紫外線耐性や防食性などを有するゴムなどの樹脂や合成樹脂などで形成されており、ランプ保護管41及び空間照度測定装置1の保護管13の外表面に接触する環状に形成されている。なお、ワイパー機構のワイパーは、ステンレスブラシなど適宜の材料で形成することもできる。また、ワイパー機構のワイパー55は、図示していない駆動部に連結されて処理槽39内を上下動するワイパー保持フレーム57によって保持されている。ワイパー機構のワイパー保持フレーム57は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成されている。このように、本実施形態の空間照度測定装置1では、紫外線処理装置37に設置されたランプ保護管41に対応する形状の保護管13を用いており、紫外線処理装置37に空間照度測定装置1の保護管13をランプ保護管41と平行に設置している。このため、紫外線処理装置で一般的に用いられているワイパー機構を利用して、空間照度測定装置1の保護管13の外表面の汚れなどを払拭することができる。
このような本実施形態の空間照度測定装置1の動作や校正方法、本発明の特徴部などについて説明する。紫外線処理装置37の紫外線ランプ43から照射される紫外線は、空間照度測定装置1の保護管13そして容器5を透過し、受光部3の波長変換材料3aに入射する。受光部3の波長変換材料3aは、蛍光材料の紫外線励起により発光し、これにより受光部3に入射した紫外線は可視光に変換される。波長変換材料3aで発生した可視光は、可視光伝達部10を介して光ファイバー7へ入射し、光ファイバーコード16の光ファイバー7を通って光電変換アンプ11へ伝達される。このとき、可視光伝達部10は、容器5を形成した材料よりも光の屈折率が大きい光透過性の材料で形成されているため、可視光伝達部材10を伝わる可視光が容器5の内壁面で全反射し、可視光の伝達効率を向上している。
光電変換アンプ11に伝達された可視光は、図示していない可視光受光素子によって可視光の照度、すなわち紫外線の照度に応じた電気信号として、図示していない紫外線照度指示計に出力される。本実施形態の光電変換アンプ11は、紫外線処理装置37が有する紫外線ランプ43の紫外線照射による紫外線の空間照度に応じた値の電圧を電気信号として出力する。このとき、本実施形態の空間照度測定装置1は校正が行われているため、空間照度測定装置1が出力する電圧値は、紫外線の空間照度の絶対値に対応するものである。
ここで、紫外線殺菌装置や促進酸化装置などの紫外線処理装置における紫外線の照射量は、例えば紫外線処理装置37の場合、処理槽39内の体積平均照度(W/m)*照射時間(秒)により算出される。体積平均照度は、空間照度を処理槽39内の全体積で平均したものであるため、体積平均照度を求めるには、空間照度の絶対値を測定する必要がある。そして、空間照度の絶対値を測定するためには、空間照度測定装置を校正する必要がある。空間照度は、微小球体の表面積をdSとし、この表面積dSに入射する紫外線光束をdΦとすれば、空間照度=dΦ/dSで表されるため、空間照度測定装置を校正するには、微小球体へ入射する光量を測定する必要がある。
また、空間照度測定装置1の受光部3の形成に用いた波長変換材料3aである蛍光ガラスは、紫外線を吸収して可視光を発するが、その総合変換率は、紫外線センサー12の構造や形態、さらに、波長変換材料3aと可視光伝達部材10、可視光伝達部材10と光ファイバー7、光ファイバー7と光電変換アンプ11などの接続損失のばらつきにより個体差が生じる。こような、個体差が存在しても、信頼がおける空間照度の絶対値を測定できるようにするためにも、校正の必要がある。
本実施形態の空間照度測定装置1では校正が可能であるが、その校正は以下のような方法で行われる。紫外線処理装置37の構成と同様の複数本の校正用の紫外線ランプ、望ましくは4本以上の紫外線ランプを設置した校正用紫外線照射槽を準備する。紫外線処理装置37への空間照度測定装置1の設置方法と同様に、この校正用紫外線照射槽に、保護管13に紫外線センサー12を挿入した空間照度測定装置1を、紫外線センサー12が複数本の紫外線ランプに囲まれた状態で設置する。そして、紫外線ランプの電力を4段階、例えば72W、57W、50W、42Wといったように変化させ、各電力に対応する空間照度測定装置1の光電変換アンプ11での電圧値を測定する。
続いて、空間照度測定装置1の閉塞部材支持ロッド固定座27を取り外して保護管13から紫外線センサー12を取り出し、図6及び図7に示すように、紫外線センサー12の閉塞部材9から、波長変換材料3aを充填し、可視光伝達部材10を挿入した容器5、及び光ファイバーコード16を取り外す。そして、容器5に代えて、容器5と同一の形状及び材質で、紫外線の照射により壊変する光感受性化合物59、例えばウリジン又はロ−ズベンガルなどを予め設定した量張り込んだ容器61を閉塞部材9に取り付ける。このような容器61を閉塞部材9に取り付けた紫外線センサー12を、再び保護管13に挿入して設置する。
このとき、閉塞部材支持ロッド25を介して閉塞部材支持ロッド固定座27に連結された紫外線センサー12は、閉塞部材9に取り付けた容器の内容物や光ファイバーコード16のあるなしなどに関わらず、保護管13内の同じ位置つまり校正用紫外線照射槽内の同じ位置に来る。なお、ウリジン又はロ−ズベンガルなどの光感受性化合物59を容器61内に張り込む量は、入射角71度以下の紫外線が全量入射できる量として設定されたものである。
この状態で、空間照度測定装置1の紫外線センサー12に波長変換材料3aを充填した容器5と光ファイバーコード16を取り付けていたときと同様に、校正用紫外線照射槽に設置した紫外線ランプを、4段階の電力、例えば72W、57W、50W、42Wと変化させて点灯し、各電力における照射時間を変化させて光感受性化合物59の壊変量を測定する。そして、光感受性化合物59がウリジンであるとすると、照射時間をt、照射時間t=0秒におけるウリジン濃度をC、照射時間t秒後のウリジン濃度をCとしたとき、照射時間tを横軸に、log(C/C)を縦軸にプロットすると直線が得られるので、その勾配を求め、次式(1)により空間照度測定装置1の容器61表面での空間照度を算出する。

−log(C/C)=φ・ε*Iav*t ・・・(1)

なお、φは、ウリジンの量子収率(4.034*10−8molウリジン/J)、εは、ウリジンのモル吸光係数(841m/molウリジン)、Iavは、容器61に占めるウリジン溶液内の空間照度の平均値である。
容器61の表面への平均入射照度をI、吸収されずに容器61を透過する照度をIとすると、Iavは、IとIの対数平均照度として次式(2)より求めることができる。

av=(I−I)/2.303log(I/I) ・・・(2)
さらに、Beer−Lambertの法則より、I/I=10−αd、I−I=I(1−10−αd)を式(2)に代入して、次式(3)が得られ、容器61の表面への平均入射照度Iを求めることができる。

/Iav=2.302αd/(1−10−αd) ・・・(3)
このような校正方法によって、ウリジンにより測定した容器61の表面への平均入射照度と光電変換アンプ11で検出した電圧との関係を求めた結果の一例を図8に示す。本実施形態の空間照度測定装置1では、このような校正方法によって、図8のような容器61の表面への平均入射照度と光電変換アンプ11で検出した電圧のような検出部で検出した数値との関係が得られるため、光電変換アンプ11のような検出部によって検出した数値から得られる空間照度の値を校正できる。
このように、本実施形態の空間照度測定装置1では、波長変換材料3aを容器5に充填することで受光部3を形成している。さらに、容器5は、容器5の開口された端部を閉塞する閉塞部材9に着脱可能に取り付けられている。このため、波長変換材料3aを充填した容器5に代えて、光感受性化合物59を予め設定した量入れた容器5と同一の形状及び材質の容器61を取り付け、紫外線を照射したときの光感受性化合物59の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となり、空間照度の絶対値を測定できる。
ところで、紫外線を可視光に変換して紫外線の照度を測定する照度測定装置として、蛍光ガラスファイバーなどで形成された棒状の波長変換素子を用いることが考えられ、また、提案されている。しかし、棒状の波長変換素子は、折れ易く、破損し易いという欠点がある。これに対して、本実施形態の空間照度測定装置1では、波長変換材料3aを容器5に充填することで受光部3を形成しており、破損し易い波長変換素子を用いる必要がない。さらに、容器5の閉塞部材9への着脱を行うことによる紫外線センサー12の破損が生じ難い。
さらに、本実施形態の空間照度測定装置1では、容器5の開口された端部には、この端部の内側に対応する太さの柱状の可視光伝達部材10が挿入されている。そして、可視光伝達部材10は、波長変換材料3aからの可視光を光ファイバーに伝達する機能とともに、波長変換材料3aを容器5内に封入する栓としての機能も果たす。このため、可視光伝達部材10により波長変換材料3aを容器5内に充填した状態に確実に固定でき、かつ、波長変換材料3aで生じた可視光を確実に光ファイバーに伝達できる。したがって、構成を簡素化しながら空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。
加えて、本実施形態の空間照度測定装置1の可視光伝達部材10は、容器5を形成した材料よりも光の屈折率が大きい材料を用いて形成したものである。したがって、可視光伝達部材10を伝わる可視光が容器5の内壁面で全反射するため、可視光の伝達効率を向上でき、空間照度の絶対値の測定精度をより向上できる。
さらに、本実施形態の空間照度測定装置1では、波長変換材料3aを充填した容器5が、紫外線ランプ43を挿入したランプ保護管41に対応する形状の保護管13に挿入されている。このため、紫外線ランプ43のランプ保護管41の外表面に付着した汚れを除去するワイパー55を有するワイパー機構を利用して、保護管13の外表面に付着した汚れを除去できる。したがって、保護管13が容器5の外表面への汚れ付着を防ぎ、また、保護管13の外表面に付着した汚れをワイパー機構により除去できる。これにより、空間照度の絶対値の測定精度の低下を抑制できる。ただし、紫外線を照射する処理対象が汚れの付着などが起こる物でない場合などは、保護管13を設けていない構成にすることもできる。
さらに、波長変換材料と光ファイバーの光学的な接続においては、光パワーの損失ができるだけ小さいこと、着脱が容易なこと、着脱を繰り返しても損失がほとんど変化しないことなどが要求される。これに対して、本実施形態の空間照度測定装置1では、容器5を閉塞するための閉塞部材9に形成された有底穴9cにシールグラウンド19によって可視光伝達部材10を挿入した容器5を螺合させて取り付け、閉塞部材9に形成された貫通穴9dに光ファイバーコード16に設けられたねじ部23を螺合させて取り付けることで、波長変換材料3aと光ファイバー7を、光パワーの損失ができるだけ小さい状態で光学的に接続することができる。また、容器5、61や光ファイバー7の閉塞部材への着脱を容易にでき、着脱を繰り返しても損失がほとんど変化しない。
加えて、校正を行うために紫外線センサー12を着脱したとき、着脱によって紫外線センサー12の位置が変わらないようにできることも、校正の精度を向上する上で重要である。これに対して、本実施形態の空間照度測定装置1では、紫外線センサー12は、閉塞部材9によって閉塞部材支持ロッド25の一方の端部に取り付けられている。そして、閉塞部材支持ロッド25の他方の端部には、閉塞部材支持ロッド固定座27が取り付けられている。この閉塞部材支持ロッド固定座27は、位置が変化することがない紫外線処理装置37の天板39bといったような位置が変化することがない部材に固定されたニップル47といった部材に、本実施形態では保護管スリーブシールナット29などを介して取り付けられている。したがって、校正を行うために紫外線センサー12を着脱しても、紫外線センサー12の位置は変わることがなく、校正の精度を向上できる。
ところで、本発明を適用してなる空間照度測定装置では、本実施形態の空間照度測定装置1のように保護管13に紫外線センサー12つまり容器5を挿入した構成となる場合がある。しかし、保護管13内が空気の場合、紫外線は密な媒質、例えば石英などで形成された保護管13の壁から粗な媒質である保護管13内の空気に進むことになる。このため、保護管13の壁の面に対する入射角が49度以上では全反射が起こり、入射角49度以上の紫外線は、保護管13内に入射しないことになる。このため、受光部3で受光する紫外線は、実際の紫外線の照射量よりも少なくなり、測定した紫外線の空間照度も実際よりも小さくなる。
このように測定した空間照度が真の空間照度より小さくなることが測定精度上の問題となる場合、測定した空間照度が真の空間照度より小さくなるのを防ぐため、保護管13のような管内に、屈折率が空気より大きく、かつ、紫外線感受性のない媒質、例えば純水や石英の粉などを充填する。これにより、紫外線の全反射が抑制され、ほとんどの紫外線が容器を挿入した管内に進入できるようになるため、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。
さらに、例えば紫外線処理装置37のような、通流する被処理水31中の微生物の殺滅や有機物の酸化などを行なう流水型の紫外線処理装置などでは、運転管理指標として、複数の紫外線ランプ43から照射される紫外線の総合照度つまり空間照度の絶対値を計測することが重要である。しかし、従来の紫外線照度計では、紫外線受光素子の受光面にほぼ垂直に紫外線を入射させる必要があるため、各紫外線ランプ毎に紫外線受光素子を設置しなければならず、紫外線の空間照度の絶対値を計測することはできない。
これに対して、本実施形態の紫外線処理装置37は、複数の紫外線ランプ43に囲まれた位置に空間照度測定装置1を備えている。このため、空間照度測定装置1によって紫外線処理装置37に設置された複数の紫外線ランプ43から照射される紫外線の空間照度の絶対値を計測できる。したがって、空間照度の絶対値を測定して監視することができ、紫外線処理装置の紫外線の照射処理の精度を向上できる。
また、可視光伝達部材を内包する容器を閉塞するための閉塞部材の形状や、可視光伝達部材や光ファイバーを閉塞部材に取り付けるための構造などは、本実施形態の閉塞部材9のような形状や、シールグラウンド19などを用いた構造に限らず、可視光伝達部材や光ファイバーを光学的に接続した状態で取り付けることができ、容器の開口を閉塞できれば様々な形状や構造にできる。
このように、本発明を適用してなる空間照度測定装置は、波長変換材料を充填した容器、この容器の開口側の端部に閉塞部材を備え、容器が閉塞部材に着脱可能に取り付けられているとともに、波長変換材料と光ファイバーとが光学的に接続されていれば、様々な構成にできる。
また、本実施形態では、被処理水中の微生物の殺滅や有機物の酸化処理を行なう縦型の紫外線処理装置37に本実施形態の照度測定装置1を設置した場合を例として説明した。しかし、本発明はこれに限らず、気体中や物品に付着している微生物の殺滅処理、半導体の製造工程などにおける紫外線感光処理、紫外線を光源とする光触媒処理など、様々な用途、様々な構成の紫外線ランプを備えた紫外線処理装置や、様々な用途、様々な構成の紫外線ランプを備えた紫外線処理装置、また、横型の紫外線処理装置といったように様々な構成の紫外線処理装置における紫外線の空間照度の測定を行う空間照度測定装置に適用できる。
本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態における受光部側の部分の概略構成を示す断面図である。 本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態における検出部側の部分の概略構成を示す断面図である。 本発明を適用してなる空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置の一実施形態の概略構成を示す断面図である。 本発明を適用してなる紫外線処理装置の一実施形態の概略構成を、天板に設置されたカバーを外した状態で示す上面図である。 本発明を適用してなる紫外線処理装置の一実施形態のワイパー機構の、保護管を払拭するワイパー部分の概略構成を示す断面図である。 本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態において、校正時に、光感受性化合物を入れた容器を閉塞部材に取り付けた状態を示す断面図である。 図6のVII?VII線からの矢視断面図である。 本発明を適用してなる空間照度の校正方法の一実施形態における光感受性化合物によって測定した空間照度と光電変換アンプ電圧の測定値との関係の一例を示す図である。
符号の説明
1 空間照度測定装置
3 受光部
3a 波長変換材料
5 容器
7 光ファイバー
9 閉塞部材
10 可視光伝達部材
12 紫外線センサー
15 保護チューブ
16 光ファイバーコード
19 シールグラウンド
21 Oリング
25 閉塞部材支持ロッド

Claims (6)

  1. 紫外線透過性を有する筒状の容器に、受光した紫外線を可視光に変換する波長変換材料を充填して形成した受光部と、該受光部からの可視光に基づいて紫外線の照度又は照度に対応する値を検出する検出部と、前記波長変換材料と光学的に接続されて前記波長変換材料からの可視光を前記検出部に伝達する光ファイバーとを備え、
    前記容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、前記光ファイバーの一方の端部に取り付けられて前記容器の開口された端部を閉塞する閉塞部材に脱着可能に取り付けられている空間照度測定装置。
  2. 該容器の開口された端部には、該端部の内側に対応する太さの柱状の可視光伝達部材が挿入されており、該可視光伝達部材は、前記波長変換材料からの可視光を前記光ファイバーに伝達するとともに、前記波長変換材料を前記容器内に封入する栓となることを特徴とする請求項1に記載の空間照度測定装置。
  3. 前記容器が、紫外線透過性を有し、照度を測定する紫外線ランプを挿入した管に対応する形状の管に挿入されていることを特徴とする請求項1に記載の空間照度測定装置。
  4. 前記管内に、空気よりも屈折率の大きい媒質が充填されていることを特徴とする請求項3に記載の空間照度測定装置。
  5. 複数の紫外線ランプと、該複数の紫外線ランプに囲まれた位置に設置された空間照度測定装置とを備え、該空間照度測定装置として請求項1乃至4のいずれか1項に記載の空間照度測定装置を備えたことを特徴とする紫外線処理装置。
  6. 紫外線透過性を有する筒状の容器に、受光した紫外線を可視光に変換する波長変換材料を充填して形成した受光部と、該受光部からの可視光に基づいて紫外線の照度又は照度に対応する値を検出する検出部と、前記波長変換材料と光学的に接続されて前記波長変換材料からの可視光を前記検出部に伝達する光ファイバーとを備え、前記容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、前記光ファイバーの一方の端部に取り付けられて前記容器の開口された端部を閉塞する閉塞部材に脱着可能に取り付けられている空間照度測定装置を用いた空間照度の校正方法であり、
    該空間照度測定装置を囲んだ状態で複数の校正用の紫外線ランプを設置して、該複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する照度又は照度に対応する数値を前記検出部で検出し、さらに、前記波長変換材料を充填した容器に代えて、該容器と同一の形状及び材質で、光感受性化合物を予め設定した量入れた容器を前記閉塞部材に取り付け、前記複数の校正用の紫外線ランプを前記予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する紫外線吸収による前記光感受性化合物の壊変量に基づいて前記各電力に対応する照度の絶対値を検出し、前記検出部で検出した数値と前記光感受性化合物の壊変量に基づいて検出した照度の絶対値との関係を求めることを特徴とする空間照度の校正方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009183088A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Railway Technical Res Inst パンタグラフの離線検知方法及び装置
JP2013103180A (ja) * 2011-11-14 2013-05-30 Chiyoda Kohan Co Ltd 紫外線照射装置
KR20160016571A (ko) * 2014-08-02 2016-02-15 가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링 광원장치 및 노광장치
CN110553727A (zh) * 2019-10-09 2019-12-10 广东省中山市质量计量监督检测所 一种地面光度测量装置、光度测量系统及测量方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4915944A (ja) * 1972-06-06 1974-02-12
JP2000258247A (ja) * 1999-03-11 2000-09-22 Omron Corp 紫外線検出器
JP2001021413A (ja) * 1999-07-09 2001-01-26 Chiyoda Kohan Co Ltd 紫外線照度計
JP2002214041A (ja) * 2001-01-17 2002-07-31 Japan Storage Battery Co Ltd 紫外線センサおよび紫外線照射装置
JP2006145236A (ja) * 2004-11-16 2006-06-08 Chiyoda Kohan Co Ltd 空間照度測定装置及び空間照度の校正方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4915944A (ja) * 1972-06-06 1974-02-12
JP2000258247A (ja) * 1999-03-11 2000-09-22 Omron Corp 紫外線検出器
JP2001021413A (ja) * 1999-07-09 2001-01-26 Chiyoda Kohan Co Ltd 紫外線照度計
JP2002214041A (ja) * 2001-01-17 2002-07-31 Japan Storage Battery Co Ltd 紫外線センサおよび紫外線照射装置
JP2006145236A (ja) * 2004-11-16 2006-06-08 Chiyoda Kohan Co Ltd 空間照度測定装置及び空間照度の校正方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009183088A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Railway Technical Res Inst パンタグラフの離線検知方法及び装置
JP2013103180A (ja) * 2011-11-14 2013-05-30 Chiyoda Kohan Co Ltd 紫外線照射装置
KR20160016571A (ko) * 2014-08-02 2016-02-15 가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링 광원장치 및 노광장치
KR102407563B1 (ko) 2014-08-02 2022-06-10 가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링 조도비율 변경방법 및 노광방법
CN110553727A (zh) * 2019-10-09 2019-12-10 广东省中山市质量计量监督检测所 一种地面光度测量装置、光度测量系统及测量方法
CN110553727B (zh) * 2019-10-09 2024-02-23 广东省中山市质量计量监督检测所 一种地面光度测量装置、光度测量系统及测量方法

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