JP2006206966A - スパッタリングターゲット材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
(1)脆性相が存在する2元系合金において、脆性相が存在する2元系合金での純金属と合金粉末を混合するに当たり、2元系状態図より脆性相(金属間化合物)が生成しない領域を選択して純金属と固溶体の粉末を混合した後熱間加圧成形し、脆性相のない合金を製造することを特徴とするスパッタリングターゲット材の製造方法。
図1は、本発明に係るA−E金属状態図である。この図に示すように、A−E金属状態図において脆性相がC固溶体とD固溶体間にある場合を示した金属状態図である。本発明の第1は、この図1に示すような脆性相が存在するA−E2元系状態図において、純金属Aと固溶体Cの粉末を混合して、熱間加圧成形し、B組成の合金を製造することを特徴とするスパッタリングターゲット材の製造方法にある。
表1に示す原料粉末をガスアトマイズ粉末法により製造し、それぞれの原料粉末をV型混合機を用いて各組成に30分間の混合を行なった後、熱間加圧成形によるHIPおよびHPにより、成形圧:100MPa、成形温度:1473Kの条件で成形し、その後徐冷して、成形体サイズ:直径180mm×高さ10mmのものを得た。その成形体の特性調査として、外観:割れ発生の有無(カラーチェックにより確認し、10枚中1枚以上割れがあれば、割れありとして評価)を評価した。また、X線回折:構成相の同定(測定角度20〜80°、ターゲットCukα)により脆性相の有無を確認した。さらに、成分分析のバラツキ:EPMAにより線分析(測定幅1mm)を行い、平均値を0とした時の平均高さを組成バラツキとして算出した。その結果を表1に示す。
2 ターゲット材
3 入射イオン
4 スパッタ粒子
5 マイナスイオン
6 γ電子
7 スパッタ粒子の逆戻り
8 入射イオンの反射
9 反跳粒子
特許出願人 山陽特殊製鋼株式会社
代理人 弁理士 椎 名 彊
Claims (2)
- 脆性相が存在する2元系合金において、脆性相が存在する2元系合金での純金属と合金粉末を混合するに当たり、2元系状態図より脆性相(金属間化合物)が生成しない領域を選択して純金属と固溶体の粉末を混合した後熱間加圧成形し、脆性相のない合金を製造することを特徴とするスパッタリングターゲット材の製造方法。
- 脆性相が存在する2元系合金において、脆性相が存在する2元系合金での2種の合金粉末を混合するに当たり、2元系状態図より脆性相(金属間化合物)が生成しない領域での最大融点を持つ固溶体を形成する場合は、該最大融点を持つ固溶体を挟んで二つの固溶体粉末を混合した後、熱間加圧成形し合金化することを特徴とするスパッタリングターゲット材の製造方法。
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