JP2006216896A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】太陽電池層を支持する支持体の選択の自由度を高める。
【解決手段】太陽電池の製造方法は、シード基板1の上に分離用構造体50を形成する工程と、分離用構造体50の上に化合物半導体で構成される太陽電池層20を形成する工程と、太陽電池層20が内側になるようにシード基板1に支持体9を結合して複合部材を形成する工程と、分離用構造体50を利用して複合部材を分割することによりシード基板1から支持体9に太陽電池層20を移設する工程とを含む。分離用構造体50は、分離用構造体50の内部、分離用構造体50と太陽電池層20との界面、及び、分離用構造体50とシード基板1との界面、の少なくとも1つに歪みエネルギーを生じさせる層である。
【選択図】図5
【解決手段】太陽電池の製造方法は、シード基板1の上に分離用構造体50を形成する工程と、分離用構造体50の上に化合物半導体で構成される太陽電池層20を形成する工程と、太陽電池層20が内側になるようにシード基板1に支持体9を結合して複合部材を形成する工程と、分離用構造体50を利用して複合部材を分割することによりシード基板1から支持体9に太陽電池層20を移設する工程とを含む。分離用構造体50は、分離用構造体50の内部、分離用構造体50と太陽電池層20との界面、及び、分離用構造体50とシード基板1との界面、の少なくとも1つに歪みエネルギーを生じさせる層である。
【選択図】図5
Description
本発明は、太陽電池の製造方法に係り、特に、化合物半導体で構成される太陽電池層を有する太陽電池の製造方法に関する。
太陽電池は広い受光面積を必要とするため、安価に製造可能であることが望まれる。アモルファスシリコン太陽電池は、大面積のものが安価に製造されるが、単結晶シリコン太陽電池に比較して電力変換効率において劣っている。一方、GaAsなどのIII-V化合物半導体の太陽電池は電力変換効率が高いが、これに用いるIII-V族化合物半導体基板の価格は極めて高価である。例えば、GaAs基板の価格は、シリコン(Si)基板の10倍以上である。更に、III-V族化合物半導体は、機械的な強度がシリコン基板よりも劣るため、これを補うために相応の厚さを必要とする。
そこで、GaAsに代わる基板材料として単結晶ゲルマニウム(Ge)基板が注目されている。単結晶Geは、格子定数がGaAsに非常に近いため、Ge基板上に良質なGaAsの形成が可能であり、単一元素結晶のためインゴットの成長が容易である。更に、機械的強度が強いために、GaAs基板に比べて薄くできるなどの利点がある。
Ge基板上に高効率のIII-V族化合物太陽電池を構成した公知技術として、特許文献1には、Ge基板上にバンドギャップの異なる2セルを積層したタンデムセル構成が開示されている。
特開2001−102608号公報
単結晶太陽電池の重量の大部分は、太陽電池層を支持する基板の重量が占めている。Siの比重はGeの半分以下であるので、Si単結晶太陽電池は、Ge基板上に形成されたIII-V族化合物太陽電池より遥かに軽い。したがって、Si単結晶太陽電池は、効率においては劣るものの、出力/重量比ではGe基板上に形成されたIII-V族化合物太陽電池の2倍程度となるため、宇宙用太陽電池として利用されている。したがって、効率と重量が重視される宇宙用途等の特殊用途では、III-V族化合物太陽電池の一層の軽量化が求められている。
本発明は、上記の課題認識を基礎としてなされたものであり、例えば、太陽電池層を支持する支持体の選択の自由度を高めること、より好ましくは、更に、太陽電池を軽量化することを目的とする。
本発明は、太陽電池の製造方法に係り、前記製造方法は、シード基板の上に分離用構造体を形成する工程と、前記分離用構造体の上に化合物半導体で構成される太陽電池層を形成する工程と、前記太陽電池層が内側になるように前記シード基板に支持体を結合して複合部材を形成する工程と、前記分離用構造体を利用して前記複合部材を分割することにより前記シード基板から前記支持体に前記太陽電池層を移設する工程とを含む。ここで、前記分離用構造体は、前記分離用構造体の内部、前記分離用構造体と前記太陽電池層との界面、及び、前記分離用構造体と前記シード基板との界面、の少なくとも1つに歪みエネルギーを生じさせる層である。
本発明の好適な実施形態によれば、前記支持体は、シリコン、ガラス、セラミック、金属及びプラスチックからなるグループから選択される材料で構成されうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記支持体は、シリコン、ガラス、セラミック、金属及びプラスチックからなるグループから選択される材料で構成されうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記支持体は、シード基板よりも比重が小さい材料で構成されうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記分離用構造体は、格子定数及び/又は熱膨張係数が前記シード基板と異なる材料で構成された分離層を含みうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記分離用構造体は、格子定数及び/又は熱膨張係数が前記シード基板と異なる材料で構成された分離層を含みうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記分離用構造体は、前記シード基板の上、又は前記シード基板の上に形成されら層の上に、ヘテロエピタキシャル成長によって形成された分離層を含みうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記分離用構造体は、前記シード基板、前記太陽電池層及び前記分離層に対して選択的にエッチングされることが可能な材料で構成された分離補助層を含むことができ、前記製造方法は、前記複合部材の分割に先立って前記分離補助層の周辺部分をエッチングする工程を更に含むことができる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記分離補助層は、他の層よりもAlを多く含みうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記分離補助層は、他の層よりもAlを多く含みうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記分離補助層は、AlxGa1−xAs(x>0.95)を満足する材料で構成されうる。
本発明の好適な実施形態によれば、前記シード基板は、Ge基板又はGaAs基板を含みうる。
本発明によれば、太陽電池層を支持する支持体の選択の自由度を高めることができ、更に、軽量な支持体の選択により太陽電池を軽量化することができる。
以下、図1〜図8を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。
まず、図1に示す工程では、Ge基板又はGaAs基板等の単結晶構造を有するシード基板1の上に分離用構造体50を形成する。分離用構造体50は、シード基板1とは異なる格子定数を有する分離層3を含む。分離層3としては、例えば、AlAs層、GaAs層、InGaAs層、AlGaAs層、InAlAs、InGaAlP、InGaAsP、又は、InGaPからなるグループから選択される化合物半導体層が好適である。
分離用構造体50は、例えば、シード基板1と分離層3との間にGaAs層等のバッファー層2を含んでもよい。分離用構造体50は、例えば、分離層3の上にAlAs層等の分離補助層4を含んでもよい。分離補助層4は、AlxGa1−xAs(x>0.95)を満足する材料で構成されることが好ましい。
次いで、図2に示す工程では、分離用構造体50の上に太陽電池層20を形成する。太陽電池層20は、例えば、電極コンタクト層5、III-V族化合物半導体で構成されるトップセル(第1セル)層6、III-V族化合物半導体で構成されるボトムセル(第2セル)層7、コンタクト層8、金属電極(又は、裏面電極層)8aを含んで構成されうる。ただし、このような構造以外にも、太陽電池層20は、種々の構成を採りうる。
トップセル層6は、例えば、p型InGaPとn型InGaPとのPN接合で構成されうる。ボトムセル7は、例えば、p型InGaAsとn型InGaAsとのpn接合で構成されうる。
次いで、図3に示す工程では、太陽電池層20が内側になるようにシード基板1を支持体9に結合させて複合部材100を形成する。支持体9としては、例えば、Si等の半導体基板、金属基板(例えば、Al、Cu、ステンレス基板)、絶縁性基板(例えば、ガラス、セラミック、プラスチック基板)、金属箔(例えば、ステンレス箔)、可撓性基板(例えば、プラスチック基板)が好適である。また、支持体9は、シード基板1よりも小さい重量で必要な特性(例えば、強度、柔軟性)を得ることができる材料で構成されること、或いは、シード基板1よりも比重が小さい材料で構成されることが好ましい。
ここで、分離用構造体50は、分離用構造体50の内部(例えば、分離層3の内部、分離層3とバッファー層2との界面、分離層3と分離補助層4との界面)、及び/又は、分離用構造体50と太陽電池層20との界面、及び/又は、分離用構造体50とシード基板1との界面に、格子定数及び/又は熱膨張係数の不整合に起因する歪みエネルギーを集中的に生じさせる。
図4に示す工程は、分離用構造体50が分離補助層4を含む場合に任意に実施されうる工程を示している。図4に示す工程では、分離補助層4の周辺部分(或いは、複合部材100の側面に露出している部分)を他の層に対して選択的にエッチングして、分離補助層4の側面を複合部材100の内側方向に後退させる。この工程の実施のためには、分離補助層4は、他の層、例えば、分離層3、太陽電池層20、支持体1に対して選択的にエッチングされることが可能な材料で構成される必要がある。
図5に示す工程では、複合部材100に対して、複合部材100の分割を誘発するための力又はエネルギーを与えることにより、複合部材100を分離用構造体50の内部(例えば、分離層3の内部、分離層3とバッファー層2との界面、分離層3と分離補助層4との界面)、及び/又は、分離用構造体50と太陽電池層20との界面、及び/又は、分離用構造体50とシード基板1との界面に、面方向に広がる亀裂を発生させ、複合部材100を2つの部材に分割する。このような分割工程において、複合部材100の分離用構造体50又はその近傍に流体を打ち込むことによって分割を誘発することが好ましい。
図5に示す工程では、複合部材100に対して、複合部材100の分割を誘発するための力又はエネルギーを与えることにより、複合部材100を分離用構造体50の内部(例えば、分離層3の内部、分離層3とバッファー層2との界面、分離層3と分離補助層4との界面)、及び/又は、分離用構造体50と太陽電池層20との界面、及び/又は、分離用構造体50とシード基板1との界面に、面方向に広がる亀裂を発生させ、複合部材100を2つの部材に分割する。このような分割工程において、複合部材100の分離用構造体50又はその近傍に流体を打ち込むことによって分割を誘発することが好ましい。
この分割によって複合部材100から分離されたシード基板1は、必要に応じて表面等を処理することにより、再利用することができる。これにより、太陽電池の製造コストを大幅に低減することができる。
以上の工程によって、シード基板1上に分離用構造体50を介して形成された太陽電池20がシード基板1から支持体9上に移設される。
以上の工程によって、シード基板1上に分離用構造体50を介して形成された太陽電池20がシード基板1から支持体9上に移設される。
次いで、図6に示す工程では、分割後の太陽電池層20を処理して太陽電池を完成させる。具体的には、例えば、コンタクト層5の上にフォトリソグラフィー技術によって櫛型表面電極10を形成し、該電極10をマスクしてコンタクト層5をパタニングしてトップセル層6の一部を露出させる。パタニングされたコンタクト層(コンタクトパターン)5aの間の領域は、光をトップセル層6に入射させるための窓6aとして機能する。
次いで、全面に反射防止膜(表面保護膜)11を形成する。これにより、支持体9上にタンデム太陽電池(例えば、2接合型太陽電池)を有する太陽電池200が完成する。
本発明の好適な実施形態によれば、高効率の太陽電池層をシード基板に形成し、該太陽電池層を任意の支持体に移設することができる。例えば、太陽電池層をシリコン基板に移設すれば、宇宙用途のシリコン太陽電池と同程度の重量で、光電変換効率の高い太陽電池を得ることができる。また、太陽電池層をステンレス箔等の可撓性支持体に移設すれば、自由な曲面を持つ高効率太陽電池を形成できる。
以下、本発明の好適な実施例として2接合型太陽電池及びその製造方法を例示的に説明する。
まず、図1に示す工程では、シード基板として、厚さ約350μmの(100)5°オフGe基板1を準備し、Ge基板1上に分離用構造体50を形成する。
まず、図1に示す工程では、シード基板として、厚さ約350μmの(100)5°オフGe基板1を準備し、Ge基板1上に分離用構造体50を形成する。
ここで、分離用構造体50の形成では、まず、厚さ約0.03μm、不純物密度約7.0×1018cm-3のGaAsバッファー層2を600℃程度の低温でエピタキシャル成長させる。成長方法としては、MOCVD(有機金属気相成長)法を用いることができ、III族原料ガスとしてはトリエチルガリウム(TEG)やトリメチルガリウム(TMG)等を、IV族の原料ガスとしてはアルシン(AsH3)等を使用することができる。また、n型ドーパントガスとしてはモノシラン(SiH4)、ジシラン(Si2H6)等を、p型ドーパントガスとしてはジエチル亜鉛(DEZn)用を使用することができる。次いで、GaAsバッファー層2上に、厚さ約0.01μmのInGaAs分離層3、及び、厚さ0.02μmのAlAs分離補助層4を順に形成する。
次いで、図2に示す工程では、分離用構造体50の上に太陽電池層20を形成する。ここで、太陽電池層20の形成においては、まず、分離補助層4の上に厚さ約0.3μmのp+型In0.01Ga0.99As電極コンタクト層5を形成する。
続いて、電極コンタクト層5の上に、Ge基板1と実質的に格子整合するIn0.49Ga0.51Pからなるトップセル(III-V族化合物半導体で構成される太陽電池)6を形成する。具体的には、(1)Siを2.0×1018cm-3の密度でドープした厚さ約0.03μmのn+型Al0.52In0.48P窓層61、(2)Siを3.0×1018cm-3の密度でドープした厚さ約0.05μmのn型エミッタ層62、(3)Znを1.5×1017cm-3の密度でドープした厚さ約1.0μmのp型ベース層63、(4)厚さ約0.1μmのp+型In0.49Ga0.51P裏面電界層64を、連続エピタキシャル成長させてトップセル6を形成することができる(図7)。
続いて、トップセル6の上にボトムセル(III-V族化合物半導体で構成される太陽電池)7を形成する。具体的には、(1)不純物密度約2.0×1018cm-3のn+型In0.49Ga0.51P層71、(2)厚さ約0.1μm、不純物密度約2.0×1018cm-3のn+型In0.01Ga0.99Asエミッタ層72、(3)厚さ約1.0μm、不純物密度約2.0×1017cm-3のp型In0.01Ga0.99Asベース層73、(4)厚さ約0.1μm、不純物密度約2.0×1018cm-3のp+型InGaP裏面電界層74を、連続成長させてボトムセル7を形成することができる(図8)。
続いて、トップセル6の上にボトムセル(III-V族化合物半導体で構成される太陽電池)7を形成する。具体的には、(1)不純物密度約2.0×1018cm-3のn+型In0.49Ga0.51P層71、(2)厚さ約0.1μm、不純物密度約2.0×1018cm-3のn+型In0.01Ga0.99Asエミッタ層72、(3)厚さ約1.0μm、不純物密度約2.0×1017cm-3のp型In0.01Ga0.99Asベース層73、(4)厚さ約0.1μm、不純物密度約2.0×1018cm-3のp+型InGaP裏面電界層74を、連続成長させてボトムセル7を形成することができる(図8)。
後続の分割工程(図5)による分割によって、トップセル6及びボトムセル7のうちトップセル6の方が太陽電池の表面(第1面)側に位置することになる。したがって、トップセル6は、ボトムセル7よりも禁制帯(バンドギャップ)幅が広い材料で構成される。
次に、ボトムセル7の上に、厚さ約0.3μmのp+InGaAsコンタクト層8をボトムセル7に連続してエピタキシャル成長させる。続いて、コンタクト層8の上にTi/Au膜(二重膜)8aをスパッタ法により順次形成する。
次いで、図3に示す工程では、太陽電池層20の露出面(第2面;Ti/Au膜8aのAu膜)に支持体としてのステンレス箔9を結合させて複合部材100を形成する。
次いで、図4に示す工程では、AlAs分離補助層4の周辺部分(或いは、複合部材100の側面に露出している部分)を他の層に対して選択的にエッチングして、分離補助層4の側面を複合部材100の内側方向に後退させる。具体的には、複合部材100をフッ化水素酸溶液(HF溶液)に浸漬することにより、AlAs分離補助層4の周辺部分を選択的にエッチングして、AlAs分離補助層4の側面を複合部材100の内側方向に後退させることができる。
次いで、図5に示す工程では、分離用構造体50(InGaAs分離層3及びAlAs分離補助層4)又はその近傍に加圧された流体(例えば、ウォータージェット)を吹き付けることにより、分離用構造体50の内部、及び/又は、分離用構造体50と太陽電池層20との界面、及び/又は、分離用構造体50とシード基板1との界面に、面方向に広がる亀裂を発生させ、複合部材100を2つの部材に分割する。
次いで、図5に示す工程では、分離用構造体50(InGaAs分離層3及びAlAs分離補助層4)又はその近傍に加圧された流体(例えば、ウォータージェット)を吹き付けることにより、分離用構造体50の内部、及び/又は、分離用構造体50と太陽電池層20との界面、及び/又は、分離用構造体50とシード基板1との界面に、面方向に広がる亀裂を発生させ、複合部材100を2つの部材に分割する。
次いで、図6に示す工程において、電極コンタクト層5の上に、フォトリソグラフィーによりAuGe/Ni/Auで構成される櫛型表面電極10を形成し、該電極10をマスクとしてコンタクト層5をパタニングしてn+AlInP窓6aを形成する。その後、反射防止膜(表面保護層)11を形成することにより、ステンレス箔9に移設された2接合型太陽電池200が得られる。
このような多接合型太陽電池では、光入射面(第1面)側となる禁制帯幅の広いトップセル6によって、入射光の短波長側の成分を光電変換し、禁制帯幅の狭いボトムセル7によって、入射する光エネルギーの長波長側の成分を光電変換する。このように、トップセル6とボトムセル7とでそれぞれ波長域の異なる光成分を光電変換することによって光の利用効率を高めることができる。
ステンレス箔9は、裏面電極となるとともに、裏面に到達した入射光を反射するため、ボトムセル7の厚さを1/2程度にすることが可能になる。なお、非導電材料で支持体9を構成する場合には、電極8aは、裏面電極として機能するように構成されうる。
上記実施例において、太陽電池の形成工程(図2、図7)で形成されるトップセル6は、例えば、Ge基板1と格子定数がほぼ等しいn型のIn0.49Ga0.51Pエミッタ層62とp型のIn0.49Ga0.51Pベース層63を基本構成とし、このpn接合の上部に、In0.49Ga0.51Pベース層63より不純物密度のやや高いp+型In0.49Ga0.51Pの裏面電界層64を有し、下部にはAlInP窓層61を有しうる。
また、太陽電池の形成工程(図2、図8)で形成されるボトムセル7は、Ge基板1と格子定数がほぼ等しいn型InGaAsエミッタ層72とp型InGaAsベース層73を基本構成とし、このpn接合の上部に、InGaAsよりやや禁制帯幅が広くGeと格子定数がほぼ等しいp型のIn0.49Ga0.51P裏面電界層74を有し、下部にはn型のIn0.49Ga0.51P窓層71を有する。n型のIn0.49Ga0.51P窓層71は、トップセル6の直下に形成されているp+型In0.49Ga0.51P裏面電界層64とトンネル接合を形成するために、それぞれの界面付近は不純物濃度を高濃度にされる。
上記実施例では、2接合型太陽電池について説明したが、更に、Geで構成されるpn接合を加えて3接合太陽電池を形成することもできる。
また、シード基板として、Ge基板に替えてGaAs基板を使ってもよい。この場合、Ge基板上に形成する際に、GaAs層に発生する結晶欠陥であるアンチフェーズドメインを回避するための工程が不必要となる。
1:シード基板
2:バッファー層
3:分離層
4:分離補助層
5:電極コンタクト層
5a:
6:トップセル
6a:窓
7:ボトムセル
8:コンタクト層
8a:電極(又は、裏面電極層)
9:支持体
10:櫛型電極
11:反射防止膜(表面保護膜)
20:太陽電池層
50:分離用構造体
100:複合部材
200:太陽電池
2:バッファー層
3:分離層
4:分離補助層
5:電極コンタクト層
5a:
6:トップセル
6a:窓
7:ボトムセル
8:コンタクト層
8a:電極(又は、裏面電極層)
9:支持体
10:櫛型電極
11:反射防止膜(表面保護膜)
20:太陽電池層
50:分離用構造体
100:複合部材
200:太陽電池
Claims (9)
- 太陽電池の製造方法であって、
シード基板の上に分離用構造体を形成する工程と、
前記分離用構造体の上に化合物半導体で構成される太陽電池層を形成する工程と、
前記太陽電池層が内側になるように前記シード基板に支持体を結合して複合部材を形成する工程と、
前記分離用構造体を利用して前記複合部材を分割することにより前記シード基板から前記支持体に前記太陽電池層を移設する工程と、
を含み、前記分離用構造体は、前記分離用構造体の内部、前記分離用構造体と前記太陽電池層との界面、及び、前記分離用構造体と前記シード基板との界面、の少なくとも1つに歪みエネルギーを生じさせる層である、
ことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記支持体は、シリコン、ガラス、セラミック、金属及びプラスチックからなるグループから選択される材料で構成されることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記支持体は、シード基板よりも比重が小さい材料で構成されることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記分離用構造体は、格子定数及び/又は熱膨張係数が前記シード基板と異なる材料で構成された分離層を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記分離用構造体は、前記シード基板の上、又は前記シード基板の上に形成されら層の上に、ヘテロエピタキシャル成長によって形成された分離層を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記分離用構造体は、前記シード基板、前記太陽電池層及び前記分離層に対して選択的にエッチングされることが可能な材料で構成された分離補助層を含み、
前記製造方法は、
前記複合部材の分割に先立って前記分離補助層の周辺部分をエッチングする工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の太陽電池の製造方法。 - 前記分離補助層は、他の層よりもAlを多く含んでいることを特徴とする請求項6に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記分離補助層は、AlxGa1−xAs(x>0.95)を満足する材料で構成されていることを特徴とする請求項6に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記シード基板は、Ge基板又はGaAs基板を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010103514A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Soi基板の作製方法及び単結晶半導体層の作製方法 |
KR20100061348A (ko) * | 2008-11-27 | 2010-06-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 기판의 제작 방법 및 반도체 장치의 제작 방법 |
JP2010532575A (ja) * | 2007-07-03 | 2010-10-07 | マイクロリンク デバイセズ インコーポレイテッド | Iii−v化合物薄膜太陽電池 |
JP2011151392A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-08-04 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 半導体基板、半導体基板の製造方法及び光電変換装置の製造方法 |
WO2013161149A1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | パナソニック株式会社 | 光電変換装置及びその製造方法 |
WO2014081048A1 (en) | 2012-11-26 | 2014-05-30 | Ricoh Company, Ltd. | Photovoltaic cell and photovoltaic cell manufacturing method |
KR20140136557A (ko) * | 2013-05-20 | 2014-12-01 | 엘지전자 주식회사 | 화합물 반도체 태양전지의 제조 방법 |
-
2005
- 2005-02-07 JP JP2005030583A patent/JP2006216896A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11901476B2 (en) | 2007-07-03 | 2024-02-13 | Microlink Devices, Inc. | Methods for fabricating thin film III-V compound solar cell |
US10923617B2 (en) | 2007-07-03 | 2021-02-16 | Microlink Devices, Inc. | Methods for fabricating thin film III-V compound solar cell |
JP2010532575A (ja) * | 2007-07-03 | 2010-10-07 | マイクロリンク デバイセズ インコーポレイテッド | Iii−v化合物薄膜太陽電池 |
JP2010532576A (ja) * | 2007-07-03 | 2010-10-07 | マイクロリンク デバイセズ インコーポレイテッド | Iii−v化合物薄膜太陽電池の加工方法 |
JP2010103514A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Soi基板の作製方法及び単結晶半導体層の作製方法 |
KR101582247B1 (ko) * | 2008-11-27 | 2016-01-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 기판의 제작 방법 및 반도체 장치의 제작 방법 |
JP2010153823A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体基板の作製方法及び半導体装置の作製方法 |
KR20100061348A (ko) * | 2008-11-27 | 2010-06-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 기판의 제작 방법 및 반도체 장치의 제작 방법 |
JP2011151392A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-08-04 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 半導体基板、半導体基板の製造方法及び光電変換装置の製造方法 |
WO2013161149A1 (ja) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | パナソニック株式会社 | 光電変換装置及びその製造方法 |
WO2014081048A1 (en) | 2012-11-26 | 2014-05-30 | Ricoh Company, Ltd. | Photovoltaic cell and photovoltaic cell manufacturing method |
US9450138B2 (en) | 2012-11-26 | 2016-09-20 | Ricoh Company, Ltd. | Photovoltaic cell and photovoltaic cell manufacturing method |
US10008627B2 (en) | 2012-11-26 | 2018-06-26 | Ricoh Company, Ltd. | Photovoltaic cell and photovoltaic cell manufacturing method |
KR20140136557A (ko) * | 2013-05-20 | 2014-12-01 | 엘지전자 주식회사 | 화합물 반도체 태양전지의 제조 방법 |
KR101926621B1 (ko) | 2013-05-20 | 2018-12-07 | 엘지전자 주식회사 | 화합물 반도체 태양전지의 제조 방법 |
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