JP2006198457A - 面形状形成方法及び装置、磁気ヘッドの浮上面形成方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 構造体1の所定の面に対して所定形状のレジストを形成するレジスト形成手段2と、レジストが形成された構造体1の所定の面に対してエッチング処理を行うエッチング手段と、を備えた面形状形成装置であって、レジスト形成手段2は、構造体1の所定の面にレジスト材料Aを吐出することにより所定形状のレジスト形成を行うレジスト吐出手段2を備えた。
【選択図】図1
Description
構造体の所定の面に対して所定形状のレジストを形成するレジスト形成工程と、レジストが形成された構造体の所定の面に対してエッチング処理を行うエッチング工程と、を備えた面形状形成方法であって、
レジスト形成工程は、構造体の所定の面にレジスト材料を吐出することにより所定形状のレジスト形成を行う、
ことを特徴としている。
このレジスト除去工程の後に、レジスト形成工程とエッチング工程とを繰り返し行う、
ことを特徴としている。
構造体の所定の面に対して所定形状のレジストを形成するレジスト形成手段と、レジストが形成された構造体に対してエッチング処理を行うエッチング手段と、を備えた面形状形成装置であって、
レジスト形成手段は、構造体の所定の面にレジスト材料を吐出することにより所定形状のレジスト形成を行うレジスト吐出手段を備えた、
ことを特徴としている。
この制御手段が、構造体の所定の面に対して形成するレジストの形状を表すレジスト形状データを記憶すると共に、この記憶されたレジスト形状データに基づいてレジスト吐出手段やレーザ照射手段の動作を制御してレジスト形成を行う、
ことを特徴としている。
本発明である磁気ヘッドの浮上面形成装置(面形状形成装置)は、図1に示すように、磁気ヘッド構造体1に対して所定形状のレジストを形成すべくレジスト材料Aを吐出するインクジェット装置2(レジスト吐出手段(レジスト形成手段))と、このインクジェット装置3を駆動して位置決めを行うインクジェット駆動装置3と、レジスト形成された磁気ヘッド構造体1に対してエッチング処理を行うエッチング装置(図示せず)と、を備えている。また、レジスト形成時に、磁気ヘッド構造体1を載置し、載置面に沿って駆動して磁気ヘッド構造体1の位置を設定するテーブル5(可動テーブル)と、このテーブル5を駆動するテーブル駆動装置6と、インクジェット装置2のレジスト吐出動作などを制御するコントローラ4(制御手段)と、を備えている。さらに、図示しないが、磁気ヘッド構造体1に形成され既に不要となったレジストを全て取り除くレジスト除去装置(レジスト除去手段)を備えている。以下、各構成について詳述する。
磁気ヘッド構造体1は、後に磁気ヘッドに形成される構造体であって、図3(a)に示すように、所定の厚みを有する長方形状にて形成されており、その一端部には、データ再生を行う磁気抵抗効果素子Mを有する磁気ヘッド素子部1Aが形成されている。なお、他端部側を磁気ヘッドスライダ部1B(本体部)と呼ぶ。そして、上記磁気抵抗効果素子Mが露出している磁気ヘッド構造体1の一方の面には、後述するように、レジスト形成後にエッチング処理が行われ、かつ、かかる処理が繰り返されることにより、磁気ディスクに対して低浮上動作を実現する所定形状の凹凸部(段差)を有する浮上面(ABS面)が形成される。従って、この磁気抵抗効果素子Mが露出している面(符号11で示す面)を上方に向けてテーブル5に載置され、後述する各工程が実行される。
テーブル5は、上記磁気ヘッド構造体1を固定して載置する。そして、このテーブル5は、テーブル駆動装置6にて支持されており、載置面(X−Y平面上)に沿って可動する。従って、インクジェット装置2に対する磁気ヘッド構造体1のX−Y平面上の位置を移動させることができる。
インクジェット装置2は、インクジェット方式にてレジスト材料Aを吐出する装置であって、インクジェット駆動装置3に支持されており、コントローラ4からの制御指令に応じてレジスト材料Aの吐出を行う。このとき、後述するように、コントローラ4にて予め定められたレジスト形状データに基づいて制御されるため、かかる形状にレジスト描画を行う位置に移動制御されると共に、レジスト材料Aの吐出が制御される。
コントローラ4は、CPUなどの演算装置41と、書き換え可能であり記憶されたデータを保持可能なROMなどの記憶装置45とを備えている。そして、記憶装置45には、磁気ヘッド構造体1に上記インクジェット装置2にて描画するレジスト形状データを記憶するレジスト形状データ記憶部46が形成されている。このレジスト形状データは、予めオペレータによって登録されており、磁気ヘッド構造体1の浮上面に対して行うエッチング処理の各段階毎(各サイクル毎)に異なる形状のデータが含まれる。例えば、図3,4に示す形状の浮上面を形成する場合には、後述するように各エッチング処理の前に、それぞれ図3(b)と図4(a)とに示す形状(網掛け形状)を描画するため、かかる2パターンのレジスト形状データが記憶されている。
次に、図示しないエッチング装置について説明する。このエッチング装置は、上述したようにインクジェット装置2にてレジスト描画を行った磁気ヘッド構造体1に対して、当該レジスト描画されていない部分のエッチングを行う装置である。例えば、エッチング装置は、イオンビームを磁気ヘッド構造体1に照射して、イオンビームエッチングといったドライエッチングを行う。但し、エッチング装置は、他のいかなる方法にてエッチングを行ってもよい。
次に、上述した磁気ヘッドの浮上面形成装置を用いて行う浮上面形成方法(面形状形成方法)の動作を、図3乃至図5を参照して説明する。図3乃至図4は、磁気ヘッド構造体1の浮上面に凹凸部を有する浮上面形状を形成する工程ごとの浮上面の様子を示す。なお、各図においては、各段階における磁気ヘッド構造体1の浮上面の平面図を上部に示し、その中央断面図を下部に示している。また、図5は、そのときの磁気ヘッドの浮上面形成装置の動作を示すフローチャートである。
本実施例における磁気ヘッドの浮上面形成装置は、上記実施例1にて説明した構成に加え、さらに、磁気ヘッド構造体1に形成されたレジストに対してレーザビームを照射するレーザ照射装置7,8(レーザ照射手段)を備えている。これに伴い、上記コントローラ4の演算装置41には、レーザ照射装置7,8の動作を制御するレーザ照射制御処理部(図示せず)が構築されている。
次に、上述した実施例2における磁気ヘッドの浮上面形成装置を用いて行う浮上面形成方法(面形状形成方法)の動作を、図7乃至図9を参照して説明する。図7乃至図8は、磁気ヘッド構造体1の浮上面に凹凸部を有する浮上面形状を形成する各工程ごとの浮上面の様子を示す。なお、各図においては、各段階における磁気ヘッド構造体1の浮上面の平面図を上部に示し、その中央断面図を下部に示している。また、図9は、そのときの磁気ヘッドの浮上面形成装置の動作を示すフローチャートである。
2 インクジェット装置(レジスト吐出手段、レジスト形成手段)
3 インクジェット駆動装置
4 コントローラ(制御手段)
5 テーブル(可動テーブル)
6 テーブル駆動装置
7 レーザトーチ(レーザ照射手段)
8 レーザ駆動装置
42 インクジェット制御処理部
43 テーブル制御処理部
46 レジスト形状データ記憶部
1A 磁気ヘッド素子部
1B 磁気ヘッドスライダ部(本体部)
A レジスト材料
M 磁気抵抗効果素子
A1,A2 レジスト
Claims (20)
- 構造体の所定の面に対して所定形状のレジストを形成するレジスト形成工程と、当該レジストが形成された前記構造体の所定の面に対してエッチング処理を行うエッチング工程と、を備えた面形状形成方法であって、
前記レジスト形成工程は、前記構造体の所定の面にレジスト材料を吐出することにより前記所定形状のレジスト形成を行う、
ことを特徴とする面形状形成方法。 - 前記レジスト形成工程は、インクジェット方式又はバブルジェット方式にて前記レジスト材料を吐出する、ことを特徴とする請求項1記載の面形状形成方法。
- 前記レジスト形成工程は、2pl(ピコリットル)以下の吐出量にて前記レジスト材料の吐出を行う、ことを特徴とする請求項1又は2記載の面形状形成方法。
- 前記レジスト形成工程は、0.5pl(ピコリットル)以下の吐出量にて前記レジスト材料の吐出を行う、ことを特徴とする請求項3記載の面形状形成方法。
- 前記エッチング工程の後に、前記形成されたレジストを全て取り除くレジスト除去工程を備えると共に、
このレジスト除去工程の後に、前記レジスト形成工程と前記エッチング工程とを繰り返し行う、
ことを特徴とする請求項1,2,3又は4記載の面形状形成方法。 - 前記エッチング工程の後に、既に行われた他の前記レジスト形成工程にて前記構造体に形成されたレジスト材料に対してレーザビームを照射して当該レジスト材料の一部を除去し、新たな所定形状のレジスト形成を行うレーザ照射工程を備え、
このレーザ照射工程の後に、さらに前記エッチング工程を備えた、
ことを特徴とする請求項5記載の面形状形成方法。 - 前記レーザ照射工程は、前記レーザビームにて前記レジスト材料を熱分解して除去する、ことを特徴とする請求項6記載の面形状形成方法。
- 前記レーザ照射工程は、前記レーザビームにて前記レジスト材料を昇華させて除去する、ことを特徴とする請求項7記載の面形状形成方法。
- 前記構造体は磁気ヘッドであり、
前記請求項1乃至8のいずれかに記載の面形状形成方法を用いて前記磁気ヘッドの浮上面を形成する、
ことを特徴とする磁気ヘッドの浮上面形成方法。 - 構造体の所定の面に対して所定形状のレジストを形成するレジスト形成手段と、前記レジストが形成された前記構造体の所定の面に対してエッチング処理を行うエッチング手段と、を備えた面形状形成装置であって、
前記レジスト形成手段は、前記構造体の所定の面にレジスト材料を吐出することにより前記所定形状のレジスト形成を行うレジスト吐出手段を備えた、
ことを特徴とする面形状形成装置。 - 前記レジスト吐出手段は、インクジェット方式又はバブルジェット方式にて前記レジスト材料の吐出を行う、ことを特徴とする請求項10記載の面形状形成装置。
- 前記構造体の所定の面に形成されたレジストを全て取り除くレジスト除去手段を備えた、ことを特徴とする請求項10又は11記載の面形状形成装置。
- 前記レジスト吐出手段の動作を制御する制御手段を備え、
この制御手段が、前記構造体の所定の面に対して形成するレジストの形状を表すレジスト形状データを記憶すると共に、この記憶された前記レジスト形状データに基づいて前記レジスト形成を行う、
ことを特徴とする請求項10,11又は12記載の面形状形成装置。 - 前記構造体に形成されたレジスト材料に対してレーザビームを照射して当該レジスト材料の一部を除去し、新たな所定形状のレジスト形成を行うレーザ照射手段を備えた、ことを特徴とする請求項10,11,12又は13記載の面形状形成装置。
- 前記レーザ照射手段の動作を制御する制御手段を備え、
この制御手段が、前記構造体の所定の面に対して形成するレジストの形状を表すレジスト形状データを記憶すると共に、この記憶された前記レジスト形状データに基づいて前記レーザ照射手段の動作を制御して前記レジスト形成を行う、
ことを特徴とする請求項14記載の面形状形成装置。 - 前記構造体を載置すると共に、前記レジスト吐出手段によるレジスト形成時に前記構造体の位置を設定するよう載置面に沿って移動する可動テーブルを備えた、ことを特徴とする請求項10,11,12,13,14又は15記載の面形状形成装置。
- 前記レジスト吐出手段は、前記可動テーブルの移動動作に対応して移動し、前記レジスト材料の吐出を行う、ことを特徴とする請求項16記載の面形状形成装置。
- 前記可動テーブルは、前記請求項14乃至15記載の面形状形成装置に備えられた前記レーザ照射手段によるレジスト形成時に前記構造体の位置を設定するよう載置面に沿って移動する、ことを特徴とする請求項16又は17記載の面形状形成装置。
- 前記レーザ照射手段は、前記可動テーブルの移動動作に対応して移動し、前記レーザビームの照射を行う、ことを特徴とする請求項18記載の面形状形成装置。
- 前記構造体は磁気ヘッドであり、
前記請求項10乃至19記載の面形状形成装置を用いて前記磁気ヘッドの浮上面を形成する、
ことを特徴とする磁気ヘッドの浮上面形成装置。
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