JP2006208085A - 画像測定装置及び画像測定方法 - Google Patents
画像測定装置及び画像測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006208085A JP2006208085A JP2005018380A JP2005018380A JP2006208085A JP 2006208085 A JP2006208085 A JP 2006208085A JP 2005018380 A JP2005018380 A JP 2005018380A JP 2005018380 A JP2005018380 A JP 2005018380A JP 2006208085 A JP2006208085 A JP 2006208085A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- image data
- color
- measurement
- pixels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/10—Segmentation; Edge detection
- G06T7/12—Edge-based segmentation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/80—Camera processing pipelines; Components thereof
- H04N23/84—Camera processing pipelines; Components thereof for processing colour signals
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/10—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof for transforming different wavelengths into image signals
- H04N25/11—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics
- H04N25/13—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements
- H04N25/134—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements based on three different wavelength filter elements
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/10—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof for transforming different wavelengths into image signals
- H04N25/11—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics
- H04N25/13—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements
- H04N25/135—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements based on four or more different wavelength filter elements
- H04N25/136—Arrangement of colour filter arrays [CFA]; Filter mosaics characterised by the spectral characteristics of the filter elements based on four or more different wavelength filter elements using complementary colours
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10056—Microscopic image
Abstract
【課題】 撮像部が単板式カラーカメラでありながら高精度な測定が可能な画像測定装置を提供する。
【解決手段】 単板式カラーカメラ27のCCD41から出力された四つの画像データ(R),(G1),(G2),(B)は、パーソナルコンピュータ5に送られる。演算処理部89において、画像データ(R),(G1),(G2),(B)のそれぞれに基づいて、エッジの位置及びコントラスト値を演算し、コントラスト値を重み付けにしてエッジの位置の平均値を演算して、エッジの位置データとして出力する。
【選択図】 図7
【解決手段】 単板式カラーカメラ27のCCD41から出力された四つの画像データ(R),(G1),(G2),(B)は、パーソナルコンピュータ5に送られる。演算処理部89において、画像データ(R),(G1),(G2),(B)のそれぞれに基づいて、エッジの位置及びコントラスト値を演算し、コントラスト値を重み付けにしてエッジの位置の平均値を演算して、エッジの位置データとして出力する。
【選択図】 図7
Description
本発明は、例えば単板式カラーカメラを用いた画像測定装置及び画像測定方法に関する。
画像測定装置は、ワークを撮像して、画像上におけるワークのエッジの位置を検出し、これを基にしてワークの形状や寸法等を計測する精密測定機器である。撮像には、イメージセンサであるCCD(Charge Coupled Device)を組み込んだCCDカラーカメラが広く用いられている(例えば特許文献1)。
CCDは光の強弱を検知するセンサなので、CCDのみではモノクロ画像しか得られない。CCDによりカラー画像を得るには、CCDの各画素上にカラーフィルタを配置する。例えば、R(赤),G(緑),B(青)でカラー表現する場合、これら三色のカラーフィルタが必要となる。
カラー画像を得るためには、一画素に対してRGB全ての色情報(感度)が必要である。一画素上には一種類のカラーフィルタしか配置できない(つまり、一つの色しか割り当てることができない)ので、一画素からは一種類の色情報しか得られないことになる。この制限の下でカラー画像を得るために、3板式(3CCD方式)や単板式(1CCD方式)が開発された。
3板式は、同じ解像度の三つのCCDを用意し、光をRGB分光プリズムで分解して、R成分をR用のCCD、G成分をG用のCCD、B成分をB用のCCDで検知する。これに対して、単板式は、各画素上にR,G,Bのいずれかのカラーフィルタが配置された一つのCCDを用意し、各画素においてR,G,Bのうち得られない色情報については、隣の画素から得られた色情報を利用して、後処理で計算して、擬似的にカラー化する。
ところで、エッジが位置する箇所では、隣り合う画素間で極端な輝度差が生じる。このため、隣の画素から得られる色情報を利用してカラー表現をする単板式では、エッジが位置する箇所で異常な濃淡強度変化が生じることになり、エッジの画像がぼやけたり、千鳥模様化したりする。このような画像を基にエッジの位置を検出すると、測定誤差が大きくなり高精度測定を実現することができない。そこで、現状の画像測定装置には、高精度な画像が得られる3板式カラーカメラが利用される。
特開平10−145612号公報(段落0057、図4)
しかし、(1)3板式はCCDが三つ必要なので単板式よりも高価となり、これが画像測定装置のコストを上げる要因となる。(2)画像測定装置において、CCDカラーカメラは移動可能なユニットに収容されている。ユニットの位置決め精度を高めるためには、ユニットの駆動に要する力をできるだけ小さくする必要がある。3板式では三つのCCDを備えるので、CCDの受光サイズがB/W(白黒)カメラのCCDの受光サイズと同じにした場合、カメラサイズが大型化する。したがって、ユニットも大型化するので、その駆動に要する力が大きくなる。(3)CCDカラーカメラの製造工程の一つであるRGB分光プリズムの組み立ての際に、プリズムの合わせ面にはゴミが混入しやすい。画像測定装置の光学系は顕微鏡光学系なので、ビームが細い。したがって、ゴミが混入したRGB分光プリズムで分光された光を撮像するとワークと共にゴミの画像が映る場合がある。このため、プリズムの合わせ面にゴミが混入している3板式カラーカメラは、画像測定装置に用いることができない。よって、3板式カラーカメラは、単板式カラーカメラよりも歩留まりが悪く、これも画像測定装置のコストを上げる原因となる。
本発明は、撮像部が単板式でありながら高精度な測定が可能な画像測定装置及び画像測定方法を提供することを目的とする。
本発明に係る画像測定装置は、一つの画素に一つの色が割り当てられると共に四つの画素を一つのセットとしてこれにカラーを表現するための複数の色が割り当てられており、前記セットが行列状に配置された構成を有し、測定対象を撮像して四つの前記画素のそれぞれに基づく四つの画像データを出力する撮像部と、四つの前記画像データのそれぞれに基づいて、前記測定対象の位置及び前記測定対象を境界とした一方側と他方側とのコントラスト値を演算し、これらを基にして前記測定対象の位置データを生成して出力する演算処理部と、を備えたことを特徴とする。
本発明に係る画像測定装置によれば、擬似カラー化前の四つの画像データのそれぞれの場合について、測定対象の位置及びコントラスト値を演算する。したがって、この演算は、隣の画素との間に極端な輝度差があることにより生じる異常な濃淡強度変化の影響を受けない。そして、本発明によれば、これら測定対象の位置及びコントラスト値を基にして、測定対象の位置データを生成して出力する(例えば、コントラスト値を重み付けにして測定対象の位置の平均値を演算して、測定対象の位置データとして出力する。)。よって、本発明によれば、撮像部が単板式でありながら高精度な測定を実現することができる。
本発明に係る画像測定装置において、前記撮像部が組み込まれた単板式カラーカメラと、前記撮像部からの四つの前記画像データを用いて擬似カラー化の処理をする擬似カラー化処理部及び前記演算処理部が組み込まれたパーソナルコンピュータと、をさらに備えることができる。
これは、単板式カラーカメラで得られた四つの画像データが、このカメラ内部で擬似カラー化の演算をせずに出力され、パーソナルコンピュータで擬似カラー化の演算がされるタイプの画像測定装置である。これによれば、測定対象の位置データの演算処理をパーソナルコンピュータで実行するので、カメラ内部で擬似カラー化処理をしない方式の既存の単板式カラーカメラを利用できる。
本発明に係る画像測定装置において、四つの前記画素にそれぞれ割り当てられる色は互いに異なるようにすることができる。これによれば、四種類の色に基づく画像データが得られる。このため、たとえ一つの色の画像データに基づく測定対象の位置の誤差が大きくても、残りの三つの色の画像データに基づく測定対象の位置も平均値の演算に利用するので、誤差を小さくできる。
本発明に係る画像測定方法は、一つの画素に一つの色が割り当てられると共に四つの画素を一つのセットとしてこれにカラーを表現するための複数の色が割り当てられており、前記セットが行列状に配置された構成を有する撮像部により、測定対象を撮像して四つの前記画素のそれぞれに基づく四つの画像データを出力する工程と、四つの前記画像データのそれぞれに基づいて、前記測定対象の位置及び前記測定対象を境界とした一方側と他方側とのコントラスト値を演算する工程と、前記測定対象の位置及び前記コントラスト値を基にして、前記測定対象の位置データを生成して出力する工程と、を備えたことを特徴とする。
本発明に係る画像測定装置及び画像測定方法によれば、四つの画素に割り当てられた色に基づく四つの画像データのそれぞれについて、測定対象の位置及びコントラスト値を演算し、これらを基にして測定対象の位置データを生成して出力する。したがって、単板式の撮像部を用いた画像測定装置及び画像測定方法でありながらも、高精度な測定が可能となる。
図1は、本実施形態に係るマニュアル操作型の画像測定装置1の全体構成を示す斜視図である。装置1は、非接触画像計測型の測定機本体3と、必要な測定処理を実行するパーソナルコンピュータ5と、測定機本体3に対して必要な測定指令を与える指令入力部7と、測定機本体3に安定した電力を供給する電源ユニット9とにより構成されている。なお、電源ユニット9は測定機本体3に内蔵することもできる。
測定機本体3は、次のように構成されている。架台11上には、ワークWが載置されるステージ13が装着されており、このステージ13は、X軸つまみ15、Y軸つまみ17及び微動つまみ19に対する手動操作によってX軸方向及びY軸方向に移動可能にされている。なお、測定機本体3には図示しないX軸及びY軸駆動部が設けられている。これら駆動部はサーボ制御されており、測定プログラムの実行時にこれらの駆動部によりステージ13が自動移動される。架台11の後端部には上方に延びるフレーム21が固定されている。
フレーム21にカメラユニット23が支持されている。カメラユニット23は、Z軸つまみ25によってフレーム21に形成されたガイドレールに沿ってZ軸方向に移動可能にされている。カメラユニット23の内部には、ステージ13を上部から臨むように単板式カラーカメラ27が取り付けられている。カメラ27の画像ヘッド29が外部に露出している。カメラ27により、ステージ13に載置されたワークWが撮像される。画像ヘッド29のレンズの周囲には、ワークWに照明光を照射するためのリング状の斜め照明装置31が備えられている。
パーソナルコンピュータ5は、コンピュータ本体33、キーボード35、マウス37及びCRT39を備えて構成されている。
次に、測定機本体3の光学系について説明する。図2は、測定機本体3の光学系を示す図である。撮像部の一例であるCCD41が組み込まれた単板式カラーカメラ27は、ステージ13と対向して配置されている。単板式カラーカメラ27の光軸AX上に、撮像レンズ43、ハーフミラー45、対物レンズ47が配置されている。撮像レンズ43及びハーフミラー45は図1のカメラユニット23内にあり、対物レンズ47は画像ヘッド29に取り付けられている。
対物レンズ47の周囲には、斜め照明装置31が配置されている。この装置31は、ステージ13を直接に照明する。カメラユニット23内のハーフミラー45の側方には、コリメータレンズ49を介して落射照明装置51が配置されている。装置51は、ハーフミラー45を介してステージ13を照明する。
単板式カラーカメラ27の比較となる3板式カラーカメラについて簡単に説明する。図3は、3板式カラーカメラ53の内部構造を示す図である。カメラ53は、三つのCCD55と、これらの前方に配置された分光プリズム57と、を備える。撮像レンズ43を通過した光Lは、分光プリズム57でRGB成分に分けられて、対応するCCD55で受光される。3板式カラーカメラ53の製造工程の一つである分光プリズム57の組み立ての際に分光プリズム57の合わせ面59にゴミが混入しやすい。
図4は、本実施形態を実現できるハードウェア構成を示す図である。CPU61、プログラムメモリ63、ワークメモリ65、多値画像メモリ67、表示制御IC69及び照明制御IC71は、バス73に接続されている。表示制御IC69には、CRT39が接続されている。照明制御IC71には、斜め照明装置31や落射照明装置51が接続されている。
単板式カラーカメラ27は、インターフェース75を介してバス73に接続されている。単板式カラーカメラ27で撮像されたワークWの画像データは、CPU61で処理されて、多値画像メモリ67に格納される。多値画像メモリ67に格納された画像データは、表示制御IC69でワークWの画像に変換する処理が実行されてCRT39に表示される。CPU61は、ワークWの形状や寸法等の測定処理を実行する。ワークメモリ65は、CPU61の各種処理のための作業領域を提供する。
ステージ13に対する単板式カラーカメラ27のX,Y,Z軸方向位置をそれぞれ検出するためのX軸エンコーダ77、Y軸エンコーダ79及びZ軸エンコーダ81が設けられている。これらのエンコーダはインターフェース83を介してバス73に接続されている。これにより、エンコーダ77,79,81からの出力はCPU61に取り込まれる。CPU61は、取り込まれた各軸位置の情報等に基づいて、ワークの現在位置の演算などを実行する。
照明制御IC71は、CPU61で生成された指令値に基づいてアナログ量の指令電圧を生成し斜め照明装置31や落射照明装置51に印加する。入力装置(指令入力部7やキーボード35)は、インターフェース85を介してバス73に接続されている。
次に、図2に示す単板式カラーカメラ27に備えられるCCD41について説明する。図5はCCD41の平面図である。CCD41は撮像部の一例であり、m×nの行列状に配置された多数の画素(0,0),(1,0),・・・,(m,n)を備え、図5にはその一部が表れている。各画素上には、フィルタR、フィルタG1,G2、フィルタBのいずれかが配置されている。
フィルタRが配置された画素からはR成分の情報が検知され、フィルタG1,G2が配置された画素からはG成分の情報が検知され、フィルタBが配置された画素からはB成分の情報が検知される。G成分を検知する画素数を、R成分やB成分を検知する画素数の二倍にしたのは、人間の視神経が最も敏感なのは、G成分だからである。
フィルタの配列について詳細に説明すると、CCD41は、フィルタG1が配置された画素とフィルタRが配置された画素とが交互に位置する行と、フィルタBが配置された画素とフィルタG2が配置された画素とが交互に位置する行と、により構成され、これらの行が交互に設けられている。これは、いわゆるベイヤー(Bayer)配列であり、フィルタG1が配置された画素、フィルタRが配置された画素、フィルタBが配置された画素、フィルタG2が配置された画素を一つのセットSとすると、複数のセットSが行列状に配置されていることになる。
以上のように撮像部となるCCD41は、一つの画素に一つの色が割り当てられると共に四つの画素を一つのセットとしてこれにカラーを表現するための複数の色が割り当てられており、セットが行列状に配置された構成を有すると言うことができる。
各画素からは一つの色情報しか得られない。単板式では、足りない色情報を隣接する画素の色情報から補充して、擬似カラー化する。隣接する画素の範囲を隣接画素群Nとする。隣接画素群Nの規定の仕方は様々であり、本実施形態では、隣接画素群N0の要素が画素(0,0),(1,0),(0,1),(1,1)であり、隣接画素群N1の要素が画素(1,0),(2,0),(1,1),(2,1)であり、隣接画素群N2の要素が画素(0,1),(1,1),(0,2),(1,2)であり、隣接画素群N3の要素が画素(1,1),(2,1),(1,2),(2,2)であり、隣接画素群N4の要素が・・・であり、・・・、隣接画素群NXの要素が・・・と規定する。
擬似カラー化された色情報を含む画像データは、図4に示す多値画像メモリ67に格納される。具体的には、図6に示す多値画像メモリ67のメモリ領域Mに格納される。例えば、図5に示す画素(0,0)の擬似カラーの色情報は隣接画素群N0の色情報から演算され、画素(1,0)の擬似カラーの色情報は隣接画素群N1の色情報から演算され、画素(0,1)の擬似カラーの色情報は隣接画素群N2の色情報から演算され、画素(1,1)の擬似カラーの色情報は隣接画素群N3の色情報から演算される。このようにして演算された各画素(0,0),(1,0),・・・,(m,n)の擬似カラーの色情報は、図6に示すように、各画素と対応するアドレスに格納される。
次に、本実施形態に係る画像測定装置1を用いて、測定対象の位置データを得る動作について、ワークWのエッジ検出を例にして説明する。エッジ検出の場合、測定対象はエッジを意味し、測定対象の位置データはエッジの位置データを意味する。図7は、この動作を説明する本実施形態に係る画像測定装置1の機能ブロック図である。
単板式カラーカメラ27のCCD41には、点線で示すワークWのエッジの一部を含む像が投影されている。この状態のCCD41の平面図が図8である。図8は図5と対応しており、斜線のある画素が暗部、斜線のない画素が明部をそれぞれ示している。CCD41により、ワークWのエッジの一部の像を撮像することにより、フィルタR,G1,G2,B下の画素から、それぞれ画像データ(R),(G1),(G2),(B)が得られる。これら四つの画像データを図9〜図12に示す。CCD41から出力されたこれら四つの画像データは、単板式カラーカメラ27内で擬似カラー化処理されることなく、パーソナルコンピュータ5に送られる。
画像データ(R),(G1),(G2),(B)は、フレームグラバ等のパーソナルコンピュータ5の画像処理アプリケーションにより取り込まれて、パーソナルコンピュータ5の擬似カラー化処理部87及び位置データを出力する演算処理部89に送られる。これらの処理部の機能は、図4のCPU61や多値画像メモリ67等により実現される。
演算処理部89の位置・コントラスト値演算部91において、画像データ(R),(G1),(G2),(B)のそれぞれについて、エッジの位置及びエッジを境界とした一方側と他方側とのコントラスト値の演算が実行される。図13〜図16は、画像データ(R),(G1),(G2),(B)に基づいて検出されたエッジの位置PR,PG1,PG2,PBを示している。
エッジの位置及びコントラスト値を求める方法の一例を図14に示す画像データ(G1)の場合で説明する。画像上のエッジ検出ツールTは、y軸に沿って移動する。図14ではエッジ検出ツールTの位置がy=6とy=7との間である。この場合における画像データ(G1)に基づく画像の濃淡グラフが図17(a)である。横軸が画像データのx方向であり、縦軸が濃度の大きさである。図17(b)は、図17(a)の濃淡グラフを微分した微分グラフである。微分グラフ(微分値を自乗した値のグラフでもよい)とx軸とで規定される領域の重心gがエッジの位置PG1とされる。このようにして、エッジの位置を演算すると、サブピクセルの値でエッジの位置を求めることができる。エッジを境界とした一方側と他方側とのコントラスト値をWG1する。
四つの画像データのそれぞれについてエッジの位置及びコントラスト値を求めるので、エッジの位置及びコントラスト値の組が四つできる。これら四つの位置・コントラスト値(R),(G1),(G2),(B)は、演算処理部89の平均値演算部93に送られる。平均値演算部93では、次の式を用いてエッジの位置の平均値Pを演算する。これがエッジの位置データとして出力される。
P:エッジの位置の平均値
PR:画像データ(R)に基づくエッジの位置
PG1:画像データ(G1)に基づくエッジの位置
PG2:画像データ(G2)に基づくエッジの位置
PB:画像データ(B)に基づくエッジの位置
WR:画像データ(R)に基づくコントラスト値
WG1:画像データ(G1)に基づくコントラスト値
WG2:画像データ(G2)に基づくコントラスト値
WB:画像データ(B)に基づくコントラスト値
図18は、エッジの位置P及び画像データ(R),(G1),(G2),(B)のそれぞれに基づくエッジの位置PR,PG1,PG2,PBを示すグラフである。このようにして求められたエッジの位置Pのデータを基にして、ワークWの形状、寸法等が測定される。一方、擬似カラー化処理部87へ送られた画像データ(R),(G1),(G2),(B)は、ここで擬似カラー化された後、CRT39に表示される。
PR:画像データ(R)に基づくエッジの位置
PG1:画像データ(G1)に基づくエッジの位置
PG2:画像データ(G2)に基づくエッジの位置
PB:画像データ(B)に基づくエッジの位置
WR:画像データ(R)に基づくコントラスト値
WG1:画像データ(G1)に基づくコントラスト値
WG2:画像データ(G2)に基づくコントラスト値
WB:画像データ(B)に基づくコントラスト値
図18は、エッジの位置P及び画像データ(R),(G1),(G2),(B)のそれぞれに基づくエッジの位置PR,PG1,PG2,PBを示すグラフである。このようにして求められたエッジの位置Pのデータを基にして、ワークWの形状、寸法等が測定される。一方、擬似カラー化処理部87へ送られた画像データ(R),(G1),(G2),(B)は、ここで擬似カラー化された後、CRT39に表示される。
次に、比較形態に係る画像測定装置の動作を説明し、その後、本実施形態の主な効果について、比較形態と比較して説明する。図19は、比較形態に係る画像測定装置の機能ブロック図であり、図7と対応する。CCD41からの画像データ(R),(G1),(G2),(B)は、パーソナルコンピュータ5の擬似カラー化処理部87に送られて、擬似カラー化される。
擬似カラー化されたデータは、CRT39に送られて表示されると共にグレースケール処理部95で白黒灰のデータに変換される。画像の明から暗(又は暗から明)の変化している位置、つまり灰色の位置にエッジが存在する。位置演算部97において、灰色の明度を所定のしきい値で区切ることにより、図20に示すように、エッジの位置Qが特定される。
図21は、実際のエッジの位置R、本実施形態で測定されたエッジの位置P、比較形態で測定されたエッジの位置Qを示している。本実施形態によれば比較形態に比べて、より正確にエッジの位置を求めることができる。この理由を説明する。
比較形態では、擬似カラー化後の画像データに基づいてエッジの位置を演算し、これをエッジの位置データとしている。背景技術の欄でも説明したように、単板式では、隣の画素から得られる色情報を利用してカラー表現する。したがって、隣り合う画素間で極端な輝度差が生じるエッジの箇所では、異常な濃淡強度変化が生じる結果、エッジの画像にぼやけ等が生じる。このような画像を基にしてエッジの位置を演算することになるので、測定誤差が大きくなる。
これに対して、本実施形態では、擬似カラー化前の四つの画像データのそれぞれの場合について、エッジの位置及びコントラスト値を演算する。したがって、この演算は、隣の画素との間に極端な輝度差があることによる生じる異常な濃淡強度変化の影響を受けない。そして、本実施形態では、各画像データに基づく四つのコントラスト値を重み付けにしてエッジの位置の平均値を演算する。
平均値の演算にコントラスト値を重み付けにするのは、次の理由からである。コントラスト値が小さい画像データに基づくエッジの位置はノイズと区別しにくく、これに対してコントラスト値が大きい画像データに基づくエッジの位置はノイズと区別しやすい。そこで、コントラスト値が大きい画像データに基づくエッジの位置に重みをおいて、エッジの位置の平均値を演算するのである。
そして、本実施形態によれば、上記平均値をエッジの位置データとして出力するので、エッジの位置をサブピクセル値で特定することができる。以上のように、本実施形態によれば、撮像部が単板式カラーカメラ27でありながらも高精度な測定を実現することができる。特に、メガピクセルの単板式カラーカメラを用いれば、より高解像度の画像が得られるため、エッジの検出精度をさらに向上させることができる。
また、本実施形態によれば、単板式カラーカメラ27を用いるので、3板式カラーカメラを用いる場合に比べて、(1)画像測定装置1のコストを下げることができると共に(2)カメラ27を小型化できることによりカメラユニット23の位置決め精度が向上する。
さらに、本実施形態によれば、単板式カラーカメラ27で得られた四つの画像データ(R),(G1),(G2),(B)が、このカメラ27内部で擬似カラー化の演算をせずに出力され、パーソナルコンピュータ5で擬似カラー化の演算がされる。そして、エッジの位置データの演算処理をパーソナルコンピュータ5で実行している。よって、カメラ27内部で擬似カラー化処理をしない方式の既存の単板式カラーカメラを利用できる。
なお、四つの画素上にそれぞれ配置するカラーフィルタは、C(シアン),M(マゼンダ),Y1(黄),Y2(黄)の組合せでもよいし、R(赤),G(緑),B(青),C(シアン)の組合せでもよい。特に、RGBCのフィルタの場合、四つの画素にそれぞれ割り当てられる色は互いに異なるので、次の効果が生じる。R,G1,G2,Bのフィルタを用いる場合、緑(つまりG1,G2)の画像データが50パーセントの割合を占めることになる。よって、緑の画像データに基づいて演算したエッジの位置の誤差が大きい場合、エッジの位置の平均値の誤差も大きくなる。
これに対して、RGBCのフィルタによれば、四種類の色に基づく画像データが得られる。このため、たとえ一つの色の画像データに基づくエッジの位置の誤差が大きくても、残りの三つの色の画像データに基づくエッジの位置も平均値の演算に利用するので、誤差を小さくできる。
なお、本実施形態では、エッジ検出を例に説明したが、画像上でテンプレートに合う位置を検出するパターンマッチングについてもパターンの位置データが必要なので、この位置データを得るのに本発明を適用できる。具体的には、画像データ(R),(G1),(G2),(B)のそれぞれに基づいてパターンの位置及びコントラスト値を求めて、コントラスト値を重み付けにして、パターンの位置の平均値を演算するのである。擬似カラー化後の画像データではパターンのエッジにぼやけ等が生じるので、サブピクセルレベルではマッチングの位置がずれるが、本発明によれば、上記平均値をパターンの位置とするので、測定精度の向上が図れる。
1・・・画像測定装置、3・・・測定機本体、5・・・パーソナルコンピュータ、7・・・指令入力部、9・・・電源ユニット、11・・・架台、13・・・ステージ、15・・・X軸つまみ、17・・・Y軸つまみ、19・・・微動つまみ、21・・・フレーム、23・・・カメラユニット、25・・・Z軸つまみ、27・・・単板式カラーカメラ、29・・・画像ヘッド、31・・・斜め照明装置、33・・・コンピュータ本体、35・・・キーボード、37・・・マウス、39・・・CRT、41・・・CCD、43・・・撮像レンズ、45・・・ハーフカメラ、47・・・対物レンズ、49・・・コリメータレンズ、51・・・落射照明装置、53・・・3板式カラーカメラ、55・・・CCD、57・・・分光プリズム、59・・・合わせ面、61・・・CPU、63・・・プログラムメモリ、65・・・ワークメモリ、67・・・多値画像メモリ、69・・・表示制御IC、71・・・照明制御IC、73・・・バス、75・・・インターフェース、77・・・X軸エンコーダ、79・・・Y軸エンコーダ、81・・・Z軸エンコーダ、83,85・・・インターフェース、87・・・擬似カラー化処理部、89・・・演算処理部、91・・・位置・コントラスト値演算部、93・・・平均値演算部、95・・・グレースケール処理部、97・・・位置演算部、W・・・ワーク、AX・・・光軸、L・・・光、S・・・セット、N,N0,N1,N2,N3・・・隣接画素群、M・・・メモリ領域、P,PR,PG1,PG2,PB,Q,R・・・エッジの位置、T・・・エッジ検出ツール、g・・・重心
Claims (6)
- 一つの画素に一つの色が割り当てられると共に四つの画素を一つのセットとしてこれにカラーを表現するための複数の色が割り当てられており、前記セットが行列状に配置された構成を有し、測定対象を撮像して四つの前記画素のそれぞれに基づく四つの画像データを出力する撮像部と、
四つの前記画像データのそれぞれに基づいて、前記測定対象の位置及び前記測定対象を境界とした一方側と他方側とのコントラスト値を演算し、これらを基にして前記測定対象の位置データを生成して出力する演算処理部と、を備えた
ことを特徴とする画像測定装置。 - 前記撮像部が組み込まれた単板式カラーカメラと、
前記撮像部からの四つの前記画像データを用いて擬似カラー化の処理をする擬似カラー化処理部及び前記演算処理部が組み込まれたパーソナルコンピュータと、をさらに備えた
ことを特徴とする請求項1に記載の画像測定装置。 - 四つの前記画素にそれぞれ割り当てられる色は互いに異なる
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の画像測定装置。 - 前記測定対象の位置データは、前記コントラスト値を重み付けにした前記測定対象の位置の平均値である
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の画像測定装置。 - 一つの画素に一つの色が割り当てられると共に四つの画素を一つのセットとしてこれにカラーを表現するための複数の色が割り当てられており、前記セットが行列状に配置された構成を有する撮像部により、測定対象を撮像して四つの前記画素のそれぞれに基づく四つの画像データを出力する工程と、
四つの前記画像データのそれぞれに基づいて、前記測定対象の位置及び前記測定対象を境界とした一方側と他方側とのコントラスト値を演算する工程と、
前記測定対象の位置及び前記コントラスト値を基にして、前記測定対象の位置データを生成して出力する工程と、を備えた
ことを特徴とする画像測定方法。 - 前記測定対象の位置データは、前記コントラスト値を重み付けにした前記測定対象の位置の平均値である
ことを特徴とする請求項5に記載の画像測定方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005018380A JP2006208085A (ja) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | 画像測定装置及び画像測定方法 |
US11/335,507 US7613359B2 (en) | 2005-01-26 | 2006-01-20 | Single-chip color camera for high accuracy image measurements |
EP06001560A EP1686535B1 (en) | 2005-01-26 | 2006-01-25 | Image measuring apparatus and image measuring method |
CNB2006100061782A CN100533054C (zh) | 2005-01-26 | 2006-01-25 | 图像测量装置和图像测量方法 |
DE602006003104T DE602006003104D1 (de) | 2005-01-26 | 2006-01-25 | Bildmessvorrichtung und Bildmessverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005018380A JP2006208085A (ja) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | 画像測定装置及び画像測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006208085A true JP2006208085A (ja) | 2006-08-10 |
Family
ID=36143722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005018380A Pending JP2006208085A (ja) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | 画像測定装置及び画像測定方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7613359B2 (ja) |
EP (1) | EP1686535B1 (ja) |
JP (1) | JP2006208085A (ja) |
CN (1) | CN100533054C (ja) |
DE (1) | DE602006003104D1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009229158A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Laser Solutions Co Ltd | 撮像装置 |
JP2013228404A (ja) * | 2013-06-28 | 2013-11-07 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 撮像装置 |
CN104296664A (zh) * | 2014-09-17 | 2015-01-21 | 宁波高新区晓圆科技有限公司 | 一种在几何尺寸视觉检测中提高检测精度的方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101122457B (zh) * | 2006-08-09 | 2010-09-29 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 影像边界扫描系统及方法 |
CN106979759A (zh) * | 2017-04-16 | 2017-07-25 | 合肥芯碁微电子装备有限公司 | 一种网版制版丝网角度的测量装置及其测量方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000259829A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-22 | Sokkia Co Ltd | 画像認識方法 |
JP2002503894A (ja) * | 1997-12-08 | 2002-02-05 | インテル・コーポレーション | 新しいエッジ検出に基づくノイズ除去アルゴリズム |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2856229B2 (ja) | 1991-09-18 | 1999-02-10 | 財団法人ニューメディア開発協会 | 画像切り出し箇所検出方法 |
JP3752031B2 (ja) | 1996-11-06 | 2006-03-08 | 株式会社ミツトヨ | カラー画像の単色変換装置及び画像処理装置 |
JP2000205843A (ja) | 1999-01-18 | 2000-07-28 | Mitsutoyo Corp | 画像測定装置 |
US6978050B2 (en) * | 2001-07-18 | 2005-12-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Electronic image color plane reconstruction |
US7057654B2 (en) * | 2002-02-26 | 2006-06-06 | Eastman Kodak Company | Four color image sensing apparatus |
US7274393B2 (en) * | 2003-02-28 | 2007-09-25 | Intel Corporation | Four-color mosaic pattern for depth and image capture |
-
2005
- 2005-01-26 JP JP2005018380A patent/JP2006208085A/ja active Pending
-
2006
- 2006-01-20 US US11/335,507 patent/US7613359B2/en active Active
- 2006-01-25 EP EP06001560A patent/EP1686535B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-01-25 CN CNB2006100061782A patent/CN100533054C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-01-25 DE DE602006003104T patent/DE602006003104D1/de active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002503894A (ja) * | 1997-12-08 | 2002-02-05 | インテル・コーポレーション | 新しいエッジ検出に基づくノイズ除去アルゴリズム |
JP2000259829A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-22 | Sokkia Co Ltd | 画像認識方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009229158A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Laser Solutions Co Ltd | 撮像装置 |
JP2013228404A (ja) * | 2013-06-28 | 2013-11-07 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 撮像装置 |
CN104296664A (zh) * | 2014-09-17 | 2015-01-21 | 宁波高新区晓圆科技有限公司 | 一种在几何尺寸视觉检测中提高检测精度的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1686535B1 (en) | 2008-10-15 |
DE602006003104D1 (de) | 2008-11-27 |
CN100533054C (zh) | 2009-08-26 |
CN1818543A (zh) | 2006-08-16 |
US20070036465A1 (en) | 2007-02-15 |
EP1686535A1 (en) | 2006-08-02 |
US7613359B2 (en) | 2009-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5082776B2 (ja) | 画像処理装置 | |
EP3915511A1 (en) | Motion blur compensation | |
JP5997989B2 (ja) | 画像測定装置、その制御方法及び画像測定装置用のプログラム | |
US20120288157A1 (en) | Image processing apparatus, image processing method, and image processing program | |
JP4769764B2 (ja) | ポイントをシステムに入力する入力方法、設定方法、校正方法 | |
JP2011508248A (ja) | 携帯型プロジェクタの背景色修正方法 | |
JP2006208085A (ja) | 画像測定装置及び画像測定方法 | |
CN107155094B (zh) | 采用多个摄像机的图像检验方法 | |
JP2013068617A (ja) | マシンビジョン検査システムおよびその位置測定結果の決定方法 | |
US20190392607A1 (en) | Image processing apparatus, system, image processing method, article manufacturing method, and non-transitory computer-readable storage medium | |
JP2014035261A (ja) | 情報処理方法、情報処理装置、プログラム、撮像装置、検査方法、検査装置、及び基板の製造方法 | |
JP2012237613A (ja) | 形状計測装置及び形状計測方法 | |
JP2006245891A (ja) | カメラモジュールの画像検査用チャート、この画像検査用チャートを用いたカメラモジュールの画像検査方法および画像検査装置 | |
JP4885471B2 (ja) | プリフォームロッドの屈折率分布測定方法 | |
JP5055588B2 (ja) | 画像処理装置および画像処理方法 | |
KR100508994B1 (ko) | 광학현미경의 분해능 이하의 측정이 가능한미소치수측정방법 및 장치 | |
JP4062100B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP5168049B2 (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
JP5604967B2 (ja) | 欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
JP2017173259A (ja) | 計測装置、システム及び物品の製造方法 | |
Hijazi et al. | On the use of bayer sensor color cameras in digital image correlation | |
JP7074400B2 (ja) | 光学測定装置 | |
JP2012132833A (ja) | 像面測定装置、及び像面測定方法 | |
CN114322839B (zh) | 光斑轮廓的检测方法 | |
JP6136364B2 (ja) | デフォーカス量検出装置およびカメラ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100329 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100406 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100914 |