JP2006192796A - サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドおよび印画装置 - Google Patents
サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドおよび印画装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006192796A JP2006192796A JP2005008255A JP2005008255A JP2006192796A JP 2006192796 A JP2006192796 A JP 2006192796A JP 2005008255 A JP2005008255 A JP 2005008255A JP 2005008255 A JP2005008255 A JP 2005008255A JP 2006192796 A JP2006192796 A JP 2006192796A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating element
- thermal head
- power
- deposition
- film forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
【解決手段】TaSiCを含む発熱体を基板に成膜してサーマルヘッドを製造する際に、発熱体の成膜圧力を0.4〜1.5Paとするとともに、発熱体の成膜電力を500〜2000Wとする。さらに、基板の温度を180〜250℃とする。これにより、発熱体の特性が十分に引き出される。さらに、発熱体の成膜圧力および成膜電力の規定によって発熱体の内部応力が緩和され、基板温度の規定によって発熱体の密着性が高まるため、発熱体の膜剥離が回避される。その結果、サーマルヘッドの高速印画特性が大幅に向上する。また、発熱体の耐久性が改善されるため、サーマルヘッドの寿命が延びる。
【選択図】図5
Description
また、請求項2に係るサーマルヘッドの製造方法の発明は、前記発熱体の成膜時に、前記基板の温度を180〜250℃としたことを特徴とする。
また、請求項3に係るサーマルヘッドの製造方法の発明は、前記発熱体の材質として、TaSiCに代えてMoSiCまたはWSiCを採用したことを特徴とする。
また、請求項4に係るサーマルヘッドの発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載のサーマルヘッドの製造方法により製造したことを特徴とする。
また、請求項5に係る印画装置の発明は、請求項4に記載のサーマルヘッドを備えたことを特徴とする。
2……グレーズ
3……発熱体
4……電極
6……第1保護膜
7……第2保護膜
8……基板
9……基板本体
11……ラベルプリンタ(印画装置)
13……ケーシング
14……表示パネル
15……入力キー
16……ラベル排出口
17……搬送ローラ
12……ラベル連続体
12a……台紙
12b……ラベル
20……成膜装置
21……チャンバ
22……ドラム
23……ターゲット
Claims (5)
- TaSiCを含む発熱体を基板に成膜してサーマルヘッドを製造する際に、
前記発熱体の成膜圧力を0.4〜1.5Paとするとともに、前記発熱体の成膜電力を500〜2000Wとしたことを特徴とする、サーマルヘッドの製造方法。 - 前記発熱体の成膜時に、前記基板の温度を180〜250℃としたことを特徴とする、請求項1に記載のサーマルヘッドの製造方法。
- 前記発熱体の材質として、TaSiCに代えてMoSiCまたはWSiCを採用したことを特徴とする、請求項1又は2に記載のサーマルヘッドの製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載のサーマルヘッドの製造方法により製造したことを特徴とするサーマルヘッド。
- 請求項4に記載のサーマルヘッドを備えたことを特徴とする印画装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005008255A JP4295732B2 (ja) | 2005-01-14 | 2005-01-14 | サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドおよび印画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005008255A JP4295732B2 (ja) | 2005-01-14 | 2005-01-14 | サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドおよび印画装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006192796A true JP2006192796A (ja) | 2006-07-27 |
JP4295732B2 JP4295732B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=36799224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005008255A Expired - Fee Related JP4295732B2 (ja) | 2005-01-14 | 2005-01-14 | サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドおよび印画装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4295732B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009256721A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Tdk Corp | スパッタリングターゲット及びこれを用いたスパッタリング方法 |
-
2005
- 2005-01-14 JP JP2005008255A patent/JP4295732B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009256721A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Tdk Corp | スパッタリングターゲット及びこれを用いたスパッタリング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4295732B2 (ja) | 2009-07-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6061077A (en) | Thermal head | |
JP2007144992A (ja) | 凹凸構造体とその製造方法、圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置 | |
US6558563B2 (en) | Method of fabricating thermal head | |
JP4295732B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドおよび印画装置 | |
JP2009000936A (ja) | サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッド及び印画装置 | |
KR101279435B1 (ko) | 잉크젯 프린트 헤드 및 이를 구비한 잉크젯 화상형성장치 | |
JP5049894B2 (ja) | サーマルヘッド | |
JPH11277781A (ja) | サーマルヘッド | |
WO1996041722A1 (fr) | Procede de creation d'une couche d'electrode auxiliaire pour une configuration d'electrode commune dans une tete thermique | |
JPS63153165A (ja) | 端部型サ−マルヘツド | |
JPH04288244A (ja) | サーマルヘッド | |
US7722166B2 (en) | Inkjet printhead having piezoelectric actuator and method of driving the piezoelectric actuator | |
JPH09174905A (ja) | サーマルヘッド | |
JPH0761715B2 (ja) | 端部型サ−マルヘツド | |
JP2005319697A (ja) | サーマルヘッド及び印画装置 | |
US20120320139A1 (en) | Thermal Printhead with Optimally Shaped Resistor Layer | |
JP3615852B2 (ja) | サーマルヘッド及びサーマルプリンタ | |
JPS62158062A (ja) | サ−マルヘツドおよびその製造方法 | |
JPS62152870A (ja) | サ−マルヘツド | |
JPH082657B2 (ja) | サーマルヘッド | |
JPH0466706B2 (ja) | ||
JPH05147248A (ja) | サ−マルヘツド及びその製造方法 | |
JP2003246068A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2005349767A (ja) | サーマルヘッド | |
JP2004148684A (ja) | インクジェットヘッド及びそれを用いたインクジェットプリンタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090317 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090410 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4295732 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140417 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |