JP2006191091A - リソグラフィ装置、照明システム、フィルタ・システム、およびそのようなフィルタ・システムのサポートを冷却するための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射線ビームを条件付けるように構成された照明システムと、放射線ビームを基板に投射するように構成された投影システムと、放射線ビームからデブリ粒子をフィルタ除去するためのフィルタ・システムとを有する。フィルタ・システムは、デブリ粒子をトラップするための複数のホイルF1,F2と、複数のホイルを保持するためのサポートS1,S2と、冷却されるようになされた表面を有する冷却システムCS1,CS2とを含む。冷却システムおよびサポートは、冷却システムの表面とサポートの間にギャップGが形成されるように互いに位置付けられている。冷却システムはさらに、ギャップにガスを注入するEPようになされている。
【選択図】図2
Description
(1)ステップ・モード
ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTおよび基板テーブルWTが基本的に静止状態に維持され、放射線ビームに付与されたパターン全体がターゲット部分Cに1回で投影される(すなわち単一静止露光)。次に、基板テーブルWTがXおよび/またはY方向にシフトされ、異なるターゲット部分Cが露光される。ステップ・モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一静止露光で結像されるターゲット部分Cのサイズが制限される。
(2)走査モード
走査モードでは、放射線ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影されている間にマスク・テーブルMTおよび基板テーブルWTが同期走査される(すなわち単一動的露光)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの倍率(縮小率)およびイメージ反転特性によって決まる。走査モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一動的露光におけるターゲット部分の幅(非走査方向の幅)が制限され、また走査運動の長さによってターゲット部分の高さ(走査方向の高さ)が決まる。
(3)その他のモード
プログラム可能パターン化デバイスを保持するようにマスク・テーブルMTが基本的に静止状態に維持され、放射線ビームに付与されたパターンがターゲット部分Cに投影されている間に基板テーブルWTが移動もしくは走査される。このモードでは、通常、パルス放射線源が使用され、走査中、基板テーブルWTが移動する毎に、あるいは連続する放射線パルスと放射線パルスの間に、必要に応じてプログラム可能パターン化デバイスが更新される。この動作モードは、上で言及したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどのプログラム可能パターン化デバイスを用いたマスクレス・リソグラフィに容易に適用することができる。
B 放射線ビーム
C 基板のターゲット部分
C 通路
CEA、CEG 通路入口
CL 接続線
CS、CS1、CS2 冷却システム
CX 通路出口
D サポートの第1の位置と第2の位置の間の間隔
EP ガスがギャップに流入する入口位置
F、F1、F2 ホイル
FR 第1のリング
FS フィルタ・システム
FP1 ホイルの第1の部分
FP2 ホイルの第2の部分
G 冷却システムの表面とサポートの間のギャップ
HS1、HS2 ヒート・シンク
IC ギャップにガスを注入するための注入通路
IF1、IF2 位置センサ
IL 照明システム(イルミネータ)
IR 内部リング
L 線
MA パターン化デバイス(マスク)
MT 支持構造(マスク・テーブル)
M1、M2 マスク・アライメント・マーク
OR 外部リング
P 入口位置と出口位置の間の経路(うねり経路)
PM 第1のポジショナ
PS 投影システム
PW 第2のポジショナ
P1、P2 基板アライメント・マーク
P1 サポートの第1の位置
P2 サポートの第2の位置
RA 第1のリングおよび第2のリングの軸(回転軸)
RE 弾性エレメント
R1、R2 ガスを保持するための凹所
S、S1、S2 サポート
SA リング形サポートの対称軸線
SO 放射線源
SR 第2のリング
TW 張り詰めたワイヤ
VL 仮想線
VSL 仮想直線
W 基板
WT 基板テーブル
XP ガスがギャップから流出する出口位置
Claims (30)
- 放射線ビームを条件付けるように構成された照明システムと、
前記放射線ビームを基板に投射するように構成された投影システムと、
前記放射線ビームからデブリ粒子をフィルタ除去するためのフィルタ・システムと
を有するリソグラフィ装置において、
前記フィルタ・システムが、
前記デブリ粒子をトラップするための複数のホイルと、
前記複数のホイルを保持するためのサポートと、
冷却されるようになされた表面を有する冷却システムであって、該冷却システムおよび前記サポートが、冷却システムの前記表面と前記サポートとの間にギャップが形成されるように互いに対して位置付けられた冷却システムと
を有しており、また
前記冷却システムが前記ギャップにガスを注入するようになされているリソグラフィ装置。 - 前記ギャップに前記ガスが流入する入口位置と、前記ギャップから前記ガスが流出する出口位置との間の経路がうねり経路を形成している請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記冷却システムの前記表面と前記サポートとの間の最も狭い間隔が、約20マイクロメートルから約200マイクロメートルまで変化する範囲内であるように前記ギャップがなされている請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記冷却システムの前記表面と前記サポートの間の最も狭い間隔が、約40マイクロメートルから約100マイクロメートルまで変化する範囲内であるように前記ギャップがなされている請求項3に記載のリソグラフィ装置。
- 前記サポートがリング形状である請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記サポートがその軸線の周りで回転可能である請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 前記冷却システムの前記表面が前記サポートに対して静止しているようになされた請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記冷却システムの前記表面が実質的にリング形状であり、その軸線を前記サポートと共有している請求項5に記載のリソグラフィ装置。
- 前記冷却システムの前記表面が流体で冷却されるようになされた請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記流体が水である請求項9に記載のリソグラフィ装置。
- 前記ガスがアルゴンである請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記サポートは、前記ガスが前記ギャップから流出する前に前記ガスを保持するための凹所を備えている請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記冷却システムが、前記ギャップへの前記ガスの注入に先立って前記ガスを冷却するように構成されている請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記サポートの少なくとも一部と前記冷却システムの少なくとも一部とが相俟って、前記複数のホイルのうちの多数の第1のホイルが接続されるヒート・シンクを形成しており、また
該第1のホイルは、熱が第1のホイルの各々を通して実質的に前記ヒート・シンクに向かって伝達されるように、前記フィルタ・システム内を実質的に自由に延びている請求項1に記載のリソグラフィ装置。 - 前記サポートの少なくとも他の部分と前記冷却システムの少なくとも他の部分とが相俟って、前記複数のホイルのうちの多数の第2のホイルが接続される追加ヒート・シンクを形成しており、
該第2のホイルは、熱が第2のホイルの各々を通して実質的に前記追加ヒート・シンクに向かって伝達されるように、前記フィルタ・システム内を実質的に自由に延びており、
前記フィルタ・システムが、放射線源によって放出される放射線の所定の断面からデブリ粒子をフィルタ除去するようになされており、
前記多数の第1のホイルが実質的に前記所定の断面の第1のセクション内に延びており、
前記多数の第2のホイルが実質的に前記所定の断面の第2のセクション内に延び、前記第1のセクションおよび前記第2のセクションが実質的に重畳していない請求項14に記載のリソグラフィ装置。 - 前記複数の第1のホイルのうちの少なくとも1つおよび/または前記複数の第2のホイルのうちの少なくとも1つが、対応するヒート・シンクとの接続を除いて前記フィルタ・システムの他のいかなる部分にも接続されていない請求項15に記載のリソグラフィ装置。
- 前記放射線ビームに露光された場合に前記フィルタ・システム全体が所定の最高温度未満を維持するように前記フィルタ・システムが構成されている請求項15に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の第1のホイルのうちの少なくとも1つおよび前記複数の第2のホイルのうちの少なくとも1つが、実質的に同じ仮想平面内に延びている請求項15に記載のリソグラフィ装置。
- 前記仮想平面内における個々の第1のホイルと個々の第2のホイルの間の間隔は、個々の第1のホイルおよび個々の第2のホイルがその最高温度に達した場合に個々の第1のホイルと個々の第2のホイルの間のギャップが維持されるように選択される請求項18に記載のリソグラフィ装置。
- 前記仮想平面は、放射線源が放射線を生成する位置と一致するよう意図された所定の位置を通して延びている請求項18に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数の第1のホイルのうちの少なくとも1つが、前記複数の第2のホイルのうちの2つのホイルの間に延びている請求項15に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数のホイルのうちの少なくとも1つのホイルが、実質的に真直ぐな接続線に沿って接続された少なくとも2つの部分を有し、該2つの部分は、放射線源が放射線を生成する位置と実質的に一致するよう意図された所定の位置を通して延びる仮想平面とそれぞれ一致しており、前記真直ぐな接続線は、同じく前記所定の位置を通して延びる仮想直線と一致する請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記少なくとも2つの部分のうちの第1の部分が、前記サポートの第1の位置で接続され、前記少なくとも2つの部分のうちの第2の部分が、前記サポートの第2の位置で接続された請求項22に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1の位置と第2の位置の間の間隔が固定されている請求項23に記載のリソグラフィ装置。
- 前記少なくとも2つの部分のうちの少なくとも一方が、平坦な平面である仮想平面と一致している請求項22に記載のリソグラフィ装置。
- 前記複数のホイルのうちの少なくとも1つのホイルが、使用中に放射線源が放射線を生成する位置と実質的に一致するよう意図された所定の位置を通して延びる仮想平面と実質的に一致しており、張り詰めたワイヤが、前記少なくとも1つのホイルと前記所定の位置の間の前記仮想平面内に延びている請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記張り詰めたワイヤが前記少なくとも1つのホイルに接続された請求項26に記載のリソグラフィ装置。
- 前記張り詰めたワイヤが少なくとも1つのスプリング・エレメントによって堅固に保持された請求項26に記載のリソグラフィ装置。
- 前記張り詰めたワイヤが前記少なくとも1つのホイルから熱絶縁された請求項26に記載のリソグラフィ装置。
- 前記張り詰めたワイヤが、タンタルおよびタングステンからなるグループの材料のうちの少なくとも1つを含む材料を使用して構築された請求項26に記載のリソグラフィ装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US63977404P | 2004-12-29 | 2004-12-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006191091A true JP2006191091A (ja) | 2006-07-20 |
JP4366358B2 JP4366358B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=36797865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
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US (2) | US7485881B2 (ja) |
JP (1) | JP4366358B2 (ja) |
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- 2005-12-28 JP JP2005377813A patent/JP4366358B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2008
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8269179B2 (en) | 2012-09-18 |
US20090115980A1 (en) | 2009-05-07 |
US20060139604A1 (en) | 2006-06-29 |
US7485881B2 (en) | 2009-02-03 |
JP4366358B2 (ja) | 2009-11-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S802 | Written request for registration of partial abandonment of right |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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