JP2006214846A - 圧電素子ユニット - Google Patents
圧電素子ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006214846A JP2006214846A JP2005027349A JP2005027349A JP2006214846A JP 2006214846 A JP2006214846 A JP 2006214846A JP 2005027349 A JP2005027349 A JP 2005027349A JP 2005027349 A JP2005027349 A JP 2005027349A JP 2006214846 A JP2006214846 A JP 2006214846A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- element unit
- thin film
- shape
- soft resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Push-Button Switches (AREA)
Abstract
【解決手段】薄膜圧電素子を軟質樹脂で被覆した圧電素子ユニットであって、少なくとも薄膜圧電素子の外力感知側の軟質樹脂表面が凹凸状、好ましくは凸状体の断面が台形、三角形またはドーム型に形成されていることを特徴とする圧電素子ユニット。
【選択図】図1
Description
このような薄膜圧電素子の欠点を解決するものとして、例えば、リード端子を取り付けた圧電素子の周囲に、シリコーンゴムなどの弾性材料を塗布して被覆し、その外周を外装樹脂で封止したもの(例えば、特許文献1参照。)、圧電素子を被覆するシリコーンゴムの硬化を短時間で行なう遠赤外線照射により硬化したもの(例えば、特許文献2参照。)等が知られている。さらに、長期間にわたって十分な機密性を維持でき、かつ圧電素子で発生した熱を速やかに外部に逃す等の目的でウレタンゲル等の樹脂材料で圧電素子を密封被覆したもの(例えば、特許文献3参照。)が知れれている。しかしながら、必ずしも外部衝撃力に十分に対応できるものではないという問題を有していた。
しかしながら、未だ薄膜圧電素子と衝撃吸収材(衝撃緩衝材)とを組み合わせた、外力に対して非線形な電圧出力特性を有する圧電素子ユニットは得られていなかった。
上記シリコーンゲルとしては、従来から知られ、市販されている種々のシリコーン材料として一般的に使用されているものを適宜選択して用いることができる。よって、加熱硬化型あるいは常温硬化型のもの、硬化機構が縮合型あるいは付加型のものなど、いずれも用いることができる。また、珪素原子に結合する基も特に限定されるものではなく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、ビニル基、アリル基等のアルケニル基、フェニル基、トリル基等のアリール基のほか、これらの基の水素原子が部分的に他の原子又は結合基で置換されたものを挙げることができる。また、シリコーンゲルの硬度は、特に限定されず本発明の圧電素子を圧力センサー等として用いる用途分野において種々の硬度を選択できる。たとえば、微小圧力用の圧力センサー分野においては、硬化後におけるJIS K2207−1980(50g荷重)の針入度が5〜200であるものが好ましく、また、高めの圧力用圧力センサー分野においては、アスカーC硬度が10〜80であるものが好ましい。
ここで、針入度はJIS K 2207−1980に準拠して求める値であり、アスカーC硬度はSRIS 0101(日本ゴム協会規格)に準拠して求める値である。
図1は、本発明の圧電素子ユニットの一例の斜視図であり、図2はその断面図であり、図3は凸状部の拡大断面図である。
図において、圧電素子ユニット1は、薄膜圧電素子10の表面を軟質樹脂2で被覆し、外力感知側3を複数の凸状物5が連続的に形成されている凹凸面とし、裏側保護面4を平板状にして形成される。圧電素子10で発生した電力はリード線13、14から取り出される。薄膜圧電素子10は、凹凸が形成されている外力感知側3を金属プレート12側とし、裏側保護面側4を電極11側になるように軟質樹脂2で被覆される。
凸状体をこのような形状にすることにより、一定の大きさ以上になった外力の感知を行い、その外力をスムーズに圧電素子に伝達することができると同時に耐衝撃力を有するようになる。
ここで、バネ定数とは、衝撃吸収力として説明でき、軟質樹脂素材と凸状体の形状を変えることにより調節できる。
また、軟質樹脂による被覆が行なわれているので、長期間にわたって十分な気密性を維持でき、エネルギー変換効率の維持と機械的強度が大幅に向上すると同時に、圧電素子ユニット自身が衝撃緩衝材として作用し、圧電素子ユニットに接する機器の緩衝効果(保護効果)を有する。
また、本発明の圧電素子ユニットを用いた圧力スイッチは、自動制御、計測、警報器等の分野の機器に取り付け、一定圧力以上の圧力が加わったとき、または一定圧力がなくなったときに作用してその状況を知らせるセンサーとして用いることができる。
このようなセンサーは、特に自動車のナンバープレートにIDタグ等を取り付けて車両情報等を搭載した電子ナンバープレート(例えば、スマートプレート)に用い、取り付けられたIDタグを過酷な条件下で長期間保護すると同時に、重要なIDタグが無断で取り外された場合、圧縮開放時の出力電圧を活用し、IDタグ内に内装するICチップに記録・保存する車両情報等を消去するセンサーとして効果的に用いることができる。
(1)針入度:JIS K 2207−1980に準拠して求めた。
(2)アスカーC硬度:SRIS 0101(日本ゴム協会規格)に準拠して求めた。
(3)50%圧縮開放時の出力電圧:試料圧電素子ユニットを50%に圧縮後1mm/秒の速度で圧力を開放した時の出力電圧を測定した。
(4)圧縮特性:圧縮量と加重の相関を求めた。
(5)落下衝撃時の出力電圧と衝撃加速度:錘(500g)を、15mm、20mm、25mmの高さより、試料圧電素子ユニットに落下させた時の出力電圧を求め、衝撃加速度に対する出力電圧を求めた。
針入度が90〜100(θ7)、20〜30(θ6)、アスカーC硬度が50〜55(θ8)のシリコーンゲル(θ6:CF 5056、θ7:CF 5057、θ8:CF 5058、いずれも東レ・ダウコーニング・シリコーン社製)を用い、薄膜圧電素子(日本セラテック社製)を被覆し、薄膜圧電素子の金属プレート側表面を円柱状(高さ15mm、直径25mm)、台形状A(高さ15mm、底辺直径25mm、上辺直径15mm)、台形状B(高さ15mm、底辺直径25mm、上辺直径10mm)、ドーム状(高さ15mm、直径25mm)の凹凸状に成形し、電極側表面を2.0mmの厚さの平板状にした圧電素子ユニットを成形し、各ユニットについて、50%圧縮開放時の出力電圧、圧縮特性、衝撃加速度と出力電圧を測定した。結果を図4〜12に示す。
図7〜9は、θ6のシリコーンゲルを用いた各形状の圧電素子ユニットの50%圧縮開放時の出力電圧(図7)、圧縮特性(図8)、衝撃加速度と出力電圧(図9)である。
図10〜12は、θ8のシリコーンゲルを用いた各形状の圧電素子ユニットの50%圧縮開放時の出力電圧(図10)、圧縮特性(図11)、衝撃加速度と出力電圧(図12)である。
50%圧縮開放時の出力電圧の結果からみると、バネ定数が大きいほど反発力が大きく復元スピードが速い結果、圧電素子の歪が大きくなり高い出力電圧を示していることがわかる。また、落下衝撃時の出力電圧と衝撃加速度の結果からみると、バネ定数が大きいほど反発力が大きく緩衝能力が低下する結果、圧電素子の歪が大きくなり高い出力電圧を示すことがわかる。
2 軟質樹脂
3 外力感知側面
4 裏面被覆面
5 凸状体
10 圧電素子
11 電極
12 金属プレート
13、14 リード線
Claims (7)
- 薄膜圧電素子を軟質樹脂で被覆した圧電素子ユニットであって、少なくとも薄膜圧電素子の外力感知側の軟質樹脂表面が凹凸状に形成されていることを特徴とする圧電素子ユニット。
- 凹凸状の形状は、断面が台形、三角形またはドーム型であることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子ユニット。
- 軟質樹脂がシリコーンゲルまたはウレタンゲルであることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電素子ユニット。
- 薄膜圧電素子は、シングル電極が金属プレートに積層され、金属プレート面が外力感知側であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電素子ユニット。
- 薄膜圧電素子の軟質樹脂による裏面被覆層が平板形状であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電素子ユニット。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電素子ユニットからなる圧力スイッチ。
- 請求項6に記載の圧電素子スイッチを装着したスマートプレート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027349A JP2006214846A (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 圧電素子ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005027349A JP2006214846A (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 圧電素子ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006214846A true JP2006214846A (ja) | 2006-08-17 |
Family
ID=36978203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005027349A Pending JP2006214846A (ja) | 2005-02-03 | 2005-02-03 | 圧電素子ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006214846A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011209081A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Fujifilm Corp | 圧力計測用弾性材料、及び、圧力計測装置 |
JP2015102507A (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 力センサ及びそれを用いた力検知装置、並びに力検知方法 |
WO2019003621A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | ヤマハ株式会社 | 振動センサー |
JP6456467B1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-01-23 | フォシャン センシックフュージョン テクノロジー カンパニー,リミテッド | 力覚センサレイ |
US11506532B2 (en) | 2019-06-28 | 2022-11-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vibration detecting device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59144443U (ja) * | 1983-03-10 | 1984-09-27 | アルプス電気株式会社 | シ−ト部材 |
JP2000337971A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Tokai Rubber Ind Ltd | 柔軟センサ |
JP2000346717A (ja) * | 1999-06-03 | 2000-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電センサと圧電センサ荷重検出装置および挟み込み防止装置 |
-
2005
- 2005-02-03 JP JP2005027349A patent/JP2006214846A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59144443U (ja) * | 1983-03-10 | 1984-09-27 | アルプス電気株式会社 | シ−ト部材 |
JP2000337971A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Tokai Rubber Ind Ltd | 柔軟センサ |
JP2000346717A (ja) * | 1999-06-03 | 2000-12-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電センサと圧電センサ荷重検出装置および挟み込み防止装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011209081A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Fujifilm Corp | 圧力計測用弾性材料、及び、圧力計測装置 |
JP2015102507A (ja) * | 2013-11-27 | 2015-06-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 力センサ及びそれを用いた力検知装置、並びに力検知方法 |
WO2019003621A1 (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-03 | ヤマハ株式会社 | 振動センサー |
JP2019010497A (ja) * | 2017-06-30 | 2019-01-24 | ヤマハ株式会社 | 振動センサー |
CN110832293A (zh) * | 2017-06-30 | 2020-02-21 | 雅马哈株式会社 | 振动传感器 |
JP6456467B1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-01-23 | フォシャン センシックフュージョン テクノロジー カンパニー,リミテッド | 力覚センサレイ |
JP2019100991A (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-24 | フォシャン センシックフュージョン テクノロジー カンパニー,リミテッド | 力覚センサレイ |
US11506532B2 (en) | 2019-06-28 | 2022-11-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Vibration detecting device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006214846A (ja) | 圧電素子ユニット | |
JP5044196B2 (ja) | 圧電センサ及びその製造方法 | |
JP5945102B2 (ja) | 発電装置 | |
US6607135B1 (en) | Module for IC card, IC card, and method for manufacturing module for IC card | |
JP3979334B2 (ja) | 圧電型電気音響変換器 | |
CN104555887B (zh) | 具有对键合进行保护的微机电器件和制造微机电器件的工艺 | |
US5691960A (en) | Conformal composite acoustic transducer panel and method of fabrication thereof | |
JP5954792B2 (ja) | 曲げ変換器 | |
JP2011530715A5 (ja) | ||
JP3975885B2 (ja) | 携帯機 | |
US20110002485A1 (en) | Piezoelectric actuator and electronic device | |
KR100772690B1 (ko) | 디스크 드라이브의 완충기 및 이를 포함한 디스크 드라이브어셈블리 | |
KR20120052953A (ko) | 전기기계 변환기의 제조 방법 | |
KR100811286B1 (ko) | 음 재생용 압전 진동자 및 이를 구비한 압전형 패널 스피커및 압전형 이어폰 | |
JP2004023436A (ja) | 圧電スピーカ | |
US20140001687A1 (en) | Annular isolator with secondary features | |
WO2006009194A1 (ja) | 半導体センサ | |
JP2017108596A (ja) | 発電装置 | |
JP2009278859A (ja) | バッテリー代替発電ユニット | |
JPWO2011018973A1 (ja) | Memsセンサパッケージ | |
WO2007069355A1 (ja) | 衝撃緩衝シートとそれを用いた電子機器 | |
US10830302B2 (en) | Continuous framework for shock, vibration and thermal isolation and motion accommodation | |
JP5771915B2 (ja) | Memsデバイス及びその製造方法 | |
US7617599B2 (en) | Sensor packaging method for a human contact interface | |
JPWO2016043136A1 (ja) | 表示装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060928 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20061003 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070830 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080515 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090821 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100330 |