JP2006211841A - 超音波駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 振動子の駆動力を確実に被駆動体に伝達することができ、その駆動性能を向上することができる超音波駆動装置を提供する。
【解決手段】 電力が供給されることにより振動を発生する複数の振動子３と、各振動子３に固定される保持部材１７と、各振動子３を所定方向に向けて付勢する付勢部材と、各振動子３に固定した保持部材１７を支持する支持部材５と、を有し支持部材５に、保持部材１７が固定された振動子３をそれぞれ収容し、所定方向に移動可能に支持する複数の配置孔１１が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図２

Description

本発明は、超音波駆動装置に関する。

近年、電磁型モータに代わる新しいモータとして、圧電素子などの振動子の振動を利用した超音波モータ（超音波駆動装置）が注目されている。この超音波モータは、従来の電磁型モータと比較して、ギアなしで低速高推力が得られる点や、保持力が高い点や、ストロークが長く、高分解能である点や、静粛性に富む点や、磁気的ノイズを発生せず、また、磁気的ノイズの影響を受けない点等の利点を有している。

上述の利点の内で、特に高分解能での位置決め性能を発揮させるためには、超音波モータの振動子を高精度に位置決めすることが必要とされる。
しかしながら、振動子を剛性の高い取付け部材などに固定すると、振動子による振動の発生が阻害されて超音波モータの性能が阻害される恐れがあった。また、振動子による振動の発生を阻害しないように、振動子を弾性体などに固定する方法では、弾性体が変形等を起こし位置決め精度が悪化するという問題があった。

そのため、超音波モータにおいて振動子の位置を高精度に決めるとともに、振動子による振動の発生が阻害されない振動子の保持構造、保持方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平１１−２３５０６２号公報

上述の特許文献１においては、円周上に配置した複数の振動子の略中央に形成された凹部に、略円筒形の加圧支持部材に形成された板バネに備えられる円柱状のピン部材を嵌め合わせることにより振動子を押圧している。また、加圧支持部材から突出して形成された押えピンを、振動子における上記凹部が形成された面に隣接する一方の面に押し当てることにより、振動子における上記凹部を中心とした回転方向の変位を拘束・位置決めをしている。

しかしながら、上述のように、円周上に配置した複数の振動子を一緒に位置決めするため、個々に振動子を高い精度で位置決めすることが難しいという問題があった。振動子の位置精度が低くなると、振動子と被駆動体との接触が不安定となり、振動子が発生する駆動力を被駆動体に十分に伝達できず、超音波モータの駆動性能が低下するという問題があった。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、振動子の駆動力を確実に被駆動体に伝達することができ、その駆動性能を向上することができる超音波駆動装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、電力が供給されることにより振動を発生する複数の振動子と、各振動子に固定される保持部材と、各振動子を所定方向に向けて付勢する付勢部材と、各振動子に固定した保持部材を支持する支持部材と、を有し該支持部材に、前記保持部材が固定された振動子をそれぞれ収容し、前記所定方向に移動可能に支持する複数の配置孔が形成されている超音波駆動装置を提供する。

本発明によれば、支持部材に形成された複数の配置孔に、保持部材が固定された振動子をそれぞれ配置するため、複数の振動子を同時に所定の精度で位置決めできる。つまり、複数の配置孔を所定の精度で支持部材に形成することで、そこに配置される複数の振動子を同時に所定の精度で位置決めできる。
所定の位置精度で振動子を位置決めできると、例えば、所定方向に被駆動体が配置されている場合、振動子と被駆動体との接触を安定させることができ、振動子が発生する駆動力を被駆動体に十分に伝達できる。

また、上記発明においては、前記保持部材および前記配置孔に、前記所定方向に対して略垂直な平面上に投影される前記振動子の位置を所定の精度で定める位置決め部が備えられていることが望ましい。

本発明によれば、振動子を所定方向に付勢する付勢部材と、振動子の位置を略一定に保持する位置決め部とが分かれているため、振動子の位置決め精度の悪化を防止できる。つまり、付勢部材と位置決め部とが分けられているため、位置決め部に弾性を付与する必要がなく、振動子の位置決め精度を向上させることができる。
位置決め部が備えられた支持部材は振動子を所定方向に移動可能に支持するため、振動子は所定方向に向けて付勢される。また、付勢部材と位置決め部とが分かれているため、振動子のバランスが取りやすい。そのため、例えば、所定方向に被駆動体が配置されている場合、被駆動体へ振動子を所定の姿勢で接触させ、押圧することができる。

さらに、上記発明においては、前記保持部材が、少なくとも前記振動子を前記所定方向に対して交差する方向に挟む一対の側壁部を有し、前記位置決め部が、前記側壁部および前記側壁部から突出する側壁凸部と、前記配置孔に備えられ、前記側壁部に接触する対向面および該対向面において前記所定方向に延び、前記側壁凸部を所定方向に移動可能に収容する溝部とからなることが望ましい。

本発明によれば、側壁部が振動子を所定方向に対して交差する方向に挟んで支持し、側壁部と対向面とが接触するように配置されているため、振動子を上記交差する方向について所定の精度で位置決めできる。また、側壁部に備えられた側壁凸部が溝部を所定方向に移動可能に挿入され、振動子の所定方向に対して直交する方向への移動を規制しているため、所定の精度で位置決めできる。そのため、振動子の所定方向に対して略垂直な平面上に投影される位置を所定の精度で位置決めできる。

上記発明においては、前記側壁部に、前記対向面との隙間を埋める間隔調整部材が配置されていることが望ましい。
本発明によれば、間隔調整部材を側壁部に配置することにより、側壁部と対向面と間に発生する隙間を埋めることができる。そのため、上記隙間による振動子の位置決め精度の悪化を防止できる。
また、隙間をなくすことにより、所定方向への振動子の移動を滑らかにでき、振動子が発生する駆動力を被駆動体に十分に伝達できる。
なお、間隔調整部材としては、振動子の所定方向の移動を阻害しないように、摩擦係数の低い材料、例えば樹脂等を用いることが望ましい。

上記発明においては、前記振動子には、前記振動子の振動の節となる両端近傍領域に、前記対向面に接触する端部凸部が備えられていることが望ましい。
本発明によれば、端部凸部が振動子に備えられ、対向面と接触することにより、所定方向を軸とした振動子の回転を規制できる。そのため、振動子を所定の精度で位置決めできる。
また、振動の節となる領域に端部凸部が備えられているため、振動子の振動の阻害することを防止できる。

上記発明においては、前記対向面には、前記振動子の振動の節となる両端近傍領域と対向する領域に、前記振動子に接触する端部凸部が備えられていることが望ましい。
本発明によれば、端部凸部が対向面に備えられ、振動子と接触することにより、所定方向を軸とした振動子の回転を規制できる。そのため、振動子を所定の精度で位置決めできる。

上記発明においては、前記側壁部が前記振動子に固定されている位置が、前記振動子の振動の節であって前記振動子の略中央領域であることが望ましい。
本発明によれば、振動子の振動の節であって振動子の略中央領域に側壁部を固定することにより、振動子の振動を阻害することを防止できる。そのため、振動子が発生する駆動力の低下を防止できる。

上記発明においては、前記側壁部と前記対向面との接触面の面積が、前記側壁部と前記振動子との固定面よりも広いことが望ましい。
本発明によれば、側壁部と対向面との接触面の面積を、振動子との固定面よりも広くすることにより、振動子の振動を阻害することなく振動子の姿勢を安定させることができる。特に、所定方向に対して交差する方向へ上記接触面を延ばすことにより、所定方向を軸とした振動子の回転を規制できる。

本発明の超音波駆動装置によれば、所定の精度で支持部材に形成された配置孔に、保持部材および保持部材と固定された振動子を配置するため、複数の振動子を同時に所定の精度で位置決めできる。そのため、振動子の駆動力を確実に被駆動体に伝達することができ、その駆動性能を向上することができるという効果を奏する。

〔第１の実施の形態〕
以下、本発明の第１の実施形態にかかる超音波駆動装置について図１から図４を参照して説明する。ここでは、超音波駆動装置をカメラにおけるレンズを駆動する超音波モータとして用いる例に適用して説明する。
図１は、本実施形態に係る超音波モータの全体構成を説明する断面図である。図２は、図１の超音波モータの構成を説明する部分平面図である。なお、図２中において、圧電素子の配置数を１個に省略して示しているが、実際には全ての配置孔に圧電素子が配置されている。
超音波モータ（超音波駆動装置）１は、図１および図２に示すように、電力が供給されることにより超音波振動を発生する３個の圧電素子（振動子）３と、圧電素子３が収められるケース（支持部材）５と、圧電素子３の超音波振動により駆動される被駆動体７と、圧電素子３を押圧する押え蓋９と、から概略構成されている。
被駆動体７には、その回転移動を中心軸Ｃに沿う方向（所定方向）に変換する変換機構（図示せず）が接続され、変換機構によりカメラのレンズ（図示せず）の位置が中心軸Ｃに沿う方向に移動される。

ケース５は略円環状に形成されるとともに、圧電素子３が内部に配置される３つの配置孔１１が所定の位置精度で形成されている。配置孔１１は略角柱状に形成され、同一円周上に等間隔に複数（図２では３つ）形成されている。配置孔１１における半径方向に対して略垂直なガイド面（位置決め部、対向面）１３には、後述するピン部が挿入される誘導溝（位置決め部、溝部）１５が形成されている。誘導溝１５は、ケース５の中心軸Ｃと略平行となるように形成されている。

被駆動体７は、図１に示すように、略円環状に形成され、ケース５と中心軸Ｃを共有するように配置されている。また、被駆動体７の圧電素子３と対向する面には後述する圧電素子３の駆動接触部が接触するように配置されている。
押え蓋９は縁部を有する略円環状に形成され、ケース５と中心軸Ｃを共有するように配置されている。また、押え蓋９の圧電素子３と対向する面には後述する圧電素子３の板バネが接触するように配置されている。

図３は、図１の圧電素子に付属する構成要素を説明する図であり、図３（ａ）は超音波モータの半径方向から圧電素子を見た図であり、図３（ｂ）は円周方向から圧電素子見た図である。
圧電素子３は、図１から図３に示すように、ケース５の円周方向に長軸を有する略直方体状に形成されている。圧電素子３には、圧電素子３を保持する保持部（保持部材）１７と、圧電素子３を被駆動体７に向けて付勢する板バネ（付勢部材）１９と、被駆動体７と接触する駆動接触部２１と、が備えられている。

保持部１７は、超音波モータ１の半径方向について圧電素子３を保持する側壁部（位置決め部）２３と、中心軸Ｃに沿う方向について保持する基部２５と、側壁部２３から上記半径方向に突出して形成された略円柱状の側壁ピン部（位置決め部、側壁凸部）２７と、から概略形成されている。
保持部１７は、圧電素子３の振動における節の位置となる略中央に配置され、側壁ピン部２７も同様に、節の位置となる略中央に配置されている。そのため、保持部１７により圧電素子３を保持しても、圧電素子３の振動発生を防止することがなく、振動発生効率の低下を防止できる。
また、側壁ピン部２７は略円柱状に形成されているため、圧電素子３は側壁ピン部２７回りに回転可能に支持され、被駆動体７の変化に柔軟に追従することができる。

保持部１７と圧電素子３とは接着剤により固定されている。接着剤としては、エポシキ系樹脂やシリコン系樹脂などを例示することができる。シリコン系樹脂のように比較的柔らかい材質の接着剤の場合には、圧電素子３のインピーダンス性能が低下しにくくできる。

板バネ１９は、圧電素子３に向かって凸となる形状に形成され、略中央から基部２５に向けて略円柱状の押圧部２９が突出して形成されている。板バネ１９の両端部は押え蓋９と接触し、押圧部２９が圧電素子３と接触するように配置されている。そのため、板バネ１９は圧電素子３を所定の付勢力で押すことができる。また、押圧部２９が圧電素子３と接触するため、圧電素子３の振動を阻害することなく、圧電素子３を付勢することができる
駆動接触部２１は略直方体状に形成され、圧電素子３と被駆動体７との間に配置されている。駆動接触部２１は、圧電素子３の振動における腹の位置に２つ配置されている。そのため、圧電素子３の振動を効率よく被駆動体７に伝達することができる。

図４は、図１の圧電素子とケースとの組み合わせを説明する図である。
圧電素子３は、図４に示すように、ケース５の配置孔１１に中心軸Ｃ方向に沿って入れられる。配置孔１１に配置された状態では、圧電素子３における保持部１７の側壁部２３と、配置孔１１のガイド面１３とが対向し、当接される。
また、保持部１７の側壁ピン部２７は、配置孔１１の誘導溝１５に沿って中心軸Ｃ方向に移動するように組み合わされている。

次に、上記の構成からなる超音波モータ１における作用について説明する。
押え蓋９は、図１および図３に示すように、板バネ１９を中心軸Ｃに沿う方向であって圧電素子３方向に押圧し、板バネ１９により圧電素子３は被駆動体７方向に付勢される。圧電素子３は板バネ１９により被駆動体７に所定の力で押圧され、電力が供給されることにより所定の振動を発生し、被駆動体７を駆動する。

圧電素子３の配置位置は、図１および図２に示すように、ケース５に所定の位置精度で形成された配置孔１１に配置されることにより所定の精度で位置決めされる。具体的には、保持部１７の側壁部２３と配置孔１１のガイド面１３とが接触することにより、ケース５の半径方向について所定の精度で位置決めされる。また、保持部１７の側壁ピン部２７と配置孔１１の誘導溝１５とが組み合わされることにより、ケース５の円周方向について所定の精度で位置決めされる。

上記の構成によれば、ケース５に形成された配置孔１１に、保持部１７および保持部１７と固定された圧電素子３を配置するため、複数の圧電素子３を同時に所定の精度で位置決めできる。つまり、複数の配置孔１１を所定の精度でケース５に形成することで、そこに配置される複数の圧電素子３を同時に所定の精度で位置決めできる。
所定の位置精度で圧電素子３を位置決めすることにより、圧電素子３と被駆動体７との接触を安定させ、圧電素子３が発生する駆動力を被駆動体７に十分に伝達できるため、超音波モータ１の駆動性能を向上できる。

圧電素子３を中心軸Ｃに沿う方向に付勢する板バネ１９と、圧電素子３の位置を略一定に保持するガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７と、が分かれているため、圧電素子３の位置決め精度の悪化を防止できる。つまり、板バネ１９とガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７とが分けられているため、ガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７に弾性を付与する必要がなくなり、圧電素子３の位置決め精度を向上させることができる。
また、板バネ１９と、ガイド面１３および側壁部２３、誘導溝１５および側壁ピン部２７と、を分けているため、圧電素子３のバランスを保ちやすく、被駆動体７へ適正に接触させることができる。

側壁部２３が圧電素子３をケース５の半径方向に対して支持し、側壁部２３に対向するガイド面１３と当接するように配置されているため、圧電素子３をケース５の半径方向について所定の精度で位置決めできる。また、側壁部２３に備えられた側壁ピン部２７が誘導溝１５に組み合わされているため、圧電素子３とケース５の円周方向について所定の精度で位置決めできる。そのため、圧電素子３の中心軸Ｃに沿う方向に対して略垂直な平面上に投影される位置を所定の精度で位置決めできる。
また、側壁ピン部２７が誘導溝１５を中心軸Ｃに沿う方向に移動可能に組み合わされているため、圧電素子３は中心軸Ｃに沿う方向に移動可能に支持され、被駆動体７方向に付勢される。

〔第２の実施の形態〕
次に、本発明の第２の実施形態について図５および図６を参照して説明する。
本実施形態の超音波モータの基本構成は、第１の実施形態と同様であるが、第１の実施形態とは、圧電素子の周辺構成が異なっている。よって、本実施形態においては、図５および図６を用いて圧電素子の周辺のみを説明し、押え蓋等の説明を省略する。
図５は、本実施形態に係る超音波モータの構成を説明する図であり、図５（ａ）は、超音波モータの構成を説明する部分断面図であり、図５（ｂ）は、超音波モータの構成を説明する部分平面図である。図６は、図５の圧電素子の構成を説明する図であり、図６（ａ）は超音波モータの半径方向から圧電素子を見た図であり、図６（ｂ）は円周方向から圧電素子を見た図である。
なお、第１の実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付してその説明を省略している。

超音波モータ（超音波駆動装置）５１は、図５および図６に示すように、圧電素子３と、ケース５と、被駆動体７と、押え蓋９とから概略構成されている（図１参照）。
圧電素子３には、圧電素子３を保持する保持部１７と、圧電素子３を被駆動体７に向けて付勢する板バネ１９と、被駆動体７と接触する駆動接触部２１と、が備えられている。
保持部１７は、超音波モータ５１の半径方向について圧電素子３を保持する側壁部２３と、中心軸Ｃに沿う方向について保持する基部２５と、側壁部２３から上記半径方向に突出して形成された略円柱状の側壁ピン部２７と、から概略形成されている（図３参照）。

また、保持部１７には、図５および図６に示すように、側壁部２３とガイド面１３との隙間を埋めるスペーサ（間隔調整部材）５３が配置されている。
スペーサ５３は樹脂等の摩擦係数が低い材料から形成された略円板状の部材であり、その中心には側壁ピン部２７が通される孔が形成されている。
なお、スペーサ５３の材料としては上述のように摩擦係数の低い樹脂等が挙げられるが、特にポリ４フッ化エチレン（テフロン（登録商標））を挙げることができる。

上記の構成からなる超音波モータ５１においては、図５に示すように、圧電素子３を配置孔１１に配置したときに、保持部１７にスペーサ５３を配置することにより、側壁部２３とガイド面１３との隙間がスペーサ５３により埋められる。

上記の構成によれば、スペーサ５３を側壁部２３に配置することにより、側壁部２３とガイド面１３との間に発生する隙間を埋めることができる。そのため、上記隙間による圧電素子３の位置決め精度の悪化を防止できる。そのため、圧電素子３と被駆動体７との接触を安定させ、圧電素子３が発生する駆動力を被駆動体７に十分に伝達できるため、超音波モータ５１の駆動性能を向上できる。
また、隙間をなくすとともに、スペーサ５３を摩擦係数の低い材料から形成することにより、中心軸Ｃに沿う方向への圧電素子３の移動を滑らかにできる。そのため、圧電素子３が発生する駆動力を被駆動体７に十分に伝達でき、超音波モータ５１の駆動力を向上できる。

〔第３の実施形態〕
次に、本発明の第３の実施形態について図７および図８を参照して説明する。
本実施形態の超音波モータの基本構成は、第１の実施形態と同様であるが、第１の実施形態とは、圧電素子の周辺構成が異なっている。よって、本実施形態においては、図７および図８を用いて圧電素子の周辺のみを説明し、押え蓋等の説明を省略する。
図７は、本実施形態に係る超音波モータの構成を説明する図であり、図７（ａ）は、超音波モータの構成を説明する部分断面図であり、図７（ｂ）は、超音波モータの構成を説明する部分平面図である。図８は、図７の圧電素子の構成を説明する図であり、図８（ａ）は超音波モータの半径方向から圧電そしを見た図であり、図８（ｂ）は圧電素子の中央の断面図であり、図８（ｃ）は円周方向から圧電素子を見た図である。
なお、第１の実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付してその説明を省略している。

超音波モータ（超音波駆動装置）１０１は、図７および図８に示すように、圧電素子３と、ケース５と、被駆動体７と、押え蓋９とから概略構成されている（図１参照）。
圧電素子３には、圧電素子３を保持する保持部１７と、圧電素子３を被駆動体７に向けて付勢する板バネ１９と、被駆動体７と接触する駆動接触部２１と、配置孔１１のガイド面１３と接触する端部ピン部（端部凸部）１０３と、が備えられている（図３参照）。

端部ピン部１０３は略円柱状に形成されているとともに、圧電素子３を配置孔１１に配置したときに、端部ピン部１０３がガイド面１３に接触する長さに形成されている。また、端部ピン部１０３は圧電素子３の側壁部２３が固定されている面の両端部の４箇所に固定され、圧電素子３の振動（屈曲振動）の節となる位置に固定されている。

上記の構成からなる超音波モータ１０１においては、図５に示すように、圧電素子３を配置孔１１に配置したときに、端部ピン部１０３を配置してガイド面１３に接触させている。これにより、圧電素子３の中心軸Ｃに沿う方向を軸とした回転が規制される。

上記の構成によれば、端部ピン部１０３が圧電素子３に備えられ、ガイド面１３と接触することにより、中心軸Ｃに沿う方向を軸とした圧電素子３の回転を規制できる。そのため、圧電素子３を所定の精度で位置決めできる。
そのため、圧電素子３と被駆動体７との接触を安定させ、圧電素子３が発生する駆動力を被駆動体７に十分に伝達できるため、超音波モータ１０１の駆動性能を向上できる。
また、圧電素子３に備えられた端部ピン部１０３が、圧電素子３の振動の節となる領域に配置されているため、圧電素子３の振動の阻害することを防止できる。そのため、超音波モータ１０１の駆動性能を向上できる。

なお、上述のように、端部ピン部１０３を圧電素子３に配置して、ガイド面１３に接触させてもよいし、ガイド面１３に端部ピン部１０３を配置して、圧電素子３に接触させてもよく、特に限定するものではない。
なお、端部ピン部１０３の数は、上述のように４本であってもよいし、それ以上の本数であってもよく、圧電素子３の中心軸Ｃ回りの回転を規制できれば本数を制限するものでない。ただし、端部ピン部１０３の配置位置は、圧電素子の振動の節となる位置が好ましい。

〔第４の実施の形態〕
次に、本発明の第４の実施形態について図９および図１０を参照して説明する。
本実施形態の超音波モータの基本構成は、第４の実施形態と同様であるが、第４の実施形態とは、圧電素子の周辺構成が異なっている。よって、本実施形態においては、図９および図１０を用いて圧電素子の周辺のみを説明し、押え蓋等の説明を省略する。
図９は、本実施形態に係る超音波モータの構成を説明する図であり、図９（ａ）は、超音波モータの構成を説明する部分断面図であり、図９（ｂ）は、超音波モータの構成を説明する部分平面図である。
る。図１０は、図９の圧電素子の構成を説明する図であり、図１０（ａ）は超音波モータの半径方向から圧電素子を見た図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ−Ａ´断面視図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＢ−Ｂ´断面視図である。
なお、第１の実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付してその説明を省略している。

超音波モータ（超音波駆動装置）１５１は、図９および図１０に示すように、圧電素子３と、ケース５と、被駆動体７と、押え蓋９とから概略構成されている（図１参照）。
圧電素子３には、圧電素子３を保持する保持部（保持部材）１６７と、圧電素子３を被駆動体７に向けて付勢する板バネ１９と、被駆動体７と接触する駆動接触部２１と、が備えられている（図３参照）。

保持部１６７は、超音波モータ１５１の半径方向について圧電素子３を保持する側壁部（位置決め部）１７３と、中心軸Ｃに沿う方向について保持する基部１７５と、側壁部１７３から上記半径方向に突出して形成された略円柱状の側壁ピン部２７と、から概略形成されている。
側壁部１７３および基部１７５は、圧電素子３を超音波モータ１５１の円周方向に概略覆う長さに形成されている。また、図１０（ｂ），（ｃ）に示すように、側壁部１７３および基部１７５は、圧電素子３の略中央領域で圧電素子３と固定され、それ以外の領域では、間隔Ｓを隔てて対向するように形成・配置されている。

上記の構成からなる超音波モータ１５１においては、図９に示すように、圧電素子３を配置孔１１に配置したときに、超音波モータ１５１の円周方向に延びた側壁部１７３がガイド面１３に接触する。これにより、圧電素子３の中心軸Ｃに沿う方向を軸とした回転が規制される。

上記の構成によれば、保持部１６７（側壁部１７３）とガイド面１３との接触面の面積を、圧電素子３と保持部１６７との固定面よりも広くすることにより、圧電素子３の振動を阻害することなく圧電素子３の姿勢を安定させることができる。特に、超音波モータ１５１の円周方向へ側壁部１７３を延ばすことにより、中心軸Ｃに沿う方向を軸とした圧電素子３の回転を規制できる。そのため、圧電素子３と被駆動体７との接触を安定させ、圧電素子３が発生する駆動力を被駆動体７に十分に伝達できるため、超音波モータ５１の駆動性能を向上できる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、この発明をカメラのレンズの駆動原に適応して説明したが、この発明はレンズの駆動源に限られることなく、その他各種の駆動源に適応できるものである。

本発明の第１の実施形態に係る超音波モータの全体構成を示す断面図である。 図１の超音波モータの構成を示す部分平面図である。 図１の圧電素子に付属する構成要素を示す図である。 図１の圧電素子とケースとの組み合わせを説明する図である。 本発明の第２の実施形態に係る超音波モータの構成を示す図である。 図５の圧電素子の構成を説明する図である。 本発明の第３の実施形態に係る超音波モータの構成を示す図である。 図７の圧電素子の構成を説明する図である。 本発明の第４の実施形態に係る超音波モータの構成を示す図である。 図９の圧電素子の構成を説明する図である。

符号の説明

１，５１，１０１，１５１ 超音波モータ（超音波駆動装置）
３ 圧電素子（振動子）
５ ケース（支持部材）
１１ 配置孔
１３ ガイド面（位置決め部、対向面）
１５ 誘導溝（位置決め部、溝部）
１７，１６７ 保持部（保持部材）
１９ 板バネ（付勢部材）
２３，１７３ 側壁部（位置決め部）
２７ 側壁ピン部（位置決め部、側壁凸部）
５３ スペーサ（間隔調整部材）
１０３ 端部ピン部（端部凸部）

Claims (8)

1. 電力が供給されることにより振動を発生する複数の振動子と、
   各振動子に固定される保持部材と、
   各振動子を所定方向に向けて付勢する付勢部材と、
   各振動子に固定した保持部材を支持する支持部材と、を有し
   該支持部材に、前記保持部材が固定された振動子をそれぞれ収容し、前記所定方向に移動可能に支持する複数の配置孔が形成されている超音波駆動装置。
2. 前記保持部材および前記配置孔に、前記所定方向に対して略垂直な平面上に投影される前記振動子の位置を所定の精度で定める位置決め部が備えられている請求項１記載の超音波駆動装置。
3. 前記保持部材が、少なくとも前記振動子を前記所定方向に対して交差する方向に挟む一対の側壁部を有し、
   前記位置決め部が、前記側壁部および前記側壁部から突出する側壁凸部と、前記配置孔に備えられ、前記側壁部に接触する対向面および該対向面において前記所定方向に延び、前記側壁凸部を所定方向に移動可能に収容する溝部とからなる請求項２記載の超音波駆動装置。
4. 前記側壁部に、前記対向面との隙間を埋める間隔調整部材が配置されている請求項３記載の超音波駆動装置。
5. 前記振動子には、前記振動子の振動の節となる両端近傍領域に、前記対向面に接触する端部凸部が備えられている請求項３または４に記載の超音波駆動装置。
6. 前記対向面には、前記振動子の振動の節となる両端近傍領域と対向する領域に、前記振動子に接触する端部凸部が備えられている請求項３または４に記載の超音波駆動装置。
7. 前記側壁部が前記振動子に固定されている位置が、前記振動子の振動の節であって前記振動子の略中央領域である請求項３から６のいずれかに記載の超音波駆動装置。
8. 前記側壁部と前記対向面との接触面の面積が、前記側壁部と前記振動子との固定面よりも広い請求項７記載の超音波駆動装置。

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