JP2006190578A - 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 走査型電子顕微鏡を用い、電子顕微鏡を差動排気機構によって、真空度、雰囲気ガスを自在に調整可能とし、電子線を照射することによって被検体炭素材料を高真空下で高分解能に観察することができるとともに、加工の際には、高真空を低真空に切換えて、炭素材料に電子線を照射し、プラズマイオンによって電子線照射された限定された帯電領域をスパッターあるいは酸化燃焼させ、加工領域をナノメートルからミクロンの広範な領域に適宜調整することによって、超微細加工を行い得るようにした。
【選択図】 図1a
Description
「カーボンナノチューブ」 99−108ページ (田中一義編、化学同人、2001年1月30日発行)
(1) 差動排気機構を有し、試料を低真空状態で観察できる差動排気システムを有した走査型電子顕微鏡(以下、低真空走査電子顕微鏡と呼ぶ)を用い、試料室に炭素系材料を設置し、前記炭素系材料に電子線を照射することを特徴とした、炭素系材料の超微細加工方法。
(2) 前記電子ビームを照射する炭素系材料が設置される試料室の雰囲気ガスに、大気あるいは酸素、窒素などの気体を使用し、電子ビーム照射によって雰囲気ガスがプラズマ化され、イオン化したガス原子が、電子ビーム照射領域の帯電を中和すると同時に、ラジカルとして、炭素材料表面を研削あるいは燃焼させることによって、電子ビームを照射している微小領域に対して、ナノメートルレベルからミクロンレベルの高精度で切断ないしはエッチング加工しうるようにしたことを特徴とする、(1)記載の炭素系材料の超微細加工方法。
(3) 前記雰囲気ガスと、電子線加速電圧−電流条件などの加工条件を最適化することを特徴とした、(1)または(2)記載の炭素系材料の超微細加工方法。
(4) 上記低真空走査型電子顕微鏡が炭素系材料の位置や方位を正確に制御できるステージを備えている、(1)ないし(3)記載のいずれか1項に記載の炭素系材料の超微細加工方法。
(5) 試料を低真空状態で観察できる差動排気システムを有した低真空走査型電子顕微鏡を用い、試料室の圧力を高真空から低真空に、またはその逆に、切換え可能とするとともに、前記炭素系材料に、電子線を正確に照射しうるようにしたことを特徴とする、炭素系材料の超微細加工装置。
(6) 前記低真空走査型電子顕微鏡を、サブチャンバーにより、試料室だけ雰囲気を可変にしたことを特徴とする、(5)記載の炭素系材料の超微細加工装置。
(7) 前記試料室の試料近傍にガス噴出ノズルを設置し、試料室全体を雰囲気ガスで満たすことなく、試料周辺のみの雰囲気を調整しうるようにしたことを特徴とする、(5)または(6)記載の炭素系材料の超微細加工装置。
図1(a)は、本発明で使用する走査型電子顕微鏡の真空設計を模式的に示した図である。このような電子顕微鏡において、電子銃を安定に動作するためには、10-8Pa程度に高真空にする必要がある。すなわち、電子顕微鏡は、差動排気機構(オリフィスあるいは排気弁と排気ポンプ、図示せず)によって、電子線が発射される電子銃室が高真空(10-8Pa)に設定され、それより真空度が下げられた中間真空室(10-3Pa)、さらに試料が収められている低真空試料室(100Pa)の三室構造で構成され、電子銃から試料に向けて電子線が照射可能である。低真空試料室は、図示外の差動排気システムによってその真空度が可変に調節可能であり、試料観察をする際は、高真空度になるよう調節され、また、加工するときには、試料室に雰囲気ガスを満たし、部屋の圧力を100Pa程度にまで低真空になるよう調節される。試料ステージを制御することによって、電子線を試料の任意の位置に照射する。電子線が照射されると、その周辺の気体はプラズマ化され、イオンが帯電した領域に作用して中和するとともに、プラズマ化したガスの衝突によって電子線照射位置の材料がスパッター(研削)され、あるいは酸素ガスとの反応によって酸化、燃焼し、炭素材料が表面側から消費され、炭素材料がエッチング、あるいは切断され、または穿孔される等、微細加工が施される。電子線の強度は電子銃にかける電圧や電流、絞りの大きさによって制御し、その大きさは照射レンズや対物レンズによって、変化させることができる。また、雰囲気圧力や酸素分圧を最適に設定することによって、適宜、加工精度を選択することができる。
は、AFM像であり、黒い部分は、加速電圧:30kV、酸素分圧:50Pa、ビーム照射時間:1minで、電子線を照射したときにできた穴である。(b)は、 (a)の線に沿った穴の断面プロファイルを示す。これらの図から、本発明は、炭素材料の微細加工に有効な手段であることが確認された。
シリコン基板上にpn接合を作り、エッチングによって柱状に切り出し、シリコンと酸化シリコンの歪みエネルギーの差を利用して側面を酸化させ、多数の柱状pn接合トランジスタを形成した。配線するトランジスタを決定し、その間の距離を測定した。一方、ナノ配線素材として製造したカーボンナノチューブを用意し、本発明で開発した低真空走査型電子顕微鏡による切断方法を用い、図2で説明した切断条件、切断要領に準じて所要の長さに切断した。トランジスタ間距離に相当する長さに切断されたカーボンナノチューブを、走査型プローブ顕微鏡の探針で捕獲し、2つのトランジスタ間に運び移し、これらを接続する。図4はこの概念図であり、柱状物体がトランジスタ、そのうちの2つを接続する線がカーボンナノチューブを示している。
ダイヤモンドをナノスケールのレベルでフォトマスクと反応性ガスエッチングによって加工することを試みた。その結果を、電子顕微鏡で観察した結果、設計どおりにはエッチングが行われていなかったことが判明した。したがって、その状態では、完成品として扱うことができないものであった。そこで、観測に使用した電子顕微鏡の試料室を低真空に切換えて、圧力50Paのガス雰囲気下において前記ダイヤモンドの加工すべき特定の領域に加速電圧30kVの電子ビームを繰り返し照射し、この部分を研削し、1個の素子からサブミクロンサイズの多数の素子を作製した。その後、試料室を高真空に切換えて、再度電子顕微鏡により観察した結果、設計どおりに微細な研削加工が施されたことが確認された。
反応性ガスエッチング法によってダイヤモンド素子を作製した。エッチング操作終了後、エッチング状態を観測した結果、正常なレベルにエッチングされた部分と不正常な部分、すなわち、部分的にエッチングされずに、突起として残った加工不良部分、とが共に混在していることが確認された。この加工不良部分は、素子の動作不良を引き起こす原因となることから、本発明で開発した低真空走査型電子顕微鏡による電子線照射加工法を適用することによって、この加工不良部分を取り除いた。その操作要領は、実施例2と同様の手法に基づいて行った。最後に、得られた素子を検査した結果、正常に動作することが確認された。
Claims (7)
- 差動排気機構を有し、試料を低真空状態で観察できる差動排気システムを有した走査型電子顕微鏡(以下、低真空走査電子顕微鏡と呼ぶ)を用い、試料室に炭素系材料を設置し、前記炭素系材料に電子線を照射することを特徴とした、炭素系材料の超微細加工方法。
- 前記電子ビームを照射する炭素系材料が設置される試料室の雰囲気ガスに、大気あるいは酸素、窒素などの気体を使用し、電子ビーム照射によって雰囲気ガスがプラズマ化され、イオン化したガス原子が、電子ビーム照射領域の帯電を中和すると同時に、ラジカルとして、炭素材料表面を研削あるいは燃焼させることによって、電子ビームを照射している微小領域に対して、ナノメートルレベルからミクロンレベルの高精度で切断ないしはエッチング加工しうるようにしたことを特徴とする、請求項1記載の炭素系材料の超微細加工方法。
- 前記雰囲気ガスと、電子線の加工制御条件とを最適化することを特徴とした、請求項1または2記載の炭素系材料の超微細加工方法。
- 上記低真空走査型電子顕微鏡が炭素系材料の位置や方位を正確に制御できるステージを備えている、請求項1ないし3記載のいずれか1項に記載の炭素系材料の超微細加工方法。
- 試料を低真空状態で観察できる差動排気システムを有した低真空走査型電子顕微鏡を用い、試料室の圧力を高真空から低真空に、またはその逆に、切換え可能とするとともに、前記炭素系材料に、電子線を正確に照射しうるようにしたことを特徴とする、炭素系材料の超微細加工装置。
- 前記低真空走査型電子顕微鏡を、サブチャンバーにより、試料室だけ雰囲気を可変にしたことを特徴とする、請求項5記載の炭素系材料の超微細加工装置。
- 前記試料室の試料近傍にガス噴出ノズルを設置し、試料室全体を雰囲気ガスで満たすことなく、試料周辺のみの雰囲気を調整しうるようにしたことを特徴とする、請求項5または6記載の炭素系材料の超微細加工装置。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
WO2015129446A1 (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および画像生成方法 |
CN107796789A (zh) * | 2017-08-29 | 2018-03-13 | 南京航空航天大学 | 仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513319A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-22 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JPH0684493A (ja) * | 1992-04-17 | 1994-03-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 微細構造観察装置 |
JPH08329876A (ja) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | Hitachi Ltd | 観察試料作成方法及びその装置 |
JP2000195454A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
JP2001196296A (ja) * | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Advantest Corp | 荷電粒子ビーム露光装置 |
JP2001343308A (ja) * | 2000-06-01 | 2001-12-14 | Jeol Ltd | 試料処理装置 |
JP2003308801A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子ビーム装置 |
JP2004058194A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Fujikura Ltd | カーボンナノチューブの加工法 |
-
2005
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513319A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-22 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JPH0684493A (ja) * | 1992-04-17 | 1994-03-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 微細構造観察装置 |
JPH08329876A (ja) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | Hitachi Ltd | 観察試料作成方法及びその装置 |
JP2000195454A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
JP2001196296A (ja) * | 2000-01-13 | 2001-07-19 | Advantest Corp | 荷電粒子ビーム露光装置 |
JP2001343308A (ja) * | 2000-06-01 | 2001-12-14 | Jeol Ltd | 試料処理装置 |
JP2003308801A (ja) * | 2002-04-15 | 2003-10-31 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子ビーム装置 |
JP2004058194A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Fujikura Ltd | カーボンナノチューブの加工法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
FE電子銃を搭載した波長分散型EPMAを開発, JPN6011059108, 31 October 2002 (2002-10-31), ISSN: 0002067178 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015129446A1 (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および画像生成方法 |
JP2015162316A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡および画像生成方法 |
CN105940478A (zh) * | 2014-02-27 | 2016-09-14 | 株式会社日立高新技术 | 扫描电子显微镜及图像生成方法 |
CN107796789A (zh) * | 2017-08-29 | 2018-03-13 | 南京航空航天大学 | 仿壁虎末端带电定向碳纳米管干黏附阵列的制备方法 |
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Publication number | Publication date |
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